一種激光加工系統及多路激光加工裝置制造方法
【專利摘要】本發明適用于激光加工【技術領域】，提供了一種激光加工系統及多路激光加工裝置，包括激光器和用于傳導激光的光纖，還包括沿著激光的傳輸方向依次設置的準直模塊和聚焦模塊，準直模塊包括第一透鏡，聚焦模塊包括第二透鏡和第三透鏡，第一透鏡為平凸型或雙凸型正透鏡，第二透鏡為平凸型或雙凸型正透鏡，第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡；聚焦模塊形成的聚焦光斑遠小于衍射極限。本發明具有較傳統切割頭更精細的光斑以及更高的加工效率，精細光斑增加了聚焦點的能量，有利于提高切割速度和切割質量。多路激光加工裝置中，每路激光加工光路均能實現相同的聚焦效果，一路入射多路出射，提高了激光器的使用率以及加工效率。
【專利說明】
一種激光加工系統及多路激光加工裝置
【技術領域】
[0001]本發明屬于激光【技術領域】，尤其涉及一種激光加工系統及多路激光加工裝置。
【背景技術】
[0002]激光切割是利用激光束聚焦形成的高功率密度光斑在極短的時間內將材料加熱到幾千甚至上萬攝氏度，使材料瞬間熔化或汽化，蒸發形成小孔洞后，再使光束與材料相對移動，從而獲得窄的連續切縫。連續激光可用于各種材料高效率的切割，紅外脈沖激光主要用于金屬材料的精密切割，紫外脈沖激光主要用于薄板金屬或非金屬材料的精密切割。激光切割有以下特點:1)無接觸，無工具磨損，切縫窄，熱影響區小，切邊潔凈，切口平行度好，加工精度高，光潔度高；2)切割速度高，易于數控和計算機控制，自動化程度高，并能切割盲槽或多工位操作；3)噪聲低，無公害。激光切割可分為汽化切割(>107W.cm-2)、熔化切割(>104W和氧化助燃熔化切割，其中氧化助燃熔化切割應用最為廣泛。根據切割材料激光切割分為金屬激光切割和非金屬激光切割。
[0003]目前國內對激光加工的需求，尤其是光纖傳導激光切割的需求迅速增加。隨著激光器功率不斷提升，以及切割要求精細程度提高，對切割頭整個光學系統要求像差校正嚴格，且其光學系統設計所采用的光學器件要求全部使用耐高溫、不易變形的光學材料。并且，為了提高工作效率，節約加工成本，一臺激光器供多個工位加工的需求量與日俱增。
【發明內容】
[0004]本發明的目的在于提供一種激光加工系統，旨在實現聞精細度、聞穩定性和聞性能加工。
[0005]本發明是這樣實現的，一種激光加工系統，包括激光器和用于傳導激光的光纖，還包括沿著激光的傳輸方向依次設置的準直模塊和聚焦模塊，所述準直模塊包括第一透鏡LI，所述聚焦模塊包括第二透鏡L2和第三透鏡L3，所述第一透鏡LI為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第二透鏡L2為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡；所述聚焦模塊形成的聚焦光斑小于衍射極限。
[0006]本發明的另一目的在于提供一種多路激光加工裝置，旨在實現多路激光同時進行高效率、高精度及高穩定性加工。
[0007]本發明是這樣實現的，一種多路激光加工裝置，包括激光器及用于傳導激光的光纖，還包括設置于激光的傳輸光路上的準直模塊、分光模塊及多個聚焦模塊；
[0008]所述準直模塊包括第一透鏡LI，設置于所述光纖的輸出方向；
[0009]所述分光模塊包括設置于所述第一透鏡LI的輸出方向的反光鏡311，以及設置于所述反光鏡311的反射光路上的若干個分光鏡；
[0010]所述聚焦模塊包括第二透鏡L2和第三透鏡L3，每個所述分光鏡的反射光路上設有一個聚焦模塊；
[0011]所述第一透鏡LI為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第二透鏡L2為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡；
[0012]所述反光鏡311和位于尾端的分光鏡為平面全部反射鏡，位于中間的分光鏡為平面部分反射部分透射鏡；
[0013]所述多個聚焦模塊的聚焦光斑在同一平面，且所述聚焦光斑小于衍射極限。
[0014]本發明提供的激光加工系統具有較傳統切割頭更精細的光斑以及更高的加工效率，精細光斑增加了聚焦點的能量，有利于提高切割速度和切割質量。光學系統中的光學器件均采用耐高溫，不易熱變形的光學材料，適用于光束質量好，且激光功率比較高的光路系統。多路激光加工裝置中，每路激光加工光路均能實現相同的聚焦效果，一路入射多路出射，多路出射光的光束質量相同，提高了激光器的使用率以及加工效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是本發明第一實施例提供的激光加工系統的結構示意圖；
[0016]圖2是本發明第一實施例提供的激光加工系統的光路圖；
[0017]圖3是本發明第一實施例提供的激光加工系統的彌散斑圖；
[0018]圖4是本發明第一實施例提供的激光加工系統的傳遞函數曲線圖；
[0019]圖5是本發明第二實施例提供的激光加工系統的結構示意圖；
[0020]圖6是本發明第二實施例提供的激光加工系統的彌散斑圖；
[0021]圖7是本發明第二實施例提供的激光加工系統的傳遞函數曲線圖；
[0022]圖8是本發明第三實施例提供的多路激光加工裝置示意圖；
[0023]圖9是本發明第三實施例提供的三路激光加工裝置示意圖。
【具體實施方式】
[0024]為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。
[0025]以下結合具體實施例對本發明的具體實現進行詳細描述:
[0026]本發明實施例提供一種激光加工系統，用于實現超精細快速切割。該激光加工系統包括激光器和用于傳導激光的光纖，還包括沿著激光的傳輸光路依次設置的準直模塊和聚焦模塊，其中，準直模塊包括第一透鏡LI，聚焦模塊包括第二透鏡L2和第三透鏡L3。三透鏡均采用耐高溫，不易熱變形的光學材料，適用于光束質量比較好，且激光功率比較高的光路系統。第一透鏡LI為平凸型或雙凸型正透鏡，第二透鏡L2為平凸型或雙凸型正透鏡，第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡。該加工系統對光纖端面輸出的激光進行準直擴束及聚焦，聚焦光斑遠遠小于衍射極限，可獲得小于0.0lmm的聚焦光斑，用于快速精細加工。以下進一步提供兩種具體的實施例以對該發明進行詳細說明。
[0027]實施例一:
[0028]參考圖1和圖2，本發明第一實施例提供的激光加工系統包括第一透鏡L1、第二透鏡L2及第三透鏡L3，透鏡的表面鍍高損傷閾值激光增透硬膜。第一透鏡LI包括第一曲面SI和第二曲面S2，第二透鏡L2包括第三曲面S3和第四曲面S4，第三透鏡L3包括第五曲面S5和第六曲面S6。第一曲面SI至第六曲面S6沿著激光的傳輸方向依次設置。其中，第一透鏡LI為雙凸正透鏡，第一曲面SI的曲率半徑為410mm，第二曲面S2的曲率半徑為-50mm。第二透鏡L2為雙凸正透鏡，第三曲面S3的曲率半徑為47mm，第四曲面S4的曲率半徑為-47mm。第三透鏡L3為彎月形負透鏡，第五曲面S5的曲率半徑為-36mm，第六曲面S6的曲率半徑為-1548mm，各曲率半徑的公差為5%。進一步地，第一透鏡LI的中心厚度dl為5.6mm，第二透鏡L2的中心厚度d3為7mm，第三透鏡L3的中心厚度d5為3mm，各中心厚度的公差為5% ;光纖的輸出端面與第一曲面SI的間距d0為96mm,第二曲面S2和第三曲面S3的間距d2為100mm，第四曲面S4和第五曲面S5之間的距離d4為3mm，各距離的公差為5%。另外，對各透鏡的大小進行限定，第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的外徑D均為30mm，外徑的公差也為5 %。上述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的均采用耐高溫，不易熱變形材料Nd/Vd = 1.4/67。
[0029]進一步地，本發明實施例還可以在第三透鏡L3的輸出光路上述設置平面保護鏡L4，該平面保護鏡L4仍采用耐高溫、不易熱變形材料Nd/Vd = 1.4/67。并且，平面保護鏡L4包括第七平面S7和第八平面S8。其中，第七平面S7與第六曲面S6的間距d6為10mm，平面保護鏡L4的中心厚度d7為2mm，表面鍍高損傷閾值激光增透硬膜，外徑為20mm，上述參數的公差為5%。
[0030]以下進一步通過表格清晰示出上述各透鏡的規格參數，如表I。
[0031]表1.激光加工系統參數表
[0032]
透鏡L 曲面 j曲率半徑R j透鏡厚度d~透鏡間隔d IiS ~外徑D~
(mm)(mm)(mm)Nd/Vd (mm)
14105.6961.4/6730
1_____
2-50100
、34771 4/6730
2______
4-473
5-363l-r (730
3______
6-154810
7Co21.4/6720
4
800
[0033]按照上述參數設計的激光加工系統，采用1070nm激光，由直徑為30 μ m的光纖進行導光，光纖端面輸出激光發散角為10mrad,該激光經過準直模塊和聚焦模塊后,其光斑特性如圖3和圖4所示。根據圖3所示的聚焦彌散斑圖可知，聚焦光斑遠遠小于艾里斑，即遠遠小于衍射極限，系統為衍射極限系統，像差校正近理想系統。根據圖4所示的光學傳遞函數曲線圖可知，空間頻率在501p/mm時,對應光學傳遞函數達到0.2以上，分辨率較高,適用于精細加工。
[0034]實施例二:
[0035]參考圖5，本發明第二實施例提供的激光加工系統包括第一透鏡L1、第二透鏡L2及第三透鏡L3，透鏡的表面鍍高損傷閾值激光增透硬膜。第一透鏡LI包括第一曲面SI和第二曲面S2，第二透鏡L2包括第三曲面S3和第四曲面S4，第三透鏡L3包括第五曲面S5和第六曲面S6。第一曲面SI至第六曲面S6沿著激光的傳輸方向依次設置。其中，第一透鏡LI為雙凸正透鏡，第一曲面SI的曲率半徑為326mm，第二曲面S2的曲率半徑為_107mm。第二透鏡L2為雙凸正透鏡，第三曲面S3的曲率半徑為100mm，第四曲面S4的曲率半徑為-100mm。第三透鏡L3為彎月形負透鏡,第五曲面S5的曲率半徑為_64mm,第六曲面S6的曲率半徑為_94_，各曲率半徑的公差為5%。進一步地，第一透鏡LI的中心厚度的dl為6mm,第二透鏡L2的中心厚度d3為6mm,第三透鏡L3的中心厚度d5為1.6mm,各中心厚度的公差為5%;光纖的輸出端面與第一曲面SI的間距d0為176mm,第二曲面S2和第三曲面S3的間距d2為100mm，第四曲面S4和第五曲面S5之間的距離d4為3mm，各距離的公差為5%。另外，對各透鏡的大小進行限定，第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的外徑D均為30mm，外徑的公差也為5%。上述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的均采用耐高溫，不易熱變形材料Nd/Vd = 1.4/67。
[0036]進一步地，本發明實施例還可以在第三透鏡L3的輸出光路上述設置平面保護鏡L4，該平面保護鏡L4仍采用耐高溫、不易熱變形材料Nd/Vd = 1.4/67。并且，平面保護鏡L4包括第七平面S7和第八平面S8。其中，第七平面S7與第六曲面S6的間距d6為10mm，平面保護鏡L4的中心厚度d7為2mm，表面鍍高損傷閾值激光增透硬膜，外徑為20mm，上述參數的公差為5%。
[0037]以下進一步通過表格清晰示出上述各透鏡的規格參數，如表2。
[0038]表2.激光加工系統參數表
[0039]
透鏡L曲率半徑R透鏡厚度d 透鏡間隔d 材料外徑D
(mm)(mm)(mm)Nd/Vd (trrrn)
132661761.4/6730
1-----
2-107100
、310061.4/67.山
2_____
4-1003
5-64L61.4/6730
3_____
6-9410
7oo2,1.4/6720
4
800
[0040]按照上述參數設計的激光加工系統，采用1070nm激光，由直徑為30 μ m的光纖進行導光，光纖端面輸出激光發散角為10mrad,該激光經過準直模塊和聚焦模塊后,其光斑特性如圖6和圖7所示。根據圖6所示的聚焦光斑彌散斑圖可知，聚焦光斑遠遠小于艾里斑，系統為衍射極限系統，像差校正近理想系統。根據圖7所示的光學傳遞函數曲線圖可知，空間頻率在501p/mm時，對應光學傳遞函數達到0.43以上，較實施例一的系統的分辨率更高，加工精度更高。
[0041]上述實施例一和實施例二所述的激光加工系統，具有較傳統切割頭更精細的光斑以及更高的加工效率，精細光斑增加了聚焦點的能量，有利于提高切割速度和切割質量。光學系統中的光學器件均采用耐高溫，不易熱變形的光學材料，適用于光束質量好，且激光功率比較高的光路系統。
[0042]本發明進一步提供一種多路激光加工裝置，其是依托于上述激光加工系統，并對其進行擴展得到的，將多個激光加工系統整合到一起，形成多路激光加工裝置。以下通過具體實施例對該多路激光加工裝置進行詳細說明。
[0043]實施例三:
[0044]參考圖8，該多路激光加工裝置包括激光器及用于傳導激光的光纖31，還包括設置于激光的傳輸光路上的準直模塊32、分光模塊33及多個聚焦模塊34。其中，準直模塊32包括第一透鏡LI,設置于光纖的輸出方向；分光模塊33包括設置于第一透鏡LI的輸出方向的反光鏡311,以及設置于反光鏡311的反射光路上的若干個分光鏡；聚焦模塊34包括第二透鏡L2和第三透鏡L3，多個聚焦模塊34結構相同，分別設置于每個分光鏡的反射光路上。其中，第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3具有上述實施例一或實施例二所述的結構，第一透鏡LI和每組第二透鏡L2及第三透鏡L3各構成一路同上述實施例一或二所述的加工光路。第一透鏡LI為平凸型或雙凸型正透鏡，第二透鏡L2為平凸型或雙凸型正透鏡，第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡。另外，本發明實施例通過分光模塊33將該裝置分為多路激光光路，反光鏡331和尾端的分光鏡為平面全部反射鏡，中間的分光鏡為平面部分反射部分透射鏡。上述多個聚焦模塊34的聚焦光斑在同一平面，同時對加工件的不同位置進行加工，提高加工效率。
[0045]進一步參考圖9,分光鏡可以設有三個,分別為第一分光鏡332、第二分光鏡333和第三分光鏡334，該裝置由第一分光鏡332、第二分光鏡333和第三分光鏡334分離出三路激光光路。第一路激光光路包括第一透鏡L1、反光鏡331、第一分光鏡332及第一個聚焦模塊34。第二路激光光路包括第一透鏡L1、反光鏡331、第一分光鏡332、第二分光鏡333及第二個聚焦模塊34。第三路激光光路包括第一透鏡L1、反光鏡331、第一分光鏡332、第二分光鏡333、第三分光鏡334及第三個聚焦模塊34。自第一透鏡LI輸出的激光經過反光鏡331反射，部分激光經過第一分光鏡332反射至第一個聚焦模塊34，另一部分激光經第一分光鏡332透射至第二分光鏡333，再由第二分光鏡333進行部分反射給第二個聚焦模塊，另一部分激光透射至第三分光鏡334，由第三分光鏡334反射至第三個聚焦模塊34。三個聚焦模塊34并列設置，聚焦點共面，同時對工件的不同位置進行加工。
[0046]進一步地，第一透鏡LI包括第一曲面SI和第二曲面S2，第二透鏡L2包括第三曲面S3和第四曲面S4，第三透鏡L3包括第五曲面S5和第六曲面S6 ;各曲面鍍高損傷閾值激光增透硬膜。第一曲面SI的曲率半徑為410mm，第二曲面S2的曲率半徑為_50mm，第三曲面S3的曲率半徑為47mm，第四曲面S4的曲率半徑為_47mm，第五曲面S5的曲率半徑為_36mm，第六曲面S6的曲率半徑為-1548mm，各曲率半徑的公差為5% ;第一透鏡LI的中心厚度為
5.6_，第二透鏡L2的中心厚度為7_，第三透鏡L3的中心厚度為3_，各中心厚度的公差為5% ;第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的外徑均為30mm，外徑的公差為5%。三個透鏡的材料均為Nd/Vd = 1.4/67。
[0047]另外，每個聚焦模塊還可以包括平面保護鏡L4，平面保護鏡L4采用耐高溫、不易熱變形材料Nd/Vd= 1.4/67。并且，平面保護鏡L4的第七平面S7與第六曲面S6的間距為10mm，平面保護鏡L4的中心厚度為2mm，表面鍍高損傷閾值激光增透硬膜，外徑為20mm，上述參數的公差為5%。光纖的輸出端面與第一透鏡LI的第一曲面SI的間距為96_，第四曲面S4和第五曲面S5之間的距離為3mm，各距離的公差為5%。
[0048]進一步地，反光鏡331、第一分光鏡332、第二分光鏡333及第三分光鏡334的中心厚度為5mm，外徑為50mm，材料為Nd2:Vd2 = 1.4:67，且相對輸入激光成45度角放置，第一分光鏡312的反射率為67%;第二分光鏡333的反射率為33%。反光鏡331與第一透鏡LI的距離為72mm,反光鏡331與第一分光鏡332的距離為100mm,第一分光鏡332與第二分光鏡333的距離為145mm，第二分光鏡333與第三分光鏡334的距離為145mm。當然，上述間距還可以進行適當調整，本實施例不再舉例說明。
[0049]本發明實施例提供的一分多路激光加工裝置中，每路激光加工光路均能實現實施例一或二所述的聚焦效果，具有較傳統激光切割頭更精細的光斑以及更高的加工效率，精細光斑增加了聚焦點的能量，提高了切割速度和切割質量；并且一路入射多路出射，多路出射光的光束質量相同，提高了激光器的使用率以及加工效率。
[0050]以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種激光加工系統，包括激光器和用于傳導激光的光纖，其特征在于，還包括沿著激光的傳輸方向依次設置的準直模塊和聚焦模塊，所述準直模塊包括第一透鏡LI，所述聚焦模塊包括第二透鏡L2和第三透鏡L3，所述第一透鏡LI為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第二透鏡L2為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡；所述聚焦模塊形成的聚焦光斑小于衍射極限。
2.如權利要求1所述的激光加工系統，其特征在于，所述第一透鏡L1、第二透鏡L2及第三透鏡L3的表面鍍高損傷閾值激光增透硬膜。
3.如權利要求1或2所述的激光加工系統，其特征在于，所述第一透鏡LI包括第一曲面SI和第二曲面S2，所述第二透鏡L2包括第三曲面S3和第四曲面S4，所述第三透鏡L3包括第五曲面S5和第六曲面S6。
4.如權利要求3所述的激光加工系統，其特征在于，所述第一曲面SI的曲率半徑為410mm,所述第二曲面S2的曲率半徑為_50mm，所述第三曲面S3的曲率半徑為47mm，所述第四曲面S4的曲率半徑為-47mm，所述第五曲面S5的曲率半徑為_36mm，所述第六曲面S6的曲率半徑為-1548mm，各曲率半徑的公差為5% ； 所述第一透鏡LI的中心厚度為5.6mm,所述第二透鏡L2的中心厚度為7mm,所述第三透鏡L3的中心厚度為3mm，各中心厚度的公差為5% ； 所述光纖的輸出端面與所述第一曲面SI的間距為96mm，所述第四曲面S4和第五曲面S5之間的距離為3_，各距離的公差為5% ； 所述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的外徑均為30mm，所述外徑的公差為5% ； 所述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的材料為Nd/Vd = 1.4/67。
5.如權利要求3所述的激光加工系統，其特征在于，所述第一曲面SI的曲率半徑為326mm，所述第二曲面S2的曲率半徑為_107mm，所述第三曲面S3的曲率半徑為100mm，所述第四曲面S4的曲率半徑為-100mm，所述第五曲面S5的曲率半徑為_64mm，所述第六曲面S6的曲率半徑為-94mm，各曲率半徑的公差為5% ； 所述第一透鏡LI的中心厚度為6mm,所述第二透鏡L2的中心厚度為6mm,所述第三透鏡L3的中心厚度為1.6mm，各中心厚度的公差為5% ； 所述光纖的輸出端面與所述第一曲面SI的間距為176mm，所述第四曲面S4和第五曲面S5之間的距離為3_，各距離的公差為5% ； 所述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的外徑均為30mm，所述外徑的公差為5% ； 所述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的材料為Nd/Vd = 1.4/67。
6.如權利要求4或5所述的激光加工系統，其特征在于，還包括設置于所述第三透鏡L3的輸出光路上的平面保護鏡L4，包括第七平面S7和第八平面S8，所述平面保護鏡L4的中心厚度為2mm,所述第六曲面S6和第七平面S7之間的距離為10mm。
7.一種多路激光加工裝置，包括激光器及用于傳導激光的光纖，其特征在于，還包括設置于激光的傳輸光路上的準直模塊、分光模塊及多個聚焦模塊； 所述準直模塊包括第一透鏡LI，設置于所述光纖的輸出方向； 所述分光模塊包括設置于所述第一透鏡LI的輸出方向的反光鏡311，以及設置于所述反光鏡311的反射光路上的若干個分光鏡； 所述聚焦模塊包括第二透鏡L2和第三透鏡L3，每個所述分光鏡的反射光路上設有一個聚焦模塊； 所述第一透鏡LI為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第二透鏡L2為平凸型或雙凸型正透鏡，所述第三透鏡L3為彎月型或雙凹型負透鏡； 所述反光鏡311和位于尾端的分光鏡為平面全部反射鏡，位于中間的分光鏡為平面部分反射部分透射鏡； 所述多個聚焦模塊的聚焦光斑在同一平面，且所述聚焦光斑小于衍射極限。
8.如權利要求7所述的多路激光加工裝置，其特征在于，所述第一透鏡LI包括第一曲面SI和第二曲面S2，所述第二透鏡L2包括第三曲面S3和第四曲面S4，所述第三透鏡L3包括第五曲面S5和第六曲面S6 ;所述第一曲面SI的曲率半徑為410mm，所述第二曲面S2的曲率半徑為-50mm，所述第三曲面S3的曲率半徑為47mm，所述第四曲面S4的曲率半徑為_47mm,所述第五曲面S5的曲率半徑為-36mm,所述第六曲面S6的曲率半徑為-1548mm,各曲率半徑的公差為5% ； 所述第一透鏡LI的中心厚度為5.6mm,所述第二透鏡L2的中心厚度為7mm,所述第三透鏡L3的中心厚度為3mm，各中心厚度的公差為5% ； 所述光纖的輸出端面與所述第一曲面SI的間距為96mm，所述第四曲面S4和第五曲面S5之間的距離為3_，各距離的公差為5% ； 所述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的外徑均為30mm，所述外徑的公差為5% ； 所述第一透鏡L1、第二透鏡L2和第三透鏡L3的材料為Nd/Vd = 1.4/67。
9.如權利要求8所述的多路激光加工裝置,其特征在于，所述分光鏡包括第一分光鏡312、第二分光鏡313和第三分光鏡314 ;所述第一分光鏡312、第二分光鏡313和第三分光鏡314的反射光路上各設有一聚焦模塊；所述反光鏡311與所述第一透鏡LI的距離為72mm,所述反光鏡311與所述第一分光鏡312的距離為100mm,所述第一分光鏡312與所述第二分光鏡313的距離為145mm，所述第二分光鏡313與所述第三分光鏡314的距離為145mmη
10.如權利要求9所述的多路激光加工裝置,其特征在于,所述反光鏡311、第一分光鏡.312、第二分光鏡313及第三分光鏡314的中心厚度為5mm，外徑為50mm，材料為Nd2:Vd2 =.1.4:67，且相對輸入激光成45度角放置，所述第一分光鏡312的反射率為67% ;所述第二分光鏡313的反射率為33%。
【文檔編號】B23K26/38GK104175003SQ201410455193
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年9月9日 優先權日:2014年9月9日
【發明者】施宏艷, 周朝明, 彭金明, 高云峰 申請人:深圳市大族激光科技股份有限公司