一種束流均勻性調節裝置制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種束流均勻性調節裝置，包括：束線通道(1)、電極腔體(2)、電極蓋板(3)、引線安裝法蘭(4)、引線保護罩(5)、引線座(6)、短電極(7)、長電極(8)，其中包含上側19組短電極(7)、下側17組短電極(7)和2組長電極(8)，上下側電極布置位置對稱于束線通道(1)中心面；上下側位置對稱的電極由同一個電源供電；共有19個電源單獨供電，通過調節電極的電壓，在束線通道(1)內產生不同的電場分布，達到改變束流通過路徑，調節粒子分布的目的。本發明涉及離子注入裝置，隸屬于半導體制造領域。
【專利說明】一種束流均勻性調節裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體器件制造控制系統，即注入機，特別地，涉及一種用于離子注入機的束流均勻性調節裝置。
【背景技術】
[0002]隨著半導體工藝的發展，束流的均勻性和穩定性對于離子注入系統愈發重要，對注入產品的質量和離子注入機的產業化有著很大的影響。如果離子注入機引出束流能量很低時，特別是大束流、傳輸路徑長的場合，由于空間電荷效應的影響，離子束發散嚴重，其傳輸效率極低，使得最后到達注入晶片的束流小，束品質差，不能滿足注入工藝要求；離子束流均勻性和穩定性的控制對于超低能大束流離子束的傳輸有著特殊的意義。
[0003]良好均勻性是最終得到高品質產品的基礎，目前對于離子源引出束流均勻性的控制要求已成為產業發展的迫切需求。
【發明內容】
[0004]本發明公開了一種束流均勻性調節的裝置，可用于離子注入機系統；其針對現有束流發散、獲得束品質差的現象，即使對于超低能束流的傳輸、引出電極或傳輸裝置位置有所偏離、傳輸路徑過長的情況所產生的束流均勻性問題，都能夠很好的解決，而不會對最終離子注入的產品質量產生影響。
[0005]本發明通過以下技術方案實現:
[0006]1.一種束流均勻性調節裝置，包括:束線通道(I)、電極腔體(2)、電極蓋板(3)、引線安裝法蘭(4)、引線保護罩(5)、引線座(6)、短電極(7)、長電極(8)，其特征在于:調節裝置上下對稱布置在束流通道(I)兩側。
[0007]2.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組短電極(7)和長電極(8)，每組電極按一定角度、距離分布。
[0008]3.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組短電極(7)和長電極(8)，由19個電源分別單獨供電。
[0009]4.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置的一組電極由同一電源供電；此供電方式可任選并聯連接、獨立電源單獨供電等形式。
[0010]5.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組多電極直接加在束流兩側，由電極腔體(2)、電極蓋板(3)定位安裝。
[0011]6.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組多電極的引線由引線保護罩(5)、引線座(6)構成；此供電方式可任選其它引線座形式來完成加電、密封和絕緣保護。
[0012]本發明具有如下顯著優點:
[0013]1.結構簡單，上下對稱布置，易于加工制造。
[0014]2.功能可靠:19對電極直接對稱布置于束流兩側,單獨供電,產生不同電場分布，保證束線光路的均勻性調節。
[0015]3.易于控制:上下對稱布置19對電極，分別由19個電源供電。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1多電極調整器系統圖
[0017]圖2多電極調整器結構圖
[0018]圖3多電極調整器電極分布
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖1、附圖2和附圖3對本發明作進一步的介紹，但不作為對本發明的限定。
[0020]參見圖1、圖2和圖3，一種束流均勻性調節裝置分上下兩部分，對稱布置在束線通道⑴兩側；上、下部分共包括2個電極腔體(2)、2個電極蓋板(3)和引線安裝法蘭(4)、12個引線保護罩(5)和引線座(6)、36個短電極(7)、2個長電極⑶；兩個長電極分布在兩偵牝電極的安裝位置，上下對稱；短電極(X)和長電極(8)按一定角度和距離分布，安裝在電極腔體(2)和電極蓋板(3)上；電極蓋板(3)上設有引線安裝法蘭(4)，方便引線座(6)的安裝、保證引線處的密封性，引線座(6)外安裝有引線保護罩(5)，確保絕緣。
[0021 ] 上下在同一位置的電極為一對，由同一電源供電；19個電源獨立控制，電壓+3000V?-3000V連續可調。當離子束束流經過束線通道(I)時，通過電源分別調節19組電極的電壓狀態，改變束流通過區域的局部電場分布，調整粒子流局部粒子的運行角度，實現寬度方向上束流的均勻性調節。
[0022]在該實施方式中，調節裝置上下對稱布置在束線通道(I)兩側，此布置形式可以替代。
[0023]在該實施方式中，多電極的數量是可替代的，如16對、25對等；其空間分布位置參數是可增減的，分布角度、距離是任選的；只要使得可達到所需調整的作用即可。
[0024]在該實施方式中，多電極的連接和供電方式可由其它方式替代，如電源參數、電源個數和電源調節方式等。
[0025]在該實施方式中，對短電極(7)和長電極⑶起到安裝定位作用的電極腔體(2)、電極蓋板(3)的形式可替代的，能起到定位的作用即可。
[0026]在該實施方式中，由引線安裝法蘭(4)、引線保護罩(5)和引線座(6)構成的引線形式是可替代的，能起到引線、安全、密封、可靠的作用即可。
[0027]本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【權利要求】
1.一種束流均勻性調節裝置，包括:束線通道(I)、電極腔體(2)、電極蓋板(3)、引線安裝法蘭(4)、引線保護罩(5)、引線座(6)、短電極(7)、長電極(8)，其特征在于:調節裝置上下對稱布置在束流通道(I)兩側。
2.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組短電極(7)和長電極(8)，每組電極按一定角度、距離分布，且長、短電極分布有序。
3.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組短電極(7)和長電極(8)，由19個電源分別單獨供電。
4.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置的一組電極由同一電源供電；此供電方式可任選并聯連接、獨立電源單獨供電等形式。
5.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組多電極直接加在束流兩側，由電極腔體(2)、電極蓋板(3)定位安裝。
6.如權利要求1所述的一種束流均勻性調節裝置，其特征在于:上下對稱布置19組多電極的引線由引線保護罩(5)、引線座(6)構成；此供電方式可任選其它引線座形式來完成加電、密封和絕緣保護。
【文檔編號】H01J37/317GK103794454SQ201310415418
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2013年9月12日 優先權日:2013年9月12日
【發明者】龐云玲 申請人:北京中科信電子裝備有限公司