放電燈及光照射裝置制造方法
【專利摘要】本發明提供一種放電燈及光照射裝置，從而能夠容易地進行放電管相對于裝置主體的安裝及拆卸，不需要與放電管的一對電極連接的引線，由此能夠實現小型化及成本降低，并且能夠將放電管接近被照射物配置。所述放電燈具備：放電管(4)；設置在放電管(4)上的一對電極(51、52)；在放電管(4)的軸向兩端部(4m、4n)從軸向朝不同的一方向延伸設置的一對連接端子(61、62)；設置在裝置主體側，供一對連接端子(61、62)插入，由此從一對連接端子(61、62)向一對電極(51、52)供電的一對供電插座(31、32)，所述一對連接端子(61、62)在所述放電管(4)的軸向兩端部不位于比所述一方向相反側的側面靠外側的位置。
【專利說明】放電燈及光照射裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及例如受激準分子燈等放電燈及具有所述放電燈的光照射裝置。【背景技術】
[0002]目前，作為用于對液晶顯示器的玻璃基板或半導體晶片等被照射物進行光清洗等的紫外線照射裝置的紫外線燈，使用受激準分子燈。
[0003]該受激準分子燈是在使用氙氣作為放電用氣體的情況下放射出中心波長為172nm的紫外線的燈，構成為在封入有放電用氣體的放電管的外表面設有一對外部電極，通過對這一對外部電極施加高頻高電壓而射出紫外線。
[0004]并且，為了對所述一對外部電極施加高頻高電壓，在一對外部電極上連接引線。作為該引線，使用采用了硅酮電線的引線、或者利用在紫外線下也不易發生劣化且絕緣性及耐熱性高的PEA覆蓋硅酮電線的硅酮樹脂而得到的引線。
[0005]然而，就采用了硅酮電線的引線來說，存在紫外線照射到硅酮樹脂上而產生白粉化(白堊化)，該白粉化所帶來的粉狀物落下而污染被照射物的問題。另外，即使是覆蓋了PEA的引線，當因劣化而導致在PEA上產生裂紋時，也存在紫外線照射到下層的硅酮樹脂而產生白粉化(白堊化)，該白粉化所帶來的粉狀物落下而污染被照射物的問題。
[0006]另外，若使用引線來向外部電極供電，則由于引線通過焊接或釬焊連接在外部電極上，因此在更換紫外線燈時，需要破壞引線的焊接部位或釬焊部位、或者在該焊接部位或釬焊部位以外設置使引線分離的機構，可能會導致結構復雜化。
[0007]為了解決上述問題，已知有在不使用引線的情況下向外部電極供電的結構，該結構構成為將具有沿著放電管的外周面的周向超過一圈地卷繞的卷繞部和向離開所述外周面的方向延伸出的突出部的供電端子安裝于裝置主體，或者構成為將在放電管的上壁和下壁的外表面端部設置的一對連接器端子安裝于裝置主體側的插座部，但由于所述卷繞部、所述連接器端子或所述插座部都比所述放電管的外周面更向外側突出，因此雖然想要將放電管的光照射面無限地接近被照射物配置以提高光照射效率，但該突出面成為障礙，使得接近配置也存在限制。另外，在將所述放電管多個并列配置來使用的情況下，該突出面也成為障礙，還是使得接近配置存在限制。
[0008]【專利文獻I】日本特開2010-33883號公報
[0009]【專利文獻2】日本特開2009-231221
[0010]【專利文獻3】冊2010_032849
【發明內容】
[0011]因此，本發明為了解決上述問題點而提出，其主要課題在于提供一種放電燈及光照射裝置，從而能夠容易地進行放電管相對于光照射裝置的裝置主體的安裝及拆卸，不需要與設置在放電管上的一對電極連接的引線，由此能夠實現小型化及成本降低，并且能夠將放電管接近被照射物配置。[0012]S卩，本發明涉及的放電燈的特征在于，具備放電管；設置在所述放電管上的一對電極；在所述放電管的軸向兩端部從軸向朝不同的一方向延伸設置，與所述一對電極連接的一對連接端子，所述一對連接端子在所述放電管的軸向兩端部不位于比所述一方向相反側的側面靠外側的位置。
[0013]若為這樣的放電燈，則與一對電極連接的一對連接端子在放電管的軸向兩端部從軸向朝不同的一方向延伸設置，僅通過向設置在裝置側的一對供電構件安裝就能夠對一對電極進行供電，因此可以省去與一對電極連接的引線。由此，不需要與該引線的連接相伴的焊接或釬焊等復雜的作業，從而能夠容易地進行放電管相對于光照射裝置的裝置主體的安裝及拆卸。
[0014]另外，若為上述的放電燈，則能夠省去所述引線，因此能夠實現小型化及成本降低。而且，若照射的是紫外線，則能夠消除因紫外線照射到引線上而產生的污染物。
[0015]另外，由于一對連接端子在放電管的軸向兩端部不位于比一方向相反側的側面(光放出面)靠外側的位置，因此能夠將放電管接近被照射物配置。
[0016]S卩，由于連接端子沒有比放電管的光放出面靠被照射物側突出，因此能夠將光放出面接近被照射物配置。
[0017]優選所述一對連接端子安裝于所述放電管的在軸向兩端部設置的塊體上。
[0018]這樣,能夠將一對連接端子在塊體上向從軸向離開的一方向延伸設置。
[0019]這里，塊體由與放電管相同的材料或種類接近的材料構成。例如，在放電管由合成石英玻璃消除的情況下，塊體由合成石英玻璃或熔融石英玻璃形成。另外，可以將塊體相對于放電管的軸向兩端部焊接，也可以將放電管及塊體一體形成。
[0020]優選所述一對連接端子安裝于所述放電管的在軸向兩端部設置的凸緣部上。
[0021]這樣，通過使用塊體，由此能夠使放電燈輕量化。
[0022]這里，凸緣部是與放電空間隔開、沿著放電管的軸向延伸設置且由與放電管相同的材料或種類接近的材料構成的伸出部分。
[0023]優選所述放電管的作為光放出面的下表面及與所述下表面對置的上表面為平坦面，所述一對連接端子與所述放電管的上表面垂直地延伸出。這樣，由于放電管具有廣闊的平坦面，因此在放電管與被照射物之間不需要配置用于將放電管的周圍以氮氣填充的玻璃板等窗件。即，在放電管射出的是紫外線的情況下，能夠在放電管的下方隔著2?3_的微小間隙向被照射物照射紫外線。因而，能夠減少紫外線在空氣中的衰減，提高照射效率。這樣，在不經由窗件地向被照射物照射紫外線的放電燈中，無需使用引線，因此能夠使本發明的效果更為顯著。
[0024]優選所述一對連接端子沒有比連結所述下表面與所述上表面的一對側面更向外側突出。
[0025]這樣，即使在將多個放電燈并列配置的情況下，也能夠將各放電燈接近配置。
[0026]優選所述一對電極包括:在朝向所述一對連接端子延伸出的延出方向的面上設置的第一外部電極；在朝向所述延出方向相反側的面上設置的第二外部電極。此時，在所述放電管的軸向一端部設置的第一連接端子與所述第一外部電極電連接，在所述放電管的軸向另一端部設置的第二連接端子與所述第二外部電極電連接。這樣，在一對供電構件中安裝有一對連接端子的狀態下，第一外部電極位于被照射物的相反側，在第一外部電極為高壓側電極時，能夠抑制施加到第一外部電極上的高壓給被照射物帶來的影響。
[0027]需要說明的是，第一外部電極及第二外部電極可以通過例如金屬薄膜構成，也可以通過金屬板構成。在第一外部電極及第二外部電極通過金屬薄膜構成的情況下，能夠無間隙地與放電管的外表面密接，因此能夠提高放電效率。另外，在第一外部電極及第二外部電極通過金屬板構成的情況下，外部電極的安裝變得容易。
[0028]優選所述放電管為受激準分子燈。
[0029]這樣，能夠在受激準分子燈的下方隔著2?3mm的微小間隙向被照射物照射紫外線，因此能夠減少紫外線在空氣中的衰減，提高照射效率。
[0030]優選所述放電管設置在裝置主體側，安裝于具有相同的安裝方向的一對供電構件上。
[0031]這樣，由于能夠將連接端子安裝于具有相同的安裝方向的一對供電構件上，因此能夠省去弓I線，從而能夠實現小型化及成本降低。
[0032]本發明涉及的光照射裝置的特征在于，具備:放電管；設置在所述放電管上的一對電極；在所述放電管的軸向兩端部從軸向朝不同的一方向延伸設置，且與所述一對電極連接的一對連接端子；設置在裝置主體側，通過安裝所述一對連接端子而從所述一對連接端子向所述一對電極供電的一對供電構件，所述一對連接端子在所述放電管的軸向兩端部不位于比所述一方向相反側的側面靠外側的位置。
[0033]若為這樣的光照射裝置，則與一對電極連接的一對連接端子在放電管的軸向兩端部從軸向朝不同的一方向延伸設置，僅通過向設置在裝置側的一對供電構件安裝就能夠向一對電極進行供電，因此能夠省去與一對電極連接的引線。由此，不需要與該引線的連接相伴的焊接或釬焊等復雜的作業，從而能夠容易地進行放電管相對于光照射裝置的裝置主體的安裝及拆卸。
[0034]另外，若為上述的放電燈，則能夠省去所述引線，因此能夠實現小型化及成本降低。而且，若照射的是紫外線，則能夠消除因紫外線照射到引線上而產生的污染物。
[0035]另外，由于一對連接端子在放電管的軸向兩端部不位于比一方向相反側的側面(光放出面)靠外側的位置，因此能夠將放電管接近被照射物配置。
[0036]S卩，由于連接端子沒有比放電管的光放出面靠被照射物側突出，因此能夠將光放出面接近被照射物配置。
[0037]優選通過向所述一對供電構件安裝所述一對連接端子，而使所述放電管成為被大致水平地懸吊的狀態。這樣，通過構成為將放電管大致水平地懸吊，由此能夠減小放電管與被照射物的距離。
[0038]優選所述一對供電構件中的至少一方設置成能夠移動。這樣，能夠吸收放電管的加工中的尺寸的偏差誤差、器具的熱膨脹所引起的伸縮及連接端子的位置誤差，從而能夠通過一對供電構件可靠地安裝一對連接端子并向一對電極可靠地供電。
[0039]在使高壓側的供電構件移動的情況下，需要對周圍的耐壓結構下功夫，另外從安全方面來說并不優選。因此，優選高壓側的供連接端子安裝的供電構件固定，而接地側的供連接端子安裝的供電構件設置成能夠移動。這樣，無需使高壓側的供電構件的耐壓結構復雜化，且能夠確保安全性，同時能夠通過一對供電構件可靠地經由一對連接端子向一對電極供電。[0040]優選設置成能夠移動的供電構件沿著在裝置主體側設置的平面移動。這樣，能夠適當地吸收放電管的加工中的尺寸的偏差誤差及器具的熱膨脹所引起的伸縮。
[0041]優選設置成能夠移動的供電構件繞著在裝置主體側至少設定為兩個方向的旋轉軸旋轉。這樣，能夠適當地吸收連接端子的位置誤差、尤其是連接端子的傾斜誤差。
[0042]【發明效果】
[0043]根據這樣構成的本發明，能夠容易地進行放電管相對于光照射裝置的裝置主體的安裝及拆卸，不需要與設置在放電管上的一對電極連接的引線，從而能夠實現小型化及成本降低，并且能夠將放電管接近被照射物配置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0044]圖1是示意性表示本實施方式的紫外線照射裝置的剖視圖。
[0045]圖2是示意性表示該實施方式的紫外線燈的俯視圖、側視圖及仰視圖。
[0046]圖3是主要表示該實施方式的連接端子結構的局部放大剖視圖。
[0047]圖4是示意性表示該實施方式的高壓側的供電構件(供電插座)及周邊結構的剖視圖。
[0048]圖5是示意性表示該實施方式的接地側的供電構件(供電插座)及周邊結構的剖視圖。
[0049]圖6是示意性表示該實施方式的供電構件(供電插座)保持構件的俯視圖。
[0050]圖7是示意性表示變形實施方式的接地側的供電構件(供電插座)及周邊結構的俯視圖。
[0051]圖8是示意性表示變形實施方式的接地側的供電構件(供電插座)及周邊結構的首1J視圖。
[0052]圖9是主要表示變形實施方式的連接端子結構的局部放大剖視圖。
[0053]圖10是主要表示變形實施方式的連接端子結構的俯視圖、側視圖及局部放大剖視圖。
[0054]圖11是主要表示變形實施方式的連接端子結構的俯視圖、側視圖及局部放大剖視圖。
[0055]圖12是主要表示變形實施方式的連接端子結構的俯視圖、側視圖。
[0056]【符號說明】
[0057]100...紫外線照射裝置(光照射裝置)
[0058]2…紫外線燈(放電燈)
[0059]31…第一供電插座(高壓側的供電插座)(供電構件)
[0060]32…第二供電插座(接地側的供電插座)(供電構件)
[0061]4…放電管
[0062]0.中心軸
[0063]4a…朝向延出方向的面(上表面)
[0064]4b…朝向延出方向相反側的面(下表面)
[0065]4m…放電管的軸向一端部
[0066]4n…放電管的軸向另一端部[0067]41...軸向一端部的塊體
[0068]42…軸向另一端部的塊體
[0069]51...第一外部電極(高壓側電極)
[0070]52…第二外部電極(接地側電極)
[0071]61…第一連接端子
[0072]62…第二連接端子
【具體實施方式】
[0073]以下，參照附圖，對作為本發明涉及的光照射裝置的一例的紫外線照射裝置的一實施方式進行說明。
[0074]本實施方式涉及的紫外線照射裝置100是進行液晶顯示器的玻璃基板等被照射物的光清洗等的裝置，如圖1所示，具備具有直管狀的放電管4的紫外線燈(放電燈)2、供該紫外線燈2裝拆自如地安裝的一對供電插座31、32。
[0075]如圖2所示，紫外線燈2是使用了封入有氙氣的方形直管狀的放電管4的受激準分子燈。
[0076]具體而言，放電管4是通過將合成石英玻璃構成的截面大致矩形形狀的筒體中的軸向兩端的開口用截面大致矩形形狀的熔融石英玻璃塊閉塞而在內部形成有放電空間4S的密閉容器，在該放電空間4S中封入有氙氣作為放電用氣體。另外，該放電管4具有上下的外表面大致平坦的上平坦面4a和下平坦面4b，在上平坦面4a形成有第一外部電極51，且在下平坦面4b形成有第二外部電極52。
[0077]上平坦面4a的第一外部電極51是由在放電管4的上平坦面4a的大致整面上均勻地成膜的鋁蒸鍍膜和對該鋁蒸鍍膜的表面進行保護的金屬蒸鍍膜構成的雙層金屬薄膜。另外，下平坦面4b的第二外部電極52是由在放電管4的下平坦面4b的大致整面上以網狀的圖案成膜的鋁蒸鍍膜和對該網狀的表面進行保護的金屬蒸鍍膜構成的雙層金屬薄膜。
[0078]上述結構的受激準分子燈2的放電管4在一對外部電極51、52之間被施加來自未圖示的高頻高電壓電源的高頻高電壓時，在由電介質構成的放電管4的內部的放電空間4S產生電介質阻擋放電，因此在該放電空間4S中激勵作為放電用氣體的氙原子，該氙原子返回到基底狀態時放射出中心波長為172nm的真空紫外線(受激準分子發光)。并且，該真空紫外線通過放電管4的下平坦面4b的第二外部電極52的網眼的間隙而向下方放出。即，下平坦面4b成為紫外線放出面。因而，若將向該放電管4的下方放出的真空紫外線經由微小的間隙向被照射物照射，則能夠進行該被照射物的光清洗。
[0079]并且，在本實施方式的放電管4的軸向兩端部4m、4n設有從下方插入到所述一對供電插座31、32中的一對連接端子61、62。
[0080]具體而言，一對連接端子61、62安裝于放電管4的在軸向兩端部4m、4n形成的塊體41、42上。塊體41、42由與放電管4相同的材質構成，在本實施方式中為熔融石英玻璃。需要說明的是，本實施方式的放電管4通過將合成石英玻璃構成的筒體的軸向兩端的開口用熔融石英玻璃塊閉塞而形成，通過所述熔融石英玻璃塊形成的部分構成所述塊體41、42。
[0081]并且，一對連接端子`61、62在塊體41、42中沿著與軸向大致正交的一方向延伸設置。詳細而言，一對連接端子61、62大致垂直地延伸設置在塊體41、42的上表面(上平坦面4a)。并且，第一連接端子61與設于上平坦面4a的第一外部電極51連接，第二連接端子62與設于下平坦面4b的第二外部電極52連接。換言之，在朝向一對連接端子61、62延伸出的延出方向的面(上平坦面4a)上設有第一外部電極51，在朝向延出方向的相反側的面(下平坦面4b)上設有第二外部電極52。另外，通過后述的高壓側的供電插座32，使第一外部電極51成為高壓側電極。
[0082]參照圖3，對上述第一連接端子61及第二連接端子62的具體的安裝結構進行說明。
[0083]如圖3的左圖所示，第一連接端子61經由在軸向一端部4m設置的塊體41上形成的安裝孔411來安裝。具體而言，通過使第一連接端子61的下端部設置的陽螺紋部61a與在塊體41的安裝孔411中設置的螺母構件71螺合，由此將第一連接端子61固定在塊體41上。
[0084]本實施方式的安裝孔411貫通塊體41的上平坦面4a及下平坦面4b，具有下側的大徑孔部及上側的小徑孔部。另外，螺母構件71由陶瓷等絕緣體構成，形成為與所述安裝孔411的形狀對應的形狀，具有插入小徑孔部的小徑部71a和插入大徑孔部的大徑部71b。
[0085]并且，第一連接端子61具有:與所述螺母構件71螺合的陽螺紋部61a ;設置在該陽螺紋部61a的上部，與塊體41的上表面4a接觸的凸緣部61b ;設置在該凸緣部61b的上部，向高壓側的供電插座31插入的呈圓棒狀的連接端子部61c。
[0086]通過這樣的結構，使第一連接端子61的陽螺紋部61a與螺母構件71螺合，利用第一連接端子61的凸緣部61b及螺母構件71的大徑部71b來夾壓塊體41，由此將第一連接端子61固定在塊體41上。
[0087]并且，這樣安裝的第一連接端子61垂直地延伸設置在上平坦面4a。另外，位于塊體41的上表面4a的凸緣部61b和第一外部電極51通過焊錫81電連接。需要說明的是，作為進行電連接的方法，除此以外還可以將凸緣部61b及第一外部電極51通過物理接觸來連接。
[0088]如圖3的右圖所示，第二連接端子62經由在軸向另一端部4n設置的塊體42上形成的安裝孔421來安裝。具體而言，通過使第二連接端子62的下端部設置的陽螺紋部62a與在塊體42的安裝孔421中設置的螺母構件72螺合，由此將第二連接端子62固定在塊體42上。
[0089]該安裝孔421與上述同樣貫通塊體42的上平坦面4a及下平坦面4b，具有下側的大徑孔部及上側的小徑孔部。另外，螺母構件72由金屬等導體構成，形成為與所述安裝孔421的形狀對應的形狀，具有插入小徑孔部的小徑部72a和插入大徑孔部的大徑部72b。
[0090]并且，第二連接端子62具有與所述螺母構件72螺合的陽螺紋部62a ;設置在該陽螺紋部62a的上部，與塊體42的上表面接觸的凸緣部62b ;設置在該凸緣部62b的上部，向接地側的供電插座32插入的呈圓棒狀的連接端子部62c。
[0091]通過這樣的結構，通過使第二連接端子62的陽螺紋部62a與螺母構件72螺合，利用第二連接端子62的凸緣部62b及螺母構件72的大徑部72b來夾壓塊體42，由此將第二連接端子62固定在塊體42上。
[0092]并且，這樣安裝的第二連接端子62垂直地延伸設置在上平坦面4a。另外，朝向塊體42的下表面4b的螺母構件72和第二外部電極52通過焊錫82電連接。需要說明的是，作為進行電連接的方法，除此以外還可以將螺母構件72和第二外部電極52通過物理接觸來連接。
[0093]另外，如圖2所示，由于在塊體41、42的中心軸C上設有排氣管43及排氣路44，因此第一連接端子61及第二連接端子62避開該排氣管43及排氣路44而設置在從中心軸C偏移的位置上。另外，考慮到紫外線燈2整體的重心，而將第一連接端子61及第二連接端子62設于各塊體41、42且設在對角上。需要說明的是，為了防止第一連接端子61及第二連接端子62相對于后述的高壓側的供電插座31及接地側的供電插座32的插入錯誤，可以使第一連接端子61的連接端子部61c及第二連接端子62的連接端子部62c的尺寸不同。
[0094]另外，在所述實施方式中，將連接端子設置在放電管的塊體上，但并不局限于設在塊體上，如圖10所示，可以將連接端子設置在放電管的與放電空間隔開的沿著放電管軸向延伸形成的凸緣部(伸出部分)上。
[0095]這種情況下，與使用塊體相比，能夠減輕放電燈的重量，因此更為優選。
[0096]另外，在所述實施方式中，將連接端子設置在塊體的上平坦部，但并不局限于設置在上平坦部，如圖11、圖12所示，也可以將連接端子設置在塊體的連結上平坦面和下平坦面的長度方向側面或寬度方向側面上。
[0097]此外，只要將連接端子設置成不比放電管的光放出面更向被照射面側突出，則不局限于上述方式，可以進行各種變形。
[0098]接著，對一對供電插座31、32進行說明。
[0099]—對供電插座31、32設置在裝置主體側,具有相同的插入方向。這一對供電插座31,32是通過將一對連接端子61、62從所述插入方向插入而將紫外線燈2 (放電管4)以大致水平地懸吊的狀態保持的構件(參照圖1)。具體而言，第一供電插座31為高壓側的供電插座，第二供電插座32為接地側的供電插座。
[0100]如圖4所示，高壓側的供電插座31固定在構成裝置主體的框體的上壁101。
[0101]具體而言,高壓側的供電插座31通過插座固定構件9固定在上壁101。該插座固定構件9例如由陶瓷等絕緣體形成，在內部形成有用于安裝供電插座31的安裝部91。所述安裝部91為上下貫通的安裝孔。并且，通過將在該安裝孔91中安裝有高壓側的供電插座31的插座固定構件9固定于上壁101的貫通孔H1，由此將高壓側的供電插座31以朝向下方的狀態固定。
[0102]接地側的供電插座32設置成能夠沿著形成在所述上壁101上的平面移動。本實施方式的接地側的供電插座32設置成沿著所述上壁101的上表面IOla移動。
[0103]具體而言，如圖5所示，接地側的供電插座32構成為通過保持該接地側的供電插座32的插座保持構件10在上壁101的上表面IOla處設定的滑動面IOls上滑動而進行移動。需要說明的是，由插座保持構件10保持的接地側的供電插座32被以從形成在上壁101的貫通孔H2的內表面離開且從該貫通孔H2向下方延伸而朝向下方的狀態保持。
[0104]這里，在插座保持構件10的下表面設置特氟隆(注冊商標)等的滑動構件11，并且將所述滑動面IOls通過特氟隆(注冊商標)等的滑動構件12來構成，使上述滑動構件
11、12彼此滑動，由此使插座保持構件10滑動。由此，接地側的供電插座32的移動變得容易。
[0105]另外，為了限制插座保持構件10在平面內的移動范圍，在插座保持構件10的周圍設有移動限制構件13。由此，能夠防止插座保持構件10必要以上地移動。
[0106]而且，為了將插座保持構件10的下表面(具體而言為滑動構件11)緊壓到滑動面IOls上，在插座保持構件10的上方設有抑制構件14。該抑制構件14固定在移動限制構件13的上表面。并且，在插座保持構件10的上表面設有與抑制構件14的下表面按壓接觸并滾動的滾動體15。在本實施方式中，通過利用彈簧對作為滾動體的滾珠15施力的球頭柱塞16來構成。具體而言，如圖6所示，將三個球頭柱塞16以接地側的供電插座32為中心在周向上等間隔地設置。由此，球頭柱塞16的滾珠15與抑制構件14的下表面按壓接觸，由此能夠抑制插座保持構件10的晃動，將插座保持構件10的下表面緊壓到滑動面IOls上。另夕卜，球頭柱塞16的滾珠15相對于柱塞主體進退移動，由此能夠吸收接地側的供電插座32的傾斜(即插座保持構件10的傾斜)。需要說明的是，也可以將球頭柱塞16設置在插座保持構件10的下表面。這種情況下，插座保持構件10的上表面經由滑動構件與抑制構件14的下表面接觸。
[0107]另外，為了收容插座保持構件10、移動限制構件13及抑制構件14，而將罩體17固定在上壁101的上表面101a。在該罩體17的上壁設有用于設置接地側的供電插座32的外部端子18。該外部端子18通過具有撓性的連接導體19與接地側的供電插座32連接。另夕卜，該連接導體19為了允許接地側的供電插座32的移動而以撓曲的方式較長地構成。
[0108]這樣，接地側的供電插座32能夠移動，接地側的供電插座32能夠設置成相對于高壓側的供電插座31進行相對移動，因此在將一對連接端子61、62插入一對供電插座31、32時，即使一對連接端子61、62的距離存在偏差，也可以通過接地側的供電插座32移動來吸收所述偏差。由此，能夠吸收放電管4的加工尺寸的偏差、器具的熱膨脹所引起的伸縮及連接端子61、62的位置誤差等，從而能夠通過一對供電插座31、32可靠地經由一對連接端子61、62向一對外部電極51、52供電。
[0109]根據這樣構成的本實施方式涉及的紫外線照射裝置100，僅通過將放電管4的設于軸向兩端部4m、4n的一對連接端子61、62插入一對供電插座31、32中，就能夠進行向一對外部電極51、52的供電。由此，不需要與一對外部電極51、52連接的引線，不需要與該引線的連接相伴的焊接或釬焊等復雜的作業。因而，能夠容易地進行紫外線燈2 (放電管4)相對于紫外線照射裝置100的裝置主體的安裝及拆卸。
[0110]另外，由于能夠省去用于與設置于放電管4上的一對外部電極51、52連接的引線，因此能夠消除因紫外線照射到引線上而產生的污染物，另外，能夠實現不需要引線所帶來的小型化及成本降低。
[0111]需要說明的是，本發明并不局限于所述實施方式。
[0112]例如，作為能夠使接地側的供電插座32移動的結構，如圖7及圖8所示，可以構成為能夠沿著在框體的上壁101設置的至少設定為兩個方向的旋轉軸方向移動，且能夠繞著該旋轉軸旋轉。
[0113]具體而言，具有能夠使插座保持構件10沿著X軸方向移動且繞著X軸旋轉的第一軸體20及第一軸承21、能夠使插座保持構件10沿著Y軸方向移動且繞該Y軸旋轉的第二軸體22及第二軸承23。需要說明的是，作為第一軸承21及第二軸承23，使用能夠實現第一軸體20及第二軸體22的直線運動及旋轉運動的軸承。
[0114]第二軸體22設置在插座保持構件10上，第二軸承23設置于在插座保持構件10的周圍設置的可動構件24上。第一軸體20設置在可動構件24上，第一軸承21設置于在框體的上壁101設置的基臺25上。需要說明的是，也可以將第二軸體22設置在可動構件24上，且將第二軸承23設置在插座保持構件10上，還可以將第一軸體20設置在基臺25上，且將第一軸承21設置在可動構件24上。另外，還可以將設置第一軸體20及第一軸承21、第二軸體22及第二軸承23的構件調換。
[0115]若為這樣的構成，則能夠吸收放電管4的加工尺寸的偏差、器具的熱膨脹所引起的伸縮及連接端子61、62的位置誤差等，從而通過一對供電插座31、32可靠地經由一對連接端子61、62向一對外部電極51、52供電。尤其是由于插座保持構件10設置成能夠旋轉，因此能夠適當地吸收連接端子61、62的傾斜誤差。
[0116]另外，除了接地側的供電插座32，還考慮取代接地側的供電插座32而使高壓側的供電插座31能夠移動。尤其是使一對供電插座31、32這兩方都能夠移動的話，則能夠更加容易地安裝紫外線燈2。
[0117]而且，第一連接端子61及第二連接端子62的安裝結構除了上述實施方式所示的結構以外，還可以是例如圖9(A)、(B)所示的結構。需要說明的是，(A)及(B)均表示第一連接端子61的安裝結構。
[0118]圖9(A)的安裝結構為:通過固定螺釘711將螺母構件71固定在塊體41的安裝孔411中，并使第一連接端子61的陽螺紋部61a與該被固定了的螺母構件71螺合。需要說明的是，在第一連接端子61側，螺母構件71及固定螺釘711均由陶瓷等絕緣體形成。另一方面，在第二連接端子62側，螺母構件及固定螺釘均由金屬制的導體形成。
[0119]圖9 (B)的安裝結構可以構成為:將塊體41的安裝孔411形成為大致等截面形狀，螺母構件71具有與塊體41的下表面接觸的凸緣部71c，使第一連接端子61的陽螺紋部61a與螺母構件71螺合，由此第一連接端子61的凸緣部61b及螺母構件71的凸緣部71c夾壓塊體41。
[0120]另外，在所述實施方式中，構成為將紫外線燈(放電管)向下方懸吊來保持的結構，但除此以外，也可以構成為將紫外線燈(放電管)以中心軸從水平面傾斜的狀態保持的結構。
[0121]此外，在所述實施方式中，雖然是使用了氙氣的受激準分子燈，但也可以是使用了可進行受激準分子發光的其它稀有氣體或它們的鹵化物、其它物質的受激準分子燈。另外，并不局限于放射波長172nm的真空紫外線的物質，由于紫外線的波長取決于作為放電用氣體來使用的物質，因此并不局限于放射的是波長172nm的物質，也不局限于放射的是真空紫外線的物質。
[0122]此外，作為紫外線燈，并不局限于受激準分子燈，還可以適用于其它的電介質阻擋放電燈，只要是具備設有一對電極的放電管的紫外線燈，則都可以適用。另外，在所述實施方式中，對放電燈為紫外線燈的紫外線照射裝置進行了說明，但也可以適用于放電燈為可見光燈的光照射裝置。
[0123]此外，在所述實施方式中，放電管形成為截面大致矩形形狀，但只要上表面和下表面為平坦面，則放電管的沿著中心軸的左右側面并一定非要是平坦面，例如也可以稍微向外側彎曲。此外，例如還可以使用由圓筒管構成的放電管。在放電管為圓筒管等的情況下，由于紫外線的放出面(與上述實施方式的下平坦面對應的面)不為平坦面，因此對受激準分子燈周圍的氧等進行凈化，為此可以在受激準分子燈與下方的被照射物之間配置玻璃板等。在這樣配置有玻璃板等的情況下，當因樹脂的劣化而產生分解氣體或白粉化所帶來的粉狀物時，一對外部電極變色或者放電管的表面或玻璃板被污染，因此也能夠起到本發明的效果。
[0124]另外，在所述實施方式中，構成為將圓棒狀的連接端子安裝于具有連接端子的收容口的供電插座的結構，但也可以將連接端子的前端部折彎，不安裝于供電插座，而是鉤掛到在供電構件的前端開設的孔中來懸吊放電管，可以進行各種變形。
[0125]此外，本發明不局限于上述實施方式，當然可以在不脫離其主旨的范圍內進行各種變形。
【權利要求】
1.一種放電燈，其具備: 放電管； 設置在所述放電管上的一對電極； 在所述放電管的軸向兩端部從軸向朝不同的一方向延伸設置，且與所述一對電極連接的一對連接端子， 所述一對連接端子在所述放電管的軸向兩端部不位于比所述一方向相反側的側面靠外側的位置。
2.根據權利要求1所述的放電燈，其中， 所述一對連接端子安裝于在所述放電管的軸向兩端部設置的塊體上。
3.根據權利要求1所述的放電燈，其中， 所述一對連接端子安裝于在所述放電管的軸向兩端部設置的凸緣部上。
4.根據權利要求1~3中任一項所述的放電燈，其中， 所述放電管的作為光放出面的下表面及與所述下表面對置的上表面為平坦面，所述一對連接端子與所述放電管的上表面垂直地延伸出。
5.根據權利要求1~4中任一項所述的放電燈，其中， 所述一對連接端子不比連結所述下表面與所述上表面的一對側面更向外側突出。
6.根據權利要求1~5中任 一項所述的放電燈，其中， 所述一對電極包括:在朝向所述一對連接端子延伸出的延出方向的面上設置的第一外部電極；在朝向所述延出方向相反側的面上設置的第二外部電極。
7.根據權利要求6所述的放電燈，其中， 所述第一外部電極為高壓側電極。
8.根據權利要求1~7中任一項所述的放電燈，其中， 所述放電管為受激準分子燈。
9.根據權利要求1~8中任一項所述的放電燈，其中， 所述放電管設置在裝置主體側，安裝于具有相同的安裝方向的一對供電構件上。
10.一種光照射裝置，其具備: 放電管； 設置在所述放電管上的一對電極； 在所述放電管的軸向兩端部從軸向朝不同的一方向延伸設置，且與所述一對電極連接的一對連接端子； 設置在裝置主體側，通過安裝所述一對連接端子而從所述一對連接端子向所述一對電極供電的一對供電構件， 所述一對連接端子在所述放電管的軸向兩端部不位于比所述一方向相反側的側面靠外側的位置。
11.根據權利要求10所述的光照射裝置，其中， 通過向所述一對供電構件安裝所述一對連接端子，而使所述放電管成為被大致水平地懸吊的狀態。
12.根據權利要求10或11所述的光照射裝置，其中， 所述一對供電構件中的至少一方設置成能夠移動。
13.根據權利要求12所述的光照射裝置，其中，供高壓側的連接端子插入的供電構件固定，供接地側的連接端子插入的供電構件設置成能夠移動。
14.根據權利要求13所述的光照射裝置，其中，設置成能夠移動的供電構件沿著在裝置主體側設置的平面移動。
15.根據權利要求12或13所述的光照射裝置，其中，設置成能夠移動的供電構件繞著在裝置主體側`至少設定為兩個方向的旋轉軸旋轉。
【文檔編號】H01J65/04GK103681159SQ201310392062
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月2日 優先權日:2012年9月4日
【發明者】細谷浩二, 畑瀨和也 申請人:株式會社杰士湯淺國際