專利名稱：一種臥式微電火花機(jī)床及應(yīng)用該機(jī)床進(jìn)行在線加工的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微電火花加工領(lǐng)域，具體涉及一種臥式微電火花機(jī)床及應(yīng)用該臥 式微電火花機(jī)床進(jìn)行在線加工的方法。
背景技術(shù)：
微滴噴射技術(shù)研究中，微噴嘴的質(zhì)量將直接影響微滴噴射的成敗。當(dāng)前用于微噴 嘴加工的技術(shù)主要有玻璃拉制法、微電火花加工以及機(jī)械加工等方法。玻璃微針拉制法可 用于單個(gè)噴嘴制作，但微噴嘴制作的一致性值得研究；機(jī)械加工的方法則主要用于孔徑較 大的噴嘴制作，并不適合微米級(jí)噴嘴的制作；微電火花技術(shù)作為一種非接觸式放電加工技 術(shù)，在加工過程中沒有宏觀力作用，加工主要依賴于電蝕作用，具有加工精度高，一致性好 的特點(diǎn)，是制作微噴嘴的主要加工方法之一。在微細(xì)電火花小孔加工中，微電極的制備和裝夾是前提條件。目前，微電極的制 作主要分為離線制作和在線制作兩大類。離線制作方法不可避免的存在兩個(gè)不足之處首 先，電火花加工中嚴(yán)重的電極損耗現(xiàn)象使成形電極的形狀很快改變而無法進(jìn)行高精度的加 工；其次，由于電極的二次安裝不可避免的存在安裝誤差和變形誤差，難以保證電極與工作 臺(tái)面的垂直度和電極與回轉(zhuǎn)主軸的同軸度，因此采用離線方式進(jìn)行微細(xì)電極制作并將其二 次安裝在主軸頭上的方法很難滿足微細(xì)電火花加工的要求。而在線制作方法則能夠消除離 線制作方法中因二次安裝所帶來的誤差，目前在線制作方法主要是采用線電極電火花磨削 和塊電極電火花加工電極。塊電極電火花加工過程中，工具電極全長(zhǎng)可同時(shí)參與放電，故其放電加工效率相 對(duì)較高；但由于在放電過程中，塊電極由于電蝕存在損耗，且無法補(bǔ)償，從而造成放電加工 過程中放電間隙難以精準(zhǔn)控制、電極表面質(zhì)量普遍不高，難以實(shí)現(xiàn)微電極的精密制作。而線 電火花磨削法(WEDG)加工則通過電極絲的移動(dòng)補(bǔ)償加工過程中線電極的損耗，且線電極 和工具電極之間為點(diǎn)接觸放電，易于控制工具電極的尺寸精度，微電極的加工精度更接近 于機(jī)床的幾何精度。但由于線電火花磨削法的放電面積過小，電極加工速度極慢，難以滿足 批量化生產(chǎn)要求。從上述內(nèi)容中可知，線電火花磨削法制作電極具有較高的加工精度高但效率相對(duì) 低下，而塊電極電火花加工法制作微電極則存在電極形狀隨塊電極的多次使用損耗而不一 致的缺點(diǎn)。作為傳統(tǒng)加工用的金鋼砂輪磨削，其加工過程為接觸式加工，存在宏觀切削力， 其加工效率較高。由于加工過程中砂輪的回轉(zhuǎn)精度以及徑向跳動(dòng)等的影響，很難實(shí)現(xiàn)微米 級(jí)電極的制作。迄今為止，還沒有一種既能提高微電極制作效率、同時(shí)也能保證微電極加工精度 的電極制作方法。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有微電極制作技術(shù)的不足，從提高微電極制作效率和解決微電極裝夾問題出發(fā)，提供了一種臥式微電火花機(jī)床及應(yīng)用該臥式微電火花機(jī)床進(jìn)行在 線加工的方法，該方法通過采用金剛砂輪磨削法、線電火花磨削法以及金剛砂輪磨削配合 線電火花磨削法制作微電極，根據(jù)待制作電極尺寸要求，合理選擇上述加工方法進(jìn)行微電 極的在線制作，提高微電極的制作效率和制作精度，特別能滿足50 μ m到100 μ m微電極的 高效率制作，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)直徑在50 μ m以下微電極制作。在線制造的方式保證了工具和 工件的相對(duì)位置精度，克服了離線制造必須二次安裝的弊端，加工出的徽細(xì)柱狀電極可以 用于微細(xì)孔和微細(xì)三維結(jié)構(gòu)的電火花和電解加工。本發(fā)明通過在機(jī)床上同時(shí)配備金剛砂輪磨削裝置和線電火花磨削裝置，將工具電 極安裝在電極主軸上，以X-Y 二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)驅(qū)動(dòng)工具電極相對(duì)金剛砂輪或者線電極運(yùn)動(dòng)， 實(shí)現(xiàn)微電極的制作；同時(shí)，根據(jù)待制作微電極的尺寸要求，合理選擇金剛砂輪磨削法、線電 火花磨削法以及金剛砂輪磨削配合線電火花磨削，完成微電極的在線制作。金剛砂輪磨削 可以實(shí)現(xiàn)待加工微電極余量的快速去除，提高制作效率；線電火花磨削則可以進(jìn)一步提高 金剛砂輪磨削的加工精度；因此兩者配合，在保證加工精度的前提下，可以大幅提高微電極 的制作效率。同時(shí)，該方法由于可以通過金剛砂輪快速去除余量，因此可以提高工具電極的 初始直徑，解決小電極裝夾的困難。使用金剛砂輪輔助線電火花磨削法在線制作微電極的微電火花加工設(shè)備采用臥 式布局，線電火花磨削裝置和砂輪磨削裝置固定在工作臺(tái)上，待加工電極安裝在高回轉(zhuǎn)精 度的電極主軸上，電極主軸安裝在X-Y 二維工作臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)電極的Χ、γ方向的進(jìn)給。使用加 工好的微電極進(jìn)行加工的工件安裝在工件裝夾裝置上，工件裝夾裝置則安裝于垂直于工作 臺(tái)面安裝的Z軸上，通過調(diào)整X、Z的位置，實(shí)現(xiàn)工件的相對(duì)定位。
圖1為臥式布局電火花加工機(jī)床主視圖；圖2為臥式布局電火花加工機(jī)床俯視圖；圖3為臥式布局電火花加工機(jī)床左視圖；圖4為金剛砂輪主軸局部放大視圖；圖5為電極主軸局部放大視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖1所示，本發(fā)明包括以下幾個(gè)部分機(jī)床基座1，X-Y 二維工作臺(tái)2，電極主軸 3，砂輪磨削機(jī)構(gòu)4，Z向工作臺(tái)6，線電火花磨削機(jī)構(gòu)7。其中，砂輪磨削機(jī)構(gòu)4和線電火花 磨削機(jī)構(gòu)7分別位于Z向工作臺(tái)6的左右兩側(cè)。由圖1、圖2和圖3所示，在本實(shí)施例中，機(jī)床基座1是整臺(tái)機(jī)床的基礎(chǔ)，是機(jī)床其 他部分的安裝集體。機(jī)床基座1通過螺栓緊固在減震臺(tái)上，減震臺(tái)固定在地板上，減震臺(tái)為 該設(shè)備提供支撐并隔離外界震動(dòng)。X-Y 二維工作臺(tái)2提供X、Y方向的直線運(yùn)動(dòng)，使工具電極相對(duì)于線電火花磨削機(jī) 構(gòu)7、砂輪磨削機(jī)構(gòu)4以及待加工工件運(yùn)動(dòng)，完成指定加工任務(wù)的運(yùn)動(dòng)基礎(chǔ)。X-Y 二維工作 臺(tái)2安裝在機(jī)床基座1上，包括沿X方向運(yùn)動(dòng)的X工作臺(tái)16和沿Y方向運(yùn)動(dòng)的Y工作臺(tái)27兩部分。滾動(dòng)導(dǎo)軌12通過螺栓固定在機(jī)床基座1上，光柵尺Xll通過螺栓固定在機(jī)床基座 1上，光柵尺Xll的光柵讀數(shù)頭通過螺栓與X工作臺(tái)16相連。X工作臺(tái)16通過螺栓分別于 滾動(dòng)導(dǎo)軌滑塊13，滾珠絲杠螺母15相連。X軸交流伺服電機(jī)17通過螺栓與行星齒輪減速 器18相連，同時(shí)行星齒輪減速器18通過支座固定在機(jī)床基座1上，行星齒輪減速器18另 一端則與滾珠絲杠14相連，滾珠絲杠軸承座19通過螺栓與機(jī)床基座1相連。當(dāng)X交流伺 服電機(jī)17轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)滾珠絲杠14轉(zhuǎn)動(dòng)，使得工作臺(tái)16沿滾動(dòng)導(dǎo)軌12來回運(yùn)動(dòng)。滾動(dòng)導(dǎo)軌25通過螺栓固定在X工作臺(tái)16上，Y光柵尺24通過螺栓固定在X工作 臺(tái)16上，滾珠絲杠軸承座23通過螺栓與X工作臺(tái)16相連；Y工作臺(tái)27通過螺栓分別與滾 動(dòng)導(dǎo)軌滑塊26，光柵尺24的讀數(shù)頭以及滾珠絲杠28的螺母相連；交流伺服電極21通過螺 栓與行星齒輪減速器22相連，行星齒輪減速器22通過螺栓與X工作臺(tái)16相連，行星齒輪 減速器22的另一端則與滾珠絲杠28相連；交流伺服電機(jī)21轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)行星齒輪減速器 22和滾珠絲杠28，帶動(dòng)Y工作臺(tái)27沿滾動(dòng)導(dǎo)軌25來回進(jìn)給運(yùn)動(dòng)。電極主軸3主要用于安裝和夾持工具電極，提供工具電極與脈沖電源之間的電氣 連接。電極主軸部分3由電極主軸31，電極電刷32，電極夾持裝置33，電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī) 34以及電極主軸安裝板35組成。電極主軸31通過螺栓安裝在電極主軸安裝板35上，電極電刷32通過螺栓安裝在 電極主軸安裝板35上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)34通過螺栓安裝在電極主軸安裝板35上，電極主軸安裝 板35通過螺栓與Y工作臺(tái)27相連。電極夾持裝置33安裝在電極主軸31上，電極主軸31 與電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)34通過同步帶連接。圖5所示為電極主軸局部放大視圖，電極主軸由電極311，電極夾具312，緊釘螺釘 313，絕緣安裝套314，主軸前壓蓋315，螺栓316，321，軸承317，320，主軸318，軸承座319， 主軸后壓蓋322，螺母323，324，帶輪325，平鍵326，緊釘螺釘332，導(dǎo)電體327，電刷331，螺 栓330，328，電極株洲安裝板329組成。電極311安裝在電極夾具312內(nèi)，通過緊釘螺釘313安裝固定，電極夾具312安裝 在絕緣隔套314中，絕緣隔套314安裝在主軸318上；主軸318上安裝有滾珠軸承317和 320，滾珠軸承317和320安裝在軸承座319內(nèi)，在軸承317上安裝有軸承壓蓋315，軸承壓 蓋315通過螺栓316和軸承座318連接；軸承320上安裝有軸承壓蓋322，軸承壓蓋322通 過螺栓321和軸承座319相連；主軸318的后部安裝有螺母323和324組成的雙螺母機(jī)構(gòu)； 主軸318的尾部安裝有帶輪325，帶輪325通過平鍵326和緊釘螺釘332和主軸318相連； 主軸尾部設(shè)有導(dǎo)電體327，在導(dǎo)電體327和電極夾具312之間通過導(dǎo)線333相連，在導(dǎo)電體 327上安裝有電刷331，電刷331通過螺栓330和電極主軸安裝板329相連；軸承座319通 過螺栓328和主軸安裝板329相連。砂輪磨削機(jī)構(gòu)4主要用于實(shí)現(xiàn)金剛砂輪磨削法完成電極制作。砂輪主軸部分4由 金剛砂輪41，砂輪主軸42以及砂輪主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)43組成。砂輪主軸42通過螺栓固定在機(jī) 床基座1上，金剛砂輪41通過螺栓安裝在砂輪主軸42上，砂輪主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)43通過螺栓 安裝在機(jī)床基座1上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)43和砂輪主軸42通過同步帶連接。金剛砂輪主軸局部放大視圖如圖4所示，該主軸由金剛砂輪611，砂輪壓塊612，砂 輪壓塊613，砂輪鎖緊螺栓614，砂輪安裝止口 615，滾珠軸承616，619，砂輪主軸617，主軸安 裝螺栓618，主軸鎖緊螺母620，621，帶輪622，平鍵623，緊釘螺釘624，軸承座625組成。
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金剛砂輪611安裝在砂輪止口 615上，砂輪止口 615則安裝在砂輪主軸617上，砂 輪611上裝有壓塊612和壓塊613，通過螺栓614連接主軸617，將砂輪固定在主軸617上； 主軸617上安裝有滾珠軸承616和619，軸承616和619安裝在軸承座625內(nèi)，軸承座625 通過螺栓618和底板相連；主軸617的后部安裝有螺母620和621組成的雙螺母機(jī)構(gòu)，和軸 承座625，主軸617 —起完成主軸的軸向固定；主軸617的尾部安裝有帶輪622，帶輪622與 主軸617通過平鍵623和緊釘螺釘624連接固定。Z向工作臺(tái)6主要用于提供工件裝夾、Z向運(yùn)動(dòng)，完成微細(xì)零件加工。Z軸工作臺(tái) 6由交流伺服電機(jī)61，行星齒輪減速器62，滾珠絲杠63，滾動(dòng)導(dǎo)軌64，Z軸工作臺(tái)66以及Z 軸立柱65組成。Z軸立柱65通過螺栓固定在機(jī)床基座1上，滾動(dòng)導(dǎo)軌64通過螺栓與Z軸立柱65 相連，滾珠絲杠63安裝在Z軸立柱65上，Z軸工作臺(tái)66通過螺栓分別于滾珠絲杠63，滾動(dòng) 導(dǎo)軌64相連；行星齒輪減速器62通過螺栓與Z軸立柱65相連，行星齒輪62 —端與交流伺 服電機(jī)61相連，一端與滾珠絲杠63相連。當(dāng)交流伺服電機(jī)61轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)行星齒輪減速 器62和滾珠絲杠63，帶動(dòng)Z軸工作臺(tái)66沿滾動(dòng)導(dǎo)軌64上下運(yùn)動(dòng)。線電火花磨削機(jī)構(gòu)7主要用于完成微電極的線電火花磨削加工，制作各種微細(xì)電 極。線電火花磨削機(jī)構(gòu)7由安裝板71，放絲輪72，收絲從動(dòng)輪73，收絲主動(dòng)輪74，壓緊機(jī)構(gòu) 75，過輪76、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)77，固定導(dǎo)輪78以及驅(qū)動(dòng)電機(jī)組成。安裝板71通過螺栓安裝固定在機(jī)床基座1上，固定導(dǎo)輪78通過螺栓固定在安裝 板71上，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)77通過螺紋安裝在安裝板71上；放絲輪72，過輪76以及收絲從動(dòng)輪73 通過雙軸承機(jī)構(gòu)安裝在安裝板71上。在進(jìn)行線電火花磨削法制作微電極時(shí)，同樣首先將待加工的工具電極311安裝在 電極夾具312上，通過緊釘螺釘313將其固定；啟動(dòng)電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)34，使工具電極311 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；通過X-Y二維工作臺(tái)在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)下，將待加工的工具電極311移動(dòng)到線電火 花磨削機(jī)構(gòu)7的定輪78處，在微電火花加工機(jī)床控制系統(tǒng)和放電間隙檢測(cè)系統(tǒng)的作用下， 工具電極311相對(duì)于線電極按照規(guī)定的路徑相對(duì)運(yùn)動(dòng)，完成線電火花磨削法制作微電極。在進(jìn)行小孔加工和微噴嘴制作等微電火花加工時(shí)，首先啟動(dòng)電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī) 34，使工具電極311旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；通過X-Y 二維工作臺(tái)在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)下，將制作好的工具電 極311移動(dòng)到安裝在Z向工作臺(tái)6上的工作臺(tái)66上工件處，在微電火花加工機(jī)床控制系統(tǒng) 和放電間隙檢測(cè)系統(tǒng)的作用下，工具電極311相對(duì)于待加工噴嘴和工件按照規(guī)定的路徑相 對(duì)運(yùn)動(dòng)，完成微噴嘴和微小孔的微電火花加工。如上所述，X、Y、Z軸為交流伺服電機(jī)通過行星齒輪減速器與滾珠絲杠相連，構(gòu)成運(yùn) 動(dòng)機(jī)構(gòu)，配合精度為0. 1 μ m的光柵尺形成的閉環(huán)反饋，構(gòu)成了精度為0. 1 μ m的電火花機(jī)床 進(jìn)給系統(tǒng)。
權(quán)利要求
一種臥式微電火花機(jī)床，用于制作微電極并能夠利用制作完成的微電極直接進(jìn)行微電火花加工，實(shí)現(xiàn)微電極制作和微電火花加工一體化的在線作業(yè)，其特征在于，該機(jī)床包括機(jī)床基座(1)，X Y二維工作臺(tái)(2)，電極主軸(3)，砂輪磨削機(jī)構(gòu)(4)，Z向工作臺(tái)(6)和線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)，其中，所述砂輪磨削機(jī)構(gòu)(4)和線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)固定安裝在機(jī)床基座(1)上，分別位于Z向工作臺(tái)(6)的左右兩側(cè)，所述Z向工作臺(tái)(6)用于裝夾待加工工件，所述電極主軸(3)安裝在X Y工作臺(tái)(2)上，待加工的工具電極安裝在該電極主軸(3)上，所述X Y二維工作臺(tái)(2)驅(qū)動(dòng)工具電極相對(duì)所述金剛砂輪磨削機(jī)構(gòu)(4)和線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)運(yùn)動(dòng)，完成微電極的制作，再驅(qū)動(dòng)所述制作完成的微電極相對(duì)于Z向工作臺(tái)(6)上的待加工工件相對(duì)運(yùn)動(dòng)，完成微電火花加工。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種臥式微電火花機(jī)床，其特征在于，所述的X-Y二維工作 臺(tái)(2)安裝在機(jī)床基座(1)上，包括沿X方向運(yùn)動(dòng)的第一工作臺(tái)(16)和沿Y方向運(yùn)動(dòng)的第 二工作臺(tái)(27)，所述第一工作臺(tái)(16)通過固定在機(jī)床基座(1)上的第一滾動(dòng)導(dǎo)軌(12)實(shí) 現(xiàn)沿X方向的運(yùn)動(dòng)，所述第二工作臺(tái)(27)通過固定在第一工作臺(tái)(16)上的第二滾動(dòng)導(dǎo)軌 (25)實(shí)現(xiàn)Y方向的二維運(yùn)動(dòng)，在所述第一工作臺(tái)(16)和第二工作臺(tái)(27)上分別設(shè)置有光 柵尺(11,24) 。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種臥式微電火花機(jī)床，其特征在于，所述電極主軸(3) 用于安裝和夾持工具電極，提供工具電極與脈沖電源之間的電氣連接，該電極主軸部分(3) 包括電極主軸(31)，電極電刷(32)，電極夾持裝置(33)，電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)(34)以及電極 主軸安裝板(35)，電極主軸(31)、電極電刷(32)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(34)安裝在電極主軸安裝板 (35)上，電極主軸安裝板(35)通過螺栓與第二工作臺(tái)(27)相連，電極夾持裝置(33)安裝 在電極主軸31上，電極主軸(31)與電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)(34)通過同步帶連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3之一所述的一種臥式微電火花機(jī)床，其特征在于，所述砂輪磨削 機(jī)構(gòu)(4)用于在電極制作中進(jìn)行金剛砂輪磨削，包括金剛砂輪(41)、砂輪主軸(42)以及砂 輪主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)(43)，砂輪主軸(42)和砂輪主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)(43)固定安裝在機(jī)床基座(1) 上，金剛砂輪(41)通過安裝在砂輪主軸(42)上，砂輪主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)(43)和砂輪主軸(42) 通過同步帶連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的一種臥式微電火花機(jī)床，其特征在于，所述線電火花 磨削機(jī)構(gòu)(7)用于完成微電極的線電火花磨削加工，包括安裝板(71)，放絲輪(72)，收絲從 動(dòng)輪(73)，收絲主動(dòng)輪(74)，壓緊機(jī)構(gòu)(75)，過輪(76)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(77)、固定導(dǎo)輪(78)以及 驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述安裝板(71)通過螺栓安裝固定在機(jī)床基座(1)上，固定導(dǎo)輪(78)通過螺栓 固定在安裝板(71)上，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(77)通過螺紋安裝在安裝板(71)上；放絲輪(72)、過輪 (76)以及收絲從動(dòng)輪(73)通過雙軸承機(jī)構(gòu)安裝在安裝板71上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5之一所述的一種臥式微電火花機(jī)床，其特征在于，所述Z向工作臺(tái) (6)包括交流伺服電機(jī)(61)，行星齒輪減速器(62)，滾珠絲杠(63)，滾動(dòng)導(dǎo)軌(64)，Z軸工 作臺(tái)(66)以及Z軸立柱(65)，Z軸立柱(65)固定在機(jī)床基座1上，第三滾動(dòng)導(dǎo)軌(64)與 Z軸立柱(65)相連，滾珠絲杠(63)安裝在Z軸立柱(65)上，Z軸工作臺(tái)(66)分別與滾珠 絲杠(63)和滾動(dòng)導(dǎo)軌(64)相連；行星齒輪減速器(62)通過螺栓與Z軸立柱(65)相連，行 星齒輪(62) —端與交流伺服電機(jī)(61)相連，另一端與滾珠絲杠(63)相連，交流伺服電機(jī) 61轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)驅(qū)動(dòng)行星齒輪減速器(62)和滾珠絲杠(63)，帶動(dòng)Z軸工作臺(tái)(66)沿第三滾動(dòng)導(dǎo)軌(64)上下運(yùn)動(dòng)。
7.應(yīng)用上述權(quán)利要求1-6之一的臥式微電火花機(jī)床進(jìn)行微電極制作和微電火花加工 的一體化在線作業(yè)方法，其特征在于，該方法具體過程如下首先將待加工的工具電極(311)固定安裝在電極夾具(312)上，啟動(dòng)電極主軸驅(qū)動(dòng)電 機(jī)(34)，使工具電極(311)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述X-Y二維工作臺(tái)(2)在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)下將工具電 極(311)移動(dòng)到線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)的定輪(78)處，并使工具電極(311)相對(duì)于線電極 按照規(guī)定的路徑相對(duì)運(yùn)動(dòng)，完成線電火花磨削法制作微電極；然后，啟動(dòng)電極主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)(34)，使工具電極(311)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述X-Y 二維工作臺(tái) (2)在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)下將制作好的工具電極(311)移動(dòng)到安裝在Z向工作臺(tái)(6)上的工作 臺(tái)(66)上的待加工工件處，使工具電極(311)相對(duì)于待加工工件按照規(guī)定的路徑相對(duì)運(yùn) 動(dòng)，完成微電火花加工。
全文摘要
本發(fā)明提供一種制作微電極的臥式微電火花機(jī)床，包括機(jī)床基座(1)，X-Y二維工作臺(tái)(2)，電極主軸(3)，砂輪磨削機(jī)構(gòu)(4)，Z向工作臺(tái)(6)和線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)，所述砂輪磨削機(jī)構(gòu)(4)和線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)固定安裝在機(jī)床基座1上，分別位于Z向工作臺(tái)(6)的兩側(cè)，電極主軸(3)安裝在X-Y工作臺(tái)(2)上，待加工的工具電極安裝在電極主軸(3)上，所述X-Y二維工作臺(tái)(2)驅(qū)動(dòng)工具電極相對(duì)所述金剛砂輪磨削機(jī)構(gòu)(4)和/或線電火花磨削機(jī)構(gòu)(7)運(yùn)動(dòng)，完成微電極的在線制作。本發(fā)明以金剛砂輪在線磨削配合線電火花在線磨削和采用高精度光柵尺，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)電極的高效率高精度制作，具有較好的可靠性和經(jīng)濟(jì)效益。
文檔編號(hào)B23H5/04GK101954518SQ20101050295
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月12日
發(fā)明者張豐, 張鴻海, 徐裕力, 曹澍, 肖峻峰, 舒霞云, 謝丹 申請(qǐng)人:華中科技大學(xué)