一種紫外激光打孔的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種紫外激光打孔機(jī)，包括機(jī)箱和操作機(jī)構(gòu)，機(jī)箱內(nèi)設(shè)有電箱，機(jī)箱上端面設(shè)有Y軸導(dǎo)軌，該Y軸導(dǎo)軌上設(shè)有工作臺，所述機(jī)箱上端面裝有激光器、擴(kuò)束鏡、反射鏡組和支架，擴(kuò)束鏡位于激光器的輸出端軸線上，支架上設(shè)有X軸導(dǎo)軌，X軸導(dǎo)軌上裝有滑動塊，該滑動塊上裝接有Z軸升降機(jī)構(gòu)，該Z軸升降機(jī)構(gòu)上裝接有掃描振鏡、聚焦透鏡及成像裝置。本實用新型穩(wěn)定性好，精度高。
【專利說明】一種紫外激光打孔機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種紫外激光打孔機(jī)，具體地說是一種主要用于銅箔鉆孔的紫外激光打孔機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]激光打孔機(jī)一般包括固體激光器、電氣系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)和坐標(biāo)移動工作臺四大部分。打孔的時候，由四大部分相互配合，首先將材料移動到光學(xué)系統(tǒng)區(qū)域，光學(xué)系統(tǒng)中的攝像頭掃描到圖像之后進(jìn)行處理并給控制部分信號，然后通過坐標(biāo)移動工作臺的動作，并由激光器進(jìn)行打印刷定位孔。
[0003]紫外激光打孔機(jī):紫外激光打孔從本質(zhì)上來說不是熱處理，而是高能量的紫外光子直接破壞金屬或非金屬材料表面的分子鍵，使分子脫離物體，用這種〃冷〃光蝕處理技術(shù)加工出來的部件具有光滑的邊緣和最低限度的炭化，這種方式不會產(chǎn)生高的熱量，故被稱為冷加工，主要采用紫外激光(波長為355nm).它可以被聚焦到亞微米數(shù)量級的點上，因此可以進(jìn)行細(xì)微部件的加工，即使在不高的脈沖能量水平下，也能得到很高的能量密度，有效地進(jìn)行材料加工。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種紫外激光打孔機(jī)，性能穩(wěn)定，能夠高精度的運(yùn)行。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型采取以下技術(shù)方案:
[0006]—種紫外激光打孔機(jī),包括機(jī)箱和操作機(jī)構(gòu)，機(jī)箱內(nèi)設(shè)有電箱，機(jī)箱上端面設(shè)有Y軸導(dǎo)軌，該Y軸導(dǎo)軌上設(shè)有工作臺，所述機(jī)箱上端面裝有激光器、擴(kuò)束鏡、反射鏡組和支架，擴(kuò)束鏡位于激光器的輸出端軸線上，支架上設(shè)有X軸導(dǎo)軌，X軸導(dǎo)軌上裝有滑動塊，該滑動塊上裝接有Z軸升降機(jī)構(gòu)，該Z軸升降機(jī)構(gòu)上裝接有掃描振鏡、聚焦透鏡及成像裝置。
[0007]所述反射鏡組包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡和第四反射鏡，第一反射鏡與擴(kuò)束鏡位于同一水平軸線上，第二反射鏡裝在支架上，第三反射鏡和第四反射鏡均裝在滑動塊上。
[0008]所述滑動塊上裝設(shè)的Z軸升降機(jī)構(gòu)上還安裝有激光位移傳感器，該激光位移器位于聚焦透鏡的側(cè)邊。
[0009]所述工作臺為真空吸附式工作臺。
[0010]所述滑動塊上還裝設(shè)有煙塵抽氣器。
[0011]所述機(jī)箱下底面設(shè)有調(diào)平腳墊。
[0012]本實用新型通過對現(xiàn)有技術(shù)的改進(jìn)，通過設(shè)置多個反射鏡及X軸和Y軸機(jī)構(gòu)的分尚設(shè)計，提聞?wù)麢C(jī)的穩(wěn)定性，運(yùn)動控制更加精確，
[0013]定位精度及重復(fù)定位精度高。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]附圖1為本實用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]附圖2為附圖1中A處放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]附圖3為本實用新型俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]附圖4為本實用新型主視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解，下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的描述。
[0019]如附圖1?4所示，本實用新型揭示了一種紫外激光打孔機(jī)，包括機(jī)箱I和操作機(jī)構(gòu)2，機(jī)箱I內(nèi)設(shè)有電箱，機(jī)箱I上端面設(shè)有Y軸導(dǎo)軌3，該Y軸導(dǎo)軌3上設(shè)有工作臺5，所述機(jī)箱I上端面裝有激光器13、擴(kuò)束鏡14、反射鏡組和支架7，擴(kuò)束鏡14位于激光器13的輸出端軸線上，支架7上設(shè)有X軸導(dǎo)軌6，X軸導(dǎo)軌6上裝有滑動塊4，該滑動塊4上設(shè)有Z軸升降機(jī)構(gòu)9，該Z軸升降機(jī)構(gòu)上裝接有掃描振鏡20、聚焦透鏡10及成像裝置15。激光器可選擇為紫外激光器。電箱內(nèi)設(shè)有供電模塊及各類電路器件，此為公知手段，不再贅述。工作臺5通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)(如電機(jī))可以在Y軸導(dǎo)軌上移動，滑動塊4通過相應(yīng)的電機(jī)或者氣缸在X軸導(dǎo)軌6上移動，此為常規(guī)手段，在此不再細(xì)述。操作機(jī)構(gòu)2通常包括顯示面板和操作面板，操作面板上一般都會設(shè)置各種操作按鍵，如開關(guān)機(jī)按鍵、吸附按鍵等等，顯示面板將工作情況實時的顯示出來，便于操作人員進(jìn)行觀察。Z軸升降機(jī)構(gòu)可采用螺桿及相應(yīng)的電機(jī)或者氣缸來驅(qū)動，Z軸升降機(jī)構(gòu)帶動成像裝置可上下移動，便于對產(chǎn)品進(jìn)行成像。此種Z軸升降機(jī)構(gòu)還可以采取其他結(jié)構(gòu)形式，如使用伺服電機(jī)+同步輪+同步帶+傳動軸帶動上下升降。或者采用其他形式的能夠?qū)崿F(xiàn)上下傳動的結(jié)構(gòu)，在此不一一列舉。
[0020]反射鏡組包括第一反射鏡81、第二反射鏡82、第三反射鏡83和第四反射鏡84，第一反射鏡與擴(kuò)束鏡位于同一水平軸線上，第二反射鏡裝在支架上，第三反射鏡和第四反射鏡均裝在滑動塊上。激光器發(fā)出的激光經(jīng)過擴(kuò)束鏡、第一反射鏡后進(jìn)行90度的反射角進(jìn)入到第二反射鏡中，然后再經(jīng)第三反射鏡和第四反射鏡。
[0021]在滑動塊4上裝設(shè)的Z軸升降機(jī)構(gòu)9上還安裝有激光位移傳感器12，該激光位移傳感器12位于聚焦透鏡的側(cè)邊，可以有效偵測銅箔的厚度，保證激光焦點能準(zhǔn)確落到銅箔上。
[0022]此外，在滑動塊4上還裝設(shè)有煙塵抽氣器11，可以有效抽走生產(chǎn)過程中的煙塵氣體，保證工作環(huán)境的清潔衛(wèi)生。在機(jī)箱I底面上還設(shè)有調(diào)平腳墊16，通過調(diào)節(jié)調(diào)平腳墊，可以調(diào)整整機(jī)的水平度，保證水平放置。
[0023]機(jī)箱上還可以先設(shè)置一龍崗巖或其他大理石材料制成的機(jī)身，然后工作臺、Y軸導(dǎo)軌等也都設(shè)置在該機(jī)身上，支架也可以采用龍崗巖或其他大理石材料制成。
[0024]工作時，將產(chǎn)品放置在工作臺上，工作臺可以在Y軸導(dǎo)軌上前后移動，移動到支架下方，激光器發(fā)出激光，經(jīng)過擴(kuò)束鏡后擴(kuò)展光束的直徑及減少光束的發(fā)散角，再進(jìn)入第一反射鏡，經(jīng)過反射后進(jìn)入第二反射鏡，經(jīng)過第二反射鏡的反射后再改變方向進(jìn)入第三反射鏡，經(jīng)過第三反射鏡的反射后進(jìn)入第四反射鏡，最終經(jīng)過第四反射鏡的反射后被成停留成像裝置進(jìn)行成像并顯示到顯示屏上。然后進(jìn)入掃描振鏡，經(jīng)過掃描振鏡的掃描后激光束進(jìn)入到聚焦透鏡中進(jìn)行聚焦，滑動塊可沿著X軸導(dǎo)軌左右移動，保證準(zhǔn)確的移動到工作臺產(chǎn)品的上方，然后射出作用在放置在工作臺上的產(chǎn)品上，實現(xiàn)對產(chǎn)品的加工。加工完成后，工作臺沿Y軸導(dǎo)軌返回并可取走加工好的產(chǎn)品。
【權(quán)利要求】
1.一種紫外激光打孔機(jī)，包括機(jī)箱(I)和操作機(jī)構(gòu)(2)，機(jī)箱內(nèi)設(shè)有電箱，機(jī)箱上端面設(shè)有Y軸導(dǎo)軌(3)，該Y軸導(dǎo)軌上設(shè)有工作臺(5)，其特征在于，所述機(jī)箱上端面裝有激光器(13),擴(kuò)束鏡(14)、反射鏡組和支架(7)，擴(kuò)束鏡位于激光器的輸出端軸線上，支架上設(shè)有X軸導(dǎo)軌(6)，X軸導(dǎo)軌上裝有滑動塊(4)，該滑動塊(4)上設(shè)有Z軸升降機(jī)構(gòu)(9)，該Z軸升降機(jī)構(gòu)上裝接有掃描振鏡(20)、聚焦透鏡(10)及成像裝置(15)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光打孔機(jī)，其特征在于，所述反射鏡組包括第一反射鏡(81)、第二反射鏡(82)、第三反射鏡(83)和第四反射鏡(84)，第一反射鏡與擴(kuò)束鏡位于同一水平軸線上，第二反射鏡裝在支架上，第三反射鏡和第四反射鏡均裝在滑動塊上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外激光打孔機(jī)，其特征在于，所述滑動塊上裝設(shè)的Z軸升降機(jī)構(gòu)(9 )上還安裝有激光位移傳感器(12)，該激光位移器位于聚焦透鏡的側(cè)邊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外激光打孔機(jī)，其特征在于，所述工作臺為真空吸附式工作臺。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紫外激光打孔機(jī)，其特征在于，所述滑動塊上還裝設(shè)有煙塵抽氣器(11)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外激光打孔機(jī)，其特征在于，所述機(jī)箱下底面設(shè)有調(diào)平腳墊(16)。
【文檔編號】B23K26/064GK203853681SQ201320857732
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年12月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月24日
【發(fā)明者】徐地華, 王天輝, 陳金祥, 余廷勛, 郭萌祖 申請人:昆山市正業(yè)電子有限公司