專利名稱：六工位排氣臺真空系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空排氣領域，尤其是涉及一種六工位排氣臺真空系統。
背景技術：
自X射線被發現以來，X光管作為主要的射線源在生物、醫學、工業、科研等領域得到了廣泛的應用，并產生了巨大的經濟效益和社會效益。在X光管制作中，排氣工藝的成敗至關重要，它直接影響到產品的質量和壽命，因此，排氣臺設計的好壞是X光管制作的關鍵。排氣臺主要由真空系統、烘烤系統、充氣系統組成。真空系統是排氣臺的核心，由真空泵、真空容器、真空閥門、快接接頭及管道構成。排氣臺的真空獲得是由機械泵和分子泵組成，機械泵作為前級泵，分子泵作為主抽真空泵，再經過真空容器、真空閥門、接頭及管道進入烘烤系統。真空閥門、接頭與管道的連接大多采用法蘭盤和橡膠密封圈進行密封，這種連接方式存在的缺點包括:連接處的密封圈經常損壞，一旦一處連接處滲漏，將使真空系統真空度、抽排氣速率下降，嚴重時可導致整個排氣系統無法連續工作。另外，真空室出氣口與管道通過接頭連接占用面積較大，致使現有排氣臺普遍為四工位，排氣臺工作效率低。
實用新型內容本實用新型的目的就是為了解決上述問題，提供一種提高排氣臺工作效率和質量的六工位排氣臺真空系統。為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案:—種六工位排氣臺真空系統，其具有:兩并列布置的第一、第二真空容器；作為主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下側且與真空容器相連；作為前級泵的機械泵，其與分子泵相連；以及多個設于真空容器的真空閥，其特征在于，所述第一、第二真空容器通過焊接方式分別連接三個真空閥。本實用新型的有益效果是:六工位排氣臺真空系統通過直接焊接組合閥于真空室上，解決了傳統真空系統連接方式復雜、連接處容易滲漏氣體等難題，將工作腔與閥門形成一體，既保證了真空系統的高真空度，提高了抽排氣速率，也使整個結構緊湊，占用面積小，增加了工位，提高了排氣臺工作效率。
圖1是六工位排氣臺真空系統結構示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。一種六工位排氣臺真空系統，其包括:真空容器、分子泵、機械泵、真空閥。參見圖1，六工位排氣臺真空系統的真空容器為兩并列布置的第一、第二真空室11，12。六工位排氣臺真空系統還具有:作為主抽真空泵的分子泵21，22，其位于真空容器下側且與真空容器相連，分子泵21與第一真空室11相連，分子泵22與第二真空室12相連；作為前級泵的機械泵31，32，機械泵31與分子泵21相連，機械泵32與分子泵22相連。傳統的法蘭連接方式使得單個真空室上方設置的真空閥的數量偏少，這與缺乏相應的安裝位相關，因此，本案中，第一、第二真空容器通過焊接方式分別連接三個真空閥41，42，43，44，45，46，從而使得單個真空室多出一個真空閥安裝位，使得四工位的排氣臺變成六工位，真空閥采用等間距方式布置。位于真空閥上方，具有加熱爐5。以上所述僅為本實用新型的優選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅限于上述實施方式，凡是屬于本實用新型原理的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。對于本領域的技術人員而言，在不脫離本實用新型的原理的前提下進行的若干改進，這些改進也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種六工位排氣臺真空系統，其具有: 兩并列布置的第一、第二真空容器； 作為主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下側且與真空容器相連； 作為前級泵的機械泵，其與分子泵相連；以及 多個設于真空容器的真空閥，其特征在于，所述第一、第二真空容器通過焊接方式分別連接三個真空閥。
專利摘要本實用新型公開了一種六工位排氣臺真空系統，其具有兩并列布置的第一、第二真空容器；作為主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下側且與真空容器相連；作為前級泵的機械泵，其與分子泵相連；以及多個設于真空容器的真空閥，其特征在于，所述第一、第二真空容器通過焊接方式分別連接三個真空閥。本實用新型的有益效果是六工位排氣臺真空系統通過直接焊接組合閥于真空室上，解決了傳統真空系統連接方式復雜、連接處容易滲漏氣體等難題，將工作腔與閥門形成一體，既保證了真空系統的高真空度，提高了抽排氣速率，也使整個結構緊湊，占用面積小，增加了工位，提高了排氣臺工作效率。
文檔編號H01J9/385GK203038889SQ20122057534
公開日2013年7月3日 申請日期2012年11月5日 優先權日2012年11月5日
發明者董湧法, 張玉春, 劉輝 申請人:上海涌真機械有限公司