專利名稱：主要用于電子顯微鏡的電子槍組件的制作方法
技術領域：
本發明涉及主要用于電子顯微鏡的電子槍組件。它由一個設置在文納爾圓柱電極(Wehneltcylinder)里的陽極與一個和陰極相對地設置且帶有一個中心孔的陽極構成。
電子顯微鏡的電子槍在結構上通常帶有一個以電絕緣材料制成的管形的高壓真空襯套，其一端連接到電子顯微鏡柱身外罩，另一端連接到實際的電子槍上。電子槍的另一種已知的結構是帶有以電絕緣材料制成的板形的高壓真空襯套，其周邊固定到電子顯微鏡柱身外罩上，而其中央部分設置有一個真空密閉的電襯套，實際的電子槍即固定在這里。
上述各已知技術方案的缺點主要是所說電子槍的尺寸太大。采用管形高壓電子襯套形式的電子槍其尺寸太長;而采取板形高壓電子襯套的電子槍其尺寸太寬。并且，當考慮到防護輻射時，在這些技術方案中的需要采用較笨重的陽極覆蓋層，從而更增加了電子槍的重量，對于輕便型電子顯微鏡來說，這就特別成為一個大缺點。
先有技術的上述缺點，在現在這種主要用于電子顯微鏡的電子槍組件的技術方案里實際上得到了解決。這種電子槍由一個設置在文納爾圓柱電極里的陰極，一個與陰極相對地設置并帶有一個中心孔的陽極構成。根據本發明，該技術方案的實質在于所述文納爾圓柱電極被固定到一個鐘形高壓真空襯套頂部，該鐘形高壓襯套以其開端可滑動地安置于陽極體上，在陽極體與高壓真空襯套之間的槽口內設置有真空密封裝置。在本發明的一個優選實施例里，該槽口制作在陽極體上，在本發明的另一個實施例里，該槽口被設置在高壓真空襯套的接觸面上。而在本發明的又一個實施例里，在陽極體高出的凸緣部位有一組帶內螺紋的孔。這一組孔沿徑向按照等角間隔而分布，孔內設置有調節螺釘，調節螺釘的操作端伸出顯微鏡柱身之外，而螺桿與所述高壓真空襯套的外表面相接觸。
根據本發明的電子槍組件的主要優點是結構緊湊和重量輕，因而使得這種電子槍特別適用于輕便型電子顯微鏡。它的另一優點是簡化了陽極罩的結構和消除了大直徑尺寸密封的要求。
以下根據附圖
對本發明進行比較詳細的說明。這里的附圖是根據本發明的電子槍組件的一個優選實施例的局部剖面圖。圖中，1是鐘形高壓真空襯套。在襯套的較狹窄的頂部有一個中心孔，文納爾圓柱電極2在中心孔部位按真空密閉方式而被固定。這里是利用0形圈3而實現這種真空密閉的。高壓真空襯套1由其開端上形成的一個底座面坐落在陽極體6內嵌入一槽口5里的真空密封裝置4之上。在陽極體6上有一圈高出的凸緣7，在這凸緣部位沿徑向等角度間隔分布有一組(最好是3個或4個)帶內螺紋的孔8。調節螺釘9埋入孔8內。調節螺釘的操作伸出到顯微鏡柱身10之外，而螺桿與高壓真空襯套1的外表面相接觸。陽極罩11就安放在凸緣7之上。高壓電纜12與文納爾圓柱電極2之間具有電氣聯接。
根據本發明的電子槍組件在工作時，高壓通過高壓電纜12送進文納爾圓柱電極2。此高壓依靠高壓真空襯套1內空間的真空以及高壓真空襯套1的內表面而與陽極體6相絕緣。借助于調節螺釘9，使高壓真空襯套1在真空密封裝置4上與陽極體6的中心孔位置作相對移動，從而實現對電子束的調節作用。
在輕便型電子顯微鏡中，本發明的結構可得到有利的應用。
權利要求
1.主要用于電子顯微鏡的電子槍組件，它由一個設置在文納爾圓柱電極里的陰極和一個與所述陰極相對地設置并帶有一個中心孔的陽極構成，其特征在于所述文納爾圓柱電極(2)固定在鐘形高壓真空襯套(1)的頂部內，該高壓真空襯套(1)以其開端可滑動地安置在陽極體(6)上，在該陽極體(6)與該高壓真空襯套(1)之間的槽口(5)內設置有真空密封裝置(4)。
2.根據權利要求1的電子槍組件，其特征謨謁霾劭冢 )被制作在所述陽極體(6)內。
3.根據權利要求1的電子槍組件，其特征在于所述槽口(5)被制作在所述高壓真空襯套(1)的接觸面內。
4.根據權利要求1至3的電子槍組件，其特征在于所述陽極體(6)的一圈高出的凸緣(7)部位沿徑向等角度間隔分布著一組帶內螺紋的孔(8)，調節螺釘(9)嵌入孔(8)內，該調節螺釘(9)的操作端伸出到顯微鏡柱身(10之外，螺桿與所述高壓真空襯套(1)的外表面相接觸。
全文摘要
一種主要用于電子顯微鏡的電子槍組件，它由一個設置在文納爾圓柱電極(2)里的陰極和一個與陰極相對地設置并帶有一個中心孔的陽極構成。文納爾圓柱電極(2)固定在鐘形高壓真空襯套(1)的頂部，高壓真空襯套(1)以其開端可滑動地安置在陽極體(6)上，陽極體(6)與高壓真空襯套(1)之間的槽口(5)內所有真空密封裝置(4)。
文檔編號H01J37/067GK1037615SQ8910149
公開日1989年11月29日 申請日期1989年3月15日 優先權日1988年4月8日
發明者埃米爾·弗拉特尼切克 申請人:特斯拉公司