掃描電子顯微鏡的制作方法
【專利摘要】掃描電子顯微鏡 是涉及一種電子顯微鏡的改進。 本發明提供一種信噪比較高且立體感強的一種 掃描電子顯微鏡 。本發明包括物鏡，其結構要點是：物鏡設置在主機上方，物鏡上方依次設置有掃描線圈、聚光鏡和電子槍、掃描線圈通過掃描信號發生器與顯示器相連，主機通過放大器與顯示器相連。
【專利說明】掃描電子顯微鏡
【技術領域】
[0001]本發明是涉及一種電子顯微鏡的改進。
【背景技術】
[0002]隨著科學技術的發展進步，人們不斷需要從更高的微觀層次觀察、認識周圍的物質世界。細胞、微生物等微米尺度的物體直接用肉眼觀察不到，顯微鏡的發明解決了這個問題。目前，納米科技成為研究熱點，集成電路工藝加工的特征尺度進人深亞微米，所有這些更加微小的物體光學顯微鏡也觀察不到，必須使用電子顯微鏡。但是一般的電子顯微鏡信噪比較小，信號強度弱，且立體感差。
【發明內容】
[0003]本發明就是針對上述問題，提供一種信噪比較高且立體感強的一種掃描電子顯微鏡。
[0004]為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案，本發明包括物鏡，其結構要點是:物鏡設置在主機上方，物鏡上方依次設置有掃描線圈、聚光鏡和電子槍、掃描線圈通過掃描信號發生器與顯示器相連，主機通過放大器與顯示器相連。
[0005]作為一種優選方案，作為一種優選方案，物鏡分為左物鏡和右物鏡；兩個物鏡的效果更好。
[0006]本發明有益效果。
[0007]本發明包括物鏡，物鏡設置在主機上方，物鏡上方依次設置有掃描線圈、聚光鏡和電子槍、掃描線圈通過掃描信號發生器與顯示器相連，主機通過放大器與顯示器相連。掃描電鏡的的景深大，因而可以獲得信噪比高的、高倍率的、立體感強的、直觀的顯微圖像。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]為本發明所解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及【具體實施方式】，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的【具體實施方式】僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。
[0009]圖1是本發明的結構圖。
[0010]圖中1為顯不器、2為放大器、3為掃描信號發生器、4為主機、5為物鏡、6為掃描線圈、7為電子槍、8為聚光鏡。
【具體實施方式】
[0011 ] 如圖所示，本發明包括物鏡5，物鏡5設置在主機4上方，物鏡5上方依次設置有掃描線圈6、聚光鏡8和電子槍7、掃描線圈6通過掃描信號發生器3與顯示器1相連，主機4通過放大器2與顯示器1相連。
[0012]作為一種優選方案，物鏡5分為左物鏡和右物鏡；兩個物鏡的效果更好。
[0013]掃描電鏡最基本，最有代表意義，也是分析檢測用得最多的就是它的二次電子襯度像。二次電子是樣品中原子的核外電子在人射電子的激發下離開該原子而形成的，因而在樣品中的平均自由程也小，只有在近表面約十納米量級，二次電子才能逸出表面被接收器接收并用于成像。電子束與樣品相互作用涉及的范圍成“梨”形。在近表面區域，人射電子與樣品的相互作用才剛剛開始，束斑直徑還來不及擴展，與原人射電子束直徑比，變化還不大，相互作用發射二次電子的范圍小，有利于得到比較高的分辨率。目前，商品掃描電鏡的分辨率已經達到一納米。加上掃描電鏡的的景深大，因而可以獲得高倍率的、立體感強的、直觀的顯微圖像。這是掃描電鏡獲得廣泛應用的最主要原因。二次電子的產額與樣品表面的形狀有關，它對應的像類同于人們日常對物體形貌的觀察，所以常常叫做形貌襯度像。二次電子的產額比較高，有利于提高成像的信噪比。二次電子信號的上述特點決定了它對應的顯微像的種種優越特性，使它得到廣泛的應用。另一方面，二次電子信號的上述種種特點，也給分析檢測帶來一些問題二次電子形貌襯度不同于普通的光學成像的襯度。有時，光學顯微鏡看得到的，日常經驗認為可能看得到的，在二次電子形貌襯度像上卻看不到。如集成電路芯片的觀察。芯片表面的鈍化層是光學透明的，透過鈍化層，金屬連線與介質層的顏色及對光線的反射能力差別都很大，所以用光學顯微鏡觀察時，它們都能一一清晰成像。二次電子襯度則不同，它的信息深度小，透不了鈍化層，只在淺表面，獲得的像只反映鈍化層表面的高低起伏。即使通過刻蝕，去除了鈍化層再觀察，二次電子襯度反映的也不是顏色及光反射能力的差別，而只是高低不平的形貌差別。如果進一步要分析檢測芯片的剖面多層結構，通過直接觀察研磨、拋光獲得的剖面樣品，看到的主要是剖面加工損傷形貌，真正的多層結構看不到，只有通過選擇性腐蝕，將多層結構轉化為形貌差別才能實現所需的分析檢測。
[0014]以上內容是結合具體的優選實施方式對本發明作的進一步詳細說明，不能認定本發明的具體實施只局限于這些說明，對于本發明所屬【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本發明所提交的權利要求書確定的保護范圍。
【權利要求】
1.掃描電子顯微鏡包括物鏡(5),其特征在于物鏡(5)設置在主機(4)上方,物鏡(5)上方依次設置有掃描線圈(6)、聚光鏡(8)和電子槍(7)、掃描線圈(6)通過掃描信號發生器(3)與顯示器(I)相連，主機(4)通過放大器(2)與顯示器(I)相連。
2.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡，其特征在于物鏡(5)分為左物鏡和右物鏡。
【文檔編號】H01J37/28GK104465287SQ201310417650
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年9月14日 優先權日:2013年9月14日
【發明者】李征, 杜周, 譚思祥 申請人:李征