濺射旋轉靶材矯直裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及旋轉靶材管靶的直線度整形校正設備裝置，屬于濺射靶材新材料領域的輔助技術，尤其是濺射旋轉靶材矯直裝置。
【背景技術】
[0002]隨著技術的進步，靶材的設計逐漸由平面靶材向旋轉靶材過渡，因為旋轉靶材的材料利用率可以達到80%，而一般平面靶材利用率只能達到30% ;對于旋轉濺射靶材，由于在濺射使用過程中，管內裝有磁鋼，對內徑的直線度要求很高，一般要求直線度<0.5mm。目前市場上生產和使用的金屬旋轉靶材材料強度較差，管材容易彎曲變形，無法直接作為靶材使用，還需要內襯不銹鋼管或鈦管作為支撐。這些金屬管靶在澆鑄、噴涂、擠壓或加工過程中，難免會產生彎曲變形，直線度達不到使用要求。
[0003]關于濺射靶材的檢測技術文獻公開較少，如:中國專利申請201120367953.3公開了一種合金靶材的矯直裝置，包括下模座及平行于下模座的上模架，下模座上設有引導上模架上下運動的導柱，下模座上還設有可彼此貼合的側護板和推板，側護板固定安裝于下模座上，推板的一側設有可推動推板平行運動的側液壓缸。此合金靶材的矯直裝置可將需加工的靶材置于推板與側護板間，并通過側液壓缸推動推板平行運動對置于推板與側護板間的靶材進行壓制，同時其上方的上模架可沿導柱向下運動對靶材的上下兩側進行壓制，經過此組合模具壓制后的靶材。
[0004]實現該類技術的裝置較為復雜，但是控制提高直線度效果有限。尚未有專用的方法或設備可供采用，使得在現有技術中相關工作僅能借助人工目測或借助測量工具完成。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種濺射旋轉靶材矯直裝置，種可有效提高旋轉靶材管靶直線度精度的矯直裝置，解決管內徑直線度的精確矯直。
[0006]本實用新型的目的將通過以下技術措施來實現:包括機架、底輥、頂壓輥和壓力臂；機架內下部水平安裝二個相互平行的底輥，在機架內上部通過壓力臂安裝頂壓輥，頂壓輥安裝在二個底輥中部的上方。
[0007]尤其是，機架上安裝數控器。
[0008]尤其是，機架上安裝桁架，桁架上水平安裝芯軸，芯軸外套裝內頂輪。
[0009]尤其是，二個底輥為剛性轉輥外徑相同，而且，該二個底輥的軸間距大于其外徑和的1.5倍。
[0010]尤其是，壓力臂上連接氣動或彈簧裝置。
[0011]本實用新型的優點和效果:通過內置結構設計，使得檢測時能夠方便的置入管靶中，依靠紅外測距精細分析管靶內壁的起伏測量直線度，裝置已與制作生產，檢測過程簡明扼要，操作簡便易行，其加工余量可比傳統工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度，縮短檢測周期，效率顯著提升，檢測精確，也便于自動化設計和改造。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型實施例1結構示意圖。
[0013]附圖標記包括:機架1、數控器2、底輥3、頂壓輥4、壓力臂5、管靶6、桁架7、芯軸8、內頂輪9。
【具體實施方式】
[0014]本實用新型原理在于，對于管靶局部變形，雖然施加壓力可以進行一定校正，但是，如果不進行輔助的受力配合或平衡，則會造成其他部位或結構的變形，所以，矯直功能結構應包括相互配合的工裝夾具，以及保護結構。
[0015]本實用新型包括:機架1、底輥3、頂壓輥4和壓力臂5。
[0016]下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0017]實施例1:如附圖1所示，機架I內下部水平安裝二個相互平行的底輥3，在機架I內上部通過壓力臂5安裝頂壓輥4，頂壓輥4安裝在二個底輥3中部的上方。
[0018]前述中，機架I上安裝數控器2。
[0019]前述中，機架I上安裝桁架7，桁架7上水平安裝芯軸8，芯軸8外套裝內頂輪9。內頂輪9從內側頂撐管靶6內壁。
[0020]前述中，二個底輥3為剛性轉輥外徑相同，而且，該二個底輥3的軸間距大于其外徑和的1.5倍。另外，該二個底輥3的軸間距小于管靶6外徑。
[0021]前述中，壓力臂5上連接氣動或彈簧裝置。
[0022]前述中，內頂輪9為鐵氟龍結構而且外覆聚氨酯。
[0023]本實用新型實施例工作時，把管靶6順底輥3軸向安置于二個底輥3之間的夾縫上方，在其內部置入內頂輪9做支撐，從其上方向下移動頂壓輥4，通過數控器2啟閉操控壓力臂5下移，頂壓輥4下頂的同時，二個底輥3向上提供剛性支承，而且內頂輪9從內向外做支撐防止管靶6管壁下陷變形過度，在頂壓的同時，還可以傳動或移動輔助機構，對管靶6施加水平移動或轉動，使之在動態中連續快速矯直。
[0024]本實用新型創造并不局限于上述實施方式，熟悉本領域的技術人員在不違背本實用新型精神的前提下還可作出等同變形或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。
【主權項】
1.濺射旋轉靶材矯直裝置，包括機架(I)、底輥(3)、頂壓輥(4)和壓力臂(5);其特征在于，機架(I)內下部水平安裝二個相互平行的底輥(3)，在機架(I)內上部通過壓力臂(5)安裝頂壓輥(4)，頂壓輥(4)安裝在二個底輥(3)中部的上方。2.如權利要求1所述的濺射旋轉靶材矯直裝置，其特征在于，機架(I)上安裝數控器⑵。3.如權利要求1所述的濺射旋轉靶材矯直裝置，其特征在于，機架(I)上安裝桁架(7)，桁架(7)上水平安裝芯軸(8)，芯軸(8)外套裝內頂輪(9)。4.如權利要求1所述的濺射旋轉靶材矯直裝置，其特征在于，二個底輥(3)為剛性轉輥外徑相同，而且，該二個底輥(3)的軸間距大于其外徑和的1.5倍。5.如權利要求1所述的濺射旋轉靶材矯直裝置，其特征在于，壓力臂(5)上連接氣動或彈簧裝置。
【專利摘要】濺射旋轉靶材矯直裝置,機架(1)內下部水平安裝二個相互平行的底輥(3)，在機架(1)內上部通過壓力臂(5)安裝頂壓輥(4)，頂壓輥(4)安裝在二個底輥(3)中部的上方。通過內置結構設計，使得檢測時能夠方便的置入管靶中，依靠紅外測距精細分析管靶內壁的起伏測量直線度，裝置已與制作生產，檢測過程簡明扼要，操作簡便易行，其加工余量可比傳統工藝大大減少，從而有效提高靶材成材的尺寸精度，縮短檢測周期，效率顯著提升，檢測精確，也便于自動化設計和改造。
【IPC分類】B21D3/14
【公開號】CN204620744
【申請號】CN201520298286
【發明人】曹興民, 沈斌
【申請人】基邁克材料科技（蘇州）有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年5月11日