一種大行程柱坐標雙光子聚合加工方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種大行程柱坐標雙光子聚合加工方法及裝置，屬于微納制造【技術領域】。將試件以共軸或離軸方式安裝在一個C軸轉臺上，C軸轉臺繞z軸作回轉運動，使飛秒激光束相對于試件作周向運動，C軸安裝在x軸溜板上沿x向作直線進給運動，使飛秒激光束相對于試件作徑向運動，通過二維振鏡繞x和y軸的擺動，使飛秒激光束沿C軸轉臺之徑向作快速往復擺動，通過z軸溜板沿z向的平動，獲得飛秒激光束聚焦中心沿z向的進給運動，當試件以離軸方式安裝，可實時改變C軸轉臺的轉速，以使飛秒激光束在每個預期的掃描位置獲得大小相同的速度。本發明所述方法及裝置避免了運動軸回退、可快速精密跟蹤有擾動的路徑，實現大面積三維微納結構的快速加工。
【專利說明】一種大行程柱坐標雙光子聚合加工方法及裝置
【技術領域】
[0001]本發明屬于微納制造【技術領域】，特別是涉及一種大行程柱坐標雙光子聚合加工方法及裝置。
【背景技術】
[0002]雙光子聚合(Two Photon Polymerizat1n,以下簡稱TPP)被認為是非常有發展前途的一種獲得“真正”三維微納結構器件的加工方法，在許多重要的工業領域中有著極為誘人的應用前景。例如，利用TPP方法可以制作三維超材料器件、微納結構光學元件、三維仿生功能表面器件等。
[0003]通過飛秒激光束聚焦所形成的聚焦體如何在試件材料內部按預先設計的路徑進行掃描及曝光是TPP方法的關鍵之一。迄今為止,主要有如下一些基本的技術方案:(I)將試件安裝在利用壓電驅動的二維或三維微位移臺上，以獲得飛秒激光束相對于試件的高精密掃描(孫洪波等人，2004年；段宣明等人，2007年)；(2)利用氣浮支撐、直線電機驅動的高精密運動軸X、y和z,以獲得飛秒激光束相對于試件的大行程掃描(Andreas Ostendorfand Boris N.Chichkov, 2006年)。(3)利用二維振鏡繞x或y軸擺動，以獲得飛秒激光束相對于試件的快速掃描(Jilrgen Stampfl, 2012年)。
[0004]現有的這些技術方案主要存在如下有待解決的問題:(I)采用二維振鏡，所獲得的行程非常有限，不適合制作大面積的三維微納結構器件；(2)壓電驅動的微動臺具有較高的往復運動精度，但所獲得的行程和工作頻率皆十分受限；(3)無論是小行程的驅動臺還是大行程的氣浮運動軸，皆是直角坐標系構形，使用兩個直線運動逼近一個曲線運動，不可避免地存在插補誤差；(4)采用大行程的氣浮運動軸，雖可獲得大行程，但若要遍歷每個切片上預期的體元位置，三個運動軸X、y或Z皆不可避免地存在回退，這使得運動精度難以保證；(5)無論是壓電微位移平臺掃描，直線電機驅動的高精密運動軸x、y、z掃描還是二維振鏡掃描都難以保證在每個體元位置的掃描速度相等。體元是雙光子聚合中最小的單元。影響體元大小的因素之一是曝光時間。當用高速掃描方法對曝光時間進行控制時，曝光時間t可設為激光掃描通過一個聚焦點處光斑直徑20^所需要的時間。當掃描速度不同時，曝光時間不同，所得到的體元大小會有差異，這將影響雙光子聚合的加工精度；(6)因為雙光子聚合為逐點掃描加工，因此加工效率低。
【發明內容】
[0005]本發明提供一種大行程柱坐標雙光子聚合加工方法及裝置，針對大面積三維微納結構器件，以克服現有技術的不足。
[0006]本發明采取的技術方案是，包括下列步驟:
[0007](1)將試件以共軸或離軸方式安裝在一個高精密轉臺上，建立試件在柱坐標系中的三維模型，并切片處理；
[0008](2)所述的高精密轉臺繞z軸作回轉運動，稱為C軸，使得飛秒激光束相對于試件作周向運動，
[0009]a.當試件以共軸方式安裝時，采用螺旋線掃描方式；
[0010]b.當試件以離軸方式安裝時，采用往復掃描方式，此時可以實時改變C軸轉臺的轉速，以使飛秒激光束在每個預期的掃描位置獲得大小相同的速度；
[0011](3)所述的高精密C軸轉臺安裝在一個高精密的X軸進給溜板上，沿X軸作直線進給運動使得飛秒激光束相對于試件作徑向運動；
[0012](4)通過二維振鏡繞X和y軸的擺動，以使飛秒激光束沿C軸轉臺的徑向作快速往復運動；
[0013](5)繞z軸回轉、沿X軸進給和二維振鏡的擺動的合成運動使飛秒激光束相對于試件獲得所在切片上的曲線運動；
[0014](6)通過z軸溜板沿z向的運動，獲得飛秒激光束聚焦中心沿z向的進給運動；
[0015](7)以上運動的綜合使飛秒激光束聚焦中心在試件內部按預先設計的路徑進行掃描及曝光，加工出所需的大面積三維微納結構器件。
[0016]實現本發明所述方法的裝置的結構是:
[0017](I)在所述的裝置中，X軸溜板水平安裝在大理石床身上，C軸轉臺安裝在X軸溜板上，z軸溜板垂直安裝在大理石床身立柱上；
[0018](2)通過兩個高精度的直線光柵一、直線光柵二分別測量X軸溜板和z軸溜板的直線位移，通過一個高精度的回轉光柵測量C軸轉臺的角位移，C軸轉臺的角位移是X軸溜板和z軸溜板直線位移同步控制的基準；
[0019](3)所述的C軸轉臺，采用氣浮回轉軸承作支撐，通過伺服電機驅動；
[0020](4)所述的X軸溜板和z軸溜板，皆采用氣浮直線導軌作支撐，通過直線電機進行驅動；
[0021](5)在所述的z軸溜板上，安裝有顯微物鏡和二維振鏡系統，通過二維振鏡可以調整飛秒激光束繞X和y軸擺動。
[0022]本發明的一種實施方式是:支座通過個內六角圓柱頭螺釘連接在大理石床身上，支座上安裝有分光鏡，反射鏡三與振鏡箱體固連在一起，X軸溜板與氣浮直線導軌一滑動連接，直線電機一與氣浮直線導軌一連接、并安裝在大理石床身上，C軸轉臺疊放在X軸溜板上，底座與C軸轉臺固定連接，z軸溜板與氣浮直線導軌二滑動連接，直線電機與氣浮直線導軌二連接，氣浮直線導軌二連接在底板上，底板通過6個內六角圓柱頭螺釘連接在大理石床身上，z軸溜板上通過內六角圓柱頭螺釘安裝有氣缸連接座，氣缸的活塞桿通過螺母安裝在氣缸連接座上，氣缸的缸體通過螺紋安裝在氣缸安裝座上，氣缸安裝座通過2個內六角圓柱頭螺釘安裝在底板上，振鏡箱體通過4個內六角圓柱頭螺釘安裝在z軸溜板上，二維振鏡安裝在振鏡支座上，該振鏡支座通過2個內六角圓柱頭螺釘安裝在振鏡箱體上，顯微物鏡與振鏡箱體螺紋連接，反射鏡一、反射鏡二安裝在大理石床身上。
[0023]本發明的一種實施方式是:直線電機一由動子一、定子一組成，定子通過內六角圓柱頭螺釘安裝在溜板上，定子一通過內六角圓柱頭螺釘安裝在溜板上。
[0024]本發明的一種實施方式是:C軸轉臺安裝有回轉光柵、讀數頭三，讀數頭三與固定座固定連接，以氣浮軸作支撐，氣浮軸裝在氣浮軸承上，伺服電機由伺服電機定子、伺服電機轉子構成，氣浮軸承通過內六角圓柱頭螺釘安裝在支撐架上，支撐架通過內六角圓柱頭螺釘安裝在底座上，進氣閥與底座外部固定連接；
[0025]本發明的一種實施方式是:直線電機二的動子二通過內六角圓柱頭螺釘安裝在溜板上，定子二通過內六角圓柱頭螺釘安裝在氣浮直線導軌二上。
[0026]本發明所述方法及裝置的優點在于:(I)高精密運動的X軸溜板、z軸溜板、C軸轉臺與二維振鏡協同工作，不僅能滿足加工精度要求，而且能保證具有非常大的工作行程，可用于實現大面積三維微納結構的加工；(2)高精密運動的X軸溜板、z軸溜板、C軸轉臺為柱坐標布局，無論試件以共軸方試安裝還是以離軸方式安裝，都僅作向前的直線進給及回轉運動，避免了運動軸回退所致的運動誤差，且與往復運動相比響應更快，提高了加工的效率；(3)高精密運動的X軸溜板、z軸溜板、C軸轉臺為柱坐標布局，沒有插補誤差，協同二維振鏡繞X軸溜板和y軸溜板的往復擺動，可以快速精密跟蹤曲線路徑；(4)將試件以離軸方式安裝時，可實時改變掃描速度，保證在每個體元位置的掃描速度相等，進而保證曝光時間相等，最終保證了雙光子聚合加工的精度；(5)將多個試件以離軸方式安裝時，轉臺轉一周飛秒激光束可同時在這些試件上掃描，具有較高的生產率。
[0027]本發明所述的方法及裝置主要適用于大面積三維微納結構的快速加工。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0028]圖1是本發明的前軸測圖；
[0029]圖2是本發明的后軸測圖；
[0030]圖3是本發明的X軸導軌剖視圖；
[0031]圖4是本發明的z軸導軌剖視圖；
[0032]圖5是本發明的轉臺剖視圖；
[0033]圖6是本發明的控制原理圖；
[0034]圖7是共軸安裝螺旋線掃描原理圖；
[0035]圖8是離軸安裝往復掃描原理圖；
[0036]圖9是二維振鏡掃描原理圖。
[0037]圖1、2附圖標記為:支座1，內六角圓柱頭螺釘2，分光鏡3，激光束4，氣缸連接座5，氣缸6，反射鏡7，內六角圓柱頭螺釘8，氣缸安裝座9，大理石床身10，底板11，內六角圓柱頭螺釘12，氣浮直線導軌一 13，直線電機一 14，X軸溜板15，C軸轉臺16，底座17，試件18，氣浮直線導軌二 19，顯微物鏡20，振鏡箱體21，內六角圓柱頭螺釘22，二維振鏡23，振鏡支座24，內六角圓柱頭螺釘25，z軸溜板26，直線電機二 27，六角螺母28，反射鏡一 29，進光孔一 30，反射鏡二 31，進光孔二 32 ；
[0038]圖3附圖標記為:直線電機動子一 1401，直線電機定子二 1402，內六角圓柱頭螺釘33，直線光柵一 34，讀數頭一 35，內六角圓柱頭螺釘36 ；
[0039]圖4附圖標記為:直線電機二動子2701，直線電機二定子2702，內六角圓柱頭螺釘37，直線光柵二 38，內六角圓柱頭螺釘39，擋板40，內六角圓柱頭螺釘41，內六角圓柱頭螺釘42，讀數頭二 43 ；
[0040]圖5附圖標記為:內六角圓柱頭螺釘1601，氣浮軸1602，支撐架1603，氣浮軸承1604，內六角圓柱頭螺釘1605，進氣閥1606，伺服電機定子1607，伺服電機轉子1608，旋轉光柵1609，固定座1610，讀數頭三1611，底座1612 ；[0041]圖9附圖標記為:X掃描振鏡100，Y掃描振鏡200，顯微300。
【具體實施方式】
[0042]包括下列步驟:
[0043](I)將試件以共軸或離軸方式安裝在一個高精密轉臺上，建立試件在柱坐標系中的三維模型，并切片處理；
[0044](2)所述的高精密轉臺繞z軸作回轉運動，稱為C軸，使得飛秒激光束相對于試件作周向運動，
[0045]a.當試件以共軸方式安裝時，采用螺旋線掃描方式；
[0046]b.當試件以離軸方式安裝時，采用往復掃描方式，此時可以實時改變C軸轉臺的轉速，以使飛秒激光束在每個預期的掃描位置獲得大小相同的速度；
[0047](3)所述的高精密C軸轉臺安裝在一個高精密的X軸進給溜板上，沿X軸作直線進給運動使得飛秒激光束相對于試件作徑向運動；
[0048](4)通過二維振鏡繞X和y軸的擺動，以使飛秒激光束沿C軸轉臺的徑向作快速往復運動；
[0049](5)繞z軸回轉、沿X軸進給和二維振鏡的擺動的合成運動使飛秒激光束相對于試件獲得所在切片上的曲線運動；
[0050](6)通過z軸溜板沿z向的運動，獲得飛秒激光束聚焦中心沿z向的進給運動；
[0051](7)以上運動的綜合使飛秒激光束聚焦中心在試件內部按預先設計的路徑進行掃描及曝光，加工出所需的大面積三維微納結構器件。
[0052]實現本發明所述方法的裝置的結構是:
[0053](I)在所述的裝置中，X軸溜板水平安裝在大理石床身上，C軸轉臺安裝在X軸溜板上，z軸溜板垂直安裝在大理石床身立柱上；
[0054](2)通過兩個高精度的直線光柵一、直線光柵二分別測量X軸溜板和z軸溜板的直線位移，通過一個高精度的回轉光柵測量C軸轉臺的角位移，C軸轉臺的角位移是X軸溜板和z軸溜板直線位移同步控制的基準；
[0055](3)所述的C軸轉臺，采用氣浮回轉軸承作支撐，通過伺服電機驅動；
[0056](4)所述的X軸溜板和z軸溜板，皆采用氣浮直線導軌作支撐，通過直線電機進行驅動；
[0057](5)在所述的z軸溜板上，安裝有顯微物鏡和二維振鏡系統，通過二維振鏡可以調整飛秒激光束繞X和y軸擺動。
[0058]實現本發明裝置的一種【具體實施方式】如下:
[0059]支座I通過4個內六角圓柱頭螺釘2連接在大理石床身10上，支座I上安裝有分光鏡3，反射鏡三7與振鏡箱體21固連在一起，X軸溜板15與氣浮直線導軌一 13滑動連接，直線電機一 14與氣浮直線導軌一 13連接、并安裝在大理石床身10上，C軸轉臺16疊放在X軸溜板上，底座17與C軸轉臺固定連接，z軸溜板26與氣浮直線導軌二 19滑動連接，直線電機27與氣浮直線導軌二 19連接，氣浮直線導軌二 19連接在底板11上，底板11通過6個內六角圓柱頭螺釘連接在大理石床身10上，z軸溜板26上通過內六角圓柱頭螺釘37安裝有氣缸連接座5，氣缸6的活塞桿通過螺母28安裝在氣缸連接座5上，氣缸6的缸體通過螺紋安裝在氣缸安裝座9上，氣缸安裝座9通過2個內六角圓柱頭螺釘安裝在底板11上，振鏡箱體21通過4個內六角圓柱頭螺釘22安裝在z軸溜板26上，二維振鏡23安裝在振鏡支座24上，該振鏡支座通過2個內六角圓柱頭螺釘25安裝在振鏡箱體21上，顯微物鏡20與振鏡箱體21螺紋連接，反射鏡一 29、反射鏡二 31安裝在大理石床身上。
[0060]本發明一種實施方式是:直線電機一由動子一 1401、定子一 1402組成,定子通過內六角圓柱頭螺釘33安裝在溜板15上，定子一通過內六角圓柱頭螺釘36安裝在溜板15上。
[0061]本發明一種實施方式是:C軸轉臺16安裝有回轉光柵1609、讀數頭三1611，讀數頭三1611與固定座1610固定連接，以氣浮軸1602作支撐，氣浮軸裝在氣浮軸承1604上，伺服電機由伺服電機定子1607、伺服電機轉子1608構成,氣浮軸承1604通過內六角圓柱頭螺釘1601安裝在支撐架1603上，支撐架通過內六角圓柱頭螺釘1605安裝在底座1612上，進氣閥1606與底座外部固定連接；
[0062]本發明一種實施方式是:直線電機二的動子二 2701通過內六角圓柱頭螺釘39安裝在溜板26上，定子二 2702通過內六角圓柱頭螺釘42安裝在氣浮直線導軌二上。
[0063]該裝置的工作過程為:底座17上放置試件18，激光束4通過進光孔一 30進入，經反射鏡一 29、反射鏡二 31作用進入進光孔二 32，然后經分光鏡3作用分為兩束，其中的一束又經反射鏡三7作用進入振鏡箱體21，經二維振鏡23反射進入顯微物鏡20，物鏡20將激光束聚焦到試件18內部，通過高精密運動的X軸溜板、z軸溜板、C軸轉臺和二維振鏡23的掃描，激光束焦點按規劃路徑運動，加工出所需的大面積三維微納結構。
[0064]下面結合圖例對本發明的方法及裝置的具體實施情況作如下說明: [0065]圖1是大行程柱坐標雙光子聚合加工裝置前軸測圖。高精密運動的X軸溜板、z軸溜板、C軸轉臺的重復定位精度為400nm左右，而掃描振鏡的直寫精度為10nm,因此可以通過掃描振鏡與高精密運動的X軸溜板、z軸溜板、C軸轉臺的結合實現三維大面積微納結構器件的制作。試件以共軸或離軸方式安裝在一個高精密C軸轉臺上，當轉臺轉動時，飛秒激光束相對于轉臺周向運動，即完成周向掃描。轉臺安裝在一個高精密的X軸溜板上，當溜板沿X向進給時，飛秒激光束相對于轉臺徑向運動，即完成徑向掃描；二維振鏡控制飛秒激光束完成相對轉臺的徑向運動，飛秒激光束周向與徑向運動合成切片上的二維運動。當遍歷每個切片上預期的體元位置時這一層的掃描完成，之后Z軸溜板沿Z向移動一個層厚λ，重復前面的步驟。
[0066]圖2是大行程柱坐標雙光子聚合加工裝置后軸測圖。反射鏡一 29、反射鏡二 31安裝在大理石床身上。飛秒激光束由進光孔一 30進入，經反射鏡一 29、反射鏡二 31作用進入進光孔二 32。
[0067]圖6是大行程柱坐標雙光子聚合加工裝置控制原理圖。在計算機上完成三維微納結構器件的三維建模，然后切片處理，生成激光掃描軌跡。之后運動控制器綜合控制X軸溜板、C軸轉臺、ζ軸溜板和二維振鏡的運動，并分別通過旋轉光柵、直線光柵一、直線光柵二、角度傳感器進行反饋，最終在試件內部完成預期的掃描。
[0068]圖7是共軸安裝螺旋線掃描原理圖。圖中▲為X軸溜板、C軸的掃描點，.為二維振鏡的掃描點。由于X軸溜板、C軸轉臺高精密運動軸的慣性大、響應頻率低、掃描速度小，且定位精度不高，因此只適合作大范圍的掃描，即兩個▲之間的距離(X軸溜板、C軸轉臺掃描所能達到的最小間隔)。二維振鏡轉動慣量小、響應時間短、掃描速度快，適合作小范圍的掃描，即兩個.之間的距離(振鏡掃描所能達到的最小間隔)。將高精密運動的X軸溜板、Z軸溜板、C軸轉臺與二維振鏡協同工作，則能在大行程內實現小范圍的精密掃描，加工出大面積三維微納結構器件。
[0069]圖8是離軸安裝往復掃描原理圖。a點掃描速度va = raco。當由a點掃描到b點時掃描半徑沒變，因此掃描速度也不變，Vb = V。；由b點掃描到C點時掃描半徑r。= ra+ Δ r,因此掃描速度也變大，即V。= (ra+ Δ r) ω = Va+Δ ν，此時改變高精密轉臺的速度w’使之與
在a-b的速度相同，即=重復上述步驟，實時改變高精密轉臺的速度，使得每個
點的掃描速度相同，直到掃描完畢。若同時安裝多個試件，可同時加工這些試件，提高了雙光子聚合加工方法的效率。
[0070]采用共軸或離軸的安裝方式，掃描半徑均逐漸增大，因此沒有運動軸的回退，運動精度更高。
[0071]圖9是二維振鏡掃描原理圖。對于f_ Θ物鏡，焦距為f。當x、y軸掃描振鏡分別轉動α、β角度后，掃描光束在XOY平面內的坐標為
【權利要求】
1.一種大行程柱坐標雙光子聚合加工方法，其特征在于包括下列步驟: (1)將試件以共軸或離軸方式安裝在一個高精密轉臺上，建立試件在柱坐標系中的三維模型，并切片處理； (2)所述的高精密轉臺繞z軸作回轉運動，稱為C軸，使得飛秒激光束相對于試件作周向運動， a.當試件以共軸方式安裝時，采用螺旋線掃描方式； b.當試件以離軸方式安裝時，采用往復掃描方式，此時可以實時改變C軸轉臺的轉速，以使飛秒激光束在每個預期的掃描位置獲得大小相同的速度； (3)所述的高精密C軸轉臺安裝在一個高精密的X軸進給溜板上,沿X軸作直線進給運動使得飛秒激光束相對于試件作徑向運動； (4)通過二維振鏡繞X和y軸的擺動，以使飛秒激光束沿C軸轉臺的徑向作快速往復運動； (5)繞z軸回轉、沿X軸進給和二維振鏡的擺動的合成運動使飛秒激光束相對于試件獲得所在切片上的曲線運動； (6)通過z軸溜板沿z向的運動，獲得飛秒激光束聚焦中心沿z向的進給運動； (7)以上運動的綜合使飛秒激光束聚焦中心在試件內部按預先設計的路徑進行掃描及曝光，加工出所需的大面積三維微納結構器件。
2.一種實現如權利要求1所述大行程柱坐標雙光子聚合加工方法的裝置，其特征在于: (1)在所述的裝置中，X軸溜板水平安裝在大理石床身上，C軸轉臺安裝在X軸溜板上，z軸溜板垂直安裝在大理石床身立柱上； (2)通過兩個高精度的直線光柵一、直線光柵二分別測量X軸溜板和z軸溜板的直線位移，通過一個高精度的回轉光柵測量C軸轉臺的角位移，C軸轉臺的角位移是X軸溜板和z軸溜板直線位移同步控制的基準； (3)所述的C軸轉臺，采用氣浮回轉軸承作支撐，通過伺服電機驅動； (4)所述的X軸溜板和z軸溜板，皆采用氣浮直線導軌作支撐，通過直線電機進行驅動； (5)在所述的z軸溜板上，安裝有顯微物鏡和二維振鏡系統，通過二維振鏡可以調整飛秒激光束繞X和y軸擺動。
3.根據權利要求2所述的大行程柱坐標雙光子聚合加工裝置，其特征在于:支座通過個內六角圓柱頭螺釘連接在大理石床身上，支座上安裝有分光鏡，反射鏡三與振鏡箱體固連在一起，X軸溜板與氣浮直線導軌一滑動連接，直線電機一與氣浮直線導軌一連接、并安裝在大理石床身上，C軸轉臺疊放在X軸溜板上，底座與C軸轉臺固定連接，z軸溜板與氣浮直線導軌二滑動連接，直線電機與氣浮直線導軌二連接，氣浮直線導軌二連接在底板上，底板通過6個內六角圓柱頭螺釘連接在大理石床身上，z軸溜板上通過內六角圓柱頭螺釘安裝有氣缸連接座，氣缸的活塞桿通過螺母安裝在氣缸連接座上，氣缸的缸體通過螺紋安裝在氣缸安裝座上，氣缸安裝座通過2個內六角圓柱頭螺釘安裝在底板上，振鏡箱體通過4個內六角圓柱頭螺釘安裝在z軸溜板上，二維振鏡安裝在振鏡支座上，該振鏡支座通過2個內六角圓柱頭螺釘安裝在振鏡箱體上，顯微物鏡與振鏡箱體螺紋連接，反射鏡一、反射鏡二安裝在大理石床身上。
4.根據權利要求3所述的大行程柱坐標雙光子聚合加工裝置，其特征在于:直線電機一由動子一、定子一組成，定子通過內六角圓柱頭螺釘安裝在溜板上，定子一通過內六角圓柱頭螺釘安裝在溜板上。
5.根據權利要求3所述的大行程柱坐標雙光子聚合加工方法的裝置，其特征在于:C軸轉臺安裝有回轉光柵、讀數頭三，讀數頭三與固定座固定連接，以氣浮軸作支撐，氣浮軸裝在氣浮軸承上，伺服電機由伺服電機定子、伺服電機轉子構成，氣浮軸承通過內六角圓柱頭螺釘安裝在支撐架上，支撐架通過內六角圓柱頭螺釘安裝在底座上，進氣閥與底座外部固定連接。
6.根據權利要求3所述的大行程柱坐標雙光子聚合加工裝置，其特征在于:直線電機二的動子二通過內六角圓柱頭螺釘安裝在溜板上，定子二通過內六角圓柱頭螺釘安裝在氣浮直線導軌 二上。
【文檔編號】B23K26/08GK104028890SQ201410258805
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年6月11日 優先權日:2014年6月11日
【發明者】周曉勤, 侯燚紅, 林潔瓊, 王文攀 申請人:吉林大學