專利名稱：一種帶水冷效果的空心陰極管的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于材料表面等離子體處理的陰極管，特別是ー種適用于皮革、柔性電路板等ー些特殊材質表面處理的帶水冷效果的空心陰極管。
背景技術：
低溫等離子體表面處理工藝是指在負壓下(一般為幾十帕)，對一定的氣體施加高頻電場，使其激發成等離子體狀態；等離子體作為物質的第四態，其中包含大量的電子，離子及自由基等活性粒子，這些活性粒子碰撞到被處理物體的表面，會發生相應的物理或化學反應，使材料表面的性質發生變化或是賦予新的功能，以達到其處理目的，滿足實際應用的需要。現有的空心陰極結構等離子體表面處理雖然能夠對ー些耐熱性能較好的材質進行處理，但是由于空心陰極噴ロ在長時間的等離子體噴射過程中，噴ロ的溫度會隨著工作時間的加長而溫度逐步升高，對于皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質，空心陰極結構等離子體進行表面處理吋，則會損傷這些材料。
發明內容
針對上述存在的技術問題，本發明的目的是提出了ー種適用于皮革、柔性電路板等ー些特殊材質表面處理的帶水冷效果的空心陰極管。本發明的技術解決方案是這樣實現的ー種帶水冷效果的空心陰極管，包含陰極管絕緣管、空心陽極管、前端蓋、后端蓋；所述陰極管設置在空心陽極管的內側；所述絕緣管設置在陰極管與空心陽極管之間；所述前端蓋將陰極管、絕緣管和空心陽極管的前端密封，后端蓋將陰極管、絕緣管和空心陽極管的后端密封；所述空心陽極管上設置有進氣孔和等離子體噴ロ ；所述進氣孔和等離子體噴ロ均與陰極管內部的空間相連通；所述空心陽極管中設置有水冷空間；所述水冷空間靠近空心陽極管上的等離子體噴ロ。優選的，所述后端蓋中空，后端蓋的中空部位上設置有有機玻璃。優選的，所述有機玻璃將陰極管后端密封，有機玻璃與陰極管之間設置有小0型圈。優選的，所述前端蓋與空心陽極管的前端之間設置有大0型圈，后端蓋與空心陽極管的后端之間設置有大0型圏。優選的，所述等離子體噴ロ有兩排，兩排等離子體噴ロ的位置相互交錯。由于上述技術方案的運用，本發明與現有技術相比具有下列優點
本發明的帶水冷效果的空心陰極管，通過在空心陽極管上設置水冷空間，使從等離子體噴ロ噴出的等離子體可以得到及時的冷卻，因此，在對皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質進行表面等離子體處理時，等離子體的溫度降到這些材料的溫度耐受范圍之內，可以安全地對這些材料進行表面處理而不會損傷這些材料。
下面結合附圖對本發明技術方案作進ー步說明
附圖1為本發明的ー種帶水冷效果的空心陰極管的立體分解 附圖2為本發明的ー種帶水冷效果的空心陰極管的結構示意 附圖3為本發明的ー種帶水冷效果的空心陰極管的工作示意 其中1、陰極管；2、絕緣管；3、空心陽極管；4、前端蓋；5、后端蓋；6、大0型圈；7、小0型圈；8、有機玻璃；9、等離子體噴ロ ；10、等離子體；11、基材。
具體實施例方式下面結合附圖來說明本發明。附圖1-2為本發明所述的ー種帶水冷效果的空心陰極管，包含陰極管I絕緣管2、空心陽極管3、前端蓋4、后端蓋5 ;所述陰極管I設置在空心陽極管3的內側；所述絕緣管2設置在陰極管I與空心陽極管3之間；所述前端蓋4絕緣，前端蓋4將陰極管1、絕緣管2和空心陽極管3的前端密封，前端蓋4與空心陽極管3的前端之間設置有大0型圈6 ;所述后端蓋5中空，后端蓋5的中空部位上設置有圓形的有機玻璃8 ;所述有機玻璃8將陰極管I后端密封，后端蓋5將絕緣管2和空心陽極管3的后端密封；所述有機玻璃8與陰極管I之間設置有小0型圈7，后端蓋5與空心陽極管3的后端之間設置有大0型圈6 ;所述空心陽極管3上設置有進氣孔和等離子體噴ロ 9 ;所述等離子體噴ロ 9有兩排，兩排等離子體噴ロ 9的位置相互交錯；所述進氣孔和等離子體噴ロ 9均與陰極管I內部的空間相連通；所述空心陽極管3中設置有水冷空間；所述水冷空間靠近空心陽極管3上的等離子體噴ロ 9。如圖3所示，本發明所述的ー種帶水冷效果的空心陰極管在工作時，進氣孔相陰極管I中充入氣體，氣體在陰極管I中反應成為等離子體10，由于氣體不斷地充入陰極管I，使陰極管I中的壓カ不斷増大，使等離子體10從等離子體噴ロ 9噴到基材11上，使等離子體10對基材11進行表面處理；由于空心陽極管3中的水冷空間不斷通入循環的冷水，而且水冷空間靠近等離子體噴ロ 9，因此，等離子體10在經過等離子體噴ロ 9時，受到水冷空間的冷卻作用而使等離子體10的溫度降低至基材11的溫度耐受范圍內。由于上述技術方案的運用，本發明與現有技術相比具有下列優點
本發明的帶水冷效果的空心陰極管，通過在空心陽極管3上設置水冷空間，使從等離子體噴ロ 9噴出的等離子體10可以得到及時的冷卻，因此，在對皮革、柔性電路板等ー些耐熱性比較低的材質進行表面等離子體處理時，等離子體10的溫度降到這些材料的溫度耐受范圍之內，可以安全地對這些材料進行表面處理而不會損傷這些材料。上述實施例只為說明本發明的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發明的內容并加以實 施，并不能以此限制本發明的保護范圍，凡根據本發明精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發明的保護范圍內。
權利要求
1.一種帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于包含陰極管(I)絕緣管(2)、空心陽極管(3)、前端蓋(4)、后端蓋(5);所述陰極管(I)設置在空心陽極管(3)的內側；所述絕緣管(2)設置在陰極管(I)與空心陽極管(3)之間；所述前端蓋(4)將陰極管(I)、絕緣管(2)和空心陽極管(3)的前端密封，后端蓋(5)將陰極管(I)、絕緣管(2)和空心陽極管(3)的后端密封；所述空心陽極管(3)上設置有進氣孔和等離子體噴口(9);所述進氣孔和等離子體噴口(9)均與陰極管(I)內部的空間相連通；所述空心陽極管(3)中設置有水冷空間；所述水冷空間靠近空心陽極管(3)上的等離子體噴口(9)。
2.根據權力要求I所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于所述后端蓋(5)中空，后端蓋(5)的中空部位上設置有有機玻璃(8)。
3.根據權力要求2所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于所述有機玻璃(8)將陰極管(I)后端密封，有機玻璃(8 )與陰極管(I)之間設置有小O型圈(7 )。
4.根據權力要求I或3所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于所述前端蓋(4)與空心陽極管(3)的前端之間設置有大O型圈(6)，后端蓋(5)與空心陽極管(3)的后端之間設置有大O型圈(6)。
5.根據權力要求I所述的帶水冷效果的空心陰極管，其特征在于所述等離子體噴口(9)有兩排，兩排等離子體噴口(9)的位置相互交錯。
全文摘要
本發明公開了一種帶水冷效果的空心陰極管，包含陰極管絕緣管、空心陽極管、前端蓋、后端蓋；陰極管設置在空心陽極管的內側；絕緣管設置在陰極管與空心陽極管之間；前端蓋和后端蓋分別將陰極管、絕緣管和空心陽極管的兩端密封；空心陽極管上設置有進氣孔和等離子體噴口，空心陽極管中設置有靠近等離子體噴口的水冷空間；因此，從等離子體噴口噴出的等離子體可以得到及時的冷卻，因此，在對皮革、柔性電路板等一些耐熱性比較低的材質進行表面等離子體處理時，等離子體的溫度降到這些材料的溫度耐受范圍之內，可以安全地對這些材料進行表面處理而不會損傷這些材料。
文檔編號H01J37/02GK103035464SQ20121057144
公開日2013年4月10日 申請日期2012年12月26日 優先權日2012年12月26日
發明者溫貽芳, 范金玲, 薛迎春 申請人:蘇州工業職業技術學院