專利名稱：拋光液供給控制裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種拋光設備的拋光液供給控制裝置，特別涉及透明導電玻璃基板的拋光設備的拋光液供給控制裝置，以及對使用此拋光液供給控制裝置的透明導電玻璃基板上透明導電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。
背景技術：
在玻璃基板上形成的通明導電膜通常用作LCD、PDP、OLED等平板顯示器的陽極。而通明導電膜中多使用透過率高、電阻低的材料，此類材料中，普遍采用的是氧化銦(In2O3)中添加了錫(Sn)的氧化銦錫(Indium Tin Oxide簡稱為ITO)。根據不同顯示器件的要求，有的需要在鍍ITO之前對玻璃基板進行拋光，有的對鍍ITO后的膜面進行拋光，后者有別于前者前者拋光對象是基板玻璃，要求提高玻璃的平整度，拋磨量要幾十到幾百納米；而后者拋光對象是ITO膜層，不能拋掉太多，目的是為了降低膜層的粗糙度，拋磨量僅為幾個到幾十個納米。前者在拋光液的供給上并不是特別嚴格；而后者在拋光過程中，對拋光粉的粒徑，拋光液的濃度、溫度、流量應有嚴格的控制，微小的差別可能造成大的差異，難以控制量產所需的均勻性和重復性，有必要選擇一定的拋光液供給裝置。
當前的拋光機雖然本身附有拋光液供給裝置，也可對流量進行一定的控制，但僅能做到定性控制，很難做到定量控制，更難對整個拋光工藝進行監控，無法滿足軟拋光重復性和均勻性的要求，無法滿足量產的需求。
發明內容
本實用新型的目的在于提供一種能夠精確地控制非循環使用的拋光液流量的拋光液供給控制裝置。
為達到上述目的本實用新型采用如下技術方案拋光液供給控制裝置，其在攪拌器上設置容器，容器經供液管與流量泵相連接，所述流量泵為設有流量控制功能的流量控制泵。
本實用新型所述流量控制泵為蠕動泵。
本實用新型所述攪拌器為磁力攪拌器。
本實用新型與現有技術相比，能在滿足拋光質量的前提下，為最大限度地降低拋光液的消耗提供了可靠的控制條件，降低拋光成本。用一次性使用的拋光液拋透明導電玻璃上的透明導電膜，將所述導電膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。
如圖1所示，本實用新型的拋光液供給控制裝置，由磁力攪拌器1、流量控制泵2、容器3和供液管4構成，磁力攪拌器1上設置有容器3，容器3經供液管4與流量泵2相連接，該流量泵2為設有流量控制機構的流量控制泵。在本實施例中，容器3為塑料桶，供液管4為橡皮管，流量控制泵為蠕動泵。
本實用新型的磁力攪拌器1外殼底部設有一排兩個開關，右開關為電源開關6，左為磁旋子轉動開關7；磁力攪拌器1外殼中間設置有一排轉動按鈕，左邊按鈕為磁轉子轉速調節按鈕9，右邊按鈕為拋光液加熱時溫度調節按鈕10；兩按鈕中間設有一溫度指示刻度盤11，可加熱至70℃。
本實用新型在蠕動泵泵蓋上設置有壓力控制桿12(豎直部分)，并在壓力控制桿12內設置彈簧，所述供液管4夾設于壓力控制桿12和彈簧中間，通過轉動壓力控制桿12上的旋鈕，可以調節對壓在壓力控制桿下面的橡皮管4的壓力，配合壓力控制桿12右邊的三個流量控制按鈕13，可以在01至99毫升/分鐘之間任意調節橡皮管內的流量，從而可以對拋光液供給量進行定量控制。
本實用新型與拋光機配合使用，很好的完成了對拋光過程的拋光液定量供給及實時監控。
本實用新型的磁力攪拌器1由交流電源直接供電，轉速可調，能夠保證拋光粉拋光液的充分混合，同時還可對其進行最高溫度至70℃的加熱，滿足拋光過程中對不同拋光工藝的拋光液的溫度要求。
權利要求1.一種拋光液供給控制裝置，其在攪拌器(1)上設置容器(3)，容器(3)經供液管(4)與流量泵(2)相連接，其特征在于所述流量泵(2)為設有流量控制功能的流量控制泵。
2.根據權利要求1所述的拋光液供給控制裝置，其特征在于所述流量控制泵為蠕動泵。
3.根據權利要求1所述的拋光液供給控制裝置，其特征在于所述攪拌器為磁力攪拌器。
專利摘要本實用新型涉及一種拋光設備的拋光液供給控制裝置，特別涉及透明導電玻璃基板的拋光設備的拋光液供給控制裝置，以及對使用此拋光液供給控制裝置的透明導電玻璃基板上透明導電膜的拋光過程拋光液流量供給的控制。本實用新型的拋光液供給控制裝置，其在攪拌器上設置容器，容器經供液管與流量泵相連接，所述流量泵為設有流量控制功能的流量控制泵，流量控制泵為蠕動泵。本實用新型所述攪拌器為磁力攪拌器。本實用新型與現有技術相比，能在滿足拋光質量的前提下，為最大限度地降低拋光液的消耗提供了可靠的控制條件，降低拋光成本。用一次性使用的拋光液拋透明導電玻璃上的透明導電膜，將所述導電膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。
文檔編號B24B57/02GK2756388SQ20042009455
公開日2006年2月8日 申請日期2004年10月29日 優先權日2004年10月29日
發明者金弼 申請人:深圳南玻顯示器件科技有限公司