專利名稱：一種等離子處理設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種等離子處理設備，具體來說涉及這種設備的殼體屏蔽層構造。
背景技術：
等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰 化和表面活化、改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行 涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。長期以來，等離子 處理設備的殼體與其腔體內部的電極之間的屏蔽一直都是采用傳統的方法，即，將殼體與 腔體之間距離增大，因此存在屏蔽不完全的缺陷，而且增大了殼體的體積，從而增加了設備 成本，導致運輸困難。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種等離子處理設備，既能明顯改善產品的包裝性 能，又能有效地防止設備燒壞及操作人員人身安全事故的發生。為實現上述目的，本實用新型提供了一種等離子處理設備，包括具有腔體的殼體 和位于該腔體內部的電極，所述殼體的內壁上固定有屏蔽層，所述屏蔽層包括了固定板和 絕緣氟膠板，所述絕緣氟膠板位于所述固定板與所述殼體之間；其中，所述絕緣氟膠板緊貼 于所述殼體的內壁，所述固定板緊貼于所述絕緣氟膠板的表面上。作為本實用新型的一個方面，所述固定板、絕緣氟膠板和殼體上分別設有相互連 通的連接孔，所述連接孔處穿設有緊固件。較好地，所述連接孔處還設有可供所述緊固件穿 過的氟膠管，所述緊固件與所述固定板之間設有可完全覆蓋所述連接孔的氟膠墊片。作為本實用新型的另一個方面，所述絕緣氟膠板粘貼于所述殼體的內壁，所述固 定板粘貼于所述絕緣塑膠板的靠近所述電極的表面上。優選地，所述絕緣氟膠板和固定板的厚度均為2mm。優選地，所述固定板與所述電極之間絕緣。優選地，所述固定板為金屬板，當然也可以是由非金屬材料制成，只要能夠起到將 絕緣氟膠板固定在殼體內壁上，以防止絕緣氟膠板變形彎曲的作用即可。與現有技術相比，本實用新型具有以下優點。1.由于殼體內壁的屏蔽層采用了絕緣氟膠板，不但具有一定的柔韌性，而且還可 以耐高溫(最高可達300攝氏度)而不變形、不變質。2.利用固定板將絕緣氟膠板固定在殼體內壁上，可防止絕緣氟膠板變形彎曲。3.屏蔽絕緣效果更好。
圖1是本實用新型等離子處理設備的實施例一的立體圖。
3[0015]圖2是圖1的A局部放大圖。圖3是本實用新型等離子處理設備的實施例二的正視圖。圖4是圖3的B局部放大圖。
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
具體實施方式
實施例一如圖1和圖2所示的一種等離子處理設備10，包括具有腔體的殼體1和 位于該腔體內部的正電極2和負電極3，殼體1的內壁上固定有由金屬板4和絕緣氟膠板5 構成的屏蔽層，絕緣氟膠板5位于金屬板4與殼體1之間，金屬板4用于將絕緣氟膠板5固 定在殼體1內壁上，防止絕緣氟膠板5變形彎曲。金屬板5與正電極2、負電極3之間相互 絕緣。絕緣氟膠板4緊貼于殼體1的內壁，金屬板4緊貼于絕緣氟膠板5的朝向正電極2和 負電極3的表面上。在本實施例中，絕緣氟膠板5和金屬板4的厚度均為2mm。這樣，在保 障設計效果的前提下可以盡量減少金屬板4和絕緣氟膠板5對腔體內部空間的影響。由于 絕緣氟膠板5屬于軟性的塑膠材質，故其包裹在殼體1內壁上容易發生彎曲，使用金屬板4 使其總是平整牢固地緊貼在殼體1內壁上，殼體1與腔體內部的正負電極完全絕緣。在金 屬板4和絕緣氟膠板5的角部或合適的位置分別制有若干個大小和位置相適配的通孔，殼 體1上則制有對應的通孔或盲孔，金屬板5、絕緣氟膠板4上的通孔與殼體1上的對應通孔 或盲孔相互連通，從而形成了若干個貫穿金屬板4、絕緣氟膠板5以及殼體1的至少一部分 的連接孔6。利用氟膠管穿過連接孔6，再利用穿過氟膠管6的諸如螺絲或鉚釘等緊固件， 將金屬板5及絕緣氟膠板4牢固地固定在殼體1內壁上，緊固件與金屬板5之間最好還設 置可完全覆蓋連接孔6的氟膠墊片。實施例二 如圖3和圖4所示的另一種等離子處理設備20，同樣包括具有腔體的 殼體11和位于該腔體內部的正電極12和負電極13，殼體11的內壁上固定的屏蔽層也是由 金屬板14和絕緣氟膠板15構成，金屬板14的大小和形狀與絕緣氟膠板15相適配。與實 施例一當中采用連接孔和緊固件所不同的是，所述絕緣氟膠板15通過粘貼的方式緊固于 殼體11的內壁，而金屬板14采用粘貼的方式緊固于絕緣塑膠板15的靠近電極的表面上， 這樣同樣可以實現將金屬板14和絕緣氟膠板15牢固地固定在殼體11內壁上的目的。
權利要求一種等離子處理設備，包括具有腔體的殼體和位于該腔體內部的電極，所述殼體的內壁上固定有屏蔽層，其特征在于所述屏蔽層包括了固定板和絕緣氟膠板，所述絕緣氟膠板位于所述固定板與所述殼體之間；其中，所述絕緣氟膠板緊貼于所述殼體的內壁，所述固定板緊貼于所述絕緣氟膠板的表面上。
2.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述固定板、絕緣氟膠板和殼 體上分別設有相互連通的連接孔，所述連接孔處穿設有緊固件。
3.根據權利要求2所述的等離子處理設備，其特征在于所述連接孔處還設有可供所 述緊固件穿過的氟膠管，所述緊固件與所述固定板之間設有可完全覆蓋所述連接孔的氟膠 墊片。
4.根據權利要求1所述的等離子處理設備，其特征在于所述絕緣氟膠板粘貼于所述 殼體的內壁，所述固定板粘貼于所述絕緣塑膠板的靠近所述電極的表面上。
5.根據權利要求1至4任一項所述的等離子處理設備，其特征在于所述絕緣氟膠板 和固定板的厚度均為2mm。
6.根據權利要求1至4任一項所述的等離子處理設備，其特征在于所述固定板與所 述電極之間絕緣。
7.根據權利要求1至4任一項所述的等離子處理設備，其特征在于所述固定板為金 屬板。專利摘要本實用新型提供了一種等離子處理設備，包括具有腔體的殼體和位于該腔體內部的電極，所述殼體的內壁上固定有屏蔽層，所述屏蔽層包括了固定板和絕緣氟膠板，所述絕緣氟膠板位于所述固定板與所述殼體之間；其中，所述絕緣氟膠板緊貼于所述殼體的內壁，所述固定板緊貼于所述絕緣氟膠板的表面上。與現有技術相比，本實用新型等離子處理設備的殼體內壁上的屏蔽層采用了絕緣氟膠板，其屏蔽絕緣效果更好，具有一定的柔韌性，而且還可以耐高溫而不變形、不變質。
文檔編號H01J37/02GK201655739SQ20102014376
公開日2010年11月24日 申請日期2010年3月29日 優先權日2010年3月29日
發明者丁雪苗 申請人:珠海彼得氏等離子科技有限公司