專利名稱：一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種靶極系統，特別涉及一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統。
背景技術：
各類表面金屬鍍膜產品及柔性帶狀物金屬產品在現代工業當中用途廣泛，例如利用泡沫鎳、鍍鎳鋼帶制作高性能的蓄電池的電極板，由于泡沫鎳本身為多孔狀，形成的表面積大，所以可以與蓄電池液充分接觸，從而使得蓄電池的性能大大提高。再如包裝用鋁箔紙、屏蔽用鍍膜布，均在日常生活和電子電工等方面有著廣泛的應用。還有平板玻璃、塑料裝飾件以及一些工具的表面處理。如此等等，都是采用的真空鍍膜工藝，靶極系統則是其關鍵部件，必不可少。各類表面金屬鍍膜產品及柔性帶狀物金屬產品在鍍膜生產當中，最關鍵的步驟是使柔性帶狀物表面的均勻牢固成膜，而在各類鍍膜設備中，要求具有鍍膜溫度低、效率高、成本低等特點。這些鍍膜設備，采用的均是平板固定式靶極，靶材利用率一般在10％左右。
發明內容本發明為了彌補現有技術的不足，提供了一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統，適合于鍍制各類表面金屬膜產品及柔性帶狀物金屬產品，并且具有鍍膜溫度低、生產效率高，生產成本低廉等特點。
本發明是通過如下技術方案實現的一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統，包括固定軸、與固定軸連接的導磁芯軸，固定軸外為密封室、固定架，固定架的一側固定有靶極門及防護罩，其特殊之處在于所述固定軸上固定有傳動鏈輪，傳動鏈輪依次連接轉動軸、靶極連接法蘭、靶材連接法蘭及靶材。
本發明的表面金屬鍍膜設備用靶極系統，所述固定軸的頂端中心位置開有進水口，進水口經固定軸和芯軸中心孔到靶材尾端，再從芯軸表面經固定軸外水套到出水口，形成一循環通道。
所述固定軸、轉動軸套、導磁芯軸、磁鐵、管狀靶材與防護罩、絕緣部件和傳動部件的一體化設計，使該設備具備了優越的實用性。，靶極系統具有完整的冷卻系統，保證了靶極系統在工作過程中具有良好的冷卻效果。
本發明用旋轉式組合靶極替代現有的平板固定式靶極，在鍍膜生產過程中電機帶動鏈輪經轉動軸、靶極連接法蘭、靶材連接法蘭使靶材繞芯軸轉動，達到靶材表面均勻濺射之目的。
本發明由于靶材產生旋轉，表面均勻濺射，徹底改變了平板固定式靶極靶材表面局部環狀濺射，靶材利用率極低的狀況。利用率由原來的10％提高到60％以上。組成了一整套可旋轉的真空鍍膜靶極，不僅提高了靶材利用率，而且提高了設備效率，延長了設備維護周期，降低了鍍膜成本。
下面結合附圖對本發明作進一步的說明。
附圖為本發明的結構示意圖。
圖中，1固定架，2固定軸，3傳動鏈輪，4密封室，5靶極門，6防護罩，7轉動軸，8靶極連接法蘭，9靶材連接法蘭，10靶材，11芯軸，12進水口，13出水口。
具體實施方式
附圖為本發明的一種具體實施例。該實施例包括固定軸2、與固定軸2連接的導磁芯軸11，固定軸2外為密封室4、固定架1，固定架1的一側固定有靶極門5及防護罩6，其特征在于所述固定軸2上固定有傳動鏈輪3，傳動鏈輪3依次連接轉動軸7、靶極連接法蘭8、靶材連接法蘭9及靶材10。在鍍膜生產過程中電機帶動傳動鏈輪3經轉動軸7、靶極連接法蘭8、靶材連接法蘭9使靶材10繞芯軸11轉動，由上述部件的緊密組合實現了靶材10的旋轉，達到了表面均勻濺射，提高了靶材10的利用率。
本發明為了保證靶極的正常運轉，采用了內置式冷卻系統。冷卻水從進水口12進入，經固定軸2和芯軸11中心孔到靶材10尾端，再從芯軸11表面經固定軸2外水套到出水口13，形成循環。
權利要求
1.一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統，包括固定軸(2)、與固定軸(2)連接的導磁芯軸(11)，固定軸(2)外為密封室(4)、固定架(1)，固定架(1)的一側固定有靶極門(5)及防護罩(6)，其特征在于所述固定軸(2)上固定有傳動鏈輪(3)，傳動鏈輪(3)依次連接轉動軸(7)、靶極連接法蘭(8)、靶材連接法蘭(9)及靶材(10)。
2.根據權利要求1所述的表面金屬鍍膜設備用靶極系統，其特征在于所述固定軸(2)的頂端中心位置開有進水口(12)，進水口(12)經固定軸(2)和芯軸(11)中心孔到靶材(10)尾端，再從芯軸(11)表面經固定軸(2)外水套到出水口(13)，形成一循環通道。
全文摘要
本發明公開了一種靶極系統，特別公開了一種表面金屬鍍膜設備用靶極系統。該表面金屬鍍膜設備用靶極系統，包括固定軸、與固定軸連接的導磁芯軸，固定軸外為密封室、固定架，固定架的一側固定有靶極門及防護罩，其特殊之處在于所述固定軸上固定有傳動鏈輪，傳動鏈輪依次連接轉動軸、靶極連接法蘭、靶材連接法蘭及靶材。本發明由于靶材產生旋轉，表面均勻濺射，利用率由原來的10％提高到60％以上。組成了一整套可旋轉的真空鍍膜靶極，不僅提高了靶材利用率，而且提高了設備效率，延長了設備維護周期，降低了鍍膜成本。
文檔編號C23C14/54GK1865488SQ200610044770
公開日2006年11月22日 申請日期2006年6月14日 優先權日2006年6月14日
發明者畢研文, 王乃用, 宋小斌, 張強, 江衍勤 申請人:菏澤天宇科技開發有限責任公司