專利名稱：一種pecvd的石英管鎖緊裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池生產技術領域，特別涉及一種PECVD的石英管鎖緊裝置。
背景技術：
眾所周知，太陽能電池在進行光電轉換的過程中，除了吸收一部分的太陽光以實現光電轉換外，不可避免的會反射一部分陽光，造成了太陽能的浪費，所以為了減少太陽能電池對陽光的反射，在太陽能電池生產過程中，一般會在太陽能電池的表面設置氮化硅減反射膜，以減少太陽能電池對陽光的反射，使其吸收更多的陽光。目前，氮化娃減反射膜米用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的縮寫，等離子體增強化學氣相沉積法)在鏈式PECVD工藝腔室內進行沉積，工藝反應時間(或沉積反應時間)過后，在特氣槽和石英管表面會生長一層1_2_的氮化硅層，而氮化硅層會改變石英管的耦合條件和沉積性能，降低其沉積率，導致必須更換新的石英管。為了解決上述問題，現有技術中將鎖套和密封組件緊密接觸，通過旋轉鎖套擠壓密封組件，密封組件擠壓石英管達到密封固定石英管的效果。但是使用一段時間后，石英管和鎖緊裝置會被氮化硅覆蓋，導致無法將石英管完整取下。通常是先將石英管打碎，然后旋轉并取下鎖緊裝置，更換新的石英管，最后用專用工具旋轉鎖套將其鎖緊。但是將石英管打碎再進行拆卸，無疑增加了工作負擔，而且影響工人的安全。同時，對于可再利用的石英管造成了浪費，增加了生產成本。因此，如何保證石英管的完整性，以提高石英管的重復利用率，降低勞動強度和生產成本，成為本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。
實用新型內容有鑒于此，本實用新型提供了一種PECVD的石英管鎖緊裝置，以提高石英管的重復利用率，降低勞動強度和生產成本。為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案一種PECVD的石英管鎖緊裝置，包括設有卡槽的法蘭和套設在石英管上的密封組件，所述卡槽包括相連通的軸向段和周向段，該石英管鎖緊裝置還包括套設在所述石英管上的第一鎖件，所述第一鎖件包括連接段和可套設在所述密封組件上的鎖緊段，所述鎖緊段上設有可沿所述卡槽移動的鎖柱；套設在所述石英管上且能夠卡設在所述第一鎖件內被限制沿遠離所述密封組件的方向運動的第二鎖件，所述第二鎖件能夠與所述密封組件相抵。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述連接段的內徑上設有內卡柱，所述第二鎖件的靠近所述第一鎖件的一端設有用于限制所述內卡柱沿軸線方向運動的凸臺，且所述凸臺上設有供所述內卡柱穿過所述凸臺的開口。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述內卡柱和所述鎖柱的連線與所述石英管的軸線方向平行。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述內卡柱的個數為3個，所述開口的個數為3個，且所述內卡柱和所述開口相對布置。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述內卡柱和所述開口分別均勻分布在所述連接段的內徑和所述凸臺上。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述凸臺的所述開口處設有向遠離所述第一鎖件的方向延伸的用于限制所述內卡柱沿周向運動的卡頭。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述第一鎖件的外壁上設有工具定位孔。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述第二鎖件遠離所述第一鎖件的一端設有可與六角扳手配合的六角端。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述連接段的內徑大于所述鎖緊段的內徑。優選地，上述的PECVD的石英管鎖緊裝置中，所述第二鎖件的外徑大于所述鎖緊段的內徑。從上述的技術方案可以看出，本實用新型提供了一種PECVD的石英管的鎖緊裝置，包括設有卡槽的法蘭和套設在石英管上的密封組件，卡槽包括相連通的軸向段和周向段，該裝置還包括套設在石英管上的第一鎖件，且第一鎖件包括連接段和可套設在密封組件上的鎖緊段，鎖緊段上設有可沿卡槽移動的鎖柱；套設在石英管上且能夠卡設在第一鎖件內被限制沿遠離密封組件的方向運動的第二鎖件，且第二鎖件能夠與密封組件相抵。鎖緊時，操作人員將第二鎖件內伸于第一鎖件的連接段，移動第一鎖件和第二鎖件并使鎖緊段套設在密封組件上，同時第二鎖件與密封組件相抵，實現第二鎖件與密封組件的限位 ’然后操作人員旋轉第一鎖件使鎖緊段上的鎖柱滑動到法蘭的卡槽的周向段內，實現第一鎖件與法蘭的鎖緊，即實現了石英管與法蘭的鎖緊。該裝置在拆卸石英管時，只需要將卡槽內的鎖柱旋出即可實現對石英管的拆卸，保證了石英管的完整性，從而有效降低了操作人員的勞動強度，提高了石英管的再利用率，節省了成本。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型實施例提供的PECVD的石英管鎖緊裝置的裝配圖；圖2為本實用新型實施例提供的PECVD的石英管鎖緊裝置中的第一鎖件的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的PECVD的石英管鎖緊裝置中的第二鎖件的結構示意圖。
具體實施方式
[0025]本實用新型提供了一種PECVD的石英管鎖緊裝置，以提高石英管的重復利用率，降低勞動強度和生產降低成本。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖I-圖3，其中，圖I為本實用新型實施例提供的PECVD的石英管鎖緊裝置的裝配圖；圖2為本實用新型實施例提供的PECVD的石英管鎖緊裝置中的第一鎖件的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的PECVD的石英管鎖緊裝置中的第二鎖件的結構示意圖。本實用新型實施例提供了一種PECVD的石英管鎖緊裝置，包括設有卡槽11的法蘭I和套設在石英管5上的密封組件2，且卡槽11包括相連通的軸向段和周向段，為了實現石英管5和法蘭I的密封鎖緊，還包括套設在石英管5上的第一鎖件，第一鎖件分為連接段31 和可套設在密封組件2上的鎖緊段32，為了使鎖緊段32與法蘭I相鎖緊，在鎖緊段32上設置了可沿卡槽11移動的鎖柱33。在將石英管5與法蘭I相鎖緊的時候，鎖柱33沿卡槽11的軸向段的入口端進入到卡槽11的沿法蘭I周向延伸的周向段，并停在周向段，因此限制了石英管5軸線方向的運動，實現了石英管5軸線方向的限位；在對石英管5拆卸時，只需要旋轉第一鎖件使鎖柱33從卡槽11的周向段內旋出即可。為了使密封組件2與法蘭I緊密接觸，該石英管鎖緊裝置還包括套設在石英管5上且能夠卡設在第一鎖件內被限制沿遠離密封組件2的方向運動的第二鎖件4，為了實現該裝置對石英管5的密封鎖緊，在鎖緊時，第二鎖件4與密封組件2相抵。在對石英管5鎖緊時，將第二鎖件4內伸于第一鎖件的連接段31，而且第一鎖件限制第二鎖件4沿遠離密封組件2的方向運動，將密封組件2內伸于第一鎖件的鎖緊段32，使得第二鎖件4與密封組件2相抵，操作人員將第二鎖件4的周向固定，然后旋轉第一鎖件使鎖柱33沿卡槽11的周向段滑動，實現第一鎖件的軸線方向鎖緊。由于第一鎖件通過第二鎖件4使密封組件2與法蘭I相擠壓，最終實現了石英管5與法蘭I的密封鎖緊。在拆卸石英管5時，操作人員取消施加在第二鎖件4上的外力，然后旋轉第一鎖件使鎖柱33從卡槽11滑出，此時，第一鎖件與法蘭I分離，密封組件2和法蘭I之間的擠壓力也消失，操作人員即可將石英管5取出。本實用新型采用分體鎖套的形式，利用第二鎖件4與密封組件2相抵，利用第一鎖件將與密封組件2相抵的第二鎖件4與法蘭I鎖緊，同時，第一鎖件為第二鎖件4提供沿軸線方向的力，使得密封組件2與法蘭I之間的接觸更緊密。鎖緊過程中只需要操作人員卡住第二鎖件4，并旋轉第一鎖件將鎖柱33旋入卡槽11，即可實現鎖緊；在拆卸過程中，操作人員取消施加在第二鎖件4上的外力，然后將鎖柱33從卡槽11內旋出即可實現石英管5與法蘭I的分離，有效保證了石英管5的完整性，降低了操作人員的勞動強度，提高了石英管5的再利用率。本實用新型實施例中提供了一種第一鎖件限制第二鎖件4沿遠離密封組件2運動的裝置。在第一鎖件的連接段31的內徑上設置內卡柱34，在第二鎖件4的靠近第一鎖件的一端設置用于限制內卡柱34沿石英管5的軸線方向運動的凸臺41，且凸臺41上開設供內卡柱34穿過凸臺41的開口 42。鎖緊過程中，調整第一鎖件的位置使內卡柱34從凸臺41的開口 42處穿過凸臺41，然后旋轉第一鎖件，使內卡柱34與開口 42錯開，實現用內卡柱34限制第二鎖件4的軸線方向的運動。本領域的技術人員可以理解的是，內卡柱34和凸臺41還可以分別分布在第二鎖件4和第一鎖件上，其工作過程與上述的過程相同，再此
不再一一贅述。為了便于操作，本實用新型實施例中將內卡柱34與鎖柱33的連線設置為與石英管5的軸線方向相平行。將內卡柱34穿過開口 42，然后旋轉第一鎖件，其連接段31的內卡柱34與開口 42錯開，其鎖緊段32的鎖柱33滑進卡槽11。該技術方案具有較強的操作性。本實用新型實施例中，為了使第一鎖件對第二鎖件4軸線方向的限制更穩定，將內卡柱34的個數設為3個，相應的開口 42的個數也設為3個，且開口 42和內卡柱34是相對布置的，即每一個內卡柱34對應一個開口 42。 優選地，內卡柱34和開口 42分別均勻的分布在連接段31的內徑上和凸臺41上。工作時，內卡柱34穿過相應的開口 42。這一結構增加了第一鎖件和第二鎖件4之間的對應關系，使得第一鎖件和第二鎖件4的相互限制更穩定。在將鎖柱33滑進卡槽11時，為了對第一鎖件的周向進行限位，在凸臺41的遠離第一鎖件的一側設置了用于限制內卡柱34沿第二鎖件4的周向運動的卡頭44。優選地，在凸臺41的開口 42處的一側設有向遠離第一鎖件的方向延伸的卡頭44。內卡柱34從開口42處穿過凸臺41，然后旋轉第一鎖件使內卡柱34與凸臺41的遠離第一鎖件的一側接觸。該鎖緊裝置為操作人員提供了方便，避免了操作人員在將鎖柱33向卡槽11內滑動時，還需考慮保證內卡柱34不從凸臺41脫離，限定了該裝置的鎖緊過程中在周向的位置。為了便于操作第一鎖件的旋轉，在第一鎖件的外壁上設置了工具定位孔35，操作人員將專用工具插入到工具定位孔35，然后用手操作專用工具，從而實現第一鎖件的旋轉。第一鎖件旋轉時，如果第二鎖件4不固定，其會帶動第二鎖件4旋轉，在第二鎖件4旋轉過程中可能會對石英管5造成磨損，為了降低石英管5磨損的風險，在將內卡柱34旋進凸臺41后，操作人員首先需要將第二鎖件4固定，然后再旋轉第一鎖件，將鎖柱33旋進卡槽U。為了降低操作人員的勞動強度，本實用新型實施例中將第二鎖件4的遠離第一鎖件的一端設置為可與六角扳手配合的六角端43。在需要對第二鎖件4固定的時候，操作人員利用六角扳手卡在第二鎖件4的六角端43，然后再旋轉第一鎖件；拆卸時，操作人員將六角扳手取下即可。本實用新型實施例中提供了一種第一鎖件，且第一鎖件的連接段31的內徑大于鎖緊段32的內徑。由于密封組件2和第二鎖件4均需要伸入到第一鎖件內部，且第一鎖件和連接段31之間通過凸臺41和內卡柱34限制軸線方向的自由度，為了節省材料，同時又為加工和裝配提供方便，將連接段31的內徑設置的大于鎖緊段32的內徑。通過調整第二鎖件4、第一鎖件和密封組件2之間的長度關系，為了便于確定第一鎖件的長度方向的尺寸，將第二鎖件4的外徑設置的大于鎖緊段32的內徑，即第二鎖件4只能伸入到連接段31，不能伸入到鎖緊段32。密封組件2伸入到鎖緊段32后與第二鎖件4相抵，這樣將第一鎖件分為兩部分，操作人員可分別設置連接段31和鎖緊段32的長度。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因 此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求1.一種PECVD的石英管鎖緊裝置，包括設有卡槽(11)的法蘭(I)和套設在石英管(5)上的密封組件(2)，所述卡槽(11)包括相連通的軸向段和周向段，其特征在于，該石英管鎖緊裝置還包括 套設在所述石英管(5)上的第一鎖件，所述第一鎖件包括連接段(31)和可套設在所述密封組件(2)上的鎖緊段(32)，所述鎖緊段(32)上設有可沿所述卡槽(11)移動的鎖柱(33)； 套設在所述石英管(5)上且能夠卡設在所述第一鎖件內被限制沿遠離所述密封組件(2)的方向運動的第二鎖件(4)，所述第二鎖件(4)能夠與所述密封組件(2)相抵。
2.根據權利要求I所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述連接段(31)的內徑上設有內卡柱(34)，所述第二鎖件(4)的靠近所述第一鎖件的一端設有用于限制所述內卡柱(34)沿軸線方向運動的凸臺(41)，且所述凸臺(41)上設有供所述內卡柱(34)穿過所述凸臺(41)的開口(42)。
3.根據權利要求2所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述內卡柱(34)和所述鎖柱(33)的連線與所述石英管(5)的軸線方向平行。
4.根據權利要求2所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述內卡柱(34)的個數為3個，所述開口(42)的個數為3個，且所述內卡柱(34)和所述開口(42)相對布置。
5.根據權利要求4所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述內卡柱(34)和所述開口(42)分別均勻分布在所述連接段(31)的內徑和所述凸臺(41)上。
6.根據權利要求2所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述凸臺(41)的所述開口(42)處設有向遠離所述第一鎖件的方向延伸的用于限制所述內卡柱(34)沿周向運動的卡頭(44)。
7.根據權利要求I所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述第一鎖件的外壁上設有工具定位孔(35)。
8.根據權利要求I所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述第二鎖件(4)遠離所述第一鎖件的一端設有可與六角扳手配合的六角端(43)。
9.根據權利要求1-8任一項所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述連接段(31)的內徑大于所述鎖緊段(32)的內徑。
10.根據權利要求9所述的PECVD的石英管鎖緊裝置，其特征在于，所述第二鎖件(4)的外徑大于所述鎖緊段(32)的內徑。
專利摘要本實用新型公開了一種PECVD的石英管鎖緊裝置，包括設有卡槽的法蘭和套設在石英管上的密封組件，卡槽包括相連通的軸向段和周向段，該裝置還包括套設在石英管上的第一鎖件，第一鎖件包括連接段和可套設在密封組件上的鎖緊段，鎖緊段上設有可沿卡槽移動的鎖柱；套設在石英管上且能夠卡設在第一鎖件內被限制沿遠離密封組件的方向運動的第二鎖件，第二鎖件能夠與密封組件相抵。通過第一鎖件的鎖柱伸入到卡槽的周向段，實現與第二鎖件相抵的密封組件與法蘭的鎖緊；在拆卸石英管時，只需要將卡槽內的鎖柱旋出即可實現對石英管的拆卸，有效降低了操作人員的勞動強度，同時保證了石英管的完整性，提高了石英管的再利用率，節省了成本。
文檔編號H01J37/32GK202651057SQ201220157698
公開日2013年1月2日 申請日期2012年4月13日 優先權日2012年4月13日
發明者孫雙慶, 李海良, 史周興 申請人:英利能源(中國)有限公司