專利名稱：可拆卸的放電弧室的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種放電弧室，特別涉及一種可自由拆卸并且安裝容易的放 電弧室。
背景技術：
目前，在半導體集成電路制造過程中，要求離子注入機具有整機可靠性好， 生產效率高的特性，上述特性跟離子源的穩定性及使用壽命都密不可分。在離 子源中，放電弧室是其關鍵部分，既對離子源等離子體的產生有作用，也同時 影響離子源的工作狀態和穩定可靠性。因此，放電弧室的設計十分重要。一種傳統的放電弧室釆用多塊金屬板鑲嵌式結構，雖然可以減少弧室加工原 材料的成本，但是在工作一段時間后，在高溫熱膨脹效應及氣體腐蝕作用下， 各金屬板之間的連接會產生結構變化，導致弧室的氣體密封性不好，從而產生 氣體外漏，影響離子源的長期工作穩定性。另一種傳統的放電弧室采用整體設計結構，在持續高溫熱膨脹及氣體腐蝕作 用下不易產生結構變形，但在長時間的電子及氣體碰撞下，弧室腔體內也會產 生磨損降低工作效率，從而要更換。由于該傳統的放電弧室是整體設計，不得 不連其他完好的部件也要舍棄，造成成本上升。因此，需要提供一種可拆卸并易于安裝的放電弧室，來實現降低成本的要求。實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種可拆卸的放電弧室，可靈活更換 安裝于其上的磨損部件，降低成本并且保證離子源長期工作的穩定可靠性。為了解決上述技術問題，本實用新型是這樣實現的 一種可拆卸的放電弧 室，其包括一主體，其具有一腔體，該腔體的底部具有一開孔；一底板，其可拆卸地安裝在該腔體的底部上方，具有一與上述開孔相對應的注入孑L;一前板，其可拆卸的豎直安裝于該主板的前側，其具有一^f敫孔用于安裝其 它部件；一后板，其可拆卸地豎直安裝于該主板的后側；及 兩側板，其可拆卸地豎直安裝于該主體的兩端。上述的可拆卸的放電弧室，其進一步包括該腔體的四周對稱設置有第一 固定孔及第二固定孔。本實用新型由于采用了上述的技術方案，使之與現有技術相比，具有以下 的優點和積^^效果1. 可靈活更換安裝于其上的磨損部件，降低成本并且保證離子源長期工作 的穩定可靠性。2. 整個裝置結構緊湊，移動方便，調整靈活。
本實用新型的可拆卸的放電弧室由以下的實施例及附圖給出。 圖1為本實用新型的可拆卸的放電弧室的主視圖。
具體實施方式
以下將對本實用新型的可拆卸的放電弧室作進一步的詳細描述。如圖1所示， 一》文電弧室1,包括一主體10, —底一反20， 一前板30， 一后 板40,及兩側板50。該主體10的中央部位具有一腔體101,作為離子體產生的場所。該腔體101 的底部具有一開孔102,使氣體從中通過得以進入該腔體101以與電子反應而生 成離子體。該腔體101的四周對稱設置有四個第一固定孔103及第二固定孔104, 其通過螺桿(圖中未示)使腔體101與離子源外殼相連接，從而使該放電弧室1 能 固設在離子注入機內。該底板20可拆卸地安裝在該腔體101的底部上方，具有一與上述開孔102 相對應的注入孔201,使產生離子的氣體得以通過。該前板30可拆卸的豎直安裝于該主體10的前側，其具有一微孔301，該微孔用于安裝電子反射板(圖中 未示)等其它部件。該后板40可拆卸地豎直安裝于該主板的后側，該兩側板50 分別可拆卸地豎直安裝于該主體10的兩端。當在電離及腐蝕作用下，該底板20被磨損需要更換時，可手動將其與該主 體10分離以安裝新的底板20，從而得以節約成本。該前板30，后板40及兩側 板50也可方便地從該主板10上拆卸及安裝。
權利要求1.一種可拆卸的放電弧室，其特征在于，包括一主體，其具有一腔體，該腔體的底部具有一開孔；一底板，其可拆卸地安裝在該腔體的底部上方，具有一與上述開孔相對應的注入孔；一前板，其可拆卸的豎直安裝于該主體的前側，其具有一微孔用于安裝其它部件；一后板，其可拆卸地豎直安裝于該主體的后側；兩側板，其可拆卸地豎直安裝于該主體的兩側。
2. 如權利要求1所述的可拆卸的放電弧室，其特征在于進一步包括該腔 體的四周對稱設置有第 一 固定孔及第二固定孔。
專利摘要本實用新型提出了一種可拆卸的放電弧室，包括一主體，其具有一腔體，該腔體的底部具有一開孔；一底板，其可拆卸地安裝在該腔體的底部上方，具有一與上述開孔相對應的注入孔；一前板，其可拆卸的豎直安裝于該主板的前側，其具有一微孔用于安裝其它部件；一后板，其可拆卸地豎直安裝于該主板的后側；及兩側板，其可拆卸地豎直安裝于該主體的兩端。該放電弧室上的部件可拆卸并易于安裝，得以靈活更換安裝于其上的磨損部件，降低成本并且保證離子源長期工作的穩定可靠性。
文檔編號H01J37/08GK201117619SQ20072007655
公開日2008年9月17日 申請日期2007年11月8日 優先權日2007年11月8日
發明者何春雷, 潘升林, 曉 陳, 陳勇杉 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司