標(biāo)準(zhǔn)工具和在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)和方法

專(zhuān)利名稱(chēng)：標(biāo)準(zhǔn)工具和在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)和方法
標(biāo)準(zhǔn)工具和在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)和方法本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2007年6月11日、國(guó)際申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/US2007/070881、國(guó)家申請(qǐng)?zhí)枮?00780023457. 2、發(fā)明名稱(chēng)為“標(biāo)準(zhǔn)工具和在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)和方法”的專(zhuān)利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。
背景技術(shù)：
本申請(qǐng)的發(fā)明人在標(biāo)準(zhǔn)工具(mastering tool)上形成了確定性紋理表面 (textured surface)。然而，紋理表面在基本紋理圖案上可疊加有無(wú)意形成的干擾圖案。此外，無(wú)意圖案使標(biāo)準(zhǔn)工具的美學(xué)和形貌特性明顯劣化。這些圖案可包括標(biāo)準(zhǔn)工具的波紋圖案、帶狀圖案、條狀圖案、條紋圖案、細(xì)條紋圖案、木紋圖案或色彩不均勻度。應(yīng)當(dāng)指出的是， 具有較大單元開(kāi)口尺寸(例如大于100微米)的粗大圖案往往較少出現(xiàn)上述問(wèn)題。在單元開(kāi)口尺寸較小時(shí)，較容易出現(xiàn)上述問(wèn)題。特別是，在制造具有高度工程確定性紋理的標(biāo)準(zhǔn)工具時(shí)，紋理單元的高度規(guī)則性使其易于受到紋理化裝置的機(jī)械不精確性或振動(dòng)的影響和紋理化過(guò)程中任意微小不精確性的影響。此外，任何紋理化裝置均存在一定程度的不精確性。這種誤差和規(guī)則紋理單元的相互作用/干擾導(dǎo)致形成不期望獲得的帶或圖案。此外，用于制造光學(xué)膜或片的具有高度工程性紋理的標(biāo)準(zhǔn)工具將任意規(guī)則或不規(guī)則的帶或圖案轉(zhuǎn)移到膜或片上(在標(biāo)準(zhǔn)工具本身具有這些圖案的情況下)。因而，本申請(qǐng)的發(fā)明人認(rèn)識(shí)到需要在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的改進(jìn)系統(tǒng)和方法，所述多個(gè)單元具有不同的單元幾何尺寸和單元布局位置，從而可最小化和/或消除標(biāo)準(zhǔn)工具上不期望獲得的帶或圖案。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法。該方法包括朝向光線衰減裝置發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖。該方法還包括生成第一信號(hào)，該第一信號(hào)具有基于第一幅值的幅度。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該方法還包括響應(yīng)第一信號(hào)利用光線衰減裝置使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)。該方法還包括利用衰減的第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元。該方法還包括朝向光線衰減裝置發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖。該方法還包括生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)。第二幅值是與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該方法還包括響應(yīng)第二信號(hào)利用光線衰減裝置使第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)。該方法還包括利用衰減的第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。根據(jù)本發(fā)明另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括激光器，配置該激光器以發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖。該系統(tǒng)還包括可操作地與激光器連通的控制器，配置該控制器以生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該系統(tǒng)還包括光線衰減裝置，配置該光線衰減裝置以接收第一激光脈沖和第一信號(hào)。進(jìn)一步配置光線衰減裝置以響應(yīng)第一信號(hào)使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)，使得第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元。進(jìn)一步配置激光器， 以發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖。進(jìn)一步配置控制器，以生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)。第二幅值是與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。進(jìn)一步配置光線衰減裝置，以接收第二激光脈沖和第二信號(hào)。進(jìn)一步配置光線衰減裝置，以響應(yīng)第二信號(hào)使第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)，使得第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法。該方法包括朝向光線移位裝置發(fā)射第一激光脈沖。該方法還包括生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)。 第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離范圍內(nèi)位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該方法還包括響應(yīng)第一信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。該方法還包括引導(dǎo)來(lái)自光線移位裝置的第一激光脈沖，使得第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成第一單元。該方法還包括朝向光線移位裝置發(fā)射第二激光脈沖。該方法還包括生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)。第二幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該方法還包括響應(yīng)第二信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。該方法還包括引導(dǎo)來(lái)自光線移位裝置的第二激光脈沖，使得第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括激光器，配置該激光器以發(fā)射第一激光脈沖。該系統(tǒng)還包括可操作地與激光器連通的控制器，配置該控制器以生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離范圍內(nèi)位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該系統(tǒng)還包括可操作地連接在第一裝置上的光線移位裝置。配置第一裝置以響應(yīng)第一信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。配置光線移位裝置以引導(dǎo)第一激光脈沖，從而在響應(yīng)第一信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)之后，第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成第一單元。進(jìn)一步配置激光器以發(fā)射第二激光脈沖。進(jìn)一步配置控制器，以生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)。第二幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。進(jìn)一步配置第一裝置，以響應(yīng)第二信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。進(jìn)一步配置光線移位裝置以引導(dǎo)第二激光脈沖，從而在響應(yīng)第二信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)后，在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法。該方法包括朝向光衰減裝置發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖。該方法還包括生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離范圍內(nèi)位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該方法還包括響應(yīng)第一信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。該方法還包括生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)。第二幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該方法還包括響應(yīng)第二信號(hào)利用光線衰減裝置使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)。該方法還包括弓I導(dǎo)來(lái)自光線移位裝置的衰減的第一激光脈沖，使得衰減的第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元。該方法還包括朝向光線衰減裝置發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖。該方法還包括生成幅度基于第三幅值的第三信號(hào)，該第三幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)。該方法還包括響應(yīng)第三信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。該方法還包括生成幅度基于第四幅值的第四信號(hào)，該第四幅值與單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)。該方法還包括引導(dǎo)來(lái)自光線移位裝置的衰減的第二激光脈沖，使得衰減的第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括激光器，構(gòu)造該激光器以發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖。該系統(tǒng)還包括可操作地與激光器連通的控制器，配置該控制器以生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離范圍內(nèi)位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。該系統(tǒng)還包括可操作地連接在第一裝置上的光線移位裝置。配置該第一裝置，以響應(yīng)第一信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。進(jìn)一步配置控制器，以生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)。第二幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。配置光線衰減裝置，以響應(yīng)第二信號(hào)使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)。配置光線移位裝置，以引導(dǎo)衰減的第一激光脈沖，從而在響應(yīng)第一信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)后，第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元。進(jìn)一步配置激光器以發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖。進(jìn)一步配置控制器， 以生成幅度基于第三幅值的第三信號(hào)，該第三幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)。進(jìn)一步配置第一裝置，以響應(yīng)第三信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)。進(jìn)一步配置控制器以生成幅度基于第四幅值的第四信號(hào)，該第四幅值與單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)。進(jìn)一步配置光線衰減裝置，以響應(yīng)第四信號(hào)使第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)。進(jìn)一步配置光線移位裝置以弓I導(dǎo)衰減的第二激光脈沖，從而在響應(yīng)第三信號(hào)調(diào)節(jié)光線移位裝置的操作參數(shù)后，第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法。該方法包括以第一指令功率級(jí)發(fā)射多個(gè)第一激光脈沖，從而在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)第一單元。該方法還包括測(cè)量與多個(gè)第一激光脈沖相關(guān)的平均功率級(jí)。該方法還包括基于測(cè)量的平均功率級(jí)和期望的平均功率級(jí)計(jì)算平均功率誤差值。該方法還包括基于第一指令功率級(jí)和平均功率誤差值計(jì)算第二指令功率級(jí)。該方法還包括以第二指令功率級(jí)發(fā)射多個(gè)第二激光脈沖，從而在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括激光器，配置該激光器，從而以第一指令功率級(jí)發(fā)射多個(gè)第一激光脈沖，從而在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)第一單元。該系統(tǒng)還包括功率監(jiān)測(cè)傳感器，配置該功率監(jiān)測(cè)傳感器以測(cè)量多個(gè)第一激光脈沖的平均功率級(jí)。該系統(tǒng)還包括可操作地連接在功率監(jiān)測(cè)傳感器和激光器上控制器。配置控制器，以基于測(cè)量的平均功率級(jí)和期望的平均功率級(jí)計(jì)算平均功率誤差值。進(jìn)一步配置控制器，以基于第一指令功率級(jí)和平均功率誤差值計(jì)算第二指令功率級(jí)。進(jìn)一步配置控制器，從而以第二指令功率級(jí)發(fā)射多個(gè)第二激光脈沖，從而在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)第二單元。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供標(biāo)準(zhǔn)工具。該標(biāo)準(zhǔn)工具包括具有多個(gè)單元的圓柱形輥。所述多個(gè)單元具有單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)的單元開(kāi)口尺寸預(yù)定分布。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供標(biāo)準(zhǔn)工具。該標(biāo)準(zhǔn)工具包括具有多個(gè)單元的圓柱狀輥。所述多個(gè)單元設(shè)置在圓柱狀輥上，以使多個(gè)單元具有位置誤差距離范圍內(nèi)的位置誤差距離預(yù)定分布。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供標(biāo)準(zhǔn)工具。該標(biāo)準(zhǔn)工具包括具有多個(gè)單元的板狀構(gòu)件。所述多個(gè)單元具有單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)的單元開(kāi)口尺寸預(yù)定分布。根據(jù)另一示范性實(shí)施方式，提供標(biāo)準(zhǔn)工具。該標(biāo)準(zhǔn)工具包括具有多個(gè)單元的板狀構(gòu)件。所述多個(gè)單元設(shè)置在板狀構(gòu)件上，以使多個(gè)單元具有位置誤差距離范圍內(nèi)的位置誤差距離預(yù)定分布。


圖1是根據(jù)示范性實(shí)施方式通過(guò)單元幾何不規(guī)則化在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)的示意圖；圖2是標(biāo)準(zhǔn)工具上未經(jīng)單元幾何不規(guī)則化具有六方密堆圖案的多個(gè)單元的示意圖；圖3是標(biāo)準(zhǔn)工具上經(jīng)過(guò)單元幾何不規(guī)則化具有六方密堆圖案的多個(gè)單元的示意圖；圖4是圖1所示系統(tǒng)中用于在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成單元的示范性激光脈沖功率級(jí)的示意圖；圖5是形成在標(biāo)準(zhǔn)工具上的多個(gè)單元的單元開(kāi)口尺寸示范性分布的示意圖；圖6是形成在標(biāo)準(zhǔn)工具上的多個(gè)單元的單元開(kāi)口尺寸另一示范性分布的示意圖；圖7是標(biāo)準(zhǔn)工具外表面上激光脈沖示范性焦點(diǎn)的示意圖；圖8是標(biāo)準(zhǔn)工具的一部分的截面示意圖，示例通過(guò)圖7所示的激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成的單元；圖9是標(biāo)準(zhǔn)工具外表面上另一激光脈沖的另一示范性焦點(diǎn)的示意圖；圖10是標(biāo)準(zhǔn)工具的一部分的截面示意圖，示例通過(guò)圖9所示的激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成的單元；圖11是使用YAG激光器在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的圖1所示系統(tǒng)的示范性操作參數(shù)列表；圖12是使用鐿光纖激光器在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的圖1所示系統(tǒng)的替換性實(shí)施方式的示范性操作參數(shù)列表；圖13-17是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式使用圖1所示系統(tǒng)在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法的流程圖；圖18是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式通過(guò)單元布局不規(guī)則化在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)的示意圖；圖19是標(biāo)準(zhǔn)工具上經(jīng)過(guò)單元布局不規(guī)則化的多個(gè)單元的示意圖；圖20是圖18所示系統(tǒng)用于在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的多個(gè)幅值的示意圖；圖21是利用圖20所示多個(gè)幅值在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成的多個(gè)單元的單元布局誤差示范性分布的示意圖；圖22是圖18所示系統(tǒng)用于在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的另外多個(gè)幅值的示意圖23是利用圖22所示多個(gè)幅值在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成的多個(gè)單元的單元布局誤差另一示范性分布的示意圖；圖M示例多個(gè)示范性布局軌跡，設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)工具上的多個(gè)單元的中心點(diǎn)位于所述布局軌跡上；圖25示例另外多個(gè)示范性布局軌跡，設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)工具上的多個(gè)單元的中心點(diǎn)位于所述布局軌跡上；圖沈-30是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式利用圖18所示系統(tǒng)在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法的流程圖；圖31是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式通過(guò)單元布局不規(guī)則化和單元幾何不規(guī)則化在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)的示意圖；圖32是標(biāo)準(zhǔn)工具上經(jīng)過(guò)單元布局不規(guī)則化和單元幾何不規(guī)則化的多個(gè)單元的示意圖；圖33-38是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式利用圖31所示的系統(tǒng)在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法的流程圖；圖39是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)的示意圖； 和圖40-41是根據(jù)另一示范性實(shí)施方式利用圖39所示的系統(tǒng)在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式參考圖1，提供在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)20。將單元定義為從標(biāo)準(zhǔn)工具的外表面延伸到標(biāo)準(zhǔn)工具中的凹腔。各單元具有高寬比，高寬比定義為單元的深度除以單元開(kāi)口的尺寸。標(biāo)準(zhǔn)工具定義為具有多個(gè)單元的任意工具，所述多個(gè)單元經(jīng)配置在另一種材料上形成紋理表面。例如，標(biāo)準(zhǔn)工具可將紋理表面限定在所述材料構(gòu)成的膜或片上。此外，標(biāo)準(zhǔn)工具的形狀或構(gòu)造可根據(jù)所需應(yīng)用而改變。在所示示范性實(shí)施方式中，標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn) 包括圓柱形輥。在可供選擇的示范性實(shí)施方式中，標(biāo)準(zhǔn)工具包括平板(未示出)。在一種示范性實(shí)施方式中，標(biāo)準(zhǔn)工具由鋼制成并具有鉻制外表面。在另一示范性實(shí)施方式中，標(biāo)準(zhǔn)工具由鋼制成并具有陶瓷外表面。系統(tǒng)20的優(yōu)勢(shì)在于，該系統(tǒng)20采用幾何不規(guī)則化方法， 通過(guò)改變接觸標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的激光脈沖的功率級(jí)，來(lái)改變形成在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上的單元的高寬比。因而，標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)具有紋理表面，該紋理表面可形成沒(méi)有上述不期望獲得的帶和圖案的紋理膜。該系統(tǒng)20包括激光器30，電源32，光線衰減裝置34，信號(hào)發(fā)生器35，反射鏡 36、38、40、聚焦透鏡42、輸運(yùn)裝置44、聚焦裝置46、電動(dòng)機(jī)48、位置傳感器50和控制器52。設(shè)置激光器30以產(chǎn)生用于在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的多個(gè)激光脈沖。在所示示范性實(shí)施方式中，激光器30包括單模Q-開(kāi)關(guān)YAG激光器。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器30可包括能夠在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成單元的任意已知的激光器。例如，在替換性實(shí)施方式中，激光器30包括單模連續(xù)式鐿光纖激光器。經(jīng)由來(lái)自控制器52的控制信號(hào)控制激光器30。此外，激光器30從電源32獲得電力。激光器30包括YAG室60，反射鏡 62、64，擋板66，Q開(kāi)關(guān)70和經(jīng)配置容納前述部件的外殼72。設(shè)置YAG室60以響應(yīng)從電源32獲得的電力產(chǎn)生激光束。光穿過(guò)具有通孔68的擋板66傳播。穿過(guò)孔68的光束的直徑和振型(mode shape)基本取決于孔68的直徑。在一種示范性實(shí)施方式中，孔68的直徑為1毫米。顯然，孔68還可具有小于或大于1毫米的直徑。響應(yīng)從控制器52接收控制信號(hào)的Q-開(kāi)關(guān)70，通過(guò)Q-開(kāi)關(guān)70將激光束間歇式轉(zhuǎn)換為到達(dá)反射鏡62的激光脈沖。如本領(lǐng)域技術(shù)人員所知，反射鏡62、反射鏡64和YAG室60 用于產(chǎn)生連續(xù)激光束。擋板66中的孔68控制激光束的振型、尺寸和質(zhì)量。Q開(kāi)關(guān)70用于朝向光線衰減裝置34發(fā)射強(qiáng)度較高的激光脈沖，而不是連續(xù)激光束。設(shè)置信號(hào)發(fā)生器35，以生成多個(gè)幅值，所述幅值被控制器52接收并隨后用于促使光線衰減裝置34改變用于在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的激光脈沖的功率級(jí)。應(yīng)當(dāng)指出的是，可通過(guò)改變激光脈沖的功率級(jí)，來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成的單元的單元開(kāi)口尺寸和單元深度。設(shè)置光線衰減裝置34，以根據(jù)來(lái)自控制器52的控制信號(hào)使從激光器30接收的多個(gè)激光脈沖的功率級(jí)衰減。具體地，光線衰減裝置34從激光器30接收一定功率級(jí)的各激光脈沖，并基于來(lái)自控制器35的控制信號(hào)使激光脈沖衰減至另一功率級(jí)。光線衰減裝置34 設(shè)置在激光器30和反射鏡36之間。參考圖4，光線衰減裝置34使激光脈沖96、98、100的功率級(jí)在最大功率級(jí)(Ρ λ)和最小功率級(jí)(Ρ·、)之間變化。再次參考圖1，設(shè)置反射鏡36以從光線衰減裝置34接收激光脈沖并將激光脈沖反射至反射鏡38。在所示實(shí)施方式中，反射鏡36為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡36配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器52的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡38的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡38以接收來(lái)自反射鏡36的激光脈沖并將激光脈沖反射至反射鏡40。 在所示實(shí)施方式中，反射鏡38為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡38配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器52的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡40的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡40以接收來(lái)自反射鏡38的激光脈沖并將激光脈沖反射至聚焦透鏡 42。反射鏡40連接在輸運(yùn)裝置44上，輸運(yùn)裝置44使反射鏡40大致平行于標(biāo)準(zhǔn)工具46從標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的一端25移動(dòng)到另一端26。設(shè)置光學(xué)部件例如聚焦透鏡42，以接收來(lái)自反射鏡40的多個(gè)激光脈沖并使各激光脈沖聚焦。在一種示范性實(shí)施方式中，聚焦透鏡具有40毫米的焦距。在替換性實(shí)施方式中，聚焦透鏡42具有50毫米和80毫米的焦距。顯然，聚焦透鏡42可具有介于40毫米和 80毫米之間、或小于40毫米、或大于80毫米的焦距。顯然，在替換性實(shí)施方式中，光學(xué)部件可以是具有將激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具上的功能的一組或一系列透鏡。此外，光學(xué)部件可包括具有預(yù)定小面的光纖(未示出)，光纖將激光脈沖輸送至標(biāo)準(zhǔn)工具，以在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成單元。設(shè)置聚焦裝置46以朝向標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)向內(nèi)或向外移動(dòng)反射鏡40，來(lái)根據(jù)來(lái)自控制器52的控制信號(hào)，相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)調(diào)整激光脈沖的焦點(diǎn)。聚焦裝置46物理連接在輸運(yùn)裝置44和聚焦透鏡42上并電連接在控制器52上。參考圖7和圖8，在操作過(guò)程中，聚焦裝置46可將聚焦透鏡移至第一位置(Fl)，從而聚焦透鏡42使激光脈沖130聚焦到焦點(diǎn)132， 焦點(diǎn)132處于標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)內(nèi)的預(yù)定最佳深度。激光脈沖130在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成具有寬度(Wl)和深度(Dl)的單元150，其中高寬比較高。參考圖9和圖10，在操作過(guò)程中，聚焦裝置46可將聚焦透鏡42移至另一位置(F》，從而聚焦透鏡42使激光脈沖140聚焦到焦點(diǎn)142，焦點(diǎn)142處于標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)內(nèi)另一預(yù)定深度。激光脈沖140在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成具有寬度(W2)和深度(D2)的單元152，其中寬度(W2)大于寬度(Wl)，深度(D2)小于深度 (Dl)。參考圖1，設(shè)置輸運(yùn)裝置44，以根據(jù)來(lái)自控制器52的控制信號(hào)將反射鏡40、聚焦裝置46和聚焦透鏡42從標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的一端25移至另一端26。應(yīng)當(dāng)指出的是，在操作過(guò)程中，當(dāng)輸運(yùn)裝置44相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)停在某一位置時(shí)，可使標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而在輸運(yùn)裝置44相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)移至另一位置之前，激光脈沖可圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的周邊形成多個(gè)單元。顯然，在替換性實(shí)施方式中，可通過(guò)使輸運(yùn)裝置44相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)連續(xù)步進(jìn)， 實(shí)現(xiàn)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)形成多個(gè)單元。在替換性實(shí)施方式中，可沿螺旋軌跡而不是沿環(huán)形軌跡在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元。輸運(yùn)裝置44物理連接在反射鏡40、聚焦裝置46和聚焦透鏡42上并電連接在控制器52上。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器72和光線衰減裝置34可直接連接在輸運(yùn)裝置44上。在該替換性實(shí)施方式中，激光器72向光線衰減裝置34發(fā)射激光脈沖，光線衰減裝置34進(jìn)一步將激光脈沖引向聚焦透鏡42。聚焦透鏡42將激光脈沖引向標(biāo)準(zhǔn)工具 24,從而在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成單元。設(shè)置電動(dòng)機(jī)48以響應(yīng)來(lái)自控制器52的控制信號(hào)使標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)以預(yù)定的速度圍繞軸49轉(zhuǎn)動(dòng)。電動(dòng)機(jī)48物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上并電連接在控制器52上。設(shè)置位置傳感器50以生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)轉(zhuǎn)動(dòng)位置的信號(hào)。位置傳感器50物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上并電連接在控制器52上。設(shè)置控制器52以控制用于在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)20的部件的操作。具體地，配置控制器52以控制激光器30、輸運(yùn)裝置44、聚焦裝置46和電動(dòng)機(jī)48的操作。進(jìn)一步配置控制器52，以從信號(hào)發(fā)生器35接收幅值，來(lái)控制光線衰減裝置34，從而改變裝置34發(fā)出的激光脈沖的功率級(jí)。進(jìn)一步配置控制器52以從位置傳感器50接收位置信號(hào)，可使用位置傳感器50將單元精確定位在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上的預(yù)期轉(zhuǎn)動(dòng)位置?？刂破?2 包括中央處理器(CPU)、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)(例如只讀存儲(chǔ)器(ROM)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)) 和輸入-輸出(I/O)界面(未示出)。CPU執(zhí)行存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中的軟件算法，來(lái)實(shí)現(xiàn)以下結(jié)合系統(tǒng)20所述的控制方法。參考圖3，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)工具上經(jīng)過(guò)單元幾何不規(guī)則化的多個(gè)單元的布置進(jìn)行簡(jiǎn)要說(shuō)明。 單元幾何不規(guī)則化是指使用具有不同功率級(jí)的激光脈沖按照預(yù)定分布形成具有不同高寬比(例如不同的單元開(kāi)口尺寸、不同的單元深度或二者)的單元的方法。如圖所示，在進(jìn)行單元幾何不規(guī)則化的情況下，標(biāo)準(zhǔn)工具上多個(gè)單元82具有不同的單元開(kāi)口尺寸。具體地， 中心沿軌跡84的單元81、82、83具有不同的單元開(kāi)口尺寸。應(yīng)當(dāng)指出的是，出于簡(jiǎn)化的目的，以2維視圖示出軌跡84。此外，中心沿軌跡88的單元85、86、87具有不同的單元開(kāi)口尺寸。與之相對(duì)，參考圖2，在未經(jīng)單元幾何不規(guī)則化的情況下，標(biāo)準(zhǔn)工具上多個(gè)單元80可具有基本相同的單元開(kāi)口尺寸。此外，應(yīng)當(dāng)指出的是，可根據(jù)所需的光學(xué)性質(zhì)，改變單元的堆積圖案。例如，堆積圖案可以是四方堆積圖案、面心立方堆積圖案、六方堆積圖案或前述堆積圖案的任意組合。參考圖5，圖表110示出了可使用系統(tǒng)20得到的標(biāo)準(zhǔn)工具上單元開(kāi)口尺寸的示范性分布。具體地，矩形條112表明標(biāo)準(zhǔn)工具上12%的單元具有15微米的單元開(kāi)口尺寸。此外，圖表110示出了功率級(jí)為Pl_l的激光脈沖用于形成單元開(kāi)口尺寸為15微米的各單元。 圖表110還表明幅值Sl_l用于促使光線衰減裝置34輸出功率級(jí)為Pl_l的激光脈沖。此外，具體地，矩形條114表明標(biāo)準(zhǔn)工具上7%的單元具有25微米的單元開(kāi)口尺寸。此外，圖表Iio示出了功率級(jí)為Pl_ll的激光脈沖用于形成單元開(kāi)口尺寸為25微米的各單元。圖表110還表明幅值Sl_ll用于促使光線衰減裝置34輸出功率級(jí)為Pl_ll的激光脈沖。參考圖6，圖表120示出了可使用系統(tǒng)20得到的標(biāo)準(zhǔn)工具上單元開(kāi)口尺寸的另一示范性分布。具體地，矩形條122表明標(biāo)準(zhǔn)工具上23%的單元具有15微米的單元開(kāi)口尺寸。此外，圖表120示出了功率級(jí)為P2_l的激光脈沖用于形成單元開(kāi)口尺寸為15微米的各單元。圖表120還表明幅值S2_l用于促使光線衰減裝置34輸出功率級(jí)為P2_l的激光脈沖。此外，具體地，矩形條IM表明標(biāo)準(zhǔn)工具上5%的單元具有18微米的單元開(kāi)口尺寸。此外，圖表120示出了功率級(jí)為P2_4的激光脈沖用于形成單元開(kāi)口尺寸為18微米的各單元。圖表120還表明幅值S2_4用于促使光線衰減裝置34輸出功率級(jí)為P2_4激光脈沖。參考圖11，表160示出了與用于在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)20相關(guān)的以實(shí)驗(yàn)為依據(jù)確定的操作參數(shù)。此外，所述操作參數(shù)與在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的鉻制表面上形成單元相關(guān)。此外，使用YAG激光器確定所述操作參數(shù)。具體地，表160表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為10-25微米、高寬比為0-1. 25的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于40毫米，(ii)到達(dá)標(biāo)準(zhǔn)工具的激光脈沖的平均功率為1-5瓦，(iii)激光脈沖寬度等于6. 1微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士30微米。工作范圍表示聚焦透鏡和標(biāo)準(zhǔn)工具表面之間距離(例如圖7中的距離Fl)的公差范圍，在該公差范圍內(nèi)將保持單元的均一性和整體性。表160還表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上可形成單元開(kāi)口尺寸為 15-35微米、高寬比為0-1.0的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于50毫米，(ii)激光脈沖的平均功率為3-8瓦，(iii)激光脈沖寬度等于6. 1微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士60微米。表160還表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為25-50微米、高寬比為0-0. 9的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于80毫米，(ii)激光脈沖的平均功率為6-10 瓦，(iii)激光脈沖寬度等于6. 1微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士 100微米。表160還表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為50-100微米、高寬比為0-0. 5的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于80毫米，(ii)利用多脈沖形成單元，激光脈沖的平均功率為10-20瓦，(iii)激光脈沖寬度等于8. 3微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士 100微米。參考圖12，表170示出了與用于在陶瓷標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)20相關(guān)的以實(shí)驗(yàn)為依據(jù)確定的操作參數(shù)。此外，使用鐿光纖激光器代替激光器30確定所述操作參數(shù)。具體地，表170表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為10-25微米、高寬比為0-1. 25的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于40毫米，(ii)激光脈沖的平均功率為 1-15瓦，(iii)激光脈沖寬度等于2. 8微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士30微米。表170還表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為15-35微米、高寬比為0-1.0的單元⑴聚焦透鏡42的焦距等于50毫米，(ii)平均激光功率為5-25瓦，(iii) 激光脈沖寬度等于3. 3微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士60微米。表170還表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為25-50微米、高寬比為0-0. 9的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于80毫米，(ii)激光脈沖的平均功率為15-50 瓦，(iii)激光脈沖寬度等于3. 7微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士 100微米。表170還表明在采用下述操作參數(shù)時(shí)，可形成單元開(kāi)口尺寸為50-100微米、高寬比為0-0. 5的單元(i)聚焦透鏡42的焦距等于80毫米，(ii)利用多脈沖形成單元，激光脈沖的平均功率為50-100瓦，(iii)激光脈沖寬度等于3. 7微秒，以及(iv)在標(biāo)準(zhǔn)工具上焦點(diǎn)位置的工作范圍為士 100微米。現(xiàn)參考圖13-17說(shuō)明使用系統(tǒng)20在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)單元的方法。具體地，出于簡(jiǎn)化的目的，該方法描述了使用系統(tǒng)20在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成第一和第二單元的步驟。應(yīng)當(dāng)指出的是，步驟180-210描述了使用單激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成各個(gè)單元。 此外，步驟212-242為任選步驟，僅在使用附加激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成第一和第二單元時(shí)采用所述步驟。此外，應(yīng)當(dāng)指出的是，當(dāng)系統(tǒng)20在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成紋理表面時(shí)， 系統(tǒng)20采用類(lèi)似于下述步驟的步驟在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)上形成多個(gè)附加單元。在步驟180中，控制器52促使電動(dòng)機(jī)48轉(zhuǎn)動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)。在步驟181中，位置傳感器50生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第一信號(hào)，該第一信號(hào)由控制器52接收。在步驟182中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成幅度基于第一幅值的第二信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟184中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成第三信號(hào)，以促使激光器30朝向光線衰減裝置34發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖在步驟186中，光線衰減裝置34響應(yīng)第二信號(hào)使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)。在步驟188中，反射鏡36將第一激光脈沖反射至反射鏡38。在步驟190中，反射鏡38將第一激光脈沖反射至反射鏡40。在步驟192中，反射鏡40將第一激光脈沖反射至聚焦透鏡42。在步驟194中，聚焦透鏡42將第一激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的第一位置上，從而第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具24上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元。在步驟196中，位置傳感器50生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第四信號(hào)，該第四信號(hào)由控制器52接收。在步驟198中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成幅度基于第二幅值的第五信號(hào)以控制光線衰減裝置34。第二幅值是與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟200中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成第六信號(hào)，以促使激光器30朝向光線衰減裝置34發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖。在步驟202中，光線衰減裝置34響應(yīng)第五信號(hào)使第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)。在步驟204中，反射鏡36將第二激光脈沖反射至反射鏡38。在步驟206中，反射鏡38將第二激光脈沖反射至反射鏡40。在步驟208中，反射鏡40將第二激光脈沖反射至聚焦透鏡42。在步驟210中，聚焦透鏡42將第二激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的第二位置上，從而第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具24上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。在步驟212中，位置傳感器50生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第七信號(hào)，該第七信號(hào)由控制器52接收。在步驟214中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成幅度基于第一幅值的第八信號(hào)以控制光線衰減裝置34，該第一幅值與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)。在步驟216中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成第九信號(hào)，以促使激光器30朝向光線衰減裝置34發(fā)射具有第五功率級(jí)的第三激光脈沖。在步驟218中，光線衰減裝置34響應(yīng)第八信號(hào)使第三激光脈沖衰減至第六功率級(jí)。在步驟220中，反射鏡36將第三激光脈沖反射至反射鏡38。在步驟222中，反射鏡38將第三激光脈沖反射至反射鏡40。在步驟224中，反射鏡40將第三激光脈沖反射至聚焦透鏡42。在步驟226中，聚焦透鏡42將第三激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的第一位置上，從而第三激光脈沖進(jìn)一步形成第一單元。在步驟228中，位置傳感器50生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第十信號(hào)，該第十信號(hào)由控制器52接收。在步驟230中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成幅度基于第二幅值的第十一信號(hào)以控制光線衰減裝置34，該第二幅值與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)。在步驟232中，在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器52生成第十二信號(hào)， 以促使激光器30朝向光線衰減裝置34發(fā)射具有第七功率級(jí)的第四激光脈沖。在步驟234中，光線衰減裝置34響應(yīng)第十一信號(hào)使第四激光脈沖衰減至第八功率級(jí)。在步驟236中，反射鏡36將第四激光脈沖反射至反射鏡38。在步驟238中，反射鏡38將第四激光脈沖反射至反射鏡40。在步驟MO中，反射鏡40將第四激光脈沖反射至聚焦透鏡42。在步驟242中，聚焦透鏡42將第四激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具M(jìn)的第二位置上，從而第四激光脈沖進(jìn)一步形成第二單元。步驟242之后，該方法結(jié)束。參考圖18，提供用于在標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)250。系統(tǒng)250的優(yōu)勢(shì)在于，該系統(tǒng)250采用單元布局不規(guī)則化方法，就環(huán)形軌跡而言，通過(guò)改變接觸標(biāo)準(zhǔn)工具的激光脈沖的位置，來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具上單元相對(duì)于環(huán)形軌跡的布局。因此，標(biāo)準(zhǔn)工具邪4具有紋理表面，該紋理表面可形成沒(méi)有上述不期望獲得的帶和圖案的紋理膜。系統(tǒng)250包括激光器洸0，電源洸2，反射鏡洸4J66、洸8，信號(hào)發(fā)生器270，驅(qū)動(dòng)器272，聚焦透鏡274，輸運(yùn)裝置276，聚焦裝置278，電動(dòng)機(jī)觀0，位置傳感器282和控制器觀4。設(shè)置激光器沈0以產(chǎn)生用于在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成多個(gè)單元的多個(gè)激光脈沖。在所示示范性實(shí)施方式中，激光器260包括結(jié)構(gòu)基本與激光器30相同的單模Q-開(kāi)關(guān)YAG激光器。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器260包括能夠在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成單元的任意已知的激光器。例如，在替換性實(shí)施方式中，激光器260可包括單模連續(xù)式鐿光纖激光器。經(jīng)由來(lái)自控制器284的控制信號(hào)控制激光器沈0。此外，激光器260從電源262獲得電力。設(shè)置反射鏡沈4，以接收來(lái)自激光器沈0的激光脈沖并將該激光脈沖反射至反射鏡沈6。在所示實(shí)施方式中，反射鏡沈6為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡266配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器觀4的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡266的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡沈6，以接收來(lái)自反射鏡沈4的激光脈沖并將該激光脈沖反射至反射鏡沈8。在所示實(shí)施方式中，反射鏡沈6為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡266配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器觀4的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡268的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡沈8，以接收來(lái)自反射鏡沈6的激光脈沖并將激光脈沖反射至聚焦透鏡274。反射鏡268連接在輸運(yùn)裝置276上，輸運(yùn)裝置276使反射鏡268大致平行于標(biāo)準(zhǔn)工具2M從標(biāo)準(zhǔn)工具254的一端253移至另一端255。驅(qū)動(dòng)器272可操作地連接在反射鏡 268上，設(shè)置驅(qū)動(dòng)器272以根據(jù)來(lái)自控制器284的控制信號(hào)使反射鏡268轉(zhuǎn)動(dòng)到所需的操作位置。設(shè)置信號(hào)發(fā)生器270以生成多個(gè)幅值，所述多個(gè)幅值由控制器284接收并隨后用于生成控制信號(hào)，以促使驅(qū)動(dòng)器272將反射鏡268移至所需的操作位置，從而在標(biāo)準(zhǔn)工具 254上的預(yù)期位置處形成多個(gè)單元。應(yīng)當(dāng)指出的是，可通過(guò)改變反射鏡268的操作位置，來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具2M上多個(gè)單元的布局。設(shè)置聚焦透鏡274，以接收來(lái)自反射鏡268的多個(gè)激光脈沖并聚焦各激光脈沖。在一種示范性實(shí)施方式中，聚焦透鏡274具有40毫米的焦距。在替換性實(shí)施方式中，聚焦透鏡274具有50毫米和80毫米的焦距。顯然，聚焦透鏡274可具有介于40毫米和80毫米之間、或小于40毫米、或大于80毫米的焦距。設(shè)置聚焦裝置278，以根據(jù)來(lái)自控制器284的控制信號(hào)朝向標(biāo)準(zhǔn)工具2M向上或向下移動(dòng)反射鏡沈8，從而相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M調(diào)整激光脈沖的焦點(diǎn)。聚焦裝置278物理連接在輸運(yùn)裝置276和聚焦透鏡274上并電連接在控制器284上。設(shè)置輸運(yùn)裝置276，以根據(jù)來(lái)自控制器284的控制信號(hào)將反射鏡沈8、聚焦裝置278 和聚焦透鏡274從標(biāo)準(zhǔn)工具254的一端253移至另一端255。應(yīng)當(dāng)指出的是，在操作過(guò)程中，當(dāng)輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M停在某一軸向位置時(shí)，可使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)，從而在輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M移至另一位置之前，激光脈沖可圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M 的周邊形成多個(gè)單元。輸運(yùn)裝置276物理連接在反射鏡沈8、聚焦裝置278和聚焦透鏡274 上，并電連接在控制器284上。
應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器260直接連接在輸運(yùn)裝置276上。在該替換性實(shí)施方式中，激光器276向反射鏡268發(fā)射激光脈沖，反射鏡268使激光脈沖對(duì)準(zhǔn)聚焦透鏡274。聚焦透鏡274使激光脈沖對(duì)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工具254以在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成單元。設(shè)置電動(dòng)機(jī)觀0以響應(yīng)來(lái)自控制器284的控制信號(hào)使標(biāo)準(zhǔn)工具254以預(yù)定的速度圍繞軸257轉(zhuǎn)動(dòng)。電動(dòng)機(jī)284物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上并電連接在控制器284上。設(shè)置位置傳感器282以生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)位置的信號(hào)。位置傳感器282 物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上并電連接在控制器284上。設(shè)置控制器觀4以控制用于在標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)250的部件的操作。具體地，配置控制器觀4以控制激光器沈0、輸運(yùn)裝置276、聚焦裝置278和電動(dòng)機(jī) 280的操作。進(jìn)一步配置控制器觀4，以接收來(lái)自信號(hào)發(fā)生器270的幅值并生成促使驅(qū)動(dòng)器 272將反射鏡268移至所需操作位置的控制信號(hào)。通過(guò)改變幅值，改變反射鏡沈2的位置， 從而改變標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上多個(gè)單元的布局。進(jìn)一步配置控制器觀4以接收來(lái)自位置傳感器 282的位置信號(hào)，該位置傳感器282可用于將標(biāo)準(zhǔn)工具邪4精確定位在所需的轉(zhuǎn)動(dòng)位置?？刂破?84包括CPU、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)例如ROM和RAM、I/O界面(未示出)。CPU執(zhí)行存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中的軟件算法，從而實(shí)現(xiàn)以下針對(duì)系統(tǒng)250所述的控制方法。應(yīng)當(dāng)指出的是，盡管系統(tǒng)250通過(guò)調(diào)整反射鏡268的操作位置來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具2M 上的單元布局，然而，在替換性實(shí)施方式中，可使用一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)器(未示出)調(diào)整系統(tǒng) 250內(nèi)任意光學(xué)裝置(例如激光器沈0，反射鏡沈4、沈6，或者聚焦透鏡274)的操作位置，來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具2M上的單元布局。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，固定裝置(未示出)放置在激光脈沖的光程中并使激光脈沖光學(xué)轉(zhuǎn)向以改變標(biāo)準(zhǔn)工具2M上的單元布局，而不是使用可移動(dòng)的光學(xué)部件(例如可移動(dòng)反射鏡)。這種固定裝置的實(shí)例是使所接收的激光脈沖沿特定方向衍射的聲光調(diào)制器(AOM)。具體地，AOM接收激光脈沖并根據(jù)AOM接收的高頻電信號(hào)控制激光脈沖衍射的模式和方向。參考圖19，簡(jiǎn)要說(shuō)明標(biāo)準(zhǔn)工具上經(jīng)過(guò)單元布局不規(guī)則化的多個(gè)單元。單元布局不規(guī)則化是指如下方法改變激光脈沖接觸標(biāo)準(zhǔn)工具的位置，從而相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)工具2M上按照預(yù)定分布的環(huán)形軌跡以不同的位置誤差距離形成單元。如圖所示，多個(gè)單元252接近圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具延伸的環(huán)形軌跡288設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)工具上。應(yīng)當(dāng)指出的是，出于簡(jiǎn)化的目的，以二維視圖示出環(huán)形軌跡觀8。此外，多個(gè)單元252中每個(gè)單元的中心點(diǎn)設(shè)置在與環(huán)形軌跡288相距預(yù)定位置誤差距離的位置。例如，單元四0的中心點(diǎn)292設(shè)置在與環(huán)形軌跡洲8的位置誤差距離為PEDl的位置。此外，例如，單元四6的中心點(diǎn)298設(shè)置在與環(huán)形軌跡四6的位置誤差距離為PED2的位置。參考圖20，示出了可通過(guò)信號(hào)發(fā)生器270生成的多個(gè)幅值300。多個(gè)幅值300中的每個(gè)幅值相應(yīng)于單元相對(duì)預(yù)定環(huán)形軌跡的位置誤差值。參考圖21，圖表310示出了單元相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具的環(huán)形軌跡的示范性單元位置誤差分布，所述單元位置誤差分布可利用多個(gè)幅值300獲得。具體地，矩形條312表明沿著標(biāo)準(zhǔn)工具的環(huán)形軌跡20%的單元具有-10微米的位置誤差距離。此外，圖表310表明幅值 S3_l用于促使驅(qū)動(dòng)器272移動(dòng)反射鏡沈8，以使被反射鏡268反射的激光脈沖形成與各自的環(huán)形軌跡的位置誤差距離為-10微米的的單元。此外，矩形條316表明沿著標(biāo)準(zhǔn)工具的環(huán)形軌跡20%的單元具有10微米的位置誤差距離。此外，圖表310表明幅值S3_ll用于促使驅(qū)動(dòng)器272移動(dòng)反射鏡沈8，以使被反射鏡268反射的激光脈沖形成與各自的環(huán)形軌跡的位置誤差距離為10微米的單元。參考圖22，示出了可通過(guò)信號(hào)發(fā)生器270生成的多個(gè)幅值320。多個(gè)幅值320中的每個(gè)幅值相應(yīng)于單元相對(duì)預(yù)定環(huán)形軌跡的位置誤差值。參考圖23，圖表3 示出了單元(具有20微米的單元開(kāi)口尺寸)相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具的環(huán)形軌跡的示范性單元位置誤差分布，所述單元位置誤差分布可利用多個(gè)幅值320獲得。具體地，矩形條3 表明沿著標(biāo)準(zhǔn)工具的環(huán)形軌跡9%的單元具有-10微米的位置誤差距離。此外，圖表3 表明幅值S4_l用于促使驅(qū)動(dòng)器272移動(dòng)反射鏡沈8，以使被反射鏡 268反射的激光脈沖形成與各自的環(huán)形軌跡的位置誤差距離為-10微米的單元。此外，圖表 326表明幅值S4_ll用于促使驅(qū)動(dòng)器272移動(dòng)反射鏡沈8，以使被反射鏡268反射的激光脈沖形成與各自的環(huán)形軌跡的位置誤差距離為10微米的的單元。參考圖對(duì)，提供多條軌跡359，所述軌跡359用于示例采用單元布局不規(guī)則化方法在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成的單元中心點(diǎn)的示范性定位。盡管多條軌跡359在標(biāo)準(zhǔn)工具2M周?chē)由欤珵榱吮阌谟懻撘远S視圖示出軌跡359。還應(yīng)當(dāng)指出的是，軌跡359中的每一條軌跡延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具254間斷設(shè)置的單元的中心點(diǎn)(未示出)。例如，軌跡360延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具 254設(shè)置在第一軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。此外，例如，軌跡362延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具 254設(shè)置在第二軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。此外，例如軌跡364延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M 設(shè)置在第三軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。此外，軌跡366延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M設(shè)置在第四軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。參考圖25，提供多條軌跡379，所述軌跡379用于示例采用單元布局不規(guī)則化方法在標(biāo)準(zhǔn)工具254的替換性實(shí)施方式上形成的單元中心點(diǎn)的另一種示范性定位。盡管多條軌跡379在標(biāo)準(zhǔn)工具2M周?chē)由欤珵榱吮阌谟懻撘远S視圖示出軌跡379。軌跡379中相鄰的軌跡之間具有變化的距離。還應(yīng)當(dāng)指出的是，軌跡379中的每一條軌跡延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具254間斷設(shè)置的單元的中心點(diǎn)(未示出)。例如，軌跡380延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M設(shè)置在第一軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。此外，例如，軌跡382延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M設(shè)置在第二軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。此外，例如軌跡384延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M設(shè)置在第三軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。此外，軌跡386延伸經(jīng)過(guò)圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具2M 延伸的單元的中心點(diǎn)，該軌跡是將輸運(yùn)裝置276相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具2M設(shè)置在第四軸向位置并使標(biāo)準(zhǔn)工具2M轉(zhuǎn)動(dòng)360度時(shí)形成的。現(xiàn)參考圖沈-30，說(shuō)明使用系統(tǒng)250在標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上形成多個(gè)單元的方法。具體地，出于簡(jiǎn)化的目的，該方法將描述使用系統(tǒng)250在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成第一單元和第二單元的步驟。應(yīng)當(dāng)指出的是，步驟400-430描述了使用單激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成各單元。此外，步驟432-462為任選步驟，僅在使用附加激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成第一和第二單元時(shí)采用所述步驟。此外，應(yīng)當(dāng)指出的是，當(dāng)系統(tǒng)250在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成紋理表面時(shí)，系統(tǒng)250采用類(lèi)似于下述步驟的步驟在標(biāo)準(zhǔn)工具2M上形成多個(gè)附加單元。在步驟400中，控制器284促使電動(dòng)機(jī)280轉(zhuǎn)動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)工具254。在步驟401中，位置傳感器282生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具2M第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第一信號(hào)， 該第一信號(hào)由控制器284接收。在步驟402中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器284生成幅度基于第一幅值的第二信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上單元的位置誤差距離范圍內(nèi)位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟404中，驅(qū)動(dòng)器272響應(yīng)第二信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡268移至第一操作位置。在步驟406中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器284生成第三信號(hào)， 以促使激光器260發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖。在步驟408中，反射鏡264將第一激光脈沖反射至反射鏡沈6。在步驟410中，反射鏡266將第一激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡沈8。在步驟412中，在可移動(dòng)反射鏡268處于第一操作位置時(shí)將第一激光脈沖反射至聚焦透鏡274。在步驟414中，聚焦透鏡274將第一激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具2M的第一位置上， 從而第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單兀。在步驟416中，位置傳感器282生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具邪4第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第四信號(hào)， 該第四信號(hào)由控制器284接收。在步驟418中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器284生成幅度基于第二幅值的第五信號(hào)以控制可移動(dòng)反射鏡268位置。第二幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具2M上單元的位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟420中，驅(qū)動(dòng)器272響應(yīng)第五信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡268移至第二操作位置。在步驟422中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器觀4生成第六信號(hào)， 以促使激光器260發(fā)射具有第二功率級(jí)的第二激光脈沖。在步驟424中，反射鏡264將第二激光脈沖反射至反射鏡沈6。在步驟426中，反射鏡266將第二激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡沈8。在步驟428中，在可移動(dòng)反射鏡268處于第二操作位置時(shí)將第二激光脈沖反射至聚焦透鏡274。在步驟430中，聚焦透鏡274將第二激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具2M的第二位置上， 從而第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具邪4上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單兀。在步驟432中，位置傳感器282生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具254的第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第七信號(hào)，該第七信號(hào)由控制器284接收。在步驟434中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器284生成幅度基于第一幅值的第八信號(hào)以控制可移動(dòng)反射鏡268位置，該第一幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具上單元的位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)。在步驟436中，驅(qū)動(dòng)器272響應(yīng)第八信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡268移至第一操作位置。在步驟438中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器觀4生成第九信號(hào)， 以促使激光器260發(fā)射具有第三功率級(jí)的第三激光脈沖。在步驟440中，反射鏡264將第三激光脈沖反射至反射鏡沈6。在步驟442中，反射鏡266將第三激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡沈8。在步驟444中，在可移動(dòng)反射鏡268處于第一操作位置時(shí)將第三激光脈沖反射至聚焦透鏡274。在步驟446中，聚焦透鏡274將第三激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具2M的第一位置上， 從而第三激光脈沖進(jìn)一步形成第一單元。在步驟448中，位置傳感器282生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具邪4第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第十信號(hào)， 該第十信號(hào)由控制器284接收。在步驟450中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器284生成幅度基于第二幅值的第十一信號(hào)以控制可移動(dòng)反射鏡268位置，該第二幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具2M上單元的位置誤差距離的預(yù)定分布相關(guān)。在步驟452中，驅(qū)動(dòng)器272響應(yīng)第十一信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡268移至第二操作位置。在步驟454中，在標(biāo)準(zhǔn)工具2M處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器觀4生成第十二信號(hào)，以促使激光器260發(fā)射具有第四功率級(jí)的第四激光脈沖。在步驟456中，反射鏡264將第四激光脈沖反射至反射鏡沈6。在步驟458中，反射鏡266將第四激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡沈8。在步驟460中，在可移動(dòng)反射鏡268處于第二操作位置時(shí)將第四激光脈沖反射至聚焦透鏡274。在步驟462中，聚焦透鏡274將第四激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具邪4的第二位置上， 從而第四激光脈沖進(jìn)一步形成第二單元。步驟462之后，該方法結(jié)束。參考圖31，提供用于在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)470。系統(tǒng)470的優(yōu)勢(shì)在于，該系統(tǒng)470采用單元布局不規(guī)則化和單元幾何不規(guī)則化相結(jié)合的方法，來(lái)根據(jù)第一和第二預(yù)定分布改變標(biāo)準(zhǔn)工具474上單元的布局和單元的開(kāi)口尺寸。因此，標(biāo)準(zhǔn)工具474 具有紋理表面，該紋理表面可形成沒(méi)有上述不期望獲得的帶和圖案的紋理膜。系統(tǒng)470包括激光器480，電源482，光線衰減裝置484，信號(hào)發(fā)生器486，反射鏡488、490、492，信號(hào)發(fā)生器494，驅(qū)動(dòng)器496，聚焦透鏡500，輸運(yùn)裝置502，聚焦裝置504，電動(dòng)機(jī)506，位置傳感器 508和控制器510。設(shè)置激光器480以產(chǎn)生用于在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成多個(gè)單元的多個(gè)激光脈沖。在所示示范性實(shí)施方式中，激光器480包括結(jié)構(gòu)基本與激光器60相同的單模Q-開(kāi)關(guān)YAG激光器。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器480包括能夠在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成單元的任意已知的激光器。例如，在替換性實(shí)施方式中，激光器480可包括單模連續(xù)式鐿光纖激光器。經(jīng)由來(lái)自控制器510的控制信號(hào)控制激光器480。此外，激光器480從電源482獲得電力。設(shè)置信號(hào)發(fā)生器486以生成多個(gè)幅值，所述多個(gè)幅值由控制器510接收并隨后用于促使光線衰減裝置484改變用于形成多個(gè)單元的激光脈沖的功率級(jí)。應(yīng)當(dāng)指出的是，可通過(guò)改變激光脈沖的功率級(jí)，來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成的單元的單元開(kāi)口尺寸和單元深度。設(shè)置光線衰減裝置484，以基于來(lái)自控制器510的控制信號(hào)使從激光器480接收的多個(gè)激光脈沖的功率級(jí)衰減。具體地，光線衰減裝置484接收來(lái)自激光器480的具有一定功率級(jí)的激光脈沖，并基于來(lái)自控制器510的控制信號(hào)使該激光脈沖衰減至另一功率級(jí)。光線衰減裝置484設(shè)置在激光器480和反射鏡488之間。設(shè)置反射鏡488，以接收來(lái)自激光器480的激光脈沖并將該激光脈沖反射至反射鏡490。在所示實(shí)施方式中，反射鏡488為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡488配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器510的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡490的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡490，以接收來(lái)自反射鏡488的激光脈沖并將該激光脈沖反射至反射鏡492。在所示實(shí)施方式中，反射鏡490為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡490配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器510的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡492的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡492，以接收來(lái)自反射鏡490的激光脈沖并將該激光脈沖反射至聚焦透鏡500。反射鏡492連接在輸運(yùn)裝置502上，輸運(yùn)裝置502使反射鏡492大致平行于標(biāo)準(zhǔn)工具474從標(biāo)準(zhǔn)工具474的一端473移至另一端475。驅(qū)動(dòng)器496可操作地連接在反射鏡492上，設(shè)置驅(qū)動(dòng)器496以根據(jù)來(lái)自控制器510的控制信號(hào)使反射鏡492轉(zhuǎn)動(dòng)到所需的操作位置。設(shè)置信號(hào)發(fā)生器494以生成多個(gè)幅值，所述多個(gè)幅值由控制器510接收并隨后用于生成控制信號(hào)，以促使驅(qū)動(dòng)器496將反射鏡492移至所需的操作位置，從而在標(biāo)準(zhǔn)工具 474上的預(yù)期位置形成多個(gè)單元。應(yīng)當(dāng)指出的是，可通過(guò)改變反射鏡492的操作位置，來(lái)改變標(biāo)準(zhǔn)工具474上多個(gè)單元的布局。設(shè)置聚焦透鏡500，以接收來(lái)自反射鏡492的多個(gè)激光脈沖并聚焦各激光脈沖。在一種示范性實(shí)施方式中，聚焦透鏡500具有40毫米的焦距。在替換性實(shí)施方式中，聚焦透鏡500具有50毫米和80毫米的焦距。顯然，聚焦透鏡500可具有介于40毫米和80毫米之間、或小于40毫米、或大于80毫米的焦距。設(shè)置聚焦裝置504，以根據(jù)來(lái)自控制器510的控制信號(hào)朝向標(biāo)準(zhǔn)工具474向上或向下移動(dòng)反射鏡492，從而相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具474調(diào)整激光脈沖的焦點(diǎn)。聚焦裝置504物理連接在輸運(yùn)裝置502和聚焦透鏡500上并電連接在控制器510上。設(shè)置輸運(yùn)裝置502，以根據(jù)來(lái)自控制器510的控制信號(hào)將反射鏡492、聚焦裝置504 和聚焦透鏡500從標(biāo)準(zhǔn)工具474的一端473移至另一端475。應(yīng)當(dāng)指出的是，在操作過(guò)程中，當(dāng)輸運(yùn)裝置502相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具474停在某一位置時(shí)，可使標(biāo)準(zhǔn)工具474轉(zhuǎn)動(dòng)，從而在輸運(yùn)裝置502相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具474移至另一軸向位置之前，激光脈沖可圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具474 的周邊形成多個(gè)單元。輸運(yùn)裝置502物理連接在反射鏡492、聚焦裝置504和聚焦透鏡500 上，并電連接在控制器510上。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器480和光線衰減裝置484直接連接在輸運(yùn)裝置502上。在該替換性實(shí)施方式中，激光器480向光線衰減裝置484發(fā)射激光脈沖，光線衰減裝置484使激光脈沖對(duì)準(zhǔn)可移動(dòng)反射鏡492。可移動(dòng)反射鏡492使激光脈沖對(duì)準(zhǔn)聚焦透鏡500。聚焦透鏡500使激光脈沖對(duì)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)工具474以在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成單元。設(shè)置電動(dòng)機(jī)506以響應(yīng)來(lái)自控制器510的控制信號(hào)使標(biāo)準(zhǔn)工具474以預(yù)定速度圍繞軸507轉(zhuǎn)動(dòng)。電動(dòng)機(jī)506物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具474上并電連接在控制器510上。設(shè)置位置傳感器508以生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具474轉(zhuǎn)動(dòng)位置的信號(hào)。位置傳感器508 物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具474上并電連接在控制器510上。設(shè)置控制器510以控制用于在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)470的部件的操作。具體地，配置控制器510以控制激光器480、輸運(yùn)裝置502、聚焦裝置504和電動(dòng)機(jī) 506的操作。進(jìn)一步配置控制器510，以接收來(lái)自信號(hào)發(fā)生器494的幅值并生成促使驅(qū)動(dòng)器 496將反射鏡492移至所需操作位置的控制信號(hào)。通過(guò)改變幅值，改變反射鏡492的位置， 從而改變標(biāo)準(zhǔn)工具474上多個(gè)單元的布局。此外，進(jìn)一步配置控制器510以接收來(lái)自信號(hào)發(fā)生器486的幅值，所述幅值用于控制光線衰減裝置484以從改變裝置484射出的激光脈沖的功率級(jí)。通過(guò)改變從裝置484射出的激光脈沖的功率級(jí)，改變標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成的單元的單元開(kāi)口尺寸。進(jìn)一步配置控制器510以接收來(lái)自位置傳感器508的位置信號(hào)，該位置傳感器508可用于將標(biāo)準(zhǔn)工具474精確定位在所需的轉(zhuǎn)動(dòng)位置?？刂破?10包括CPU、 計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)例如ROM和RAM、I/O界面(未示出)。CPU執(zhí)行存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中的軟件算法，從而實(shí)現(xiàn)以下針對(duì)系統(tǒng)470所述的控制方法。參考圖32，簡(jiǎn)要說(shuō)明標(biāo)準(zhǔn)工具474的區(qū)域上經(jīng)過(guò)單元布局不規(guī)則化和單元幾何不規(guī)則化兩者的多個(gè)單元的配置。如圖所示，多個(gè)單元472接近圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具474延伸的環(huán)形軌跡520設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)工具474上。應(yīng)當(dāng)指出的是，出于簡(jiǎn)化的目的，以二維視圖示出環(huán)形軌跡520。此外，多個(gè)單元472中每個(gè)單元的中心點(diǎn)設(shè)置在與環(huán)形軌跡520相距預(yù)定位置誤差距離的位置。例如，單元522的中心點(diǎn)5 設(shè)置在與環(huán)形軌跡520的位置誤差距離為PED3 的位置。單元522還具有直徑DIAM3。此外，例如，單元526的中心點(diǎn)5 設(shè)置在與環(huán)形軌跡520的位置誤差距離為PED4的位置，位置誤差距離PED4小于位置誤差距離PED3。單元 526還具有直徑DIAM4，單元526的直徑DIAM4大于單元522的直徑DIAM3。現(xiàn)參考圖33-38，說(shuō)明使用系統(tǒng)470在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成多個(gè)單元的方法。具體地，出于簡(jiǎn)化的目的，該方法將描述使用系統(tǒng)470在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成第一單元和第二單元的步驟。應(yīng)當(dāng)指出的是，步驟540-578描述了使用單激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成各單元。此外，步驟580-618為任選步驟，僅在使用附加激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成第一和第二單元時(shí)采用所述步驟。此外，應(yīng)當(dāng)指出的是，當(dāng)系統(tǒng)470在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成紋理表面時(shí)，系統(tǒng)470采用類(lèi)似于下述步驟的步驟在標(biāo)準(zhǔn)工具474上形成多個(gè)附加單元。步驟MO中，控制器510促使電動(dòng)機(jī)506轉(zhuǎn)動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)工具474。 在步驟540中，位置傳感器508生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具474第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第一信號(hào)， 該第一信號(hào)由控制器510接收。在步驟542中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第一幅值的第二信號(hào)。第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具474上單元的位置誤差距離范圍內(nèi)位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟544中，驅(qū)動(dòng)器496響應(yīng)第二信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡492移至第一操作位置。在步驟546中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第二幅值的第三信號(hào)。第二幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具474的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟548中，控制器510生成第四信號(hào)，以促使激光器480發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖。在步驟550中，光線衰減裝置484響應(yīng)第三信號(hào)使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)。在步驟552中，反射鏡488將第一激光脈沖反射至反射鏡490。在步驟554中，反射鏡490將第一激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡492。在步驟556中，在可移動(dòng)反射鏡492處于第一操作位置時(shí)將第一激光脈沖反射至聚焦透鏡500。在步驟558中，聚焦透鏡500將第一激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具474的第一位置上， 從而第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具474上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單兀。在步驟560中，位置傳感器508生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具474的第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第五信號(hào)，該第五信號(hào)由控制器510接收。在步驟562中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第三幅值的第六信號(hào)以控制可移動(dòng)反射鏡492的位置。第三幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具474上單元的位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟564中，驅(qū)動(dòng)器496響應(yīng)第六信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡492移至第二操作位置。在步驟566中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第四幅值的第七信號(hào)以控制光線衰減裝置484。第四幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具474的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一。在步驟568中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成第八信號(hào)， 以促使激光器480發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖。在步驟570中，光線衰減裝置484響應(yīng)第七信號(hào)使第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)。在步驟572中，反射鏡488將第二激光脈沖反射至反射鏡490。在步驟574中，反射鏡490將第二激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡492。在步驟576中，在可移動(dòng)反射鏡492處于第二操作位置時(shí)將第二激光脈沖反射至聚焦透鏡500。在步驟578中，聚焦透鏡500將第二激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具474的第二位置上， 從而第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具474上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單兀。在步驟580中，位置傳感器508生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具474的第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第九信號(hào)，該第九信號(hào)由控制器510接收。在步驟582中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第一幅值的第十信號(hào)以控制可移動(dòng)反射鏡492位置，該第一幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具474上單元的位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)。在步驟584中，驅(qū)動(dòng)器496響應(yīng)第十信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡492移至第一操作位置。
在步驟586中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第一轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第二幅值的第十一信號(hào)以控制光線衰減裝置484，該第二幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具474的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)。在步驟588中，控制器510生成第十二信號(hào)，以促使激光器480發(fā)射具有第五功率級(jí)的第三激光脈沖。在步驟590中，光線衰減裝置484響應(yīng)第十一信號(hào)使第三激光脈沖衰減至第六功率級(jí)。在步驟592中，反射鏡488將第三激光脈沖反射至反射鏡490。在步驟594中，反射鏡490將第三激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡492。在步驟596中，在可移動(dòng)反射鏡492處于第一操作位置時(shí)將第三激光脈沖反射至聚焦透鏡500。在步驟598中，聚焦透鏡500將第三激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具474的第一位置上， 從而第三激光脈沖進(jìn)一步形成第一單元。在步驟600中，位置傳感器508生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具474的第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置的第十三信號(hào)，該第十三信號(hào)由控制器510接收。在步驟602中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第三幅值的第十四信號(hào)以控制可移動(dòng)反射鏡492位置，該第三幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具474上單元的位置誤差距離的第一預(yù)定分布相關(guān)。在步驟604中，驅(qū)動(dòng)器496響應(yīng)第十四信號(hào)將可移動(dòng)反射鏡492移至第二位置。在步驟606中，在標(biāo)準(zhǔn)工具474處于第二轉(zhuǎn)動(dòng)位置時(shí)，控制器510生成幅度基于第四幅值的第十五信號(hào)以控制光線衰減裝置484，該第四幅值與標(biāo)準(zhǔn)工具474的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的第二預(yù)定分布相關(guān)。在步驟608中，控制器510生成第十六信號(hào)，以促使激光器480發(fā)射具有第七功率級(jí)的第四激光脈沖。在步驟610中，光線衰減裝置484響應(yīng)第十五信號(hào)使第四激光脈沖衰減至第八功率級(jí)。在步驟612中，反射鏡488將第四激光脈沖反射至反射鏡490。在步驟614中，反射鏡490將第四激光脈沖反射至可移動(dòng)反射鏡492。在步驟616中，在可移動(dòng)反射鏡492處于第二操作位置時(shí)將第四激光脈沖反射至聚焦透鏡500。在步驟618中，聚焦透鏡500將第四激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具474的第二位置上， 從而第四激光脈沖進(jìn)一步形成第二單元。在步驟618之后，該方法結(jié)束。參考圖39，提供用于在標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)630。應(yīng)當(dāng)指出的是， 當(dāng)在標(biāo)準(zhǔn)工具例如標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成紋理表面時(shí)，本申請(qǐng)的發(fā)明人證實(shí)了激光脈沖平均功率2%或以上的變化導(dǎo)致在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成具有不期望獲得的可見(jiàn)圖案的紋理表面。系統(tǒng)630的優(yōu)勢(shì)在于，在改變系統(tǒng)630的其它操作參數(shù)以使激光脈沖保持在所需的平均功率范圍內(nèi)并使平均功率的變化小于2%的情況下，該系統(tǒng)630還利用控制反饋回路調(diào)整光線衰減裝置644，以輸出具有所需平均功率級(jí)的激光脈沖。系統(tǒng)630包括激光器640，電源642，光線衰減裝置644，功率監(jiān)測(cè)傳感器646，反射鏡648、650、652，聚焦透鏡654，輸運(yùn)裝置656，聚焦裝置658，電動(dòng)機(jī)660，位置傳感器662和控制器664。設(shè)置激光器640，以生成用于在標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成多個(gè)單元的多個(gè)激光脈沖。 在所示示范性實(shí)施方式中，激光器640包括基本與激光器60相同的單模Q-開(kāi)關(guān)YAG激光器。應(yīng)當(dāng)指出的是，在替換性實(shí)施方式中，激光器640可包括能夠在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成單元的任意已知的激光器。例如，在替換性實(shí)施方式中，激光器640可包括單模連續(xù)式鐿光纖激光器。經(jīng)由來(lái)自控制器664的控制信號(hào)控制激光器640。此外，激光器640從電源642獲得電力。設(shè)置光線衰減裝置644，以根據(jù)來(lái)自控制器664的控制信號(hào)使從激光器640接收的多個(gè)激光脈沖的功率級(jí)衰減。具體地，光線衰減裝置644從激光器640接收一定功率級(jí)的激光脈沖，并基于來(lái)自控制器664的控制信號(hào)使激光脈沖衰減至另一功率級(jí)。光線衰減裝置644設(shè)置在激光器640和反射鏡648之間。設(shè)置功率監(jiān)測(cè)傳感器646，以監(jiān)測(cè)從光線衰減裝置644輸出的多個(gè)激光脈沖的平均功率級(jí)。具體地，功率監(jiān)測(cè)傳感器646生成指示從光線衰減裝置644輸出的多個(gè)激光脈沖的平均功率級(jí)的信號(hào)，并將該信號(hào)傳輸至控制器644。配置控制器664以比較從功率監(jiān)測(cè)傳感器646接收的測(cè)量平均功率級(jí)信號(hào)和期望的基準(zhǔn)平均功率級(jí)值。進(jìn)一步配置控制器 664以生成控制信號(hào)，光線衰減裝置664接收該控制信號(hào)以向著期望的基準(zhǔn)平均功率級(jí)方向調(diào)整多個(gè)激光脈沖的平均功率級(jí)。設(shè)置反射鏡648以從光線衰減裝置644接收激光脈沖并將該激光脈沖反射至反射鏡650。在所示實(shí)施方式中，反射鏡648為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡648配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器664的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡650的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡650以接收來(lái)自反射鏡648的激光脈沖并將該激光脈沖反射至反射鏡 652。在所示實(shí)施方式中，反射鏡650為固定反射鏡。然而，在替換性實(shí)施方式中，反射鏡 650配置為可移動(dòng)反射鏡，該可移動(dòng)反射鏡的位置可根據(jù)來(lái)自控制器664的控制信號(hào)而改變，從而改變朝向反射鏡652的反射激光脈沖的方向。設(shè)置反射鏡652以接收來(lái)自反射鏡650的激光脈沖并將該激光脈沖反射至聚焦透鏡654。反射鏡652連接在輸運(yùn)裝置656上，輸運(yùn)裝置656使反射鏡652大致平行于標(biāo)準(zhǔn)工具632從標(biāo)準(zhǔn)工具632的一端631移至另一端633。設(shè)置聚焦透鏡654，以接收來(lái)自反射鏡652的多個(gè)激光脈沖并使各激光脈沖聚焦。 在一種示范性實(shí)施方式中，聚焦透鏡6M具有40毫米的焦距。在替換性實(shí)施方式中，聚焦透鏡6M具有50毫米和80毫米的焦距。顯然，聚焦透鏡6M可具有介于40毫米和80毫米之間、或小于40毫米、或大于80毫米的焦距。設(shè)置聚焦裝置658以朝向標(biāo)準(zhǔn)工具632向上或向下移動(dòng)反射鏡652，來(lái)根據(jù)來(lái)自控制器664的控制信號(hào)，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)工具632調(diào)整激光脈沖的焦點(diǎn)。聚焦裝置658物理連接在輸運(yùn)裝置656和聚焦透鏡6M上并電連接在控制器664上。 設(shè)置輸運(yùn)裝置656，以根據(jù)來(lái)自控制器664的控制信號(hào)將反射鏡652、聚焦裝置658 和聚焦透鏡6M從標(biāo)準(zhǔn)工具632的一端631移至另一端633。應(yīng)當(dāng)指出的是，在操作過(guò)程中，當(dāng)輸運(yùn)裝置656相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具632停在某一位置時(shí)，可使標(biāo)準(zhǔn)工具632轉(zhuǎn)動(dòng)，從而在輸運(yùn)裝置656相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)工具632移至另一軸向位置之前，激光脈沖可圍繞標(biāo)準(zhǔn)工具632 的周邊形成多個(gè)單元。輸運(yùn)裝置656物理連接在反射鏡652、聚焦裝置658和聚焦透鏡6M 上，并電連接在控制器664上。設(shè)置電動(dòng)機(jī)660以響應(yīng)來(lái)自控制器664的控制信號(hào)使標(biāo)準(zhǔn)工具632以預(yù)定的速度圍繞軸661轉(zhuǎn)動(dòng)。電動(dòng)機(jī)660物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具632上并電連接在控制器664上。設(shè)置位置傳感器662以生成指示標(biāo)準(zhǔn)工具632轉(zhuǎn)動(dòng)位置的信號(hào)。位置傳感器662 物理連接在標(biāo)準(zhǔn)工具632上并電連接在控制器664上。設(shè)置控制器664以控制用于在標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)630的部件的操作。具體地，配置控制器664以控制激光器640、光線衰減裝置644、聚焦裝置658和電動(dòng)機(jī)660的操作。進(jìn)一步配置控制器664，以接收來(lái)自功率監(jiān)測(cè)傳感器646的信號(hào)，控制器664 利用該信號(hào)調(diào)整隨后從激光器644或光線衰減裝置644射出的激光脈沖?？刂破?64包括 CPU、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)例如ROM和RAM、I/O界面(未示出)。CPU執(zhí)行存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)中的軟件算法，從而實(shí)現(xiàn)以下針對(duì)系統(tǒng)630所述的控制方法?，F(xiàn)參考圖40-41，說(shuō)明使用系統(tǒng)630在標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成多個(gè)單元的方法。在步驟670中，控制器664促使電動(dòng)機(jī)660轉(zhuǎn)動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)工具632。在步驟672中，控制器664生成多個(gè)第一信號(hào)，以促使激光器640以第一指令功率級(jí)發(fā)射具有第一功率級(jí)的多個(gè)第一激光脈沖。在步驟674中，反射鏡648將多個(gè)第一激光脈沖反射至反射鏡650。在步驟676中，反射鏡650將多個(gè)第一激光脈沖反射至反射鏡652。在步驟678中，反射鏡652將多個(gè)第一激光脈沖反射至聚焦透鏡654。在步驟680中，聚焦透鏡6M將多個(gè)第一激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具632上的多個(gè)第一位置，從而多個(gè)第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成多個(gè)第一單元。在步驟682中，功率監(jiān)測(cè)傳感器646測(cè)量與多個(gè)第一激光脈沖相關(guān)的平均功率級(jí)。在步驟684中，可操作地與功率監(jiān)測(cè)傳感器646連通的控制器664根據(jù)測(cè)量的平均功率級(jí)和期望的平均功率級(jí)計(jì)算平均功率誤差值。在步驟686中，控制器664根據(jù)第一指令功率級(jí)和平均功率誤差值計(jì)算第二指令功率級(jí)。在步驟690中，控制器664生成多個(gè)第二信號(hào)，以促使激光器640以第二指令功率級(jí)發(fā)射多個(gè)第二激光脈沖。在步驟692中，反射鏡648將多個(gè)第二激光脈沖反射至反射鏡650。在步驟694中，反射鏡650將多個(gè)第二激光脈沖反射至反射鏡652。在步驟696中，反射鏡652將多個(gè)第二激光脈沖反射至聚焦透鏡654。在步驟698中，聚焦透鏡6M將多個(gè)第二激光脈沖聚焦在標(biāo)準(zhǔn)工具632上的多個(gè)第二位置，從而多個(gè)第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具632上形成多個(gè)第二單元。在步驟698之后， 該方法結(jié)束。本發(fā)明用于在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)和方法表現(xiàn)出明顯優(yōu)于其它系統(tǒng)和方法的優(yōu)勢(shì)。具體地，本發(fā)明的系統(tǒng)和方法具有在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成具有不同單元幾何尺寸或單元布局位置的多個(gè)單元的技術(shù)效果。因而，本發(fā)明的系統(tǒng)和方法最小化和/或消除了標(biāo)準(zhǔn)工具上不期望得到的帶或圖案。
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如上所述，在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法可至少部分地以計(jì)算機(jī)執(zhí)行過(guò)程和設(shè)備的形式實(shí)現(xiàn)。在示范性實(shí)施方式中，所述方法以一個(gè)或多個(gè)控制器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序編碼的形式實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明的方法可以包含指令的計(jì)算機(jī)程序編碼的形式實(shí)現(xiàn)，所述包含指令的計(jì)算機(jī)程序編碼存儲(chǔ)在一種或多種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)例如軟盤(pán)、CD-ROM、硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器、閃存等中，其中當(dāng)計(jì)算機(jī)程序編碼載入控制器并由控制器執(zhí)行時(shí)，控制器成為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的設(shè)備。盡管參考示范性實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，可作出各種改變并可以等同物代替其要素。另外，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，可對(duì)本發(fā)明的教導(dǎo)作出多種改進(jìn)以適應(yīng)具體情況。因而，本發(fā)明不限于所披露的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的實(shí)施方式，而是包括落入所附權(quán)利要求范圍內(nèi)的所有實(shí)施方式。另外，術(shù)語(yǔ)第一、第二等的使用并不表示任何重要性的排序而是用于區(qū)分各個(gè)要素。此外，術(shù)語(yǔ)“操作參數(shù)”可指裝置的物理位置、裝置的內(nèi)部狀態(tài)或者裝置的操作電壓大小或電流大小。
權(quán)利要求
1.一種在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的方法，包括 朝向光線衰減裝置發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖；生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)，所述第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一；響應(yīng)所述第一信號(hào)使用光線衰減裝置使所述第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)； 使用所述衰減的第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元；朝向所述光線衰減裝置發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖； 生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)，所述第二幅值是與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一；響應(yīng)所述第二信號(hào)使用光線衰減裝置使所述第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)；以及使用所述衰減的第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。
2.權(quán)利要求1的方法，還包括朝向所述光線衰減裝置發(fā)射具有第五功率級(jí)的第三激光脈沖； 生成幅度基于第一幅值的第三信號(hào)，所述第一幅值與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)； 響應(yīng)所述第三信號(hào)使用光線衰減裝置使所述第三激光脈沖衰減至第六功率級(jí)；以及使用所述衰減的第三激光脈沖擴(kuò)大第一位置處的第一單元。
3.權(quán)利要求1的方法，其中所述第一功率級(jí)大于或等于所述第二功率級(jí)，并且所述第一單元開(kāi)口尺寸大于或等于所述第二單元開(kāi)口尺寸。
4.一種在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的系統(tǒng)，包括激光器，配置所述激光器以發(fā)射具有第一功率級(jí)的第一激光脈沖； 可操作地與所述激光器連通的控制器，配置所述控制器以生成幅度基于第一幅值的第一信號(hào)，所述第一幅值是與標(biāo)準(zhǔn)工具的單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一；光線衰減裝置，配置所述光線衰減裝置以接收所述第一激光脈沖和第一信號(hào)，進(jìn)一步配置所述光線衰減裝置以響應(yīng)所述第一信號(hào)使第一激光脈沖衰減至第二功率級(jí)，從而所述第一激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第一位置處形成具有第一單元開(kāi)口尺寸的第一單元； 進(jìn)一步配置所述激光器，以發(fā)射具有第三功率級(jí)的第二激光脈沖； 進(jìn)一步配置所述控制器，以生成幅度基于第二幅值的第二信號(hào)，所述第二幅值是與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)的多個(gè)幅值之一；以及進(jìn)一步配置所述光線衰減裝置，以接收所述第二激光脈沖和第二信號(hào)，進(jìn)一步配置所述光線衰減裝置以響應(yīng)所述第二信號(hào)使第二激光脈沖衰減至第四功率級(jí)，從而所述第二激光脈沖在標(biāo)準(zhǔn)工具上的第二位置處形成具有第二單元開(kāi)口尺寸的第二單元。
5.權(quán)利要求4的系統(tǒng)，其中進(jìn)一步配置所述激光器，以發(fā)射具有第五功率級(jí)的第三激光脈沖； 進(jìn)一步配置所述控制器，以生成幅度基于第一幅值的第三信號(hào)，所述第一幅值與單元開(kāi)口尺寸的預(yù)定分布相關(guān)；以及進(jìn)一步配置所述光線衰減裝置以接收所述第三激光脈沖和第三信號(hào)，進(jìn)一步配置所述光線衰減裝置以響應(yīng)所述第三信號(hào)使第三激光脈沖衰減至第六功率級(jí)，從而所述衰減的第三激光脈沖進(jìn)一步形成所述第一單元。
6.權(quán)利要求4的系統(tǒng)，其中所述第一功率級(jí)大于或等于所述第二功率級(jí)，并且所述第一單元開(kāi)口尺寸大于或等于所述第二單元開(kāi)口尺寸。
7.一種標(biāo)準(zhǔn)工具，包括具有多個(gè)單元的圓柱形輥，所述多個(gè)單元具有單元開(kāi)口尺寸范圍內(nèi)的單元開(kāi)口尺寸預(yù)定分布。
全文摘要
本發(fā)明提供用于在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成多個(gè)單元的標(biāo)準(zhǔn)工具、系統(tǒng)和方法。具體地，所述系統(tǒng)改變單元的幾何結(jié)構(gòu)或單元的布局或者同時(shí)改變二者，以在標(biāo)準(zhǔn)工具上形成紋理表面。
文檔編號(hào)B23K26/06GK102172796SQ20111015172
公開(kāi)日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2007年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月22日
發(fā)明者卡卡拉·A·庫(kù)馬, 格蘭特·海, 菲爾·M·彼得斯, 阿德?tīng)枴·巴斯陶羅斯 申請(qǐng)人:沙伯基礎(chǔ)創(chuàng)新塑料知識(shí)產(chǎn)權(quán)有限公司