專利名稱：一種基于dsp航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種基于DSP航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統。它是ー種基于DSP的表面形貌測量與加工系統。DSP作為ー種信號采集與處理中心，通過傳感器測量已加工變形薄壁盤類零件的表面形貌，經DSP數據處理，將處理過的測量數據，通過壓電陶瓷產生位移輸出去加工精密夾具，已到達消除已加工變形誤差對下一歩加工精度的影響。屬精密切削制造技術領域。
(ニ)
背景技術：
隨著科學技術和エ業生產的發展，對于機械零件的加工精度和表面質量提出了更高的要求。高產、優質、低消耗，產品技術性好、使用壽命長，這是機械制造業所追求的基本目標，而這些目標的實現的基礎就是加工精度。而精密薄壁件能夠減少器件質量，提高使用壽命，廣泛的應用于航空航天領域。因而目前的薄壁零件加工是制造業的ー個重要方向。薄壁件由于壁薄加工變形量大加工精度很難保證，有20%-60%的加工誤差是由薄壁件的裝夾引起的，因而精密薄壁零件夾具的制造是薄壁零件加工中的重要環節。對于裝夾夾具的制造，一般為一次性裝夾夾具。通過合理的設計夾具的裝夾定位點，去減小裝夾對薄壁件加工變形的影響。而針對已加工變形件的夾具的制造還很少有人涉及。因此發明一種針對薄壁件變形夾具的測量加工系統變的尤為重要，使得對于薄壁盤類零件每ーエ步的加工變形對下一エ步的影響將變的很小。基于DSP的表面形貌測量與加エ系統包含表面形貌測量與快速伺服刀架系統。Digital Signal Processor (DSP)是ー種具有特殊結構的微處理器,它專門為實現數字信號處理的各種算法而設計，具有高速的數字處理能力。作為表面形貌測量與加工系統的數據采集與處理中心，能夠滿足測量加工系統實時性的要求。表面形貌測量系統能夠精密高速的測量已加工變形件的三維形貌。它是通過螺旋線的方式測量表面離散的點。并在DSP數據處理中心將無用的數據點剔除掉，保留對于加エ夾具有用的數據。快速伺服刀架系統，采用高精度壓電陶瓷微位移驅動器，以及以高精度電容傳感器為反饋的閉環控制系統，使得平臺能夠完成亞微米級位移輸出響應，能夠將表面形貌測量系統測得的表面形貌高精度的復制到夾具上。加工的夾具能夠很好的與已加工變形エ件很好的貼合，從而消除了加工變形對下一歩加工精度的影響。
發明內容
I、目的本發明的目的是提供一種基于DSP航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統，它能夠高精度的加工出針對已變形薄壁盤類零件的夾具。它克服了通常情況下薄壁盤類零件加工夾具只能一次性裝夾，造成薄壁零件的加工變形量很大，它沒有考慮每一步エ序造成的變形對下一歩加工精度的影響。
2、技術方案本發明是一種基于DSP航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統，它是由TMS320C6747芯片，以及基于該芯片的DSP開發板，DSP開發板5V供電電源，快速伺服刀架，壓電陶瓷位移驅動器，壓電陶瓷功率放大器，電容傳感器測量頭，電容傳感器信號放大器，電容傳感器電源，絕對式編碼器，直線光柵尺，激光位移傳感器測量頭，激光位移傳感器測量頭保持架，激光位移傳感器控制器，激光位移傳感器電源，絕對式編碼器支架，弾性聯軸器，單晶金剛石車刀，薄壁件エ件、夾具安裝平臺和實驗平臺組成。它們之間的位置連接關系是快速伺服刀架固定在實驗平臺溜板上；直線光柵尺的標尺光柵固定在實驗平臺溜板上，直線光柵尺的讀數頭固定在實驗平臺上，測量エ件徑向位移；絕對式編碼器由絕對式編碼器支架支撐，并通過彈性聯軸器與實驗平臺主軸相連；激光位移傳感器測量頭安裝在激光位移傳感器測量頭保持架上，激光位移傳感器測量頭保持架安裝在實驗平臺溜板上；DSP開發板的DA輸出ロ通過信號線接壓電陶瓷功率放大器；壓電陶瓷功率放大器信號線接壓電陶瓷位移驅動器，驅動實驗平臺的刀架產生微位移，去加工薄壁件的夾具；而電容傳感器信號接在DSP開發板的AD ロ，因為電容傳感器模擬量信號范圍為0-14V，而AD ロ只能接收-10V-+10V的模擬量信號，所以要將0-+14V的信號經模擬量調理電路轉換為-10V-+10V的電壓信號；激光位移傳感器輸出模擬量信號接DSP開發 板的AD ロ，由DSP開發板采集激光位移傳感器信號；14位絕對式編碼器為SSI接ロ，由DSP開發板的GPIO ロ(通用輸入輸出ロ)產生兩路CLOCK信號(CLK+、CLK-),而絕對式編碼器產生的DATA信號(DATA+、DATA-)由DSP開發板的GPIO ロ接收，絕對式編碼器供電由板載電源提供5V電源；直線光柵尺兩路方波信號接DSP開發板的GPM ロ，供電電源為5V由DSP開發板提供；所測量薄壁件エ件由實驗平臺夾頭安裝在實驗平臺主軸上；單晶金剛石車刀安裝在快速伺服刀架上。具體連接情況可參考圖I所示。所述DSP開發板是ー塊長約200mm,寬約150mm,厚約20mm的ー塊PCB開發板,是基于TMS320C6747芯片的雙核低功耗應用處理器，主頻可達300MHZ，便于實現數據處理，エ業控制，電機控制等場合。開發板具有DAC7724芯片為4通道12位精度的轉換芯片，輸出電壓范圍-10V—+10V ；AD7656轉換芯片，具有6路16位轉換精度的AD采集通道，輸入模擬量范圍-10V—+10V、-5V—+5V可選；具有30路GPIO ロ可用；具有512MB的SDRAM存儲空間；能夠提供3. 3V，5V電源接ロ ；具有4個中斷按鍵。所述壓電陶瓷位移驅動器是德國PI公司生產的P-844. 10型。長度為47mm，直徑為20mm。輸入電壓范圍0-100V，它具有推力大、響應快、剛度高等優點。最大伸長量為15um，空載頻響為16KHZ。所述壓電陶瓷功率放大器為德國PI公司研制的壓電陶瓷驅動電源E-503型，它長度30cm，寬20cm，高15cm。是ー種直流放大電源，輸出電壓范圍為-20 +120V，輸入模擬信號控制電壓為_2 +12V的電壓范圍。所述電容傳感器測量頭是米銥公司生產的CS02探測頭，量程為O. 2_。所述電容傳感器信號放大器為米銥公司生產的DT6100信號放大器,輸入電源為24V直流電源。所述電容傳感器電源是輸入220V交流電，輸出為24V直流電的線性電源。所述絕對式編碼器為14位精度，串行信號輸出的SSI接ロ，采用3. 3V電壓供電，所需的CLK-、CLK+信號為3. 3V的差分信號，產生的DATA-、DATA+信號為電平信號為0-3. 3V的電壓信號，可直接連接在DSP開發板的GPIO上。所述直線光柵尺為供電電壓為5V,分辨率為Ium的,信號為AB型的TTL型輸出的直線光柵尺。所述快速伺服刀架是ー長25cm、寬15cm、厚IOcm的長方體結構，具有彈性鉸鏈，刀柄安裝在弾性鉸鏈的一端，為壓電陶瓷位移驅動器產生微位移的執行機構。所述激光位移傳感器測量頭為基恩士公司的LK-H020測量頭，參考距離為20mm，測量范圍為+_3mm。所述激光位移傳感器測量頭保持架是ー T型夾具，起到固定激光位移傳感器測量頭的作用。 所述激光位移傳感器控制器型號為LK-G5001V，輸入電源為24V直流電源。所述激光位移傳感器電源型號為MS2-H50，輸入電源為220V交流電，輸出為24V直流電。所述絕對式編碼器支架是ー內徑40mm,外徑60mm,槽深20mm的圓柱結構,起到固定絕對式編碼器的作用。所述單晶金剛石車刀是一刀尖角為60度，刀具前角為零，后角為7度的單晶金剛石刀片，中間有直徑為3mm的定位孔。所述彈性聯軸器是一端為直徑6mm，連接絕對式編碼器軸端；令一端為直徑IOmm連接機床主軸端的弾性聯軸器。所述實驗平臺是ー HARDING高精度車床。所述夾具安裝平臺是ー長寬各為200mm、厚為30mm的45鋼平臺，安裝在實驗平臺的溜板上，具有安裝支撐激光位移傳感器測量頭保持架以及快速伺服刀架的作用。所述DSP開發板5V供電電源是ー接入220V交流電，輸出為5V直流電的變壓器電源。所述薄壁件エ件為一直徑在200mm以內的回轉圓柱薄壁件的表面。本系統的工作原理通過激光位移傳感器測量薄壁件エ件表面軸向位移(Z)，直線光柵尺測量エ件徑向位移(R)，絕對式編碼器測量圓周方向的旋轉角度:(0X這樣就能唯一的確定ー個的三維坐標(R，0,Z)。當加工夾具時就是將測量的軸向位移轉化為軸向的壓電陶瓷的位移輸出。而光柵尺和編碼器作為ー個位置反饋系統而存在。電容傳感器與壓電陶瓷組成一個閉環的控制系統，以提高快速伺服刀架18的動態響應性能和位移輸出響應精度。3、優點和功效本發明具有快速高精度的表面形貌測量與制造功能，主要能夠解決薄壁零件變形量大，每ー加工エ部都會有新的變形產生，精度很難保證，而夾具就無法滿足每ーエ步裝夾的需要；該測量加工系統能夠快速精密的制造出每ーエ步的夾具，從而使夾具具有很大的柔性，消除了由于裝夾、上一步變形等對下ーエ部的影響。I)高精度的、快速的測量薄壁盤類零件的形貌及加工誤差等；2)系統采用DSP高速數字信號處理芯片，能夠滿足高速、大量的采樣點的采集與處理；3)高精度的DA轉換及壓電陶瓷能夠完成納米級位移輸出響應；4)與傳統的形貌測量儀，三坐標測量機來對比，這套系統的成本很低。
圖I為本發明一種基于DSP的航空薄壁盤類零件表面形貌測量與夾具加工系統的結構示意圖；圖2為本發明中測量、數據處理以及加工系統運行時的程序流程圖。圖中符號說明如下I絕對式編碼器；2弾性聯軸器；3實驗平臺；4薄壁件エ件；5激光位移傳感器測量頭；6激光位移傳感器測量頭保持架；7直線光柵尺；8電容傳感器測量頭；9壓電陶瓷位移驅動器；10單晶金剛石車刀；11夾具安裝平臺；12電容傳感器信號放大器；13壓電陶瓷功率放大器；14激光位移傳感器控制器；1OTSP開發板5V供電電源，16DSP開發板；17激光位移傳感器電源；18快速伺服刀架；19電容傳感器電源，20絕對式編碼器支架。 具體實施例方式以下結合附圖詳細說明本發明的實施方案。見圖I、圖2，本發明ー種基于DSP航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統，它是由絕對式編碼器I、弾性聯軸器2、實驗平臺3、薄壁件エ件4、激光位移傳感器測量頭5、激光位移傳感器測量頭保持架6、直線光柵尺7、電容傳感器測量頭8、壓電陶瓷位移驅動器9、單晶金剛石車刀10、夾具安裝平臺11、電容傳感器信號放大器12、壓電陶瓷功率放大器13、激光位移傳感器控制器14、DSP開發板5V供電電源15、DSP開發板16、激光位移傳感器電源17、快速伺服刀架18、電容傳感器電源19和絕對式編碼器支架20以及ー些連接的電源線、信號線組成。它們之間的位置連接關系絕對式編碼器I由夾具固定在實驗平臺3上；絕對式編碼器I通過彈性聯軸器2與機床主軸相連；薄壁件エ件4通過夾具安裝在機床主軸上；激光位移傳感器測量頭保持架6通過螺栓固定在夾具安裝平臺11上，快速伺服刀架18通過螺栓安裝在夾具安裝平臺11上；激光位移傳感器測量頭5通過螺栓固定在激光位移傳感器測量頭保持架6上；快速伺服刀架18包括單晶金剛石車刀10、壓電陶瓷位移驅動器9、以及電容傳感器測量頭8 ;直線光柵尺7通過螺栓將直線光柵尺的測量頭安裝在實驗平臺3上，而直線光柵尺7的標尺光柵通過螺栓安裝在實驗平臺溜板上；激光位移傳感器信號線由激光位移傳感器控制器14發出接到DSP開發板的AD采集ロ的2通道上；直線光柵尺7的輸出信號由GPIO接收A、B信號，直線光柵尺7供電電源為5V;電容傳感器測量頭8信號經電容傳感器信號放大器12、電壓轉換通道接到DSP開發板的AD采集ロ的I通道上，電容傳感器信號放大器12的供電電源為24V ;絕對式編碼器I的CLK-、CLK+、DATA-、DATA+信號線通過DSP開發板的GPIO ロ連接、供電電源為3. 3V供電；DSP開發板的DA輸出通道接壓電陶瓷功率放大器13，壓電陶瓷功率放大器13供電電源為220V交流電源；壓電陶瓷功率放大器13信號線接壓電陶瓷位移驅動器9 ；DSP開發板16的供電電源為5V供電；DSP開發板程序通過JTAG接ロ將程序燒錄到DSP開發板的內存中。所述DSP開發板16是ー塊長約200mm，寬約150mm，厚約20mm的ー塊PCB開發板，是基于TMS320C6747芯片的雙核低功耗應用處理器，主頻可達300MHZ，便于實現數據處理，エ業控制，電機控制等場合。DSP開發板具有DAC7724芯片為4通道12位精度的轉換芯片，輸出電壓范圍-10V--+10V ；AD7656轉換芯片，具有6路16位轉換精度的AD采集通道，輸入模擬量范圍-10V—+10V、-5V—+5V可選；具有30路GPIO ロ可用；具有512MB的SDRAM存儲空間；能夠提供3. 3V，5V電源接ロ ；具有4個中斷按鍵。所述壓電陶瓷位移驅動器9是德國PI公司生產的P-844. 10型。長度為47mm，直徑為20mm。輸入電壓范圍0-100V，它具有推力大、響應快、剛度高等優點。最大伸長量為15um，空載頻響為16KHZ。壓電陶瓷驅動電源為德國PI公司研制的壓電陶瓷驅動電源E-503型，它長度30cm，寬20cm，高15cm。是ー種直流放大電源，輸出電壓范圍為_20 +120V，輸入模擬信號控制電壓為-2 +12V的電壓范圍。所述電容傳感器測量頭8是米銥公司生產的CS02探測頭，量程為O. 2mm。所述電容傳感器信號放大器12為米銥公司生產的DT6100信號放大器,輸入電源為24V直流電源。所述電容傳感器電源19是輸入220V交流電，輸出為24V直流電的線性電源。 所述激光位移傳感器測量頭5為基恩士公司的LK-H020測量頭，參考距離為20mm，測量范圍為+_3mm。所述激光位移傳感器測量頭保持架6是ー T型夾具，起到固定激光位移傳感器測量頭的作用。所述激光位移傳感器控制器14的型號為LK-G5001V，輸入電源為24V直流電源。所述激光位移傳感器電源17的型號為MS2-H50，輸入電源為220V交流電，輸出為24V直流電。所述絕對式編碼器I為14位精度，串行信號輸出的SSI接ロ，采用3. 3V電壓供電，所需的CLK-、CLK+信號為3. 3V的差分信號，產生的DATA-、DATA+信號為電平信號為0-3. 3V的電壓信號，可直接連接在DSP的GPIO上。所述單晶金剛石車刀10為刀具后角為7度，刀尖角度為60度的金剛石刀片。所述直線光柵尺7的供電電壓為5V,分辨率為Ium的,信號為AB型的TTL輸出的直線光柵尺。所述彈性聯軸器2是一端為直徑6_，連接絕對式編碼器軸端；令一端為直徑10_連接機床主軸端的弾性聯軸器。所述實驗平臺3是ー HARDING高精度車床。所述薄壁件エ件4為ー直徑在200mm以內的回轉圓柱薄壁件的表面。所述夾具安裝平臺11是ー長寬各位200mm、厚為30mm的45鋼平臺，安裝在實驗平臺3的溜板上，具有安裝支撐激光位移傳感器測量頭保持架6以及快速伺服刀架18的作用。所述壓電陶瓷功率放大器13為德國PI公司研制的壓電陶瓷驅動電源E-503型，它長度30cm,寬20cm,高15cm。是一種直流放大電源，輸出電壓范圍為_20 +120V,輸入模擬信號控制電壓為_2 +12V的電壓范圍。所述DSP開發板5V供電電源15是ー接入220V交流電，輸出為5V直流電的變壓器電源。所述快速伺服刀架18是ー長25cm、寬15cm、厚IOcm的長方體結構，具有彈性鉸鏈，刀柄安裝在弾性鉸鏈的一端，為壓電陶瓷位移驅動器9產生微位移的執行機構。
所述絕對式編碼器支架20是ー內徑40mm,外徑60mm,槽深20mm的圓柱結構,起到固定絕對式編碼器I的作用。本系統的工作流程主要分為以下兩部分( I)已加工變形薄壁件形貌的測量由直線光柵尺7測量薄壁件エ件4在徑向方向的位移(R);由絕對式編碼器I測量薄壁件エ件4某ー時刻在圓周方向的旋轉角度(0);由激光位移傳感器測量頭5測量薄壁件エ件4在軸向的位移(Z);當同時測量以上三個參數吋，那么即可唯一的確定薄壁件エ件4任意一點的坐標(R、0、Z)。按照一定的頻率將數據采集并保存在DSP開發板的SDRAM中，以便下一歩的數據處理和エ件夾具的加工使用。(2)對上ー步測量數據進行處理針對激光位移傳感器測量頭5易出現波動容易超出量程的特點，對數據進行過濾 處理，當數據超量程的時候將數據剔除棹，并通過相連數據的插值運算將數據替換。將采集點的Z值取反以滿足夾具加工時位移輸出的要求。由于采集數據的頻率較高能達到70KHZ，而快速伺服刀架18的響應頻率在12KHZ左右，所以要把采集到的數據做進一歩的稀疏處理。按照最優數據處理將每5個采集點劃分為ー個數據點陣，比較每個點陣之間的數據平滑程度，取能夠使數據點陣比較平滑的點作為ー個點陣中的關鍵點。(3)針對已加工變形薄壁件夾具的加工加工吋，將測量系統中的激光測位移系統換成快速伺服刀架系統。通過采集直線光柵尺7，絕對式編碼器I的值(R，0)去內存中查找上一歩數據處理完成后所對應的Z值。找到每一個確定的(R，0)對應的Z值，然后通過DSP開發板16的DA輸出ロ控制壓電陶瓷功率放大器13，最后驅動壓電陶瓷位移驅動器9完成已加工變形薄壁件夾具的加工。電容傳感器部分與壓電陶瓷位移驅動器9組成ー個閉環控制系統，以提高整個加エ系統的位移動態響應性能和位移跟蹤能力。
權利要求
1.一種基于DSP航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統，其特征在于它是由TMS320C6747芯片，以及基于該芯片的DSP開發板、DSP開發板5V供電電源、快速伺服刀架、壓電陶瓷位移驅動器、壓電陶瓷功率放大器、電容傳感器測量頭、電容傳感器信號放大器、電容傳感器電源、絕對式編碼器、直線光柵尺、激光位移傳感器測量頭、激光位移傳感器測量頭保持架、激光位移傳感器控制器、激光位移傳感器電源、絕對式編碼器支架、彈性聯軸器、單晶金剛石車刀、薄壁件工件、夾具安裝平臺和實驗平臺組成；快速伺服刀架固定在實驗平臺溜板上；直線光柵尺的標尺光柵固定在實驗平臺溜板上，直線光柵尺的讀數頭固定在實驗平臺上，測量工件徑向位移；絕對式編碼器由絕對式編碼器支架支撐，并通過彈性聯軸器與實驗平臺主軸相連；激光位移傳感器測量頭安裝在激光位移傳感器測量頭保持架上，激光位移傳感器測量頭保持架安裝在實驗平臺溜板上；DSP開發板的DA輸出口通過信號線接壓電陶瓷功率放大器；壓電陶瓷功率放大器信號線接壓電陶瓷位移驅動器，驅動實驗平臺的刀架產生微位移，去加工薄壁件的夾具；而電容傳感器信號接在DSP開發板的AD口，激光位移傳感器輸出模擬量信號接DSP開發板的AD 口，由DSP開發板米集激光位移傳感器信號；14位絕對式編碼器為SSI接口，由DSP開發板的GPIO通用輸入輸出口產生兩路CLOCK信號，而絕對式編碼器產生的DATA信號由DSP開發板的GPIO通用輸入輸出口接收，絕對式編碼器供電由板載電源提供5V電源；直線光柵尺兩路方波信號接DSP開發板的GPIO通用輸入輸出口，供電電源為5V由DSP開發板提供；所測量薄壁件工件由實驗平臺夾頭安裝在實驗平臺主軸上；單晶金剛石車刀安裝在快速伺服刀架上； 所述DSP開發板是一塊長200臟，寬150臟，厚20mm的一塊PCB開發板，是基于TMS320C6747芯片的雙核低功耗應用處理器，主頻達300MHZ，便于實現數據處理，工業控制，電機控制場合； 所述壓電陶瓷位移驅動器是P-844. 10型，長度為47mm，直徑為20mm ;輸入電壓范圍0-100V，最大伸長量為15um，空載頻響為16KHZ ； 所述壓電陶瓷功率放大器為壓電陶瓷驅動電源E-503型，它長度30cm，寬20cm，高15cm，是一種直流放大電源，輸出電壓范圍為-2(T+120V，輸入模擬信號控制電壓為-2、12V的電壓范圍； 所述電容傳感器測量頭是CS02探測頭，量程為O. 2mm ； 所述電容傳感器信號放大器為DT6100信號放大器,輸入電源為24V直流電源； 所述電容傳感器電源是輸入220V交流電，輸出為24V直流電的線性電源； 所述絕對式編碼器為14位精度，串行信號輸出的SSI接口，采用3. 3V電壓供電，所需的CLK-、CLK+信號為3. 3V的差分信號，產生的DATA-、DATA+信號為電平信號為0-3. 3V的電壓信號，直接連接在DSP開發板的GPIO通用輸入輸出口上； 所述直線光柵尺為供電電壓為5V，分辨率為Ium的，信號為AB型的TTL型輸出的直線光柵尺； 所述快速伺服刀架是一長25cm、寬15cm、厚IOcm的長方體結構，具有彈性鉸鏈，刀柄安裝在彈性鉸鏈的一端，為壓電陶瓷位移驅動器產生微位移的執行機構； 所述激光位移傳感器測量頭為LK-H020測量頭，參考距離為20mm，測量范圍為+_3mm ；所述激光位移傳感器測量頭保持架是一 T型夾具，起到固定激光位移傳感器測量頭的作用；所述激光位移傳感器控制器型號為LK-G5001V，輸入電源為24V直流電源； 所述激光位移傳感器電源型號為MS2-H50，輸入電源為220V交流電，輸出為24V直流電； 所述絕對式編碼器支架是一內徑40mm,外徑60mm,槽深20mm的圓柱結構,起到固定絕對式編碼器的作用； 所述單晶金剛石車刀是一刀尖角為60度，刀具前角為零，后角為7度的單晶金剛石刀片，中間有直徑為3mm的定位孔； 所述彈性聯軸器是一端為直徑6_，連接絕對式編碼器軸端；令一端為直徑10_連接機床主軸端的彈性聯軸器； 所述夾具安裝平臺是一長寬各為200mm、厚為30mm的45鋼平臺，安裝在實驗平臺的溜 板上，具有安裝支撐激光位移傳感器測量頭保持架以及快速伺服刀架的作用； 所述實驗平臺是一 HARDING高精度車床； 所述DSP開發板5V供電電源是一接入220V交流電，輸出為5V直流電的變壓器電源； 所述薄壁件工件為一直徑在200mm以內的回轉圓柱薄壁件的表面。
全文摘要
一種基于DSP航空薄壁盤類件表面形貌測量與夾具加工系統，它由TMS320C6747芯片以及基于該芯片的DSP開發板、DSP開發板5V供電電源、快速伺服刀架、壓電陶瓷位移驅動器、壓電陶瓷功率放大器、電容傳感器測量頭、電容傳感器信號放大器、電容傳感器電源、絕對式編碼器、直線光柵尺、激光位移傳感器測量頭、激光位移傳感器測量頭保持架、激光位移傳感器控制器、激光位移傳感器電源、絕對式編碼器支架、彈性聯軸器、單晶金剛石車刀、薄壁件工件、夾具安裝平臺和實驗平臺組成；本發明具有快速高精度表面形貌測量與制造功能，能夠解決薄壁零件變形量大，每一加工工序都有新的變形產生，精度很難保證，而夾具無法滿足每一工步裝夾的需要；它在機械加工領域里有實用價值。
文檔編號B23Q15/00GK102672540SQ20121014632
公開日2012年9月19日 申請日期2012年5月11日 優先權日2012年5月11日
發明者張德遠, 李佑杰, 陳華偉, 馬靈犀 申請人:北京航空航天大學