專利名稱：電子束發生裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種通過使用激光來產生電子束的裝置。
背景技術：
通常，電子槍是指一種使電子流以細的束的形式會聚，以便排出的設備，例如電子顯微鏡、行波管、布勞恩(Braim)管等等。
現有技術的電子槍使用電磁波來加速穿過耦合器內部的電子束。也就是，使電磁波穿過形成在耦合器中的耦合孔入射到耦合器的內部。然而，耦合孔導致了耦合器內部的電場失去均衡性。電場失去均衡性使電子束的發射度增大，導致電子束的質量下降。
發明內容
技術問題 因此，本發明的目的是提供一種能夠減少電子束發射度的電子束發生裝置。
本發明的技術目標不限于上面所提到的，并且本領域技術人員通過下面的描述可以清楚地認識到至此未提及的其它任何技術目標。
技術方案 為了實現上述目的，本發明提供一種用于產生電子束的裝置，包括外殼，所述外殼包括產生電子束的后部；具有電子束發射孔的前部，所述電子束發射孔用來將所述電子束發射到外部；以及將所述后部與所述前部相連接的側部，所述側部具有第一孔，并且面對所述第一孔的相對的側部具有第二孔以便減少所述第一孔引起的電場的不均衡；以及波導管，所述波導管安裝在所述側部上以便通過所述第一孔向所述外殼的內部供給電磁波， 其中由激光產生的所述電子束入射到所述外殼的內部并且被供給到所述外殼的內部的所述電磁波加速。
可以使所述激光通過所述前部被入射到所述外殼的內部。
所述裝置可以進一步包括第一抽吸口，所述第一抽吸口安裝在所述側部并且通過所述第二孔排出所述外殼的內部的空氣，以使所述外殼的內部成為真空。
所述第二孔的形狀可以與所述第一孔的形狀不同。
所述第二孔可以形成為在一個方向伸長的形狀。
所述第二孔可以是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
所述側部可以包括第一和第二側部，所述前部可以與所述第一側部相聯結，所述第一和第二側部可以由連接部相連接，所述第二側部可以與所述后部相聯結，并且所述第一和第二孔可以形成在所述第一外殼或第二外殼上。
所述外殼可以包括入射孔和發射孔，激光通過所述入射孔被入射到所述外殼的內部，在所述外殼的內部被反射的所述激光通過所述發射孔被發射出。
可以使激光通過所述電子束發射孔被入射，并且可以使從所述后部被反射的激光通過所述電子束發射孔被發射出。
3 第三孔可以形成在所述外殼的所述側部上的第一孔與第二孔之間的中部，第四孔可以形成在面對所述第三孔的相對的側部上，以便減小由所述第一孔引起的電場的不均 所述第三孔和第四孔可以具有在一個方向伸長的形狀。
所述第三孔和第四孔可以是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
所述第二孔到第四孔可以具有相同的形狀。
第二抽吸口可以安裝在第三孔所形成的位置處，第三抽吸口可以安裝在第四孔所形成的位置處。
有益效果 根據本發明的示例性實施例，由于電場的均衡性得以改善，因此能夠減少電子束的發射度。
此外，與現有技術的激光輸入孔和激光輸出孔分別形成在外殼側部的電子束發生裝置相比，在本發明的一個示例性實施例中，只有一個孔形成在外殼的前部，用來輸入和輸出激光束，并且也用作電子束發射孔，這樣便于制造。
本發明的技術效果不限于上述技術效果，并且本領域技術人員通過下面的描述可以清楚地理解未提及的其它技術效果。
從下面結合附圖給出的優選實施例的描述中，本發明的上述和其它目的和特征將變得更加明顯，附圖中 圖1是示意性地示出在理想條件下沒有耦合孔的外殼的剖視圖，圖2是示出在理想條件下沒有耦合孔的外殼的電場的曲線圖； 圖3是示意性地示出具有單個耦合孔的外殼的剖視圖，圖4是示出具有單個耦合孔的外殼的電場的曲線圖； 圖5是示意性地示出具有耦合孔和單個抽吸孔的外殼的剖視圖，圖6是示出具有具有耦合孔和單個抽吸孔的外殼的電場的曲線圖； 圖7是示意性地示出具有耦合孔和三個抽吸孔的外殼的剖視圖，圖8是示出具有具有耦合孔和三個抽吸孔的外殼的電場的曲線圖； 圖9是根據本發明一個示例性實施例的電子束發生裝置的模擬設備的布局視圖； 圖10是根據本發明第一示例性實施例的電子束發生裝置的透視圖； 圖11是根據本發明第一示例性實施例的電子束發生裝置垂直于χ軸切開的剖視圖； 圖12是根據本發明第一示例性實施例的電子束發生裝置垂直于ζ軸切開的剖面透視圖； 圖13是示出根據本發明第一示例性實施例的電子束發生裝置的抽吸孔的形狀的示意圖； 圖14是示出根據本發明第一示例性實施例的電子束發生裝置的Ll與傅立葉系數 (Fourier coefficient)之間關系的曲線圖； 圖15是根據本發明第二示例性實施例的電子束發生裝置的透視圖； 圖16是根據本發明第二示例性實施例的電子束發生裝置垂直于χ軸切開的側面剖視圖； 圖17是根據本發明第二示例性實施例的電子束發生裝置垂直于ζ軸切開的側面剖面透視圖； 圖18是根據本發明第二示例性實施例的電子束發生裝置垂直于ζ軸切開的剖面透視圖； 圖19是示出根據本發明第二示例性實施例的電子束發生裝置的L2與傅立葉系數之間關系的曲線圖； 圖20是示出根據本發明第一和第二示例性實施例的電場的角度分布的曲線圖； 以及 圖21是示出根據本發明第二示例性實施例的相對于ζ軸的y軸方向的標準化發射度的模擬結果的曲線圖。
具體實施例方式在下文中，將參照附圖描述本發明的示例性實施例。然而，本發明的所述實施例可以改變為其它的一些形式，并且本發明的范圍不應當被認為是局限于下面的實施例。本發明的實施例旨在為本領域技術人員更全面地解釋本發明。因此，附圖中所示的元件的形狀等被夸大來強調有區別的說明，并且附圖中由相同的附圖標記所標識的元件表示相同的元件。
需要功率大但發射度小的用于產生電子束的裝置。發射度ε有三個分量并且由下面所示的等式1來表示 [等式1]
權利要求
1.一種用于產生電子束的裝置，所述裝置包括外殼，所述外殼包括產生電子束的后部；具有電子束發射孔的前部，所述電子束發射孔用來將所述電子束發射到外部；以及將所述后部與所述前部相連接的側部，所述側部具有第一孔，并且面對所述第一孔的相對的側部具有第二孔以便減少所述第一孔引起的電場的不均衡；以及波導管，所述波導管安裝在所述側部上以便通過所述第一孔向所述外殼的內部供給電磁波，其中由入射到所述外殼的內部的激光產生所述電子束，并且所述電子束被供給到所述外殼的內部的所述電磁波加速。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述激光通過所述前部被入射到所述外殼的內部。
3.根據權利要求1所述的裝置，進一步包括第一抽吸口，所述第一抽吸口安裝在所述側部，并且通過所述第二孔排出所述外殼內部的空氣，以使所述外殼的內部成為真空。
4.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述第二孔的形狀與所述第一孔的形狀不同。
5.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述第二孔形成為在一個方向伸長的形狀。
6.根據權利要求5所述的裝置，其中，所述第二孔是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
7.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述側部包括第一和第二側部，所述前部與所述第一側部相聯結，所述第一和第二側部由連接部相連接，所述第二側部與所述后部相聯結， 并且所述第一和第二孔形成在所述第一外殼或第二外殼上。
8.根據權利要求1所述的裝置，其中，所述外殼包括入射孔和發射孔，激光通過所述入射孔被入射到所述外殼的內部，在所述外殼的內部被反射的所述激光通過所述發射孔被發射。
9.根據權利要求1所述的裝置，其中，使激光通過所述電子束發射孔被入射，并且使從所述后部被反射的激光通過所述電子束發射孔被發射。
10.根據權利要求1所述的裝置，其中，第三孔形成在所述外殼的所述側部上的第一孔與第二孔之間的中部，第四孔形成在面對所述第三孔的相對的側部上，以便減小由所述第一孔引起的電場的不均衡。
11.根據權利要求10所述的裝置，其中，所述第三孔和第四孔具有在一個方向伸長的形狀。
12.根據權利要求11所述的裝置，其中，所述第三孔和第四孔是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
13.根據權利要求10所述的裝置，其中，所述第二孔到第四孔具有相同的形狀。
14.根據權利要求10所述的裝置，其中，第二抽吸口安裝在第三孔所形成的位置處，第三抽吸口安裝在第四孔所形成的位置處。
全文摘要
本發明涉及一種能夠減少電子束發射度的電子束發生裝置。為此目的，根據本發明的所述電子束發生裝置包括外殼，所述外殼包括產生電子束的后表面部；具有電子束發射孔的前表面部，所述電子束發射孔用來將所產生的電子束發射到外部；以及將所述后表面部與所述前表面部相連接的側表面部，其中所述側表面部具有第一孔，并且面對所述第一孔的相對的側部具有第二孔以便減少所述第一孔引起的電場的不均衡；以及波導管，所述波導管安裝在所述側表面部上以便通過所述第一孔將電磁波供給到所述外殼的內部。提供到所述外殼內的激光束產生電子束，所產生的電子束被供給到所述外殼內的所述電磁波加速。
文檔編號H01J23/06GK102187422SQ201080002969
公開日2011年9月14日 申請日期2010年8月10日 優先權日2009年8月21日
發明者樸龍云, 樸成柱, 高仁洙, 金昶范, 洪周浩, 文成益 申請人:浦項工科大學校產學協力團