等離子體處理裝置的制作方法

            文檔序號:2946637閱讀:145來源:國知局
            專利名稱:等離子體處理裝置的制作方法
            技術(shù)領(lǐng)域
            本發(fā)明涉及一種等離子體處理裝置。
            背景技術(shù)
            在下述專利文獻(xiàn)I中記載有一種等離子體處理裝置。專利文獻(xiàn)I所記載的等離子體處理裝置具有處理容器、第I電極、第2電極、高頻供電部、處理氣體供給部、主電介體、聚焦環(huán)以及周邊感應(yīng)體。在第I電極的主表面上安裝有聚焦環(huán)以及包括主電介體的靜電吸盤。聚焦環(huán)以覆蓋第I電極的主表面中的位于比配置有靜電吸盤的區(qū)域靠外側(cè)的位置的周邊部的方式安裝在第I電極上。為了確保等離子體的密度的面內(nèi)均勻性,第I電極具有比被處理基體大一圈的外徑。聚焦環(huán)以覆蓋第I電極的周邊部的方式設(shè)置,從而保護(hù)第I電極的表面而不接觸等離子體。專利文獻(xiàn)I :日本特開2008 - 244274號公報(bào)在專利文獻(xiàn)I中所記載的等離子體處理裝置中,在處理了被處理基體之后,有時(shí)在靜電吸盤的外緣部等產(chǎn)生附著物。因而,在該技術(shù)領(lǐng)域內(nèi),需要一種能夠抑制附著物的產(chǎn)生的等離子體處理裝置
            發(fā)明內(nèi)容

            本發(fā)明的一技術(shù)方案的等離子體處理裝置具有處理容器,在其內(nèi)部劃分有處理空間;氣體供給部,其用于向處理空間內(nèi)供給處理氣體;導(dǎo)入部,其導(dǎo)入用于產(chǎn)生處理氣體的等離子體的能量;保持構(gòu)件,其設(shè)在處理空間內(nèi),用于保持被處理基體,且具有電介體材料制的表面;聚焦環(huán),其以包圍保持構(gòu)件的端面的方式設(shè)置,并以在保持構(gòu)件的端面與該聚焦環(huán)之間劃分有350 μ m以下的間隙的方式設(shè)置。當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)等離子體處理裝置時(shí),保持構(gòu)件以及聚焦環(huán)被加熱至規(guī)定的溫度。當(dāng)保持構(gòu)件以及聚焦環(huán)被加熱時(shí),基于構(gòu)成該保持構(gòu)件以及聚焦環(huán)的各種材料所具有的熱膨脹率,保持構(gòu)件以及聚焦環(huán)產(chǎn)生變形。為了防止因該變形而造成保持構(gòu)件的端面與聚焦環(huán)相接觸,通常,在保持構(gòu)件與聚焦環(huán)之間設(shè)定有較大的間隙。在這樣的等離子體處理裝置中,因在清潔時(shí)等進(jìn)入到保持構(gòu)件的端面與聚焦環(huán)之間的間隙內(nèi)的等離子體而產(chǎn)生微細(xì)顆粒,該微細(xì)顆粒有時(shí)會附著在保持構(gòu)件的外緣部等之上。在一技術(shù)方案的等離子體處理裝置中,由于保持構(gòu)件的端面與聚焦環(huán)的內(nèi)緣之間的距離,即間隙的大小被設(shè)定在350 μ m以下,因此抑制了等離子體進(jìn)入間隙內(nèi),其結(jié)果,抑制了微細(xì)顆粒的產(chǎn)生。因而,能夠抑制會附著在保持構(gòu)件的外緣部等之上的附著物的產(chǎn)生。在一實(shí)施方式中,聚焦環(huán)包括第I區(qū)域,其包括該聚焦環(huán)的內(nèi)緣 ’第2區(qū)域,其比第I區(qū)域靠外側(cè),第I區(qū)域沿保持構(gòu)件的上表面的延長面設(shè)置,或設(shè)在該延長面的下方,第2區(qū)域也可以設(shè)在保持構(gòu)件的上表面的上方。采用這樣的聚焦環(huán),當(dāng)利用保持構(gòu)件保持被處理基體時(shí),保持構(gòu)件的端面與聚焦環(huán)之間的間隙由被處理基體覆蓋。因而,能夠抑制等離子體進(jìn)入保持構(gòu)件的端面與聚焦環(huán)之間的間隙內(nèi)。因此,能夠進(jìn)一步抑制微細(xì)顆粒的產(chǎn)生。如以上說明的那樣,本發(fā)明提供一種能夠抑制附著物的產(chǎn)生的等離子體處理裝置。


            圖I是概略地表示一實(shí)施方式的等離子體處理裝置的剖視圖。圖2是從軸線X方向觀察一實(shí)施方式的縫隙板的俯視圖。圖3是從軸線X方向觀察一實(shí)施方式的靜電吸盤以及聚焦環(huán)的俯視圖。圖4是放大表示一實(shí)施方式的靜電吸盤以及聚焦環(huán)的局部的剖視圖。
            圖5的(a) (b)是用于說明產(chǎn)生附著物的主要原因的圖。圖6的(a) (d)是比較例的靜電吸盤以及聚焦環(huán)的照片。圖7的(a) (d)是一實(shí)施方式的靜電吸盤以及聚焦環(huán)的照片。
            具體實(shí)施例方式以下,參照附圖詳細(xì)地說明各種實(shí)施方式。另外,在各附圖中,對于相同或相當(dāng)?shù)牟糠謽?biāo)注相同的附圖標(biāo)記。圖I是概略地表示一實(shí)施方式的等離子體處理裝置的剖視圖。圖I所示的等離子體處理裝置10具有處理容器12、載置臺14、微波生成器16、天線18以及電介體窗20。等離子體處理裝置10是利用來自天線18的微波來產(chǎn)生等離子體的微波等離子體處理裝置。另外,等離子體處理裝置也可以是除微波等離子體處理裝置之外的任意的等離子體處理裝置。在處理容器12中劃分出用于對被處理基體W進(jìn)行等離子處理的處理空間S。處理容器12能夠包括側(cè)壁12a以及底部12b。側(cè)壁12a具有沿軸線X方向(S卩,軸線X的延伸方向)延伸的大致筒狀。底部12b設(shè)在側(cè)壁12a的下端側(cè)。在底部12b上設(shè)有排氣用的排氣孔12h。側(cè)壁12a的上端部開口。利用電介體窗20來封堵側(cè)壁12a的上端部開口。也可以在該電介體窗20與側(cè)壁12a的上端部之間夾設(shè)有O形環(huán)21。利用該O形環(huán)21進(jìn)一步可靠地密封處理容器12。微波生成器16例如產(chǎn)生2. 45GHz的微波。在一實(shí)施方式中,等離子體處理裝置10還具有調(diào)諧器22、波導(dǎo)管24、模式轉(zhuǎn)換器26以及同軸波導(dǎo)管28。另外,微波生成器16、調(diào)諧器22、波導(dǎo)管24、模式轉(zhuǎn)換器26、同軸波導(dǎo)管28、天線18以及電介體窗20構(gòu)成了導(dǎo)入部,該導(dǎo)入部向處理空間S內(nèi)導(dǎo)入用于產(chǎn)生等離子體的能量。微波生成器16經(jīng)由調(diào)諧器22與波導(dǎo)管24連接。波導(dǎo)管24例如是矩形波導(dǎo)管。波導(dǎo)管24與模式轉(zhuǎn)換器26連接,該模式轉(zhuǎn)換器26與同軸波導(dǎo)管28的上端連接。同軸波導(dǎo)管28沿軸線X延伸。該同軸波導(dǎo)管28包括外側(cè)導(dǎo)體28a以及內(nèi)側(cè)導(dǎo)體28b。外側(cè)導(dǎo)體28a具有沿軸線X方向延伸的大致圓筒形狀。內(nèi)側(cè)導(dǎo)體28b設(shè)在外側(cè)導(dǎo)體28a的內(nèi)部。該內(nèi)側(cè)導(dǎo)體28b具有沿軸線X延伸的大致圓筒形狀。由微波生成器16產(chǎn)生的微波經(jīng)由調(diào)諧器22以及波導(dǎo)管24被導(dǎo)入到模式轉(zhuǎn)換器26。模式轉(zhuǎn)換器26轉(zhuǎn)換微波的模式,并將模式轉(zhuǎn)換后的微波供給到同軸波導(dǎo)管28。來自同軸波導(dǎo)管28的微波被供給到天線18。
            天線18基于由微波產(chǎn)生器16產(chǎn)生的微波來發(fā)射等離子體激發(fā)用的微波。天線18能夠包括縫隙板30、電介體板32以及冷卻套34。在縫隙板30上,以軸線X為中心在周向上排列有多個(gè)縫隙。圖2是從軸線X方向觀察一實(shí)施方式的縫隙板30的俯視圖。在一實(shí)施方式中,如圖2所示,縫隙板30可以是構(gòu)成徑向線縫隙天線的縫隙板??p隙板30由具有導(dǎo)電性的金屬制的圓板構(gòu)成。在縫隙板30上形成有多個(gè)縫隙對30a。各縫隙對30a包括沿彼此交叉或彼此正交的方向延伸的縫隙30b以及縫隙30c。多個(gè)縫隙對30a以規(guī)定的間隔沿徑向配置、或以規(guī)定的間隔沿周向配置。電介體板32設(shè)在縫隙板30與冷卻套34的下側(cè)表面之間。電介體板32例如是石英制的,且具有大致圓板形狀。冷卻套34的表面能夠具有導(dǎo)電性。冷卻套34用于冷卻電介體板32以及縫隙板30。因此,在冷卻套34內(nèi)形成有制冷劑用的流路。該冷卻套34的上部表面與外側(cè)導(dǎo)體28a的下端電連接。另外,內(nèi)側(cè)導(dǎo)體28b的下端在形成于冷卻套34以及 電介體板32的中央部分的孔中穿過并與縫隙板30電連接。來自同軸波導(dǎo)管28的微波向電介體板32傳播,并從縫隙板30的縫隙經(jīng)由電介體窗20被導(dǎo)入到處理空間S內(nèi)。電介體窗20具有大致圓板形狀,例如由石英構(gòu)成。該電介體窗20設(shè)在處理空間S與天線18之間,在一實(shí)施方式中,該電介體窗20在軸線X方向上設(shè)在天線18的正下方。在一實(shí)施方式中,在同軸波導(dǎo)管28的內(nèi)側(cè)導(dǎo)體28b的內(nèi)孔內(nèi)穿有導(dǎo)管36。導(dǎo)管36沿軸線X延長,并能夠與氣體供給部38連接。氣體供給部38將用于對被處理基體W進(jìn)行處理的處理氣體向?qū)Ч?6供給。由氣體供給部38供給的處理氣體包含碳。在一實(shí)施方式中,該處理氣體是蝕刻氣體,例如是CF4氣體、或CH2F2氣體。氣體供給部38能夠包括氣體源38a、閥38b以及流量控制器38c。氣體源38a是處理氣體的氣體源。閥38b對來自氣體源38a的處理氣體的供給以及供給停止進(jìn)行切換。流量控制器38c例如是質(zhì)量流量控制器,其調(diào)整來自氣體供給源38a的處理氣體的流量。在一實(shí)施方式中,等離子體處理裝置10還能夠具有噴射器41。噴射器41將來自導(dǎo)管36的氣體向形成在電介體窗20上的貫穿孔20h供給。被供給到電介體窗20的貫穿孔20h內(nèi)的氣體向處理空間S內(nèi)供給。在一實(shí)施方式中,等離子體處理裝置10還能夠具有氣體供給部42。在載置臺14和電介體窗20之間,氣體供給部42將氣體從軸線X的周圍向處理空間S內(nèi)供給。氣體供給部42能夠包括導(dǎo)管42a。導(dǎo)管42a在電介體窗20與載置臺14之間以軸線X為中心呈環(huán)狀延長。在導(dǎo)管42a上形成有多個(gè)氣體供給孔42b。多個(gè)氣體供給孔42b呈環(huán)狀排列并朝向軸線X開口,并將被供給到導(dǎo)管42a內(nèi)的氣體朝向軸線X供給。該氣體供給部42經(jīng)由導(dǎo)管46與氣體供給部43連接。氣體供給部43將用于對被處理基體W進(jìn)行處理的處理氣體向氣體供給部42供給。從氣體供給部43供給的處理氣體與氣體供給部38的處理氣體同樣地含有碳。在一實(shí)施方式中,該處理氣體是蝕刻氣體,例如是CF4氣體或CH2F2氣體。氣體供給部43能夠包括氣體源43a、閥43b以及流量控制器43c。氣體源43a是處理氣體的氣體源。閥43b對來自氣體源43a的處理氣體的供給以及供給停止進(jìn)行切換。流量控制器43c例如是質(zhì)量流量控制器,其調(diào)整來自氣體供給源43a的處理氣體的流量。
            載置臺14以在軸線X方向上與電介體窗20相對的方式設(shè)置。該載置臺14以在電介體窗20與該載置臺14之間夾著處理空間S的方式設(shè)置。在載置臺14上載置被處理基體W。在一實(shí)施方式中,載置臺14能夠包括臺14a、靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17。臺14a被筒狀支承部48支承。筒狀支承部48由絕緣性材料構(gòu)成,且從底部12b向垂直上方延伸。另外,在筒狀支承部48的外周設(shè)有導(dǎo)電性的筒狀支承部50。筒狀支承部50沿筒狀支承部48的外周從處理容器12的底部12b向垂直上方延伸。在該筒狀支承部50與側(cè)壁12a之間形成有環(huán)狀的排氣通路51。在排氣通路51的上部安裝有環(huán)狀的隔板52,該隔板52設(shè)有多個(gè)貫穿孔。在排氣孔12h的下部經(jīng)由排氣管54連接有排氣裝置56。排氣裝置56具有渦輪分子泵等真空泵。利用排氣裝置56能夠?qū)⑻幚砣萜?2內(nèi)的處理空間S減壓到所期望的真空度。臺14a兼作高頻電極。在臺14a上經(jīng)由匹配單元60以及供電棒62電連接有RF偏壓用的高頻電源58。高頻電源58以規(guī)定的功率輸出恒定的頻率,例如13. 65MHz的高頻電力,該恒定的頻率的適合于對引入到被處理基體W內(nèi)的離子的能量進(jìn)行控制。匹配單元 60收容有匹配器,該匹配器用于在高頻電源58側(cè)的阻抗和以電極、等離子體、處理容器12為主的負(fù)荷側(cè)的阻抗之間取得匹配。在該匹配器中包括用于生成自身偏壓的隔直電容器。在臺14a的上表面上設(shè)有作為保持構(gòu)件的靜電吸盤15,該靜電吸盤15用于保持被處理基體W。靜電吸盤15利用靜電吸附力保持被處理基體W。在靜電吸盤15的徑向外側(cè)設(shè)有聚焦環(huán)17,該聚焦環(huán)17呈環(huán)狀包圍被處理基體W的周圍以及靜電吸盤15的周圍。靜電吸盤15包括電極15d、絕緣膜15e以及絕緣膜15f。電極15d由導(dǎo)電膜構(gòu)成,且設(shè)在絕緣膜15e和絕緣膜15f之間。在電極15d上經(jīng)由開關(guān)66以及被覆線68電連接有高壓直流電源64。靜電吸盤15能夠利用庫侖力來保持被處理基體W,該庫侖力是通過由于直流電源64所施加的直流電壓而產(chǎn)生的。在臺14a的內(nèi)部設(shè)有沿周向延伸的環(huán)狀的制冷劑室Hg。經(jīng)由配管70、72從冷卻單元(未圖示)向該制冷劑室14g內(nèi)循環(huán)供給規(guī)定溫度的制冷劑,例如循環(huán)供給冷卻水。利用制冷劑的溫度使靜電吸盤15的導(dǎo)熱氣體,例如He氣經(jīng)由氣體供給管74向靜電吸盤15的上表面與被處理基體W的背面之間供給。在如此構(gòu)成的等離子體處理裝置10中,氣體經(jīng)由導(dǎo)管36以及噴射器41的貫穿孔從電介體窗20的貫穿孔20h沿軸線X向處理空間S內(nèi)供給。另外,在貫穿孔20h的下方,氣體從氣體供給部42朝向軸線X供給。而且,微波從天線18經(jīng)由電介體窗20向處理空間S和/或貫穿孔20h內(nèi)導(dǎo)入。由此,在處理空間S和/或貫穿孔20上產(chǎn)生等離子體。這樣,采用等離子體處理裝置10,不施加磁場就能夠產(chǎn)生等離子體。在該等離子體處理裝置10中,能夠利用處理氣體的等離子體對載置在載置臺14上的被處理基體W進(jìn)行處理。以下,參照圖3以及圖4進(jìn)一步詳細(xì)地說明靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17。圖3是從軸線X方向觀察的一實(shí)施方式的靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17的俯視圖。靜電吸盤15例如是氧化鋁(Al2O3)或氧化釔(Y2O3)這樣的電介體材料制的,且具有大致圓板形狀。靜電吸盤15具有端面15a。在一實(shí)施方式中,端面15a局部地包括平端面15b。靜電吸盤15具有規(guī)定的外徑(直徑)Dl。聚焦環(huán)17以包圍靜電吸盤15的端面15a的方式搭載在臺14a上。聚焦環(huán)17例如是二氧化硅(SiO2)制的,且為環(huán)狀板。在聚焦環(huán)17上設(shè)有具有內(nèi)徑D2的孔17a。劃分出孔17a的內(nèi)壁面17b局部地包括與靜電吸盤15的平端面15b相面對的平壁面17c。在靜電吸盤15的端面15a和內(nèi)壁面17b,即聚焦環(huán)17的內(nèi)緣之間劃分有間隙h。以該間隙h例如在25°C這樣的常溫的溫度環(huán)境中為350 μ m以下的方式來設(shè)定靜電吸盤15的外徑Dl以及聚焦環(huán)17的內(nèi)徑D2。聚焦環(huán)17以聚焦環(huán)17的中心軸線17g的位置與靜電吸盤15的中心軸線15g的位置大致一致的方式配置在臺14a上。在靜電吸盤15的平端面15b與聚焦環(huán)17的平壁面17之間劃分有間隙g。當(dāng)將聚焦環(huán)17的中心軸線17g的位置設(shè)為與靜電吸盤15的中心軸線15g —致時(shí),間隙g根據(jù)距離d和距離c來確定。距離d根據(jù)從靜電吸盤15的平端面15b到與該平端面15b相互平行并包括中心軸線15g的面為止的距離來進(jìn)行確定。距離c根據(jù)從聚焦環(huán)17的平壁面17c到與該平壁面17c相互平行并包括中心軸線17g的面為止的距離來進(jìn)行確定。以該間隙g例如在25°C這樣的常溫的溫度環(huán)境中為350 μ m以下的方式來設(shè)定靜電吸盤15的距離 d以及聚焦環(huán)17的距離C。圖4是放大表示一實(shí)施方式的靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17的局部的剖視圖,是圖3的IV — IV的剖視圖。聚焦環(huán)17包括第I區(qū)域17d,其包括內(nèi)緣17f ;第2區(qū)域17e,其在第I區(qū)域17d的外側(cè)。聚焦環(huán)17的內(nèi)壁面17b與靜電吸盤15的端面15a相面對。在靜電吸盤15的表面15c上保持被處理基體W。由于靜電吸盤15的外徑Dl比被處理基體W的外徑D3小,因此被處理基體W的外緣部比靜電吸盤15的端面15a向與軸線X正交的方向突出。聚焦環(huán)17的第I區(qū)域17d沿靜電吸盤15的表面15c的延長面設(shè)置。另外,第I區(qū)域17d也可以設(shè)在靜電吸盤15的表面15c的延長面的下方。聚焦環(huán)17的第I區(qū)域17d中的一部分區(qū)域由被處理基體W覆蓋。另外,存在于靜電吸盤15和聚焦環(huán)17之間的間隙h以及間隙g由被處理基體W覆蓋。因而,當(dāng)被處理基體W載置在靜電吸盤15上時(shí),抑制了等離子體進(jìn)入間隙h以及間隙g內(nèi)。另外,聚焦環(huán)17的第2區(qū)域17e設(shè)在靜電吸盤15的表面15c的上方。通過這樣地構(gòu)成,能夠使被處理基體W的表面上的等離子體均勻分布。參照圖5,說明在使用了比較例的靜電吸盤92以及聚焦環(huán)93的情況下所產(chǎn)生的現(xiàn)象。圖5的(a)所示的靜電吸盤92與聚焦環(huán)93之間的間隙95例如是500 μ m。在被處理基體未吸附在靜電吸盤92的表面92a上的狀態(tài)下,實(shí)施清洗(WLDC :wafer less dry cleaning,無晶圓干式清洗)。此時(shí),作為處理氣體使用有六氟化硫以及氧的混合氣體(SF6 / 02)。當(dāng)?shù)入x子體94進(jìn)入到靜電吸盤92與聚焦環(huán)93之間的間隙95內(nèi)時(shí),由氧化鋁(A1203)構(gòu)成的靜電吸盤92的端面92b被處理氣體所包含的氟氟化而產(chǎn)生氟化鋁(AlF)的微細(xì)顆粒96。推測該微細(xì)顆粒96堆積在間隙95內(nèi)、或附著在靜電吸盤92的外緣部的表面92a上。如圖5的(b)所示,在微細(xì)顆粒96附著在靜電吸盤92的外緣部的表面92a上的狀態(tài)下,當(dāng)被處理基體97吸附在靜電吸盤92的表面92a上時(shí),微細(xì)顆粒96夾在被處理基體97與靜電吸盤92之間。在此,若向臺91施加高頻電力,則電流借助微細(xì)顆粒96集中地流動,因此有可能產(chǎn)生發(fā)火花。若因產(chǎn)生發(fā)火花而使包含在靜電吸盤92內(nèi)的電極露出,則不能夠向靜電吸盤92施加直流電壓,因此有時(shí)無法利用靜電吸盤92來吸附被處理基體97。在使用比較例的靜電吸盤92以及聚焦環(huán)93對被處理基體97進(jìn)行了處理之后,確認(rèn)了靜電吸盤92的表面92a的狀態(tài)等。其結(jié)果,確認(rèn)了在靜電吸盤92與聚焦環(huán)93之間的間隙95內(nèi)附著有包含鋁、氟以及氧的微細(xì)顆粒。圖6的(a)是拍攝靜電吸盤92的表面92a的局部的照片,圖6的(b)是擴(kuò)大了圖6的(a)的A部的照片。當(dāng)參照圖6的(b)時(shí),確認(rèn)了在表面92a上形成有被認(rèn)為是因發(fā)火花而產(chǎn)生的孔92c。另外,圖6的(c)是拍攝靜電吸盤92的表面92a的其他的區(qū)域的局部的照片。圖6的(d)是擴(kuò)大了圖6的(c)的B部的照片。當(dāng)參照圖6的(d)時(shí),與圖6的(b)中所確認(rèn)的孔92c同樣地確認(rèn)了在表面92a上形成有被認(rèn)為是因發(fā)火花而產(chǎn)生的孔92d。在一實(shí)施方式的等離子體處理裝置10中,在靜電吸盤15與聚焦環(huán)17之間劃分有350 μ m以下的間隙h以及間隙g,因此抑制了等離子體進(jìn)入該間隙h以及間隙g內(nèi),其結(jié)果,抑制了微細(xì)顆粒的產(chǎn)生。因而,能夠抑制會附著在靜電吸盤15的外緣部等之上的附著物的產(chǎn)生。而且,由于能夠抑制附著物的產(chǎn)生,因此抑制了發(fā)火花的產(chǎn)生。由此,能夠防止靜電吸盤15的吸附不良的產(chǎn)生。在此,說明間隙h以及間隙g的尺寸與等離子體之間的關(guān)系。要想使等離子體存在于間隙h以及間隙g內(nèi),間隙h以及間隙g的距離需要充分地大于德拜長度(Debye length)Ad (參照下述公式(I))。[數(shù)I]Ajs(Hh) = JAIxIO2J.................I..........…(I)
            Vn (cm ')在上述公式(I)中,Te是電子溫度,η。是電子密度。當(dāng)向等離子體施加電場時(shí),自由電子因熱運(yùn)動而運(yùn)動并阻斷電場。德拜長度λ D是表示將該電場阻斷的長度的等級的長度。因而,在比德拜長度λΒ小的空間中,無法確保等離子體的電中性。要想使等離子體存在于間隙h以及間隙g內(nèi),考慮到護(hù)套長度而使靜電吸盤15與聚焦環(huán)17之間的距離,即間隙h以及間隙g的大小需要大于德拜長度 3倍。即,若將間隙h以及間隙g的大小設(shè)定為德拜長度 3倍以下,則抑制了等離子體進(jìn)入間隙h以及間隙g內(nèi)。因此,能夠抑制由等離子體所引起的微細(xì)顆粒的產(chǎn)生。例如,若Te=L 5eV,n()=6X109cm_3,則德拜長度AD=117ym0因而,若間隙h以及間隙g的尺寸是德拜長度λΒ的3倍以下,即350 μ m以下,則能夠抑制間隙h以及間隙g內(nèi)的等離子體的產(chǎn)生。說明具體的實(shí)施例。在本實(shí)施例中,被處理基體W的外徑D3是300mm。作為一實(shí)施例,在25°C的溫度環(huán)境中,將包含氧化鋁(Al2O3)的靜電吸盤15以及包含二氧化硅(SiO2)的聚焦環(huán)17設(shè)定為以下的尺寸。靜電吸盤15的外徑Dl :297. 9mm聚焦環(huán)I7的內(nèi)徑D2 :298· Imm距離 c :148. Imm距離 d :148mm當(dāng)設(shè)定為上述尺寸時(shí),間隙h是O. lmm( 100 μ m),間隙g是O. lmm( 100 μ m)。而且,當(dāng)將具有上述尺寸的靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17加熱到80°C時(shí),間隙h是O. 029mm(29ym),間隙g是O. 029mm (29 μ m)。這樣,即使是將靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17加熱到80°C時(shí),靜電吸盤15也不會與聚焦環(huán)17相接觸。在使用具有上述尺寸的靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17對被處理基體W進(jìn)行了處理之后,確認(rèn)了靜電吸盤15的表面15c的狀態(tài)等。圖7的(a) 圖7的(d)是拍攝靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17的局部的照片。在一實(shí)施方式的靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17中,未確認(rèn)有在比較例的靜電吸盤92的表面92a上被確認(rèn)的這樣的孔92c、92d。另外,在目測的檢查中,在靜電吸盤15以及聚焦環(huán)17的表面上未確認(rèn)附著有微細(xì)顆粒。因而,通過將間隙h以及間隙g設(shè)為O. lmm( 100 μ m),確認(rèn)了能夠抑制會附著在靜電吸盤15的外緣部等之上的附著物的產(chǎn)生。以上,說明了各種實(shí)施方式,但是本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式,本發(fā)明也能夠構(gòu)成為各種變形方式。例如,除微波等離子體處理裝置之外,本發(fā)明的思想也能夠應(yīng)用于平行平板電極型的等離子體處理裝置這樣的任意的等離子體處理裝置。另外,例如,除二氧化硅之外,聚焦環(huán)根據(jù)處理氣體的種類也可以是硅(Si)制的。
            附圖標(biāo)記說明10、等離子體處理裝置;12、處理容器;42、43、氣體供給部;16、微波生成器(導(dǎo)入部);15、92、靜電吸盤(保持構(gòu)件);17、93、聚焦環(huán);h、g、間隙。
            權(quán)利要求
            1.一種等離子體處理裝置,其中, 該等離子體處理裝置具有 處理容器,在其內(nèi)部劃分有處理空間; 氣體供給部,其用于向上述處理空間內(nèi)供給處理氣體; 導(dǎo)入部,其導(dǎo)入用于產(chǎn)生上述處理氣體的等離子體的能量; 保持構(gòu)件,其設(shè)在上述處理空間內(nèi),用于保持被處理基體,且具有電介體材料制的表面; 聚焦環(huán),其以包圍上述保持構(gòu)件的端面的方式設(shè)置,并以在上述保持構(gòu)件的上述端面與該聚焦環(huán)之間劃分有350 μ m以下的間隙的方式設(shè)置。
            2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的等離子體處理裝置,其中, 上述聚焦環(huán)包括第I區(qū)域,其包括該聚焦環(huán)的內(nèi)緣;第2區(qū)域,其在上述第I區(qū)域的外偵U, 上述第I區(qū)域沿上述保持構(gòu)件的上表面的延長面設(shè)置,或設(shè)在該延長面的下方, 上述第2區(qū)域設(shè)在上述保持構(gòu)件的上表面的上方。
            全文摘要
            本發(fā)明提供一種能夠抑制附著物的產(chǎn)生的等離子體處理裝置。一實(shí)施方式的等離子體處理裝置具有處理容器、氣體供給部、導(dǎo)入部、保持構(gòu)件以及聚焦環(huán)。在處理容器中劃分出的處理空間內(nèi),利用從導(dǎo)入部導(dǎo)入的能量使從氣體供給部供給的處理氣體產(chǎn)生等離子體。在該處理空間內(nèi)配置有保持構(gòu)件和聚焦環(huán),該保持構(gòu)件用于保持被處理基體,該聚焦環(huán)以包圍該保持構(gòu)件的端面的方式設(shè)置。在保持構(gòu)件的端面與聚焦環(huán)之間劃分有350μm以下的間隙。
            文檔編號H01J37/32GK102867724SQ201210230040
            公開日2013年1月9日 申請日期2012年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月7日
            發(fā)明者松本直樹, 大塚康弘 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社
            網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
            • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
            1
            婷婷六月激情在线综合激情,亚洲国产大片,久久中文字幕综合婷婷,精品久久久久久中文字幕,亚洲一区二区三区高清不卡,99国产精品热久久久久久夜夜嗨 ,欧美日韩亚洲综合在线一区二区,99国产精品电影,伊人精品线视天天综合,精品伊人久久久大香线蕉欧美
            亚洲精品1区 国产成人一级 91精品国产欧美一区二区 亚洲精品乱码久久久久久下载 国产精品久久久久久久伊一 九色国产 国产精品九九视频 伊人久久成人爱综合网 欧美日韩亚洲区久久综合 欧美日本一道免费一区三区 夜夜爽一区二区三区精品 欧美日韩高清一区二区三区 国产成人av在线 国产精品对白交换绿帽视频 国产视频亚洲 国产在线欧美精品 国产精品综合网 国产日韩精品欧美一区色 国产日韩精品欧美一区喷 欧美日韩在线观看区一二 国产区精品 欧美视频日韩视频 中文字幕天天躁日日躁狠狠躁97 视频一二三区 欧美高清在线精品一区二区不卡 国产精品揄拍一区二区久久 99久久综合狠狠综合久久aⅴ 亚洲乱码视频在线观看 日韩在线第二页 亚洲精品无码专区在线播放 成人亚洲网站www在线观看 欧美三级一区二区 99久久精品免费看国产高清 91麻豆国产在线观看 最新日韩欧美不卡一二三区 成人在线观看不卡 日韩国产在线 在线亚洲精品 亚洲午夜久久久久中文字幕 国产精品成人久久久久久久 精品国产一区二区在线观看 欧美精品国产一区二区三区 中文在线播放 亚洲第一页在线视频 国产午夜精品福利久久 九色国产 精品国产九九 国产永久视频 久久精品人人做人人综合试看 国产一区二区三区免费观看 亚洲精品国产电影 9999热视频 国产精品资源在线 麻豆久久婷婷国产综合五月 国产精品免费一级在线观看 亚洲国产一区二区三区青草影视 中文在线播放 国产成人综合在线 国产在线观看色 国产亚洲三级 国产片一区二区三区 久久99精品久久久久久牛牛影视 亚洲欧美日韩国产 四虎永久免费网站 国产一毛片 国产精品视频在 九九热在线精品 99精品福利视频 色婷婷色99国产综合精品 97成人精品视频在线播放 精品久久久久久中文字幕 亚洲欧美一区二区三区孕妇 亚洲欧美成人网 日韩高清在线二区 国产尤物在线观看 在线不卡一区二区 91网站在线看 韩国精品福利一区二区 欧美日韩国产成人精品 99热精品久久 国产精品免费视频一区 高清视频一区 精品九九久久 欧美日韩在线观看免费 91欧美激情一区二区三区成人 99福利视频 亚洲国产精品91 久热国产在线 精品久久久久久中文字幕女 国产精品久久久久久久久99热 成人自拍视频网 国产精品视频久久久久久 久久影院国产 国产玖玖在线观看 99精品在线免费 亚洲欧美一区二区三区导航 久久久久久久综合 国产欧美日韩精品高清二区综合区 国产精品视频自拍 亚洲一级片免费 久久久久久九九 国产欧美自拍视频 视频一区二区在线观看 欧美日韩一区二区三区久久 中文在线亚洲 伊人热人久久中文字幕 日韩欧美亚洲国产一区二区三区 欧美亚洲国产成人高清在线 欧美日韩国产码高清综合人成 国产性大片免费播放网站 亚洲午夜综合网 91精品久久一区二区三区 国产无套在线播放 国产精品视频网站 国产成人亚洲精品老王 91在线网站 国产视频97 欧美黑人欧美精品刺激 国产一区二区三区免费在线视频 久久久国产精品免费看 99re6久精品国产首页 久久精品91 国产成人一级 国产成人精品曰本亚洲 日本福利在线观看 伊人成综合网 久久综合一本 国产综合久久久久久 久久精品成人免费看 久久福利 91精品国产91久久久久久麻豆 亚洲精品成人在线 亚洲伊人久久精品 欧美日本二区 国产永久视频 国产一区二 一区二区福利 国产一毛片 亚洲精品1区 毛片一区二区三区 伊人久久大香线蕉综合影 国产欧美在线观看一区 亚洲国产欧洲综合997久久 国产一区二区免费视频 国产91精品对白露脸全集观看 久久亚洲国产伦理 欧美成人伊人久久综合网 亚洲性久久久影院 久久99国产精一区二区三区! 91精品国产欧美一区二区 欧美日韩亚洲区久久综合 日韩精品一二三区 久久久夜色精品国产噜噜 国产在线精品福利91香蕉 久久久久久久亚洲精品 97se色综合一区二区二区 91国语精品自产拍在线观看性色 91久久国产综合精品女同我 日韩中文字幕a 国产成人亚洲日本精品 久久国产精品-国产精品 久久国产经典视频 久久国产精品伦理 亚洲第一页在线视频 国产精品久久久久三级 日韩毛片网 久久免费高清视频 麻豆国产在线观看一区二区 91麻豆国产福利在线观看 国产成人精品男人的天堂538 一区二区三区中文字幕 免费在线视频一区 欧美日韩国产成人精品 国产综合网站 国产资源免费观看 亚洲精品亚洲人成在线播放 精品久久久久久中文字幕专区 亚洲人成人毛片无遮挡 国产一起色一起爱 国产香蕉精品视频在 九九热免费观看 日韩亚洲欧美一区 九九热精品在线观看 精品久久久久久中文字幕专区 亚洲欧美自拍偷拍 国产精品每日更新 久久久久国产一级毛片高清板 久久天天躁狠狠躁夜夜中文字幕 久久精品片 日韩在线毛片 国产成人精品本亚洲 国产成人精品一区二区三区 九九热在线观看 国产r级在线观看 国产欧美日韩精品高清二区综合区 韩国电影一区二区 国产精品毛片va一区二区三区 五月婷婷伊人网 久久一区二区三区免费 一本色道久久综合狠狠躁篇 亚洲综合色站 国产尤物在线观看 亚洲一区亚洲二区 免费在线视频一区 欧洲精品视频在线观看 日韩中文字幕a 中文字幕日本在线mv视频精品 91精品在线免费视频 精品国产免费人成在线观看 精品a级片 中文字幕日本在线mv视频精品 日韩在线精品视频 婷婷丁香色 91精品国产高清久久久久 国产成人精品日本亚洲直接 五月综合视频 欧美日韩在线亚洲国产人 精液呈暗黄色 亚洲乱码一区 久久精品中文字幕不卡一二区 亚洲天堂精品在线 激情婷婷综合 国产免费久久精品久久久 国产精品亚洲二区在线 久久免费播放视频 五月婷婷丁香综合 在线亚洲欧美日韩 久久免费精品高清麻豆 精品久久久久久中文字幕 亚洲一区网站 国产精品福利社 日韩中文字幕免费 亚洲综合丝袜 91精品在线播放 国产精品18 亚洲日日夜夜 伊人久久大香线蕉综合影 亚洲精品中文字幕乱码影院 亚洲一区二区黄色 亚洲第一页在线视频 一区二区在线观看视频 国产成人福利精品视频 亚洲高清二区 国内成人免费视频 精品亚洲性xxx久久久 国产精品合集一区二区三区 97av免费视频 国产一起色一起爱 国产区久久 国产资源免费观看 99精品视频免费 国产成人一级 国产精品九九免费视频 欧美91精品久久久久网免费 99热国产免费 久久精品色 98精品国产综合久久 久久精品播放 中文字幕视频免费 国产欧美日韩一区二区三区在线 精品久久蜜桃 国产小视频精品 一本色道久久综合狠狠躁篇 91在线免费观看 亚洲精品区 伊人成综合网 伊人热人久久中文字幕 伊人黄色片 99国产精品热久久久久久夜夜嗨 久久免费精品视频 亚洲一区二区三区高清不卡 久久久久国产一级毛片高清板 国产片一区二区三区 久久狠狠干 99久久婷婷国产综合精品电影 国产99区 国产精品成人久久久久 久久狠狠干 青青国产在线观看 亚洲高清国产拍精品影院 国产精品一区二区av 九九热在线免费视频 伊人久久国产 国产精品久久久久久久久久一区 在线观看免费视频一区 国产精品自在在线午夜区app 国产精品综合色区在线观看 国产毛片久久久久久国产毛片 97国产免费全部免费观看 国产精品每日更新 国产尤物视频在线 九九视频这里只有精品99 一本一道久久a久久精品综合 久久综合给会久久狠狠狠 国产成人精品男人的天堂538 欧美一区二区高清 毛片一区二区三区 国产欧美日韩在线观看一区二区三区 在线国产二区 欧美不卡网 91在线精品中文字幕 在线国产福利 国内精品91久久久久 91亚洲福利 日韩欧美国产中文字幕 91久久精品国产性色也91久久 亚洲性久久久影院 欧美精品1区 国产热re99久久6国产精品 九九热免费观看 国产精品欧美日韩 久久久久国产一级毛片高清板 久久国产经典视频 日韩欧美亚洲国产一区二区三区 欧美亚洲综合另类在线观看 国产精品自在在线午夜区app 97中文字幕在线观看 视频一二三区 精品国产一区在线观看 国产欧美日韩在线一区二区不卡 欧美一区二三区 伊人成人在线观看 国内精品91久久久久 97在线亚洲 国产在线不卡一区 久久久全免费全集一级全黄片 国产精品v欧美精品∨日韩 亚洲毛片网站 在线不卡一区二区 99re热在线视频 久久激情网 国产毛片一区二区三区精品 久久亚洲综合色 中文字幕视频免费 国产视频亚洲 婷婷伊人久久 国产一区二区免费播放 久久99国产精品成人欧美 99国产在线视频 国产成人免费视频精品一区二区 国产不卡一区二区三区免费视 国产码欧美日韩高清综合一区 久久精品国产主播一区二区 国产一区电影 久久精品国产夜色 国产精品国产三级国产 日韩一区二区三区在线 久久97久久97精品免视看 久久国产免费一区二区三区 伊人久久大香线蕉综合电影网 99re6久精品国产首页 久久激情网 亚洲成人高清在线 国产精品网址 国产成人精品男人的天堂538 香蕉国产综合久久猫咪 国产专区中文字幕 91麻豆精品国产高清在线 久久国产经典视频 国产精品成人va在线观看 国产精品爱啪在线线免费观看 日本精品久久久久久久久免费 亚洲综合一区二区三区 久久五月网 精品国产网红福利在线观看 久久综合亚洲伊人色 亚洲国产精品久久久久久网站 在线日韩国产 99国产精品热久久久久久夜夜嗨 国产综合精品在线 国产区福利 精品亚洲综合久久中文字幕 国产制服丝袜在线 毛片在线播放网站 在线观看免费视频一区 国产精品久久久精品三级 亚洲国产电影在线观看 最新日韩欧美不卡一二三区 狠狠综合久久综合鬼色 日本精品1在线区 国产日韩一区二区三区在线播放 欧美日韩精品在线播放 亚洲欧美日韩国产一区二区三区精品 久久综合久久网 婷婷六月激情在线综合激情 亚洲乱码一区 国产专区91 97av视频在线观看 精品久久久久久中文字幕 久久五月视频 国产成人福利精品视频 国产精品网址 中文字幕视频在线 精品一区二区三区免费视频 伊人手机在线视频 亚洲精品中文字幕乱码 国产在线视频www色 色噜噜国产精品视频一区二区 精品亚洲成a人在线观看 国产香蕉尹人综合在线 成人免费一区二区三区在线观看 国产不卡一区二区三区免费视 欧美精品久久天天躁 国产专区中文字幕 久久精品国产免费中文 久久精品国产免费一区 久久无码精品一区二区三区 国产欧美另类久久久精品免费 欧美精品久久天天躁 亚洲精品在线视频 国产视频91在线 91精品福利一区二区三区野战 日韩中文字幕免费 国产精品99一区二区三区 欧美成人高清性色生活 国产精品系列在线观看 亚洲国产福利精品一区二区 国产成人在线小视频 国产精品久久久久免费 99re热在线视频 久久久久久久综合 一区二区国产在线播放 成人国产在线视频 亚洲精品乱码久久久久 欧美日韩一区二区综合 精品久久久久免费极品大片 中文字幕视频二区 激情粉嫩精品国产尤物 国产成人精品一区二区视频 久久精品中文字幕首页 亚洲高清在线 国产精品亚洲一区二区三区 伊人久久艹 中文在线亚洲 国产精品一区二区在线播放 国产精品九九免费视频 亚洲二区在线播放 亚洲狠狠婷婷综合久久久久网站 亚洲欧美日韩网站 日韩成人精品 亚洲国产一区二区三区青草影视 91精品国产福利在线观看 国产精品久久久久久久久99热 国产一区二区精品尤物 久碰香蕉精品视频在线观看 亚洲日日夜夜 在线不卡一区二区 国产午夜亚洲精品 九九热在线视频观看这里只有精品 伊人手机在线视频 91免费国产精品 日韩欧美中字 91精品国产91久久久久 国产全黄三级播放 视频一区二区三区免费观看 国产开裆丝袜高跟在线观看 国产成人欧美 激情综合丝袜美女一区二区 国产成人亚洲综合无 欧美精品一区二区三区免费观看 欧美亚洲国产日韩 日韩亚州 国产欧美日韩精品高清二区综合区 亚洲午夜国产片在线观看 精品久久久久久中文字幕 欧美精品1区 久久伊人久久亚洲综合 亚洲欧美日韩精品 国产成人精品久久亚洲高清不卡 久久福利影视 国产精品99精品久久免费 久久久久免费精品视频 国产日产亚洲精品 亚洲国产午夜电影在线入口 精品无码一区在线观看 午夜国产精品视频 亚洲一级片免费 伊人久久大香线蕉综合影 国产精品久久影院 久碰香蕉精品视频在线观看 www.欧美精品 在线小视频国产 亚洲国产天堂久久综合图区 欧美一区二区三区不卡 日韩美女福利视频 九九精品免视频国产成人 不卡国产00高中生在线视频 亚洲第一页在线视频 欧美日韩在线播放成人 99re视频这里只有精品 国产精品91在线 精品乱码一区二区三区在线 国产区久久 91麻豆精品国产自产在线观看一区 日韩精品成人在线 九九热在线观看 国产精品久久不卡日韩美女 欧美一区二区三区综合色视频 欧美精品免费一区欧美久久优播 国产精品网址 国产专区中文字幕 国产精品欧美亚洲韩国日本久久 日韩美香港a一级毛片 久久精品123 欧美一区二区三区免费看 99r在线视频 亚洲精品国产字幕久久vr 国产综合激情在线亚洲第一页 91免费国产精品 日韩免费小视频 亚洲国产精品综合一区在线 国产亚洲第一伦理第一区 在线亚洲精品 国产精品一区二区制服丝袜 国产在线成人精品 九九精品免视频国产成人 亚洲国产网 欧美日韩亚洲一区二区三区在线观看 在线亚洲精品 欧美一区二区三区高清视频 国产成人精品男人的天堂538 欧美日韩在线观看区一二 亚洲欧美一区二区久久 久久精品中文字幕首页 日本高清www午夜视频 久久精品国产免费 久久999精品 亚洲国产精品欧美综合 88国产精品视频一区二区三区 91久久偷偷做嫩草影院免费看 国产精品夜色视频一区二区 欧美日韩导航 国产成人啪精品午夜在线播放 一区二区视频在线免费观看 99久久精品国产自免费 精液呈暗黄色 久久99国产精品 日本精品久久久久久久久免费 精品国产97在线观看 99re视频这里只有精品 国产视频91在线 999av视频 亚洲美女视频一区二区三区 久久97久久97精品免视看 亚洲国产成人久久三区 99久久亚洲国产高清观看 日韩毛片在线视频 综合激情在线 91福利一区二区在线观看 一区二区视频在线免费观看 激情粉嫩精品国产尤物 国产成人精品曰本亚洲78 国产成人精品本亚洲 国产精品成人免费视频 国产成人啪精品视频免费软件 久久精品国产亚洲妲己影院 国产精品成人久久久久久久 久久大香线蕉综合爱 欧美一区二区三区高清视频 99热国产免费 在线观看欧美国产 91精品视频在线播放 国产精品福利社 欧美精品一区二区三区免费观看 国产一区二区免费视频 国产午夜精品一区二区 精品视频在线观看97 91精品福利久久久 国产一区福利 国产综合激情在线亚洲第一页 国产精品久久久久久久久久久不卡 九色国产 在线日韩国产 黄网在线观看 亚洲一区小说区中文字幕 中文字幕丝袜 日本二区在线观看 日本国产一区在线观看 欧美日韩一区二区三区久久 欧美精品亚洲精品日韩专 国产日产亚洲精品 久久综合九色综合欧美播 亚洲国产欧美无圣光一区 欧美视频区 亚洲乱码视频在线观看 久久无码精品一区二区三区 九九热精品免费视频 久久99精品久久久久久牛牛影视 国产精品成久久久久三级 国产一区福利 午夜国产精品视频 日本二区在线观看 99久久网站 国产亚洲天堂 精品国产一区二区三区不卡 亚洲国产日韩在线一区 国产成人综合在线观看网站 久久免费高清视频 欧美在线导航 午夜精品久久久久久99热7777 欧美久久综合网 国产小视频精品 国产尤物在线观看 亚洲国产精品综合一区在线 欧美一区二区三区不卡视频 欧美黑人欧美精品刺激 日本福利在线观看 久久国产偷 国产手机精品一区二区 国产热re99久久6国产精品 国产高清啪啪 欧美亚洲国产成人高清在线 国产在线第三页 亚洲综合一区二区三区 99r在线视频 99精品久久久久久久婷婷 国产精品乱码免费一区二区 国产在线精品福利91香蕉 国产尤物视频在线 五月婷婷亚洲 中文字幕久久综合伊人 亚洲精品一级毛片 99国产精品电影 在线视频第一页 久久99国产精品成人欧美 国产白白视频在线观看2 成人精品一区二区www 亚洲成人网在线观看 麻豆91在线视频 色综合合久久天天综合绕视看 久久精品国产免费高清 国产不卡一区二区三区免费视 欧美国产中文 99精品欧美 九九在线精品 国产中文字幕在线免费观看 国产一区中文字幕在线观看 国产成人一级 国产精品一区二区制服丝袜 国产一起色一起爱 亚洲精品成人在线 亚洲欧美精品在线 国产欧美自拍视频 99精品久久久久久久婷婷 久99视频 国产热re99久久6国产精品 视频一区亚洲 国产精品视频分类 国产精品成在线观看 99re6久精品国产首页 亚洲在成人网在线看 亚洲国产日韩在线一区 久久国产三级 日韩国产欧美 欧美在线一区二区三区 国产精品美女一级在线观看 成人午夜免费福利视频 亚洲天堂精品在线 91精品国产手机 欧美日韩视频在线播放 狠狠综合久久综合鬼色 九一色视频 青青视频国产 亚洲欧美自拍一区 中文字幕天天躁日日躁狠狠躁97 日韩免费大片 996热视频 伊人成综合网 亚洲天堂欧美 日韩精品亚洲人成在线观看 久久综合给会久久狠狠狠 日韩精品亚洲人成在线观看 日韩国产欧美 亚洲成aⅴ人片在线影院八 亚洲精品1区 99久久精品免费 国产精品高清在线观看 国产精品久久久免费视频 在线亚洲欧美日韩 91在线看视频 国产精品96久久久久久久 欧美日韩国产成人精品 91在线亚洲 热久久亚洲 国产精品美女免费视频观看 日韩在线毛片 亚洲永久免费视频 九九免费在线视频 亚洲一区网站 日本高清二区视频久二区 精品国产美女福利在线 伊人久久艹 国产精品久久久久三级 欧美成人精品第一区二区三区 99久久精品国产自免费 在线观看日韩一区 国产中文字幕一区 成人免费午夜视频 欧美日韩另类在线 久久99国产精品成人欧美 色婷婷中文网 久久天天躁夜夜躁狠狠躁2020 欧美成人伊人久久综合网 国产精品福利资源在线 国产伦精品一区二区三区高清 国产精品亚洲综合色区韩国 亚洲一区欧美日韩 色综合视频 国语自产精品视频在线区 国产高清a 成人国内精品久久久久影 国产在线精品香蕉综合网一区 国产不卡在线看 国产成人精品精品欧美 国产欧美日韩综合精品一区二区三区 韩国电影一区二区 国产在线视频www色 91中文字幕在线一区 国产人成午夜免视频网站 亚洲综合一区二区三区 色综合视频一区二区观看 久久五月网 九九热精品在线观看 国产一区二区三区国产精品 99久热re在线精品996热视频 亚洲国产网 在线视频亚洲一区 日韩字幕一中文在线综合 国产高清一级毛片在线不卡 精品国产色在线 国产高清视频一区二区 精品日本久久久久久久久久 亚洲国产午夜精品乱码 成人免费国产gav视频在线 日韩欧美一区二区在线观看 欧美曰批人成在线观看 韩国电影一区二区 99re这里只有精品6 日韩精品一区二区三区视频 99re6久精品国产首页 亚洲欧美一区二区三区导航 欧美色图一区二区三区 午夜精品视频在线观看 欧美激情在线观看一区二区三区 亚洲热在线 成人国产精品一区二区网站 亚洲一级毛片在线播放 亚洲一区小说区中文字幕 亚洲午夜久久久久影院 国产自产v一区二区三区c 国产精品视频免费 久久调教视频 国产成人91激情在线播放 国产精品欧美亚洲韩国日本久久 久久亚洲日本不卡一区二区 91中文字幕网 成人国产在线视频 国产视频91在线 欧美成人精品第一区二区三区 国产精品福利在线 久久综合九色综合精品 欧美一区二区三区精品 久久国产综合尤物免费观看 久久99青青久久99久久 日韩精品免费 久久国产精品999 91亚洲视频在线观看 国产精品igao视频 色综合区 在线亚洲欧国产精品专区 国产一区二区三区在线观看视频 亚洲精品成人在线 一区二区国产在线播放 中文在线亚洲 亚洲精品第一国产综合野 国产一区二区精品久久 一区二区三区四区精品视频 99热精品久久 中文字幕视频二区 国产成人精品男人的天堂538 99精品影视 美女福利视频一区二区 久久午夜夜伦伦鲁鲁片 综合久久久久久久综合网 国产精品国产欧美综合一区 国产99视频在线观看 国产亚洲女在线精品 婷婷影院在线综合免费视频 国产亚洲3p一区二区三区 91成人爽a毛片一区二区 亚洲一区二区高清 国产欧美亚洲精品第二区首页 欧美日韩导航 亚洲高清二区 欧美激情观看一区二区久久 日韩毛片在线播放 亚洲欧美日韩高清中文在线 亚洲日本在线播放 国产精品一区二区制服丝袜 精品国产一区二区三区不卡 国产不卡在线看 国产欧美网站 四虎永久在线观看视频精品 国产黄色片在线观看 夜夜综合 一本色道久久综合狠狠躁篇 欧美亚洲综合另类在线观看 国产91在线看 伊人久久国产 欧美一区二区在线观看免费网站 国产精品久久久久三级 久久福利 日韩中文字幕a 亚洲午夜久久久久影院 91在线高清视频 国产亚洲一区二区三区啪 久久人精品 国产精品亚洲午夜一区二区三区 综合久久久久久 久久伊人一区二区三区四区 国产综合久久久久久 日韩一区精品视频在线看 国产精品日韩欧美制服 日本精品1在线区 99re视频 无码av免费一区二区三区试看 国产视频1区 日韩欧美中文字幕一区 日本高清中文字幕一区二区三区a 亚洲国产欧美无圣光一区 国产在线视频一区二区三区 欧美国产第一页 在线亚洲欧美日韩 日韩中文字幕第一页 在线不卡一区二区 伊人久久青青 国产精品一区二区在线播放 www.五月婷婷 麻豆久久婷婷国产综合五月 亚洲精品区 久久国产欧美另类久久久 99在线视频免费 伊人久久中文字幕久久cm 久久精品成人免费看 久久这里只有精品首页 88国产精品视频一区二区三区 中文字幕日本在线mv视频精品 国产在线精品成人一区二区三区 伊人精品线视天天综合 亚洲一区二区黄色 国产尤物视频在线 亚洲精品99久久久久中文字幕 国产一区二区三区免费观看 伊人久久大香线蕉综合电影网 国产成人精品区在线观看 日本精品一区二区三区视频 日韩高清在线二区 久久免费播放视频 一区二区成人国产精品 国产精品免费精品自在线观看 亚洲精品视频二区 麻豆国产精品有码在线观看 精品日本一区二区 亚洲欧洲久久 久久中文字幕综合婷婷 中文字幕视频在线 国产成人精品综合在线观看 91精品国产91久久久久福利 精液呈暗黄色 香蕉国产综合久久猫咪 国产专区精品 亚洲精品无码不卡 国产永久视频 亚洲成a人片在线播放观看国产 一区二区国产在线播放 亚洲一区二区黄色 欧美日韩在线观看视频 亚洲精品另类 久久国产综合尤物免费观看 国产一区二区三区国产精品 高清视频一区 国产精品igao视频 国产精品资源在线 久久综合精品国产一区二区三区 www.五月婷婷 精品色综合 99热国产免费 麻豆福利影院 亚洲伊人久久大香线蕉苏妲己 久久电影院久久国产 久久精品伊人 在线日韩理论午夜中文电影 亚洲国产欧洲综合997久久 伊人国产精品 久草国产精品 欧美一区精品二区三区 亚洲成人高清在线 91免费国产精品 日韩精品福利在线 国产一线在线观看 国产不卡在线看 久久99青青久久99久久 亚洲精品亚洲人成在线播放 99久久免费看国产精品 国产日本在线观看 青草国产在线视频 麻豆久久婷婷国产综合五月 国产中文字幕一区 91久久精品国产性色也91久久 国产一区a 国产欧美日韩成人 国产亚洲女在线精品 一区二区美女 中文字幕在线2021一区 在线小视频国产 久久这里只有精品首页 国产在线第三页 欧美日韩中文字幕 在线亚洲+欧美+日本专区 精品国产一区二区三区不卡 久久这里精品 欧美在线va在线播放 精液呈暗黄色 91精品国产手机 91在线免费播放 欧美视频亚洲色图 欧美国产日韩精品 日韩高清不卡在线 精品视频免费观看 欧美日韩一区二区三区四区 国产欧美亚洲精品第二区首页 亚洲韩精品欧美一区二区三区 国产精品视频免费 在线精品小视频 久久午夜夜伦伦鲁鲁片 国产无套在线播放 久热这里只精品99re8久 欧美久久久久 久久香蕉国产线看观看精品蕉 国产成人精品男人的天堂538 亚洲人成网站色7799在线观看 日韩在线第二页 一本色道久久综合狠狠躁篇 国产一区二区三区不卡在线观看 亚洲乱码在线 在线观看欧美国产 久久福利青草精品资源站免费 国产玖玖在线观看 在线亚洲精品 亚洲成aⅴ人在线观看 精品91在线 欧美一区二三区 日韩中文字幕视频在线 日本成人一区二区 日韩免费专区 国内精品在线观看视频 久久国产综合尤物免费观看 国产精品系列在线观看 一本一道久久a久久精品综合 亚洲免费播放 久久精品国产免费 久久人精品 亚洲毛片网站 亚洲成a人一区二区三区 韩国福利一区二区三区高清视频 亚洲精品天堂在线 一区二区三区中文字幕 亚洲国产色婷婷精品综合在线观看 亚洲国产成人久久笫一页 999国产视频 国产精品香港三级在线电影 欧美日韩一区二区三区四区 日韩国产欧美 国产精品99一区二区三区 午夜国产精品理论片久久影院 亚洲精品中文字幕麻豆 亚洲国产高清视频 久久免费手机视频 日韩a在线观看 五月婷婷亚洲 亚洲精品中文字幕麻豆 中文字幕丝袜 www国产精品 亚洲天堂精品在线 亚洲乱码一区 国产日韩欧美三级 久久999精品 伊人热人久久中文字幕 久热国产在线视频 国产欧美日韩在线观看一区二区三区 国产一二三区在线 日韩国产欧美 91精品国产91久久久久 亚洲一区小说区中文字幕 精品一区二区免费视频 国产精品视频免费 国产精品亚洲综合色区韩国 亚洲国产精品成人午夜在线观看 欧美国产日韩精品 中文字幕精品一区二区精品