專利名稱：一種等離子處理設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種等離子處理設備，尤其是涉及等離子處理設備內的電極板溫 度控制結構。
背景技術：
等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰 化和表面活化、改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行 涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。在現有的等離子 處理設備當中，其電極無冷卻處理方式，其產品在不均勻的溫度環境中，導致產品處理均 勻性差，處理效果不理想。
實用新型內容本實用新型的目的在于針對現有技術的缺陷，提供一種能改善產品處理均勻 性的等離子處理設備。為解決上述技術問題，本實用新型采用了以下的技術方案設計一種等離子處理 設備，包括具有腔體的殼體和位于該腔體內部的電極板，所述電極板的內部開有可供冷卻 流體介質流經的流道。與現有技術相比，本實用新型由于在電極板內部開有冷卻流體介質流道，當冷卻 流體介質流經該冷卻流體介質流道時可對電極板進行冷卻，使電極板的溫度保持在基本恒 定的狀態，從而提高了等離子處理設備的處理均勻性，改善了處理效果。優選地，所述電極板上設有間隔分布的冷卻流體介質流入管和冷卻流體介質流 出管，所述冷卻流體介質流入管與所述流道的入口對接，所述冷卻流體介質流出管與所述 流道的出口對接。優選地，所述冷卻流體介質流入管和冷卻流體介質流出管固定連接在所述電極 板的頂部。優選地，所述冷卻流體介質為冷卻液或冷卻氣體，所述冷卻液可以為冷卻油或冷 卻水。優選地優選地
耐腐蝕性。優選地
性更好。優選地，所述流道與所述電極板的邊平行或垂直，流道在電極板內縱橫交錯且相 互連通，這樣的設置便于流道的加工。優選地，所述電極板的表面連接有測溫儀器，可實時感測并準確地控制電極表面溫度。
所述電極板垂直且相互平行地設置在所述腔體內。 所述電極板為鋁合金板，不但具有良好的導電性能，而且還具有很強的
所述流道的橫截面為圓形，既便于加工，又可使得冷卻流體介質的流動
圖1是本實用新型等離子處理設備的一種實施例的立體圖。圖2是圖1所示等離子處理設備的帶透視效果的側視圖。圖3是圖1所示等離子處理設備中的一塊電極板的立體圖。圖4是圖3所示電極板的帶透視效果的正視圖。
具體實施方式
如圖1至圖4所示，本實用新型的等離子處理設備10包括了殼體1，該殼體1可通 過其背部的固定架9固定于墻體或其它固定座上。殼體1內具有腔體2，該腔體2內部垂直 且相互平行地設置有多塊電極板3，多塊電極板3為正負極相間分布。其中，電極板3最好 為鋁合金板，這樣不但具有良好的導電性能，而且還具有很強的耐腐蝕性。此外，所述殼體 1的頂部還設有測溫探頭7，該測溫探頭7通過測溫線8連接于每塊電極板3的表面，以實 時感測電極板3的表面溫度，從而可準確地控制電極板3的表面溫度。每塊電極板3的內部均開有可供冷卻流體介質流經的流道4，流道4的橫截面最好 為圓形，這樣既便于加工，又可使得冷卻流體介質的流動性更好。此外，所述流道4與電極 板3的邊平行或垂直，流道4在電極板3內縱橫交錯且相互連通，這樣的設置便于流道4的 加工。電極板3的頂部固定連接有間隔分布的冷卻流體介質流入管5和冷卻流體介質流出 管6，冷卻流體介質流入管5與流道4的入口 41對接，冷卻流體介質流出管6與流道4的出 口 42對接。冷卻流體介質流入管5和冷卻流體介質流出管6分別穿過殼體1的頂部并連 接于冷卻流體介質循環設備(未示出)。所述冷卻流體介質可為冷卻水、冷卻油、冷卻氣體或 其它的冷卻流體介質。需要說明的是，以上僅為本實用新型的優選實施方式，并不能理解為對本實用新 型保護范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型 發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，例如所述電極板并不限于鋁合金材質， 其分布方式也不限于垂直分布，以上這些變形和改進均在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種等離子處理設備，包括具有腔體的殼體和位于該腔體內部的電極板，其特征在 于所述電極板的內部開有可供冷卻流體介質流經的流道。
2.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述電極板上設有間隔分布 的冷卻流體介質流入管和冷卻流體介質流出管，所述冷卻流體介質流入管與所述流道的入 口對接，所述冷卻流體介質流出管與所述流道的出口對接。
3.根據權利要求2所述的等離子處理設備，其特征在于所述冷卻流體介質流入管和 冷卻流體介質流出管固定連接在所述電極板的頂部。
4.根據權利要求3所述的等離子處理設備，其特征在于所述冷卻流體介質為冷卻液 或冷卻氣體。
5.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述電極板垂直且相互平行 地設置在所述腔體內。
6.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述電極板為鋁合金板。
7.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述流道的橫截面為圓形。
8.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述流道與所述電極板的邊 平行或垂直。
9.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述殼體上還設有測溫探 頭，該測溫探頭通過測溫線連接于所述電極板的表面。
10.根據權利要求9所述的等離子處理設備，其特征在于所述測溫探頭位于所述殼 體的頂部。
專利摘要本實用新型提供了一種等離子處理設備,包括具有腔體的殼體和位于該腔體內部的電極板，所述電極板的內部開有可供冷卻流體介質流經的流道。優選地,所述電極板上設有間隔分布的冷卻流體介質流入管和冷卻流體介質流出管，所述冷卻流體介質流入管與所述流道的入口對接，所述冷卻流體介質流出管與所述流道的出口對接。與現有技術相比,本實用新型由于在電極板內部開有冷卻流體介質流道，當冷卻流體介質流經該冷卻流體介質流道時可對電極板進行冷卻，使電極板的溫度保持在基本恒定的狀態，從而提高了等離子處理設備的處理均勻性，改善了處理效果。
文檔編號H01J37/32GK201887013SQ201020638640
公開日2011年6月29日 申請日期2010年12月2日 優先權日2010年12月2日
發明者丁雪苗 申請人:珠海寶豐堂電子科技有限公司