Rf回路結構及設備機臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出了一種RF回路結構及設備機臺，所述RF回路結構包括：一端固定在反應腔室上蓋上的條帶，與條帶另一端固定相連的固定件，貫穿反應腔室上蓋和反應腔室下體，一端與所述固定件相連，另一端與一射頻相連的銅芯棒，固定件通過卡盤固定在反應腔室上蓋上。將銅芯棒貫穿反應腔室上蓋以及反應腔室下體，使銅芯棒與固定件、條帶直接相連，避免現有技術中采用插塞與銅芯棒相連出現尖端放電導致接觸不良的現象，此外，固定件通過卡盤與反應腔室上蓋相連，不再采用螺絲連接，避免螺絲出現折斷導致回路接觸不良的現象，能夠保證RF回路的穩定性，從而提高設備機臺的性能。
【專利說明】RF回路結構及設備機臺
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種RF回路結構及設備機臺。
【背景技術】
[0002] 半導體工藝中，在進行反應時設備機臺通常需要使用到射頻源（Radio Frequency，RF)對反應腔室內的氣體等進行解離處理，為了使RF能夠作用在反應腔室上， 設備機臺通常會設置一射頻回路（RF Loop)，射頻回路通常包括與RF相連的銅芯棒、條帶 以及插塞。
[0003] 請參考圖1和圖2,圖1為現有技術中條帶和插塞的連接結構示意圖，圖2為現有 技術中條帶的俯視圖；其中，條帶11的一端與固定件10通過螺絲相固定，另一端與反應腔 室導電處相連，用于提供射頻電源；條帶11具有三個螺孔15,便于使用螺絲固定；固定件 10內設有彈簧12,用于對條帶11施加頂力，便于其與插塞13保持良好接觸，其中，插塞13 外設有絕緣體14,使其與外界絕緣。
[0004] 請參考圖3,圖3為現有技術中射頻回路安裝在反應腔室的結構示意圖，其中，反 應腔室包括反應腔室上蓋31和反應腔室下體32,其中，所述反應腔室上蓋31能夠打開，與 所述反應腔室下體32分開；所述條帶11、固定件10以及插塞13均固定在反應腔室上蓋31 上，反應腔室下體32內則固定有銅芯棒20,銅芯棒20的一端與射頻（圖未示出）相連，另 一端可以在反應腔室上蓋31和反應腔室下體32閉合時與所述插塞13相連。
[0005] 當反應腔室上蓋31和反應腔室下體32閉合時，所述插塞13能夠與所述銅芯棒20 相連，構成射頻回路。然而由于所述插塞13與所述銅芯棒20相連的一端為接觸連接，即二 者相互接觸（如圖3虛線框所示），并且插塞13存在一定的尖端，因此容易出現尖端放電， 并且形成缺陷，導致兩者接觸不良，影響設備機臺的正常工作。同時，由于固定件20、條帶 11均是通過螺絲固定在所述反應腔室上蓋31上，由于螺絲較細，容易出現折斷，致使固定 不牢靠，也會出現RF回路接觸不良的情況。 實用新型內容
[0006] 本實用新型的目的在于提供一種RF回路結構及設備機臺，能夠避免出現接觸不 良的情況，提1?設備機臺的性能。
[0007] 為了實現上述目的，本實用新型提出了一種RF回路結構，所述回路結構包括：條 帶、固定件以及銅芯棒，其中，所述條帶的一端固定在反應腔室上蓋上，另一端固定在所述 固定件上，所述固定件通過卡盤固定在所述反應腔室上蓋上，所述銅芯棒一端與所述固定 件相連，另一端貫穿所述反應腔室上蓋和反應腔室下體后與一射頻連接。
[0008] 可選的，在所述的RF回路結構中，還包括設置于所述固定件內部的彈簧，所述彈 簧頂緊所述條帶使其與銅芯棒保持接觸。
[0009] 可選的，在所述的RF回路結構中，還包括多個卡位部件，所述固定件通過所述多 個卡位部件與所述卡盤相固定。
[0010] 可選的，在所述的RF回路結構中，所述卡位部件一部分固定在所述固定件上，另 一部分固定在所述卡盤上。
[0011] 可選的，在所述的RF回路結構中，所述卡位部件為6個，其中3個固定在所述固定 件上，另外3個固定在所述卡盤上。
[0012] 可選的，在所述的RF回路結構中，還包括設置于所述銅芯棒外側的絕緣體，所述 絕緣體包圍所述銅芯棒。
[0013] 本實用新型還提出了 一種設備機臺，包括一反應腔室以及設置于所述反應腔室外 的射頻，所述反應腔室包括反應腔室上蓋和反應腔室下體，還包括RF回路結構，所述RF回 路結構一端與所述反應腔室上蓋相連，另一端與所述射頻相連。
[0014] 可選的，在所述的設備機臺中，所述RF回路結構與射頻相連的一端設有絕緣固定 部件。
[0015] 與現有技術相比，本實用新型的有益效果主要體現在：將銅芯棒貫穿反應腔室上 蓋以及反應腔室下體，使銅芯棒與固定件、條帶直接相連，避免現有技術中采用插塞與銅芯 棒相連出現尖端放電導致接觸不良的現象，此外，固定件通過卡盤與反應腔室上蓋相連，不 再采用螺絲連接，避免螺絲出現折斷導致回路接觸不良的現象，能夠保證RF回路的穩定 性，從而提高設備機臺的性能。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016] 圖1為現有技術中條帶和插塞的連接結構示意圖；
[0017] 圖2為現有技術中條帶的俯視圖；
[0018] 圖3為現有技術中射頻回路安裝在反應腔室的結構示意圖；
[0019] 圖4為本實用新型一實施例中射頻回路安裝在反應腔室的結構示意圖；
[0020] 圖5為本實用新型一實施例中固定件和卡盤的俯視結構示意圖。
【具體實施方式】
[0021] 下面將結合示意圖對本實用新型的RF回路結構及設備機臺進行更詳細的描述， 其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實 用新型，而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術 人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。
[0022] 為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例 的開發中，必須做出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商 業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和 耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。
[0023] 在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據下面說明和權 利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且 均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0024] 請參考圖4,在本實施例中，提出了一種RF回路結構，所述RF回路結構包括：條帶 110、固定件120以及銅芯棒200,其中，所述條帶110的一端通過導電片400固定在反應腔 室上蓋310上，另一端固定在所述固定件120上，所述固定件120通過卡盤130固定在所述 反應腔室上蓋310上，所述銅芯棒200 -端與所述固定件120相連，另一端貫穿所述反應腔 室上蓋310和反應腔室下體320后與一射頻（圖未示出）連接，從而構成射頻（RF)電路回 路，所述射頻電路回路用于對反應腔室內提供相應的射頻電源，便于反應腔室進行相應的 反應。
[0025] 請參考圖5,在本實施例中，所述固定件120通過多個卡位部件與卡盤130相固定， 所述卡位部件為3對，2個一組相互對應，第一組卡位部件121固定在所述固定件120上， 第二組卡位部件131固定在所述卡盤130上，其中，第一組卡位部件121和第二組卡位部件 131位置一一對應，能夠通過旋轉的方式（如圖5箭頭所示）將兩者卡緊，同樣的，也可以通 過旋轉的方式將兩者分開，該種卡口有利于安裝和拆卸固定件120。采用卡盤130的連接方 式避免固定件120采用螺絲與所述反應腔室上蓋310固定在一起，能夠避免螺絲發生折斷 后導致兩者接觸不良的現象，有利于提高RF回路的連接性能。
[0026] 請參考圖4,在本實施例中，所述固定件120內部設有彈簧（圖未示出），彈簧能夠 頂緊所述條帶110使其與銅芯棒200保持良好接觸；所述銅芯棒200外側四周設有絕緣體 210,用于將銅芯棒200與反應腔室隔離開來，防止發生漏電。
[0027] 采用本實施例提出的固定件120以及銅芯棒200,由于銅芯棒200為一體成型，與 現有技術中需要兩段連接在一起不同，不會存在接觸不良的狀況，能夠很好的保證RF回路 的可靠性，為反應提供穩定的環境。
[0028] 根據本實用新型的另一面，還提出了一種設備機臺，包括一反應腔室以及設置于 所述反應腔室外的射頻，所述反應腔室包括反應腔室上蓋310和反應腔室下體320,還包括 如上所述的RF回路結構，所述RF回路結構一端與所述反應腔室上蓋310相連，另一端與所 述射頻相連。
[0029] 所述RF回路結構與射頻相連的一端設有絕緣固定部件330,具體的所述絕緣固定 部件330設于所述銅芯棒200與射頻相連的一端上，一方面用于起著隔離作用，另一方面用 于射頻與銅芯棒200固定在一起。
[0030] 綜上，在本實用新型實施例提供的RF回路結構及設備機臺中，將銅芯棒貫穿反應 腔室上蓋以及反應腔室下體，使銅芯棒與固定件、條帶直接相連，避免現有技術中采用插塞 與銅芯棒相連出現尖端放電導致接觸不良的現象，此外，固定件通過卡盤與反應腔室上蓋 相連，不再采用螺絲連接，避免螺絲出現折斷導致回路接觸不良的現象，能夠保證RF回路 的穩定性，從而提高設備機臺的性能。
[0031] 上述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。 任何所屬【技術領域】的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的范圍內，對本實用新型 揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型 的技術方案的內容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1. 一種RF回路結構，其特征在于，所述RF回路結構包括：條帶、固定件、卡盤以及銅芯 棒，其中，所述條帶的一端固定在一反應腔室上蓋上，另一端固定在所述固定件上，所述固 定件通過所述卡盤固定在所述反應腔室上蓋上，所述銅芯棒一端與所述固定件相連，另一 端貫穿所述反應腔室上蓋和一反應腔室下體后與一射頻連接。
2. 如權利要求1所述的RF回路結構，其特征在于，還包括設置于所述固定件內部的彈 簧，所述彈簧頂緊所述條帶使其與所述銅芯棒保持接觸。
3. 如權利要求1所述的RF回路結構，其特征在于，還包括多個卡位部件，所述固定件通 過所述多個卡位部件與所述卡盤相固定。
4. 如權利要求3所述的RF回路結構，其特征在于，所述卡位部件一部分固定在所述固 定件上，另一部分固定在所述卡盤上。
5. 如權利要求4所述的RF回路結構，其特征在于，包括6個所述卡位部件，其中3個固 定在所述固定件上，另外3個固定在所述卡盤上。
6. 如權利要求1所述的RF回路結構，其特征在于，還包括設置于所述銅芯棒外側的絕 緣體，所述絕緣體包圍所述銅芯棒。
7. -種設備機臺，包括一反應腔室以及設置于所述反應腔室外的射頻，所述反應腔室 包括反應腔室上蓋和反應腔室下體，其特征在于，還包括如權利要求1至6中任意一項所述 的RF回路結構。
8. 如權利要求7所述的設備機臺，其特征在于，所述RF回路結構與射頻相連的一端設 有絕緣固定部件。
【文檔編號】H01J37/16GK203895407SQ201420291248
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年6月3日 優先權日:2014年6月3日
【發明者】曹偉剛, 田華 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司