專利名稱：旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型是有關于一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，特別是有關于旋轉蝕刻(Spin Etching)機臺所產生的化學藥液的回收與再生裝置。
目前國內及國際上對于環保方面的要求標準日益提高，而對于工業界生產制程所產生的廢棄物的處理也日益的嚴苛，因而如何進行化學藥液的回收與再生，也是目前降低污染一個重要的努力方向。
針對上述現有技術中，所述的化學廢液的高處理成本及日益嚴苛的環保要求。本發明人創造出針對旋轉蝕刻機臺所產生的化學廢液進行回收與再生的裝置。
本實用新型的主要目的是提供一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其針對旋轉蝕刻制程中所使用的化學藥液進行回收與再生的裝置。通過使用一種在旋轉蝕刻機臺上回收化學藥液的裝置，其包合晶圓夾盤用來夾緊反應室中的晶圓，并通過離心力將其上的化學藥液甩出晶圓夾盤；化學藥液回收盤用來回收旋轉蝕刻機制程中使用的化學藥液或廢水，在不需改變既有的制程反應室外圍尺寸的情況下，以修改原設計中的相關結構及組件，達到旋轉蝕刻機用的化學液回收的目的。
本實用新型的目的是這樣實現的一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是它包括固定及旋轉一晶圓的晶圓夾盤；化學藥液回收環位于該晶圓夾盤的下方；控制該化學藥液回收環向上或向下移動的伸縮管位移控制裝置與該化學藥液回收環連接；化學藥液回收盤與該伸縮管位移控制裝置相連接，具有兩個環狀凹槽及兩個排出口排出及回收該第一及第二化學藥液。
該伸縮管位移控制裝置更包含一鐵氟龍結構的氣壓驅動的組合式伸縮管。該化學藥液回收盤為鐵氟龍結構。該第一化學藥液為做為蝕刻后的清洗用的去離子水。該第二化學藥液為做為該晶圓蝕刻用的氫氟酸。包括再生或過濾裝置直接連接該旋轉蝕刻機臺上回收化學藥液的裝置。包括鐵氟龍結構的銷子由上而下固定該化學藥液回收環及該伸縮管位移控制裝置。
另一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是它包括固定及旋轉一晶圓的晶圓夾盤；多個分開該晶圓夾盤上甩出的化學藥液的化學藥液回收環位于該晶圓夾盤的下方；移動控制裝置與該多個化學藥液回收環連接；具有多個環狀凹槽及排出口的化學藥液回收盤與該控制裝置相連接。
該移動控制裝置更包含一鐵氟龍結構的由氣壓驅動的組合式伸縮管。該移動控制裝置更包含一油壓控制機構。化學藥液回收盤為鐵氟龍結構。該化學藥液為做為晶圓蝕刻用的氫氟酸，或做為蝕刻后的清洗用的無離子水。更包含一過濾裝置與濃度感應裝置直接連接該旋轉蝕刻機臺上回收化學藥液的裝置。更包含一鐵氟龍結構的銷子由上而下固定該化學藥液回收環及該位移控制裝置。
下面結合較佳實施例和附圖進一步說明。
參閱
圖1所示，本實用新型的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，包括晶圓夾盤102為一可旋轉的夾持裝置，當進行旋轉蝕刻及清洗的時候，可以用不同的轉速旋轉；而化學藥液回收環104為一可上下移動的液體分類裝置，當其向上移動至上死點的位置的時候，此時晶圓夾盤102處于轉動的狀態，從晶圓夾盤102所流下并被甩出的去離子水及因進行制程參數確認時慢速旋轉時所流出的化學藥液，由化學藥液回收環104的內側流入化學藥液回收盤114中的內環凹槽118，并由第二排放管108進行排放。
一般而言，本實用新型的旋轉蝕刻機用的化學液回收與再生裝置的化學藥液回收盤114的最內側為排放用途，一般較低污染的液體及較少量的化學藥液而無法再生使用由此加以排放。
當化學藥液回收環104向下移動至下死點的攸置的時候，此時晶圓夾盤102處于高速轉動的狀態，從晶圓夾盤IO2由離心力(Eccentric force)被甩出的化學藥液，飛過化學藥液回收環104的上方，碰到化學藥液回收盤上蓋112而流入化學藥液回收盤114中的外環凹槽117，并由第一排放管106進行回收。外殼110為本實用新型的旋轉蝕刻機用的化學液回收再生裝置的防塵及保護之用圖2所示為本實用新型的旋轉蝕刻機用的化學液回收再生裝置的局部放大剖面示意圖，用來更清楚的說明此裝置的操作方式。當化學藥液回收環104的位置在上死點的時候，化學藥液由晶圓夾盤102順著排液口116被甩至化學藥液回收環104的內側，順著化學藥液回收盤114的內環凹槽118流人第二排放管108中。
當化學藥液回收環104的位置在下死點的時候，化學藥液由晶圓夾盤102順著排液口116飛過化學藥液回收環104，被甩至化學藥液回收盤上蓋112的內側，順著化學藥液回收盤114的外環凹槽117流入第一排放管106中。
其中化學藥液回收環104是由伸縮管120來控制移動的方向，當伸縮管120進氣時，因體積膨脹而使化學藥液回收環104向上移動，當伸縮管120抽氣時，因體積收縮而使化學藥液回收環104向下移動。而伸縮管120被固定于回收盤114下方的固定座之上，為回收盤114的一部分并不隨著移動，另一邊則與化學藥液回收環104相連接，且隨著伸縮管120膨脹及收縮而上下移動。
由于是組合式伸縮方式，當長期動作導致破損時，僅需更換該鐵氟龍制的組合式伸縮管120，以節省成本及時間。而組合式的伸縮管120，也可以使用機械式的機構或油壓式的驅動機構來取代，并不脫離本實用新型的精神與范圍。而化學藥液回收環104、伸縮管120及化學藥液回收盤114更可以依實際的制程需要，并不限定其使用的數量及所回收的液體的種類。在第一排放管106及第二排放管108的后面，也可以直接連接過濾器、濃度感知器或其它的設備，以進行化學藥液的再生與過濾。同時，熟知此項技術的人由本實用新型上述的最佳實施例亦可使用多個化學藥液回收環來回收多種不同的化學藥液。其中更包含鐵氟龍結構的銷子由上而下固定化學藥液回收環及位移控制裝置，可避免化學藥液腐蝕位移控制裝置。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，凡其它未脫離本實用新型所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是它包括固定及旋轉晶圓的晶圓夾盤；化學藥液回收環位于該晶圓夾盤的下方；控制該化學藥液回收環向上或向下移動的伸縮管位移控制裝置與該化學藥液回收環連接；化學藥液回收盤與該伸縮管位移控制裝置相連接，具有回收第一化學藥液及第二化學藥液的兩個環狀凹槽及兩個排出口。
2.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該伸縮管位移控制裝置更包含一鐵氟龍結構的氣壓驅動的組合式伸縮管。
3.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該化學藥液回收盤為鐵氟龍結構。
4.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該第一化學藥液為做為蝕刻后的清洗用的無離子水。
5.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該第二化學藥液為做為該晶圓蝕刻用的氫氟酸。
6.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是還包括回收該化學藥液的再生或過濾裝置連接于該旋轉蝕刻機臺上。
7.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是包括鐵氟龍結構的銷子由上而下固定該化學藥液回收環及該伸縮管位移控制裝置。
8.一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是它包括固定及旋轉晶圓的晶圓夾盤；多個分開該晶圓夾盤上甩出的化學藥液的化學藥液回收環位于該晶圓夾盤的下方；移動控制裝置與該多個化學藥液回收環連接；具有多個環狀凹槽及排出口的化學藥液回收盤與該控制裝置相連接。
9.根據權利要求8所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該移動控制裝置更包含一鐵氟龍結構的氣壓驅動的組合式伸縮管。
10.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該移動控制裝置更包含一油壓控制機構。
11.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該化學藥液回收盤為鐵氟龍結構。
12.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是該化學藥液為做為晶圓蝕刻用的氫氟酸，或做為蝕刻后的清洗用的無離子水。
13.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是更包含一過濾裝置與濃度感應裝置直接連接該旋轉蝕刻機臺上回收化學藥液的裝置。
14.根據權利要求1所述的旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置，其特征是更包含一鐵氟龍結構的銷子由上而下固定該化學藥液回收環及該位移控制裝置。
專利摘要一種旋轉蝕刻機用的化學液回收的再生裝置,主要是利用旋轉所產生的離心力將化學藥液甩出晶圓夾盤,而以化學藥液回收環,區分不同的化學藥液以進行回收。用于多種旋轉蝕刻化學藥液的回收,依需求分類并流入指定的管路中,進行后續的再生或排放,無需改變原有旋轉蝕刻機的制程反應室的外觀尺寸下,即可進行化學藥液的回收。
文檔編號C23F1/46GK2506655SQ0126747
公開日2002年8月21日 申請日期2001年10月11日 優先權日2001年10月11日
發明者江源遠, 黃福慶, 王家康, 彼德曼尼克 申請人:財團法人工業技術研究院