利用激光制備微結構靶提高激光推進沖量耦合系數的方法

            文檔序號:3050645閱讀:258來源:國知局

            專利名稱::利用激光制備微結構靶提高激光推進沖量耦合系數的方法
            技術領域
            :本發明屬于激光推進技術中所用固體靶材的結構設計與制作領域,具體涉及應用飛秒激光脈沖在固體靶表面制備獲得多種形態的微結構,并通過實驗精密測量表明這些微結構的固體靶可以有效地提高和增強燒蝕激光推進中的沖量耦合性能。
            背景技術
            :激光推進技術是人類自上世紀50年代將人造衛星送入地球軌道以來,第一種可能實現近地軌道發射任務的新型推進技術。激光推進技術與傳統的化學推進技術相比,具有載荷比更高、推進參數(沖量耦合系數和比沖)調節范圍更大、以及可以超越每一級化學燃料火箭的最大速度限制的優點。在不遠的將來,激光推進技術很有希望在空間垃圾清除、飛行器姿態調整、飛行器軌道機動以及近地軌道發射乃至深空飛行任務中發揮重要的作用。激光推進的最初概念由美國空軍火箭推進實驗室(AFRPL)WR.L.Geisler等人于1969年提出。1974年,A.N.Pirri等人開展了脈沖寬度100s、波長10.6m的長脈沖激光推進實驗,獲得了10-100dyne/W的沖量耦合系數Propulsionbyabsorptionoflaserradiation.AIAAJ.,1974,12(9):1254-1261。1997年L.N.Myrabo等人在使用單脈沖能量400J,脈沖重復頻率25Hz的10kW脈沖二氧化碳激光器,以空氣作為推進劑,首次成功試驗了線導的激光推進實驗。在同時期,C.R.Phipps等人也致力于脈沖激光與物質相互作用產生的沖量耦合系數和比沖的研究工作,并獲得了不同波長、不同脈沖寬度的激光通過燒蝕產生最大沖量耦合系數的最佳激光流量Laserimpulsecouplingat130fs.App1.Surf.Sci.,2006,252(13):4838-4844。2000年以來,A.V.Pakhomov等人利用皮秒激光脈沖開展了燒蝕激光推進的研究,并在不同激光流量和入射角條件下研究了鉛、鋁、聚甲醛樹脂、聚四氟乙烯等多種材料在燒蝕激光推進中的性能,尋找最適宜的沖量耦合系數和比沖的組合Ablativelaserpropulsion:anupdate,part1.2ndinternationalsymposiumonbeamedenergypropulsion,2004.702:166-177。2002年V.V.Apollonov等人提出利用一個高重復頻率脈沖激光誘導的沖擊波序列形成一個接近平面的強沖擊波,從而有效地提高沖量耦合胃—Stablegenerationandmergingofshockwavesforlightcraftapplications:part1.3rdinternationalsymposiumonbeamedenergypropulsion,2005.766:205-215。2002年T.Yabe等人用水覆蓋金屬靶的表面,制成所謂的水炮靶(watercannontarget),在YAG激光器輸出的脈沖寬度5ns的脈沖激光作用下,水炮靶的沖量耦合系數可以達至丨J350dyne/W[Microairplanepropelledbylaserdrivenexotictarget.App1.Phys.Lett.,2002,80(23):4318-4320,與使用純金屬靶相比,成倍地提高了沖量耦合系數。隨后他們在水炮靶的基礎上作了進一步的改進,又提出了metalfreewatercannontarget(MFWC)和waterfilmcannontarget(WFC)兩種靶結構,沖量耦合系數分別達到240dyne/W禾口368dyne/W[LaserPropulsionUsingMetal-FreeWaterCannonTarget.3rdinternationalsymposiumonbeamedenergypropulsion,2005.766:394-405]。在國內,2006年,中科院物理所的研究組使用中心波長532nm、最大單脈沖能量800mj、脈寬7ns的激光脈沖燒蝕water-confinedtarget(與watercannontarget相似)獲得了超過250dyne/W的沖量耦合系數Enhancementofcouplingcoefficientoflaserplasmapropulsionbywaterconfinement.App1.Phys.A,2006,85,441-443。2007年,中國科學技術大學的唐志平研究組用水作為推進劑,使用波長1.064ym、單脈沖能量1.2J、脈寬12ns的YAG激光脈沖,獲得了350dyne/W的沖量耦合系數激光水推進技術的實驗研究,實驗力學,2007,22(1):43-48。雖然激光推進,特別是長脈沖激光推進的沖量耦合系數已經遠遠高于傳統化學推進方式所能實現的沖量耦合系數,但是在激光和靶材作用的過程中不可避免地會發生激光能量的反射、散射和透射,從而造成激光能量的浪費。因此,如何發展新型的高效吸收激光能量的靶材已成為現階段激光推進領域內的一個重要課題。近年來,隨著超短脈沖激光技術的迅猛發展,超快激光加工技術作為一種實現功能結構與器件微、納米化的新興手段受到越來越多的關注。與傳統的平面工藝相比較,飛秒激光微細加工與制備技術具有操作簡單、靈活、速度快、成本低等優點。目前,人們利用飛秒激光已在多種材料表面或內部實現了亞微米尺度上的加工Enhancingnear-infraredavalanchephotodiodeperformancebyfemtosecondlasermicrostructuring,AppliedOptics,2006,45(35):8825-8831,解決了實際應用中的一些關鍵技術問題。最近,研究者Μ奪單束Periodicorderingofrandomsurfacenanostructuresinducedbyfemtosecondlaserpulsesonmetals,JournalofAppliedPhysics,2007,101:034903;Ultra-broadbandenhancedabsorptionofmetalsurfacesstructuredbyfemtosecondlaserpulses〃,OpticsExpress,16(15):11259-11265(2008)或多束Enhancedopticalabsorptanceofmetalsusinginterferometricfemtosecondablation,OpticsExpress,2007,15(21):13838-13843飛秒激光照射到金屬表面誘導產生了三種不同類型的微、納米結構,并在實驗上測得這些表面具有微納結構的金屬材料能夠對紫外_可見-中紅外寬波段范圍的入射電磁波具有明顯的減反射特性。然而,已有的相關研究大都局限于對飛秒激光誘導微納結構現象的一般性描述,目前我們還未見到應用飛秒激光對燒蝕激光推進中的固體靶的加工設計與制作,并進一步測量證實其在燒蝕激光推進中沖量耦合性能的相關報道。
            發明內容本發明所要解決的技術問題是如何利用飛秒激光微加工技術對燒蝕激光推進中的固體靶材進行表面預處理,掌握其中的關鍵技術與方法,并通過采用新型微結構靶有效增強由推進激光燒蝕產生的沖量耦合系數,從而實現對燒蝕激光推進整體效率的進一步提升。與未經飛秒激光預處理的普通平面固體靶相比,這些表面具有微結構的固體靶在燒蝕激光推進過程中可將沖量耦合系數提高約170%。本發明技術方便、快捷、可操作性高,克服了傳統結構設計與制作技術方法所帶來的繁雜工序。本發明解決該技術問題所采用的技術方案是應用飛秒激光脈沖在燒蝕激光推進固體靶(以金屬樣品為例)表面制備產生多種形式的微結構,并通過高靈敏度扭秤裝置的建立和精確測量,發現和證實這些微結構固體靶比未經飛秒激光預處理的相應靶材的沖量耦合系數增大約170%,為進一步有效提高激光推進效率提供新方法。其步驟是第一步,將選作用于燒蝕激光推進靶的固體材料,例如金屬鋁樣品,進行表面機械打磨和拋光,而后用去離子水超聲清洗,然后再置于清潔開口容器中待其風干,作為靶樣品。第二步,在空氣環境中,使用顯微物鏡或光學透鏡將飛秒激光脈沖聚焦后垂直照射在第一步拋光處理后的樣品材料表面,并通過觀測材料表面燒蝕區域的大小來尋找和確定激光焦點的準確位置,然后再將樣品表面沿逆光束方向調整至遠離焦平面的適當位置處。第三步,設定飛秒激光加工參數為脈沖重復頻率1千赫茲、脈沖持續時間50飛秒、脈沖中心波長800納米,并使得入射激光脈沖為線偏振光激光脈沖為線偏振光。第四步,將待處理的固體靶樣品放置在三維精密移動平臺上,并通過計算機來控制樣品在空間上的移動,最小移動精度為1微米,樣品移動速度可在0.05-1毫米/秒范圍內選擇。第五步,在保持入射激光束不變的情況下,通過選取合適的激光能量,并將待處理固體靶樣品在與光束垂直平面內進行逐行移動掃描,實現在固體靶樣品表面上的大面積微結構制備。樣品移動方向與偏振方向可以成任意夾角,相鄰兩條掃描線之間的距離可在2-100微米范圍內選擇。當入射飛秒激光脈沖的平均功率在40-250毫瓦范圍內進行調節時,實驗觀察到樣品表面產生的微結構形貌也會發生相應的改變,最終獲得兩種不同類型的微結構靶。第六步,將第五步飛秒激光處理后的固體靶樣品用去離子水超聲清洗,有效清除附著在樣品表面的沉積物,并對其表面進行顯微觀察與測量。第七步,將第六步成功制備獲得的表面微結構固體靶應用到燒蝕激光推進的實驗系統中,并通過建立高靈敏度扭秤裝置來精確測量其在激光燒蝕過程中的沖量耦合系數;第八步,在燒蝕激光推進過程中,當入射激光能量給定時,通過調節固體靶和聚焦透鏡之間的距離可以使得光斑照射區域內的激光通量發生改變,從而分別測得普通平面靶和微結構靶的燒蝕激光推進沖量耦合系數隨激光通量的變化關系,然后再通過對測量數據的分析,可以發現微結構固體靶能夠有效地提高燒蝕激光推進的沖量耦合系數。上述第二步中所述的飛秒激光脈沖聚焦采用顯微物鏡或光學透鏡,固體靶樣品表面沿逆光束方向調整至遠離焦平面10-250微米的位置范圍處,這樣能夠避免激光焦點處的高激光通量對靶樣品表面可能造成的深度燒蝕。上述第四步中所述固體靶樣品的移動速度在0.05-1毫米/秒范圍內選擇,最小移動精度為ι微米,相鄰兩條移動掃描線之間的距離在2-100微米范圍內選擇。上述第五步中所述固體靶樣品的移動掃描方向與入射飛秒激光脈沖的偏振方向成任意夾角;入射激光脈沖的平均功率在40-250毫瓦范圍內變化;在靶樣品表面制備獲得的微結構類型包括周期性排布的顆粒狀突起結構和周期性排布的溝槽結構。本發明的有益效果是(1)由于飛秒激光脈沖持續時間極短,即使較小的激光脈沖能量也可擁有極高的峰值功率。本發明中單個激光脈沖的峰值功率可高達4XIOki瓦,這將一方面會造成飛秒激光作用過程中伴隨有諸多非線性物理效應,從而使得金屬表面能夠自組織形成不同形狀的微納米結構;另一方面,超快速的脈沖持續時間將會導致激光作用過程中的材料熱傳導效應在根本上得到減弱和消除,從而使得激光加工的空間范圍可以控制在亞微米或納米量級。相對于傳統的平面曝光技術工藝而言,本發明所述的飛秒激光制備過程具有更加方便、快捷、無需其他輔助環境和工藝,樣品表面可自組織形成多種形態的微結構等顯著優點。(2)巨Ilf己*文Compactandrobustlaserimpulsemeasurementdevice,withultrashortpulselaserablationresults[C].Beamedenergypropulsion:5thinternationalsymposiumonbeamedenergypropulsion,AIPconferenceproceedings,NewYork:AmericanInstituteofPhysics,2008,997:147-158;Lightpropulsionofmicrobeadswithfemtosecondlaserpulses[J].Opt.Express,2004,12(15):3590-3598報道的金屬靶材樣品在飛秒激光燒蝕推進中的沖量耦合系數一般為幾個達因/瓦(1達因=ΙΟ"5牛頓),激光推進效率較低。本發明中所描述的具有表面微結構的金屬靶推進器可將沖量耦合系數提高約170%,在與激光推進有關的應用中有望具有重要的應用前景。下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。圖1為實施例1未使用本發明方法處理的普通平面金屬鋁靶樣品的掃描電子顯微照片。圖2為實施例2使用本發明方法經平均功率為40毫瓦飛秒激光預處理后獲得的微結構金屬鋁靶樣品的掃描電子顯微照片。圖3為本發明實施3所使用的經平均功率為140毫瓦飛秒激光預處理后獲得的微結構金屬鋁靶樣品的掃描電子顯微照片。圖4為本發明實施4所使用的經平均功率為250毫瓦飛秒激光預處理后獲得的微結構金屬鋁靶樣品的掃描電子顯微照片。圖5為本發明實施1、2、3、4所使用的測量固體靶在燒蝕激光推進過程中沖量耦合系數的裝置圖。其中1表示超短激光脈沖;2表示焦距f=100毫米的光學透鏡;3表示固體靶樣品;4表示氦氖激光束;5表示焦距f=705毫米的光學透鏡;6表示CCD探測器;7表示光纖;8表示可升降的潛望鏡裝置。圖6為本發明實施1、2、3、4中測得的不同金屬靶樣品在燒蝕激光推進過程中沖量耦合系數隨入射激光通量變化的關系圖,其中表示未經飛秒激光預處理的普通平面靶所得結果表示經過平均功率250毫瓦飛秒激光制備獲得的微結構靶的所得結果;表示經過平均功率140毫瓦飛秒激光制備獲得的微結構靶的所得結果;+表示經過平均功率40毫瓦飛秒激光制備獲得的微結構靶的所得結果。具體實施例方式實施例1第一步,將10X10X2立方毫米的塊狀金屬鋁靶樣品用400-800號水砂紙逐級打磨和機械拋光后,樣品表面的掃描電子顯微圖片為如圖1所示。用去離子水超聲清洗,然后將其置于清潔開口容器中待用;第二步,建立高靈敏度的扭秤裝置來精確測量上述普通金屬鋁靶樣品在燒蝕激光推進過程中產生的動量,并研究沖量耦合的增強程度。實驗裝置如圖5(a)所示。為了防止空氣流動對扭秤測量的影響,整個扭秤裝置置于一個密閉的有機玻璃罩中。用于燒蝕靶材的超短激光脈沖和用來探測扭秤轉動的氦氖激光信號通過有機玻璃罩上的光學窗口進入罩子內部。其中扭秤由懸絲和扭擺兩部分組成。扭秤使用的懸絲是包層直徑125微米,纖芯直徑8.2微米的標準單模通信光纖(SMF-28e,CorningInc.)。懸絲長778毫米。扭秤的扭擺也由兩部分構成。擺中間是一個鍍有鋁膜的小的方形反射鏡,基底為光學級加硬亞克力;擺的其余部分由普通有機玻璃材料制成。實驗時兩塊質量相同的同種材料的靶被固定在擺兩端的L型支架上。第三步,實驗中使用氦氖激光器作為探測光光源。經扭擺反射鏡反射的氦氖激光被一個焦距為705毫米(波長為632.8納米)的透鏡聚焦。實驗中調節接收C⑶的位置,使其剛好位于氦氖激光的焦平面上。當聚焦的激光脈沖轟擊扭擺上的固體靶樣品使扭擺發生轉動時,氦氖激光信號經扭擺反射鏡反射后的傳播方向發生變化,它在空間的移動情況被高靈敏度CCD探測接受。如圖5(b)所示,激光脈沖經過一個可升降的潛望鏡提束后被一個焦距為100毫米的透鏡聚焦,聚焦后的激光脈沖用來燒蝕固定在扭擺上的靶材。實驗中可升降潛望鏡的作用在于通過升降改變激光脈沖轟擊靶材的位置,使每次測量時,每個激光脈沖轟擊的都是靶上未受轟擊的新區域。實驗中利用CCD觀察小能量飛秒激光經靶樣品的背向散射光來確定靶相對于聚焦透鏡的位置。第四步,我們在激光推進實驗中使用的單個激光脈沖能量為0.65毫焦耳,脈沖寬度為50飛秒,通過調節固體靶和聚焦透鏡之間的距離可以實現入射激光通量在0.6焦耳/平方厘米到100焦耳/平方厘米的范圍內發生變化。當入射激光通量確定時,通過測量CCD記錄激光燒蝕過程中光點的移動距離,即可得到扭秤的最大轉角,從而計算出單個激光脈沖燒蝕產生的動量,用動量除以燒蝕使用的單脈沖能量便可得到沖量耦合系數。實驗測得普通平面金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數隨激光流量變化關系如圖6中的+曲線所示。從中我們可以看出當入射激光通量逐漸增大時,該固體靶樣品的沖量耦合系數先增加然后減小,當入射激光通量約為9焦耳/平方厘米時,普通平面金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數達到最大值,約為4.5達因/瓦。實施例2第一步,與實施例1相同。第二步,在空氣環境中,使用顯微物鏡或光學透鏡將入射的飛秒激光脈沖垂直聚焦在第一步中所處理的固體金屬鋁靶樣品上,并將樣品表面沿逆光束方向調整至遠離焦平面10-250微米的范圍內;第三步,設定飛秒激光制備的實驗參數為脈沖重復頻率1千赫茲、脈沖寬度50飛秒、8脈沖中心波長800納米、相鄰激光加工刻線之間的間距可在20-100微米范圍內選擇、樣品移動的掃描速度可在0.05-1毫米/秒范圍內選擇,飛秒激光偏振方向與樣品移動掃描方向可成任意角度。第四步,調節入射激光脈沖的平均功率為40毫瓦,經上述激光照射方法處理金屬鋁靶樣品后,通過掃描電子顯微鏡可觀察到其表面形成了一種奇特的微細結構,如圖2所示。它是由許多微米量級的凸起和溝槽組成,這些微結構使得金屬靶樣品表面變得較為粗糙,類似于一種多孔結構的吸收體。用肉眼直接觀看,這種布滿微結構的金屬靶樣品表面顏色變暗。第五步,除采用上述表面微結構的金屬鋁靶樣品外,其他技術和實驗條件均與實施例1中的步驟二相同。第六步,與實施例1中的步驟三相同。第七步,與實施例1中的步驟四相同。實驗測得微結構金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數隨激光流量變化關系如圖6中+曲線所示。與普通平面金屬鋁靶樣品相比較,這種類型的表面微結構金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數有所提高,最大值增至6.5達因/瓦,但此時對應的激光通量減小為2.1焦耳/平方厘米。我們認為這可能是由于鋁靶樣品表面微結構使得激光燒蝕閾值降低造成的。實施例3除在飛秒激光制備微結構固體靶過程中將入射激光脈沖平均功率調節為140毫瓦外,其他技術步驟和實驗條件均與實施例2相同。在這種情況下,實驗觀察到經飛秒激光照射后的金屬鋁靶樣品表面也形成有多個凸起排列而成的條紋狀微結構,其掃描電子顯微照片如圖3所示。與圖2相比較,我們可知在入射激光功率變大時,金屬鋁靶樣品表面形成凸起結構的尺寸逐漸變小。實驗測得表面微結構金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數隨激光流量變化關系如圖6的曲線所示。我們發現在此條件下,微結構金屬鋁靶樣品比普通平面金屬鋁靶仍然具有較高的沖量耦合系數,并與實施例2中獲得的結果大致相同。實施例4除在飛秒激光制備微結構金屬鋁靶樣品過程中將入射激光脈沖平均功率調節為250毫瓦外,其他技術步驟和實驗條件均與實施例2相同。在這種情況下,實驗觀察到經飛秒激光照射后的金屬鋁靶樣品表面已沒有凸起結構的產生,僅形成周期性分布的溝槽結構,溝槽的寬度約為幾十微米,其掃描電子顯微照片如圖4所示。實驗測得這種微結構金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數隨激光流量變化關系如圖6的*曲線所示。與實施例2、3中的情況相比較,此種條件下微結構金屬鋁靶樣品的沖量耦合系數發生了進一步的提高。最大值增至7.7達因/瓦,與未經飛秒激光預處理的普通平面鋁靶樣品相比較,最大沖量耦合系數提高了約170%。9權利要求1.利用激光制備微結構靶提高激光推進沖量耦合系數的方法,其步驟是第一步,將選作用于燒蝕激光推進靶的固體材料,進行表面機械打磨和拋光后,用去離子水超聲清洗,然后置于清潔開口容器中待其風干,作為靶樣品;第二步,在空氣環境中,先將聚焦后的飛秒激光脈沖垂直照射在第一步拋光處理后的靶樣品材料表面,并通過觀測靶樣品材料表面燒蝕區域的大小來尋找和確定激光焦點的準確位置,然后再將靶樣品材料表面沿逆光束方向調整至遠離焦平面的位置處;第三步,設定飛秒激光脈沖的參數為脈沖重復頻率1千赫茲、脈沖持續時間50飛秒、脈沖中心波長800納米,并使得入射激光脈沖為線偏振光;第四步,將待處理的固體靶樣品放置在三維精密移動平臺上,并通過計算機來控制靶樣品在空間上的移動;第五步,在保持入射激光束不變的情況下,通過選取激光能量,并將待處理靶樣品在與光束垂直平面內進行逐行移動掃描,實現在固體靶樣品表面上的大面積微結構制備;第六步,將第五步飛秒激光脈沖處理后的固體靶樣品用去離子水超聲清洗,有效清除附著在樣品表面的沉積物,并對其表面進行顯微觀察與測量;第七步,將第六步成功制備獲得的表面具有微結構的固體靶樣品應用到燒蝕激光推進的實驗系統中,并通過建立高靈敏度的扭秤裝置來精確測量其在激光燒蝕過程中的沖量耦合系數;第八步,當燒蝕激光推進的能量給定時,通過改變固體靶樣品和聚焦透鏡之間的距離實現對照射光斑區域內光通量的調控,從而分別測得普通平面靶和微結構靶在燒蝕激光推進中沖量耦合系數隨激光通量的變化關系。2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于上述第二步中所述的飛秒激光脈沖聚焦采用顯微物鏡或光學透鏡,固體靶樣品表面沿逆光束方向調整至遠離焦平面10-250微米的位置范圍處,這樣能夠避免激光焦點處的高激光通量對靶樣品表面可能造成的深度燒蝕去除。3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于上述第四步中所述固體靶樣品的移動速度在0.05-1毫米/秒范圍內選擇,最小移動精度為1微米,相鄰兩條移動掃描線之間的距離在2-100微米范圍內選擇。4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于上述第五步中所述固體靶樣品的移動掃描方向與入射飛秒激光脈沖的偏振方向成任意夾角;入射激光脈沖的平均功率在40-250毫瓦范圍內變化;在靶樣品表面制備獲得的微結構類型包括周期性排布的顆粒狀突起結構和周期性排布的溝槽結構。5.根據權利要求1的方法,其特征在于上述第七步中所述測量沖量耦合系數的過程是當聚焦激光脈沖轟擊扭擺上放置的固體靶樣品并使扭擺發生轉動時,探測光束經扭擺反射鏡后在傳播方向的移動變化被高靈敏度CCD探測;激光脈沖經過潛望鏡提束后被一個焦距為100毫米的透鏡聚焦到固定在扭擺上的靶樣品表面,實驗中通過潛望鏡的升降來改變激光脈沖對固體靶轟擊的具體位置,使每次測量時,每個激光脈沖轟擊的都是靶上未受轟擊的新區域。6.根據權利要求1所述的方法,其特征在于上述第八步中所述當入射激光通量確定時,利用高靈敏度CCD記錄測得在燒蝕激光推進過程中探測光點的空間移動距離,即獲得扭秤的最大轉角,從而計算出單個激光脈沖在燒蝕過程中產生的動量,用動量除以燒蝕使用的單脈沖能量便得到沖量耦合系數。全文摘要利用激光制備微結構靶提高激光推進沖量耦合系數的方法。本發明提出利用聚焦近紅外飛秒激光脈沖對燒蝕激光推進技術中的固體靶進行預加工處理,使其表面產生多種形態的微結構來有效增強其沖量耦合系數的方法。飛秒激光脈沖制備的微結構固體靶包括多種類型的有利于增強光吸收的突起結構和溝槽結構。利用實驗建立的高靈敏度扭秤精密測量裝置獲知在0.6-100焦耳/平方厘米的激光通量變化范圍內,這些微結構固體靶比未經飛秒激光預處理的普通平面靶的沖量耦合系數提高約170%。本發明提出的有效增強激光燒蝕過程中光能到機械能轉換的新方法在激光推進
            技術領域
            有著潛在的重要應用。文檔編號B23K26/00GK102179622SQ20111008784公開日2011年9月14日申請日期2011年4月8日優先權日2011年4月8日發明者張楠,朱曉農,楊建軍,楊陽,黃鵬申請人:南開大學
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