專利名稱：真空成膜裝置以及真空成膜方法
技術領域：
本發明涉及真空蒸鍍裝置或噴鍍裝置等的真空成膜裝置以及真空 成膜方法的技術領域。
技術背景一般情況下，在這種真空成膜裝置中，在該裝置例如是噴鍍裝置 的情況下，在真空中激發氬氣、產生等離子體，通過使其與作為成膜 材料的目標(夕一y少卜)碰撞，使成膜材料的粒子在成膜處理室內 飛濺，使該飛濺的粒子碰到設置在成膜處理室內的工件(被成膜處理 部件)的表面而進行成膜。并且，提出了在這樣的真空成膜裝置中， 使裝有用于在工件上成膜的成膜機構的第一模具與裝有被成膜的工件 的第二模具抵接，在該抵接的狀態下進行真空成膜(例如專利文獻1 ) 的方案，通過這樣，工件的成形和成膜可通過一系列的模具移動而進 行，成膜成型品的制造效率、質量明顯提高，并且，可大幅度降低次 品的產生比率，提高操作性的效率。但是，在該裝置中，每次進行成膜處理時都需要對成膜處理室內 重復進行大氣壓—真空—大氣壓的處理，利用真空泵將成膜處理室內 的空氣從大氣壓狀態變為真空狀態無論如何都需要時間，具有操作性 依然不夠高的問題。因此，考慮了通過擋板將成膜處理室劃分成工件室側和目標室側 兩部分，工件室側重復進行大氣壓—真空—大氣壓的處理，而目標室 側依然保持真空狀態的結構。目前，為了容易更換目標，提出了通過擋板將工件室側和目標室側劃分成兩部分(例如，專利文獻2)的方 案。專利文獻1:專利第3677033號公凈艮 專利文獻2:特開平9-31642號^>才艮但是，設置上述擋板、將成膜處理室一分為二的結構是為了更換 目標，而不是如在每次對工件進行成膜處理時都對工件室側進行大氣 壓—真空—大氣壓的處理那樣、頻繁地開閉擋板，對這樣的擋板的具 體構成沒有說明。尤其是，本發明所要解決的技術課題是，在工件室 側、工件的移動和取出的關系，對于形成大氣壓—真空—大氣壓的處 理，在為了將目標室側保持為真空狀態而設置擋板的情況下，需要使 該擋板裝置切實圓滑地開閉和密封，這是本發明需要解決的問題。發明內容本發明鑒于上述情況，其目的是解決上述課題，技術方案l的發明是一種真空成膜裝置，將設置有用于進行真空成膜的目標(夕一y 少卜)的目標室側的第一模具與設置有工件的工件室側的第二模具合 模，在該工件上進行成膜，其特征在于，在第一模具上設置用于開閉 目標室的擋板裝置。技術方案2的發明在技術方案i中，擋板裝置具有被支撐在第一 模具的開口端的基座和開閉連通孔的開閉體，該連通孔開設在該基座 上、連通目標室和工件室。技術方案3的發明在技術方案2中，基座由被支撐在第一模具側 的第一支撐板和層疊狀地設置在該第一支撐板上的第二支撐板構成， 開閉體可自由移動地設置在該兩個支撐板之間。技術方案4的發明在技術方案3中，在開閉體和基座之間設置引 導機構，該引導機構在開閉體向連通孔的封閉姿勢移動的過程中引導 該開閉體向第二支撐板側變位，使開閉體以連通孔的封閉姿勢與第二 支撐板側密封狀地抵接，形成與第一支撐板的板面分離的狀態，保持 目標室的真空狀態。技術方案5的發明在技術方案3或4中，開閉體在從封閉姿勢向 開放姿勢移動的過程中，受到密封狀地與第二支撐板抵接的工件室的 氣壓、向第一支撐板的板面側變位。技術方案6的發明是一種真空成膜方法，將設置有用于進行真空 成膜的目標的目標室側的第一模具與設置有工件的工件室側的第二模具合模后，連續地進行在該工件上成膜的工序，其特征在于，使為了 開閉目標室而設置在第一模具上的擋板裝置在所述兩個模具從合模起 到成膜為止期間形成開放姿勢，進行工件的真空成膜，該真空成膜后， 直到進行下 一 個合模期間形成封閉姿勢，將目標室保持為真空狀態。根據技術方案l的發明，可將目標室保持為真空狀態，可縮短制 造時間(真空工序時間)、提高操作性，有助于降低成本。根據技術方案2或3的發明，可圓滑地對開閉體進行開閉。 根據技術方案4的發明，開閉體的封閉姿勢可提高目標室的密封性。根據技術方案5的發明，可圓滑地進行開閉體的開放動作。 根據技術方案6的發明，可將目標室保持為真空狀態，可縮短制 造時間、提高操作性，有助于降低成本。
圖l是成膜成形體的剖視圖。 圖2是成膜成形裝置的概略圖。圖3 (A) (D)是用于制造成膜成形體的制造工序的前半階段 的概略圖。圖4 (A) ~ (D)是用于制造成膜成形體的制造工序的中間階段 的概略圖。圖5 (A) (D)是用于制造成膜成形體的制造工序的后半階段 的概略圖。圖6 (A)、 (B)分別是圖6 (B)的X-X剖視圖、擋板裝置的仰 視圖。圖7 (A)、 (B)、 (C)分別是圖7(B)的X-X剖視圖、第一支撐 板的仰視圖以及圖7 (B)的Y-Y剖視圖。圖8 (A)、 (B)、 (C)分別是圖8 (B)的X-X剖視圖、第二支撐 板的仰視圖以及圖8(B)的Y-Y剖視圖。圖9 (A)、 (B)分別是擋板的正視圖和仰視圖。圖10 (A)、 (B)、 (C)、 (D)分別是引導體的正視圖、連接件的仰視圖、圖10 ( B )的X-X剖視圖以及側一見圖。圖11 (A)、 (B)分別是圖11 (B)的X-X剖視圖、說明擋板的 開閉狀態的主要部位放大圖。
具體實施方式
以下根據附圖就本發明的實施方式進行說明。在圖中，1是成膜 成形體，該成膜成形體1通過二次注塑工序將在一次注塑工序中模具 成形的第一成形體2和第二成形體3進行一體化，以此進行制造，并 且，通過設置在一次和二次注塑工序之間的成膜工序在第一成形體2 (相當于本發明的工件)上進行成膜2a,以下就用于制造該成膜成形 體l的制造裝置4進行說明。上述制造裝置4具有后述的可動側模具底座4a和固定側模具底座 4b,在該可動側模具底座4a上分別可自由拆裝地設置成形用模具5d、 5e，在該成形用模具5d、 5e中，用于對第一、第二成形體2、 3進行 模具成形的模具工作面5a、 5b形成在模表面5c上，以此構成可動模 具5。另一方面，成形用模具6d、 6e和成膜用模具(相當于本發明的第 一模具)7a以設置成一條線的狀態可自由拆裝地設置在固定側模具底 座4b上，在所述成形用模具6d、 6e中，用于對第一、第二成形體2、 3進行模具成形的模具工作面6a、 6b形成在模表面6c上；成膜用模 具7a具有設置在與該成形用模具6d、 6e的第一成形用模具工作面6a 鄰接的一側的真空成膜裝置(通過真空蒸鍍或噴鍍蒸鍍等進行成膜的 真空成膜裝置)，通過成形用模具6d、 6e和成膜用模具7a構成固定模 具6。上述可動模具5 (可動側模具底座4a)設置在架臺8上，該架臺 8利用無圖示的驅動器可進行模具彼此的接近分離方向的移動，在該 架臺8上設置導軌9，該導軌9相對于上述固定模具6的模具工作面 6a、 6b以及成膜用模具7a的設置方向朝向相同的方向，可動模具5 可自由移動地設置在該導軌9上，這樣可動模具5可向沿著模表面5c 的方向(在圖2中的左右方向)移動。IO是設置在架臺8上的移動用的驅動器，在本實施方式中，該移 動用驅動器IO使用可控制驅動量(旋轉量)的伺服電動機。與上述導 軌9平行設置的螺旋軸11固定在該驅動器10的輸出軸10a上。并且， 刻設有與該螺旋軸11進行擰合的內螺紋12a的動作體12設置在可動 模具5上，這樣，可動模具5與上述驅動器10的正反驅動連動地進行 被導軌9引導的上述移動。在上述真空成膜裝置7上設置用于開閉成膜用模具7a的前端部位 的后述的擋板裝置13,該擋板裝置13通過驅動器14的驅動進行開閉。 即，在作為擋板裝置13的構成部件的驅動器14上，螺紋軸(驅動軸) 14a向沿著模表面6c的方向突出，動作體15檸裝在該螺紋軸14a上， 動作體15與驅動器14的正反驅動連動地沿著螺紋軸14a移動。并且， 引導體16與動作體15的前端部一體連接，擋板(相當于本發明的開 閉體)17設置在該引導體16的前端部。并且，擋板17通過動作體15 的基于驅動器14的上述正反驅動的移動進行變位，擋板裝置13基于 該變位來開閉成膜用模具7a的前端開口 。以下利用圖3至5就通過實施本發明而制造的成膜成形體1的制 造工序進行說明。首先，可動模具5從模表面5c位于與固定模具6 的模表面6c相對的位置(參照圖3(A))的狀態起向固定模具6的方 向移動，進行合模，在該合模的狀態下，進行一次注塑工序、對第一、 第二成形體(第一、第二工件)2、 3進行注射模塑成形(參照圖3( B))。然后，可動模具5向模分離的方向移動，此時，進行設定、使第 一成形體2留在可動模具5側，使第二成形體3留在固定模具6側(參 照圖3 (C))。之后，相當于本發明的第二模具的第 一成形用模具5d與成膜用模 具7a相對地向沿著模表面5c的方向(圖中的左方向)移動(參照圖 3(D))，然后，可動模具5向合模方向移動，該模具5d、 7a相互合 模(參照圖4(A))。構成上述擋板裝置13的擋板17到合模之前一直 保持封閉姿勢，將目標室7b —直保持成真空狀態。在進行上述合模后， 基于驅動器14的驅動，擋板17向打開方向移動、形成開放姿勢，這7樣，擋板裝置13形成成膜用模具7a的目標室7b與第一成形用模具 5d (工件室5f)連通的姿勢(參照圖4 (B))。然后，在該狀態下，為 了將成膜裝置7的室內形成真空，真空泵P進行動作(真空工序)， 一旦形成所需要的真空狀態等、具備真空成膜的條件，則對從上述第 一成形體2的模具工作面6a脫模的面進行成膜2a (成膜工序、參照 圖4(C))，在進行該成膜2a后，基于驅動器14的反向驅動，擋板 17向關閉方向移動，這樣，擋板裝置13將成膜用模具7a內封閉成密 閉狀態(參照圖4(D))。并且，將該封閉保持到下一次的成膜工序(用 于成膜的合模工序)。然后，可動模具5向脫模方向移動，與成膜裝置7脫模(參照圖 5 (A))，接著，可動模具5向沿著模表面5c的方向移動(圖中的右 方向)，第一成形體2和第二成形體3相對(參照圖5 (B))。另外， 在將光源等的必要部件內置于第一、第二成形體3中的情況下，可將 第一成形體2進行成膜2a，在脫模后的階段(圖5 (A)的階段)或 使第一、第二成形體2、 3相對的階段(圖5 (B)的階段)設置安裝 上述必要部件裝置的工序。然后，進行二次注塑工序(參照圖5 (C)),即，在上述第一、第 二成形體2、 3相對的狀態下，使模具5、 6相互合模，通過利用樹脂 材料18使第一、第二成形體2、 3形成一體，制造成膜成形體l。之 后，使可動模具5向脫模方向移動，取出成膜成形體1 (參照圖5( D ))， 然后，使可動模具5的各對應的模具工作面5a、 6a和5b、 6b相互相 對地向沿著模具表面的方向移動(圖中的左方向)，通過重復這些一系 列的工序，可連續制造成膜成形體1，這樣，進行一次成型、成膜以 及二次成型，制造成膜成型體l。以下，就設置在實施本發明的上述真空成膜裝置7上的擋板裝置 13進行具體說明。如上所述，上述擋板裝置13設置在構成真空成膜裝置7的成膜用 模具7a的開口端，具有驅動器14、動作體15、引導體16以及擋板 17，而且還具有支撐(固定)在成膜用模具7a的開口端的本發明的基座。并且，擋板裝置13的基座由層疊狀地設置的第一、第二支撐板 19、 20構成，通過可自由移動地設置在第一、第二支撐板19、 20之 間的擋板17對開設在這些第一、第二支撐板19、 20上的目標粒子飛 濺用的連通孔19a、 20a進行開閉。并且，在對成膜成形體1進行成形 的過程中，使第一成形用模具5d與設置在成膜用模具7a的開口端的 擋板裝置13的擋板17的設置外周緣部抵接，以密封狀地覆蓋該部位 的狀態進行合模，在該狀態下，通過擋板裝置13隔開內置有成膜裝置 7的成膜用模具7a側的目標室7b和第一成形用模具5d側的工件室 5f(參照圖4(a))，由于擋板17形成開放姿勢，因此目標室7b和工 件室5f通過連通孔19a、 20a進行連通(參照圖4 (B))。
另外，以下在將圖2的安裝狀態作為正視圖進行方向設定的狀態 下就擋板裝置13進行說明。
上述第一支撐板19是設置在目標室7b側(上側)的板，在大致 中央部開設目標飛濺用的第一連通孔19a，在該第一連通孔19a的外 周部位的下側面(第二支撐板20側的板面)19b上，形成槽深設定為 Hl的矩形的第一凹部19c。而且，在第一支撐板19的下側19b形成 位于第一凹部19c的左側(設置驅動器14側)、且比該第一凹部19c 更深的槽形的、槽深設定為H2的矩形的第二凹部19d，形成位于該 第二凹部19d的前后方向中央部、且比該第二凹部19d更深的槽形的、 槽深設定為H3的第三凹部19e。而且，在第一凹部19c的左端緣部， 在與鄰接的第二或第三凹部19d、 19e之間，形成越靠左端越偏向目標 室7b側的左傾斜面19f，在右端緣部，在與下側面19b之間，在右端 形成偏靠下位(第二支撐板20)側、構成本發明的引導機構的引導傾 斜面19g。另外，在引導傾斜面19g的下端緣部形成朝向垂直方向的 移動限制面19h。
另一方面，第二支撐板20設置在工件室側5f (下側)，具有平板 狀的板面，并開設有與上述第一連通孔19a連通的第二連通孔20a。 并且，在使第二支撐板20抵接狀地層壓在第一支撐板19上的狀態下 進行一體化，以此，在第一、第二支撐板19、 20之間形成相當于第一、第二、第三凹部19c、 19d、 19e的槽深的Hl、 H2、 H3的間隙，引導 體16以及擋板17以可向左右方向自由移動的狀態內置于上述間隙中。
另外，21是設置在密封孔20b上的第一密封材料，所述密封孔20b 凹設于第二支撐板20的第一支撐板19側的板面(上側面)上，該第 一密封材料與第一支撐板19的下側面19b抵接、將其之間密封。22 是設置在凹設于上述上側面上的密封孔20c中的第二密封材料，與封 閉姿勢的擋板17的下側面抵接、將其之間進行密封。而且，23是設 置在密封孔20d上的第三密封材料，所述密封孔20d凹設于第二支撐 板20的工件室5f側的板面上的，該第三密封材料與合模后的第一成 形用模具5d的開口前端面抵接、將其之間進行密封。
上述擋板17的板厚H4比第一凹部19c的槽的深度淺，具有與第 一凹部19c大致相同形狀的矩形的本體部17a，該本體部17a覆蓋(封 閉)第一、第二連通孔19a、 20a。并且，在擋板本體部17a的左側部， 燕尾槽式的凹部17b貫通狀地形成在上下方向，擰合引導體16的右端 部16a而形成一體的連接件16b可在上下方向自由滑動(自由相對移 動)地嵌合在該凹部17b中。并且，擋板17以及引導體16以可向左 右方向自由移動的狀態收容在形成于第一、第二支撐板19、 20之間的 間隙中，可向位于第一、第二支撐板19、 20的右方、封閉連通孔19a、 20a的封閉姿勢，和位于左方、打開連通孔19a、 20a的開放姿勢變換 姿勢。
而且，在擋板本體部17a的右端緣部，以與形成于第一支撐板19 的第一凹部19c的右端緣部的引導傾斜面19g和移動限制面19h相對 的方式、形成越靠右端越偏向下位的傾斜面、即引導傾斜面17c，并 且形成位于該引導傾斜面17c的下端緣部、朝向垂直方向的移動限制 面17d。另外，擋板17的凹部17b形成部位比本體部17a的上面更向 上方鼓出、形成厚的板壓，這樣，上側傾斜面17e形成在本體部17a 和凹部17b形成部位之間。
在這樣構成的擋板裝置13中，在封閉連通孔19a、 20a的擋板17 的封閉姿勢的狀態下，擋板本體部17a形成以下狀態，即，形成在右 端緣的引導傾斜面17c與第一支撐板19的引導傾斜面19g抵接，并且，移動限制面17d與第一支撐板19的移動限制面19h抵接，而且，上 側傾斜面17e與第一支撐板19的左傾斜面19f抵接，這樣，擋板本體 部17a的下面與第二支撐板20的平板狀的上面緊貼狀地抵接，切實地 密封第二連通孔20a。
并且，如上述圖4(A)所示，在使成膜用模具7a與第一成形用 模具5d合模，第一成形用模具5d與擋板裝置13抵接的狀態下，擋 板裝置13的擋板17形成封閉姿勢，這樣，擋板裝置13隔開成膜用模 具7a側的目標室7b與第一成形用模具5d的工件室5f之間。此時， 第 一成形用模具5d的模具表面5c與第二支撐板20抵接，模具工作面 5a位于第二支撐板20的第三密封材料23的內側，進行工件室5f的 密封。
為了在第一成形體2上進行成膜，使擋板17從上述合模的狀態起 向開放姿勢變化，在這種情況下，隨著驅動驅動器14，引導體16向 左側強制變位，此時，目標室7b側成為真空狀態，工件室5f側成為 大氣壓狀態。因此，擋板本體17a被向目標室7b側按壓，擋板本體 17a隨著向左側的強制變位，右端側的引導傾斜面17c以沿著第一支 撐板引導傾斜面19g的狀態被按壓在第一凹部19c的底面、即第一連 通孔19a的孔緣上，擋板本體17a相對于連接件16b向第一支撐板19 側變位，進行沿著第一支撐板19的第一凹部19c的開放動作。此時， 由于在第一支撐板的第一凹部19c的左側形成比第一凹部19c深的槽 狀的第一凹部19d，因此，擋板本體部17a可以以與第一、第二支撐 板19、 20的接觸面積(抵接面積)小的狀態進行開放動作。并且，如 圖4 (B)、 (C)或圖11的虛線所示，擋板裝置13通過擋板17形成 開放姿勢，而使目標室7b和工件室5f形成連通狀態。
另外，20e是加力機構，多個該加力機構內裝在連通孔20a的周 緣部、將擋板本體部17a按壓在第一支撐板19側。
與此相對，在成膜工序(圖4(C))結束、封閉擋板裝置13的情 況下，目標室7b和工件室5f都成為真空狀態。在這種情況下，因氣 壓差產生的負荷不對擋板本體17a進行作用，通過隨著驅動器14的驅 動、引導體16向右側的變位，擋板本體17a封閉連通孔19a、 20a,但在這種情況下，擋板本體17a，在右端緣的引導傾斜面17c到達第 一支撐板19的引導傾斜面19g之前期間，在擋板本體17a的兩側沒有 氣壓差，擋板本體17a，通過沿著第一支撐板19向右側變位，擋板側 引導傾斜面17c的前端緣到達第二支撐板側引導傾斜面19g，而受到 該第二支撐板側引導傾斜面19g的引導。并且， 一旦成為該狀態，則 擋板本體部17a向右側變位，并且，抵抗著加力才幾構20e向下方變位， 通過一直向右側移動，直到引導傾斜面17c、 19g彼此以及移動限制面 17d、 17h彼此形成相互抵接的狀態，形成限制擋板本體部17a的移動 的封閉姿勢。并且，在該狀態下，形成擋板本體17a被按壓在第二支 撐板20側的緊貼狀的密封，如圖5 (A)所示，即使碰到第二支撐板 20的第一成形用模具5d成為脫模狀態，也可封閉目標室7b，保持真 空狀態。
在形成上述結構的本發明的實施方式中，成膜形成體l經過形成 第一、第二成形體2、 3的一次注塑工序、第一成形體2的成膜工序以 及將第一、第二成形體2、 3—體化的二次注塑工序進行制造，其中， 在第一成形體2上成膜的情況下，在進行合模的成膜用模具7a和第一 成形用模具5d之間設置擋板裝置13，只在實施真空成膜工序時連通 目標室7b和工件室5f，可將目標室7b側保持為真空狀態。其結果， 為了對第一成形體2進行真空成膜，在使第一成形模具5d與成膜用模 具7a合模、形成連通目標室7b和工件室5f雙方的狀態后，在將該兩 室7b、 5f形成真空狀態的工序(真空工序)中，將目標室7b保持為 真空狀態，因此，只在需要使工件室5f側形成真空時使真空泵P動作 即可，無需像現有的那樣對目標室7b和工件室5f雙方進行大氣壓— 真空—大氣壓的處理，可縮短制造時間(真空工序時間)，不僅可提高 操作性而且可降低成本。
而且，在本實施方式中，擋板裝置13形成利用第一、第二支撐板 19、 20作為基座，設置在兩板19、 20之間的擋板17進行開閉動作的 結構。并且，在擋板17的封閉姿勢的狀態下，在工件室5f側，可以 以按壓在抵接面積大的第二支撐板20的平板狀的下面的方式進行封 閉，因此，可提高目標室7b的密封性，可確保目標室7b的真空狀態。
12并且，在使擋板裝置13的擋板17從封閉姿勢向開放姿勢變化的 情況下，基于驅動驅動器14、使擋板本體部17a向左側變位，工件室 5f側的氣壓對擋板本體17a進行作用，該擋板本體17a向抵接面積大 的第二支撐板20側變位、將目標室7b密封成真空狀態，由此在向左 側變位的同時、基于引導傾斜面17c、 19g的引導可推到(變位到)第 一支撐板19側。其結果，擋板17既可在封閉的狀態下與第二支撐板 緊貼、確保高密封性，又可在開放擋板17的情況下向接觸面積小的第 一支撐板19變位，進行沿著該第一支撐板19的圓滑的開放動作，可 形成操作性好的擋板裝置13。
并且，在該結構中，在將第一成形用模具5d與設置了擋板裝置 13的成膜用模具7a合模的狀態下，開放擋板裝置13的擋板17，在第 一成形體2上進行成膜2a，然后，在第一成形用模具5d與成膜用模 具7a脫模之前的階段使擋板17形成封閉姿勢，因此，可將用擋板17 封閉的目標室7b側一直保持在真空狀態，在反復進行的每次成膜工序 中，無需將目標室7b和工件室5f雙方形成真空，可縮短制造時間、 提高操作性，也有助于降低成本。
本發明用于真空蒸鍍裝置或噴鍍裝置等的真空成膜裝置以及真空 成膜方法，由于在對第一成形體進行真空成膜時，在所合模的第一成 形模具和成膜用模具之間設置擋板裝置，因此，可提高目標室的密封 性，并且可切實保持目標室的真空狀態。而且，由于在使目標室和工 件室雙方形成連通的狀態后的真空工序中，可將目標室保持為真空狀 態，因此，只在需要使工件室側形成真空時使真空泵動作即可，即使 在反復進行成膜工序的情況下，也可縮短真空工序的時間、提高操作 性，而且還有助于降低成本。
權利要求
1.一種真空成膜裝置，將設置有用于進行真空成膜的目標的目標室側的第一模具與設置有工件的工件室側的第二模具合模，在該工件上進行成膜，其特征在于，在第一模具上設置用于開閉目標室的擋板裝置。
2. 如權利要求l所述的真空成膜裝置，其特征在于，擋板裝置具 有被支撐在第一模具的開口端的基座和開閉連通孔的開閉體，該連通 孔開設在該基座上、連通目標室和工件室。
3. 如權利要求2所述的真空成膜裝置，其特征在于，基座由被支 撐在第一模具側的第一支撐板和層疊狀地設置在該第一支撐板上的第 二支撐板構成，開閉體可自由移動地設置在該兩個支撐板之間。
4. 如權利要求3所述的真空成膜裝置，其特征在于，在開閉體和基座之間設置引導機構，該引導機構在開閉體向連通孔的封閉姿勢移動的過程中引導該開閉體向第二支撐板側變位，使開閉體以連通孔的 封閉姿勢與第二支撐板側密封狀地抵接，形成與第一支撐板的板面分離的狀態，保持目標室的真空狀態。
5. 如權利要求3或4所述的真空成膜裝置，其特征在于，開閉體 在從封閉姿勢向開放姿勢移動的過程中，受到密封狀地與第二支撐板 抵接的工件室的氣壓、向第一支撐板的板面側變位。
6. —種真空成膜方法，將設置有用于進行真空成膜的目標的目標 室側的第一模具與設置有工件的工件室側的第二模具合模后，連續地 進行在該工件上成膜的工序，其特征在于，使為了開閉目標室而設置 在第一模具上的擋板裝置在所述兩個模具從合模起到成膜為止期間形成開放姿勢，進行工件的真空成膜，在該真空成膜后，直到進行下一 個合模期間形成封閉姿勢，將目標室保持為真空狀態。
全文摘要
在將設置有工件的工件室側的第二模具與設置有用于進行真空成膜的目標的目標室側的第一模具進行合模，在上述工件上進行真空成膜的情況下，可縮短真空成膜工序所需的時間、降低成本，在設置了用于進行真空成膜的目標的目標室(7b)側的成膜用模具(7a)的開口端設置擋板裝置(13)，該擋板裝置(13)具有開設了連通孔(19a、20a)的第一、第二支撐板(19、20)，和設置在兩板(19、20)之間、對上述連通孔(19a、20a)進行開閉的擋板(17)，在上述合模后開放擋板(17)，在成模(2a)后，在脫模前的階段封閉擋板(17)。
文檔編號C23C14/50GK101263242SQ20068003324
公開日2008年9月10日 申請日期2006年9月11日 優先權日2005年9月16日
發明者北爪敦夫, 尾山總美, 梅澤隆男, 高野博史 申請人:株式會社大島電機制作所