專利名稱：鏡子的表面處理裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種鏡子的表面處理裝置，其在以依次經過包含加熱工序的多個處理工序的方式被搬運的托盤上，安裝有與所述鏡子背面接觸的多個支承部件，用于支承鏡子從所述托盤浮起，所述鏡子依次經過多個所述處理工序來被實施表面處理。
背景技術：
例如，在專利文獻1中公開了下述的表面處理裝置為了對CD或DVD等信息記錄用盤片的表面進行成膜處理，將放置有需要進行表面處理的盤片的托盤，由搬運裝置進行搬運，以使其依次經過多個處理工序。例如，在專利文獻2中公開了下述的表面處理裝置為了對被處理物的表面和背面在同一條件下進行處理，而在托盤上安裝支承部件，用于支承被處理物從托盤浮起。
專利文獻1日本特開2000-64042號公報專利文獻2日本特開2003-13223號公報另外，例如對車輛所使用的鏡子實施親水成膜處理時，也能夠使用由上述專利文獻1和專利文獻2所公開的處理裝置，但是，當多個處理工序包含加熱工序時，當支承鏡子從托盤浮起的支承部件的材質是傳熱性較高的材質時，在與鏡子背面相接觸的支承部件的接觸部上，可能產生鉻層的剝離，該鉻層是為了形成鏡子的反射面而在玻璃板背面蒸鍍的。并且，由于與鏡子背面相接觸的支承部件的接觸部的溫度局部升高，而在與支承部件相接觸的鏡子的接觸部上產生應力，則在鏡子上可能會產生裂紋。另外，當支承部件由硬質材料形成時，則在放置鏡子時其可能會對鏡子的背面造成損傷。
發明內容
本發明就是針對上述問題而提出的，目的在于提供一種鏡子的表面處理裝置，其能夠防止在加熱工序中鉻層從鏡子背面剝離，并且能夠防止在鏡子上產生損傷或裂紋。
為了實現上述目的，本發明之一的鏡子的表面處理裝置，其在以依次經過包含加熱工序的多個處理工序的方式被搬運的托盤上，安裝有與鏡子的背面接觸的多個支承部件，用于支承鏡子從所述托盤浮起，鏡子依次經過多個所述處理工序來被實施表面處理，其特征在于，所述支承部件分別由具有耐熱性、彈性和絕熱性的樹脂材料構成。
本發明之二在本發明之一的基礎上，特征在于，多個所述支承部件與所述鏡子的外周對應，并安裝在所述托盤上，在多個所述支承部件上形成有傾斜的支承面，該支承面抵接在所述鏡子的外周緣上，實現該鏡子的定位，并支承所述鏡子。
根據本發明之一，多個支承部件由具有耐熱性和絕熱性的樹脂材料構成，并安裝在托盤上，通過這種支承部件接觸在鏡子的背面，能夠支承鏡子從托盤浮起，所以在加熱工序中在支承部件上不產生變形，并且，能夠避免與鏡子背面相對的支承部件的接觸部和其周圍之間產生較大的溫度差，從而在加熱工序中能夠防止鉻層從鏡子背面剝離，并且能夠防止在與支承部件相對的鏡子的接觸部產生應力，從而能夠防止在鏡子上產生裂紋。并且由于支承部件具有彈性，所以在將鏡子放置在支承部件上時，很難對鏡子背面造成損傷。
另外，根據本發明之二，多個支承部件具有在托盤上使鏡子定位的功能，因此不需要專用的定位部件，能夠減少零件數量。
圖1是表面處理后的鏡子的縱剖面圖。
圖2是表面處理裝置的縱剖面圖，是沿圖3的2-2線的剖面圖。
圖3是沿圖2的3-3線的剖面圖。
圖4是在進行表面處理狀態下的對應于圖2的剖面圖。
圖5是放置了鏡子的狀態下的托盤的俯視圖。
圖6是沿圖5的6-6線的剖面圖。
圖7是第二實施例的對應于圖5的托盤的俯視圖。
圖8是沿圖7的8-8線的剖面圖。
標號說明11鏡子；24、24’托盤；40、42支承部件；42a支承面具體實施方式
下面，根據附圖所示的本發明的實施例，對本發明的實施方式進行說明。
圖1～圖6表示本發明的第一實施例，圖1是表面處理后的鏡子的縱剖面圖，圖2是表面處理裝置的縱剖面圖，是沿圖3的2-2線的剖面圖，圖3是沿圖2的3-3線的剖面圖，圖4是進行表面處理狀態時的對應于圖2的剖面圖，圖5是放置鏡子狀態時的托盤的俯視圖，圖6是沿圖5的6-6線的剖面圖。
首先，在圖1中，該鏡子11例如是作為車輛用車門反射鏡所使用的鏡子，在玻璃板12的背面通過蒸鍍形成鉻層13，在該鏡子11的表面即玻璃板12的表面上實施表面處理，從而按順序重疊有由SiO2形成的鈍化層14、由作為光催化材料的TiO2形成的二氧化鈦層15和由SiO2形成的二氧化硅層16。
所述鈍化層14，用于防止鈉離子從玻璃板12向TiO2擴散，形成為例如80nm～120nm的厚度。二氧化鈦層15起到分解SiO2的污垢的作用，形成為例如100nm～150nm的厚度。另外，二氧化硅層16對要長時間保持親水機能的二氧化鈦層15進行保護，形成為例如5nm～30nm的厚度。
表面處理裝置用于在鏡子11的表面上依次形成所述鈍化層14、二氧化鈦層15和二氧化硅層16，在圖2和圖3中，該表面處理裝置具有殼體18，其是內部形成為大致圓形的搬運室17的氣密容器，在該殼體18的周向空出等間隔的位置上，設定了搬入/搬出位置S1、加熱位置S2、鈍化層成形位置S3、二氧化鈦層成形位置S4以及二氧化硅層成形位置S5。
在與所述搬入/搬出位置S1對應的位置，且在殼體18的頂壁18a上，設有搬入/搬出口19，在殼體18的頂壁18a上可開閉地設置有能夠氣密地覆蓋該搬入/搬出口19的蓋20。并且，與加熱位置S2、鈍化層成形位置S3、二氧化鈦層成形位置S4以及二氧化硅層成形位置S5對應，且在殼體18的天井壁18a上，分別設有氣密室形成壁18b…，用于形成可通過設置于該天井壁18a的開口部21…與搬運室17連通的氣密室22…。
在與所述搬入/搬出位置S1對應的位置，且在殼體18的外側方，固定配置有搬運臺23，放置了鏡子11的托盤24通過托盤搬運裝置25在所述搬運臺23和所述搬入/搬出口19之間被進行搬運。并且，托盤搬運裝置25包括旋轉/升降軸26，其配置在搬運臺23和搬入/搬出口19之間的中央部；與旋轉/升降軸26連接的驅動機構27，其可進行使該旋轉/升降軸26上下升降的驅動，并且還可進行使該旋轉/升降軸26旋轉180度的驅動；臂部28，其沿著旋轉/升降軸26的一條直徑線并固定于該旋轉/升降軸26的頂端；設置于所述臂部28兩端的托盤保持機構29、29，其能夠切換把持所述托盤24和解除該把持。
根據這樣的托盤搬運裝置25，能夠將位于搬運臺23上的在裝載了鏡子11的狀態下的托盤24在蓋20敞開的狀態下帶到搬入/搬出口19，并且能夠將位于搬入/搬出口19的放置有表面處理結束后的鏡子11的托盤24在蓋20敞開的狀態下從搬入/搬出口19帶到搬運臺23。
另一方面，在殼體18的搬運室17內配置有搬運裝置30，其用于使放置了鏡子11的托盤24從上述搬入/搬出位置S1，經加熱位置S2、鈍化層成形位置S3、二氧化鈦層成形位置S4以及二氧化硅層成形位置S5，再次返回搬入/搬出位置S1。該搬運裝置30具有旋轉臺31；從該旋轉臺31的中央部向下方延伸且氣密地貫通殼體18的底部的旋轉軸32；以及與該旋轉軸32連接并支承于殼體18的底部外表面的電動機33，旋轉臺31由所述電動機33間歇性地旋轉驅動。
在旋轉臺31上設置多個保持孔34…，它們沿旋轉臺31的周方向空開與所述搬入/搬出位置S1、加熱位置S2、鈍化層成形位置S3、二氧化鈦層成形位置S4以及二氧化硅層成形位置S5彼此的間隔對應的間隔，在旋轉臺31上安裝有從各保持孔34…內突出的多個托盤保持爪35…。
另外，在搬入/搬出位置S1上配置有隔離板37，其由安裝于殼體18的底部外表面的氣缸(cylinder)36驅動升降。如圖4所示，該隔離板37能夠將位于搬入/搬出位置S1的由托盤保持爪35保持的托盤24，從該托盤保持爪35抬起并帶到搬入/搬出口19，并且，能夠從下方氣密地堵住搬入/搬出口19。
另外，在加熱位置S2、鈍化層成形位置S3、二氧化鈦層成形位置S4以及二氧化硅層成形位置S5上分別配置有升降桿39，它們由安裝于殼體18底部外表面的氣缸38驅動升降。如圖4所示，這些升降桿39…能夠使由托盤保持爪35保持的托盤24從旋轉臺31抬起并上升到從下方氣密地堵住各開口部21…的位置，在該狀態下，托盤24上的鏡子11就被配置在氣密室22內。
于是，在加熱位置S2實施加熱工序，放入氣密室22中的鏡子11被加熱到例如大于等于150℃。在鈍化層成形位置S3實施鈍化層成形工序，在放入氣密室22的鏡子11上通過濺射(spatter)形成鈍化層14。并且，在二氧化鈦層成形位置S4實施二氧化鈦層成形工序，在放入氣密室22的鏡子11上通過濺射形成二氧化鈦層15。進而，在二氧化硅層成形位置S5實施二氧化硅層成形工序，在放入氣密室22的鏡子11上通過濺射形成二氧化硅層16。
在圖5和圖6中，依次經過了包含加熱工序的多個處理工序，即加熱工序、鈍化層成形工序、二氧化鈦層成形工序以及二氧化硅層成形工序，從而鏡子11被實施表面處理，在放置了該鏡子11的托盤24上安裝多個支承部件40…，這些支承部件40…與該鏡子11的背面接觸，用于支承并使鏡子11從托盤24浮起，這些支承部件40…優選由樹脂材料形成，該樹脂材料具有耐熱性和絕熱性并且具有不會對鏡子11的背面造成損傷的彈性。
作為所述樹脂材料，優選使用例如可塑性聚酰亞胺樹脂材料，其中杜邦公司制造的VESPEL(注冊商標)(全芳香族聚酰亞胺樹脂)非常適用。并且，上述VESPEL具有如下特性。
使用溫度(耐熱溫度)300～400℃表面硬度(洛氏硬度)45～48壓縮彈性率2413MPa熱傳導率0.35W/m℃上述各支承部件40…，在上端具有為了與形成為曲面的鏡子11的背面接觸而彎曲的支承面40a…，并由合成樹脂形成為銷狀，在各支承部件40…上從其下表面突出地一體設置有嵌合軸部40b…，通過將該嵌合軸部40b…與托盤24嵌合，而將各支承部件40…安裝在托盤24上。
另外，在托盤24上，與所述各支承部件40…同樣地通過與托盤24的嵌合而安裝了多個定位部件41…，它們可抵接在鏡子11外周的多處，來實現鏡子11在托盤24上的定位。并且，考慮到鏡子11的熱變形，在非加熱狀態下在各定位部件41…與鏡子11的周緣部之間產生微小間隙的位置，它們被安裝在托盤24上。所述定位部件41…由例如鋁合金制成，但是考慮到在加熱工序中一部分定位部件41…與鏡子11接觸的情況，也可以使用與所述各支承部件40…同樣地具有彈性的絕熱樹脂材料來形成定位部件41…。
下面對該第一實施例的作用進行說明，由具有耐熱性和絕熱性的樹脂材料制成的多個支承部件40…，安裝在托盤24上，并與鏡子11的背面接觸，鏡子11在托盤24浮起的狀態下被這些支承部件40…支承，因此，在加熱工序中，不會在支承部件40…上產生變形，并且能夠防止與鏡子11背面相接觸的支承部件40…的接觸部和其周圍之間產生較大的溫度差，從而在加熱工序中能夠防止鉻層13從鏡子11的背面脫落，并且能夠防止在鏡子11的與支承部件40…接觸的接觸部上產生應力，從而防止在鏡子11上產生裂紋。
另外，由于支承部件40…具有彈性，所以在將鏡子11放置在支承部件40…上時，很難對鏡子11的背面造成損傷。
圖7和圖8表示本發明的第二實施例，圖7是對應于圖5的托盤的俯視圖，圖8是圖7的8-8線剖面圖。
在放置鏡子11的托盤24’上安裝有由具有耐熱性、彈性和絕熱性的樹脂材料制成的多個支承部件42…，這些支承部件42…與該鏡子11的背面接觸，以支承并使鏡子11從托盤24’浮起，這些支承部件42…與鏡子11的外周對應，并安裝在托盤24’上。
支承部件42形成為銷狀并具有傾斜的支承面42a，支承面42a抵接在鏡子11的外周緣上，來實現該鏡子11的定位，并且支承鏡子11，通過將在各支承部件42…上的從其下表面突出地一體設置的嵌合軸部42b…嵌合在托盤24’上，從而安裝在托盤24’上。
根據該第二實施例，由于多個支承部件42…具有彈性，所以在將鏡子11放置在支承部件42…上時，很難對鏡子11的背面造成損傷，并且各支承部件42…具有在托盤24’上對鏡子11定位的功能，因此不需要專用的定位部件，能夠減少零件數量。
而且，由于支承部件42…具有耐熱性和絕熱性，因此在加熱工序中支承部件42…不會變形，并且能夠防止在與鏡子11背面相對應的支承部件42…的接觸部及其周圍之間產生較大的溫度差，從而在加熱工序中防止鉻層13從鏡子11的背面脫落，并且使與鏡子11相對應的支承部件42…的接觸部不產生應力，從而防止在鏡子11上產生裂紋。
以上對本發明的實施例進行了說明，但是本發明不限于上述實施例，在不脫離權利要求的范圍所述的本發明可進行各種設計變更。
權利要求
1.一種鏡子的表面處理裝置，其在以依次經過包含加熱工序的多個處理工序的方式被搬運的托盤(24、24’)上，安裝有與鏡子(11)的背面接觸的多個支承部件(40、42)，用于支承所述鏡子(11)從所述托盤(24、24’)浮起，所述鏡子(11)依次經過多個所述處理工序來被實施表面處理，其特征在于，所述支承部件(40、42)分別由具有耐熱性、彈性和絕熱性的樹脂材料構成。
2.如權利要求1所述的鏡子的表面處理裝置，其特征在于，多個所述支承部件(42)與所述鏡子(11)的外周對應，并安裝在所述托盤(24’)上，在這些所述支承部件(42)上形成有傾斜的支承面(42a)，該支承面(42a)抵接在所述鏡子(11)的外周緣上，實現該鏡子(11)的定位，并支承所述鏡子(11)。
全文摘要
本發明提供一種鏡子的表面處理裝置，其在依次經過包含加熱工序的多個處理工序而被搬運的托盤上，安裝有與鏡子的背面接觸的多個支承部件，用于支承所述鏡子從所述托盤浮起，所述鏡子依次經過多個所述處理工序來被實施表面處理。該鏡子的表面處理裝置能夠防止在加熱工序中鉻層從鏡子背面剝離，并且能夠防止在鏡子上產生損傷或裂紋。所述支承部件(40)分別由具有耐熱性、彈性和絕熱性的樹脂材料構成。
文檔編號C23C14/24GK1884612SQ20061009304
公開日2006年12月27日 申請日期2006年6月19日 優先權日2005年6月24日
發明者清文博, 二見計行, 渡邊裕一 申請人:本田制鎖有限公司