布線板、電子源以及圖像顯示設備的制造方法

專利名稱：布線板、電子源以及圖像顯示設備的制造方法
技術領域：
本發明涉及布線板的制造方法、電子源的制造方法、圖像顯示設 備的制造方法以及圖像再現設備。
背景技術：
在使用電子發射器件的平板顯示器中，電壓被選擇性地施加到在 排列成矩陣形式的多個布線(矩陣布線)的每個相交處或相交處附近 提供的電子發射器件上，以控制每個電子發射器件的電子發射并顯示 圖像。矩陣布線由被供以掃描信號的掃描布線和與掃描布線相交的并 被供以調制信號的信號布線構成。近些年來， 一直需要能夠顯示高精 細圖像的顯示器。因而，在需要形成更細的布線的同時，需要增加布 線的膜厚，以避免由于要形成更細的布線的趨勢而使得布線的電阻增 加。此外， 一直需要能夠更容易生產的顯示器。
作為對應于這些要求的一種解決方案，日本專利申請待審公開
No.2002 — 203475和日本專利申請待審公開No. 2005 — 190769披露了 一種方案，其中，利用被設置在基板表面中提供的槽內的導電骨，借 助于烘焙使布線掩埋在槽內，并和被提供在槽附近的電子發射器件相 連。
不過，在提供在基板表面的槽內印刷導電骨(含有布線材料的骨) 并對其烘焙而在槽內提供布線的方法中，有時由于在烘焙時布線材料 被烘焙而收縮，在布線和槽的內壁之間產生間隙。當間隙產生時，有 時在被提供在槽附近的基板表面上的電極(連接到電子發射器件的電 極或構成電子發射器件的電極)和槽內的布線之間的連接的可靠性降 低。當為了減少間隙而把槽用導電骨完全充滿時，如果溫度發生顯著
改變，有時在槽內帶電的布線由于在基板材料和布線材料之間的熱膨 脹系數不同而使得槽的內壁膨脹，因此在基板內產生裂縫或縫隙。需 要改善在位于槽附近的基板表面上被提供的電極和被提供在槽內的布 線之間的連接可靠性。

發明內容
本發明的目的在于提供一種布線板的制造方法，其中在槽內提供 的布線和位于槽附近的基板表面上提供的電極之間的連接的可靠性被 改善。
(1) 為實現上述目的，按照本發明的一個方面，提供一種制
造布線板的方法，所述布線板包括(A)具有槽和與槽相鄰的相鄰 區域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分 的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽內的第一區域內，所述第 二部分被提供在作為相鄰區域的一部分的第二區域內，所述方法包括 以下步驟制備具有槽的基板；使得作為相鄰區域的另一部分的第三 區域的圍繞所述第二區域以及所述槽的接觸角不同于第二區域的接觸 角；以及，至少對槽的內部和與槽相鄰的區域的一部分施加導電骨。
(2) 按照本發明的另一個方面，提供一種制造布線板的方法， 所述布線板包括(A)具有槽和與槽相鄰的相鄰區域的基板，以及
(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分的第一布線，所述 第一部分被提供在所述槽內的第一區域內，所述笫二部分被提供在作 為相鄰區域的一部分的第二區域內，所述方法包括以下步驟制備具 有槽的基板；使得作為相鄰區域的另一部分的第三區域的夾住第二區 域的接觸角不同于第二區域的接觸角；以及，至少對槽的內部和與槽 相鄰的區域的一部分施加導電骨。
(3) 按照本發明的另一方面，提供一種制造電子源的方法， 所述電子源包括具有第一布線和第二布線的布線板；以及多個電子 發射器件，它們被設置在所述布線板上，并具有和第一布線相連的第 一電極以及和第二布線相連的第二電極，其中所述布線板按照上面(l)
和(2)中所述的制造布線板的方法被制造。
(4) 按照本發明的另一方面，提供一種圖像顯示設備的制造 方法，所述圖像顯示設備包括電子源和發光部件，當從所述電子源發 出的電子被輻射時，所述發光部件發光，其中所述電子源按照上面(3) 中所述的制造電子源的方法制造。
(5) 按照本發明的另一個方面，提供一種圖像再現設備，其 至少包括接收單元，用于接收廣播信號和通過電通信網絡的信號中至 少之一，以及包括和所述接收單元相連的圖像顯示單元，其中所述圖 像顯示單元按照上面(4)中所述的制造圖像顯示設備的方法被制造。
因而，可以容易地以高可靠性實現在槽內提供的布線和位于槽附 近的基板表面上提供的電極之間的連接。


圖l是使用本發明的布線板和電子發射器件的電子源的例子的示 意平面圖2是沿著圖1的線A-A取的示意截面圖3是沿著圖1的線B-B取的示意截面圖4A，4B是在導電骨干燥之后的示意平面圖和示意截面圖5A，5B是在導電骨被烘焙之后的示意平面圖和示意截面圖6是按照印刷方法形成的電極和布線的示意截面圖7是按照印刷方法形成的電極和布線的示意截面圖8是按照本發明的TV單元的方框圖；以及
圖9A-9H表示本發明的布線板和電子源的制造過程。
具體實施例方式
下面參照圖9說明本發明的布線板(具有布線的基板)的制造方 法。也將說明將所述布線板應用于電子源的例子。圖9表示布線板和 電子源的制造過程。
這里示出了使用表面傳導電子發射器件作為電子發射器件的例有間隙的導電膜以及和所述導電膜的 兩端相連的一對電極構成。電子發射器件至少具有兩個電極，例如場
致發射電子發射器件、MIM型電子發射器件可以用作本發明的電子 源。可按照本發明的制造方法形成的布線板可以應用于各種顯示器和 顯示板，例如液晶顯示器、有機EL顯示器和等離子體顯示器。如果 任何功能器件例如上述的電子發射器件、EL器件、TFT被設置在本 發明的布線板上并和第一導體相連，則可以構成各種電子裝置例如顯 示器和電路。
<布線板和電子源的制造方法> (處理l)
首先，制備基板l，并在基板1的表面的預定位置形成沿X方向 延伸的多個槽2(圖9A)。雖然所示的X方向是相對于圖9的紙面的 左右方向，但是槽2也可以沿垂直方向(Y方向)形成。即，槽的延 伸方向可以是任何預定方向。
作為基板1的材料，可以使用任何絕緣材料，特別優選的是玻璃。 當然，允許使用配備有槽2的基板。
雖然已知的方法例如濕式蝕刻或千式蝕刻可以用作槽2的形成方 法，優選的是使用噴砂方法。因為利用噴砂方法形成的槽2的內壁具 有大的不平衡性，可以有效地用導電骨填充槽2。此外，還因為可以 抑制在布線4和在隨后的烘焙處理中獲得的槽2的內壁之間的干擾(發 生應力等)，所以該方法是優選的。 (處理2)
在位于槽2旁邊(鄰近于槽2)的基板l的表面(區域)上，提 供成對的電極第一電極91和第二電極92 (圖9B)。
作為電極91、 92的材料，可以使用任何導電材料。例如，作為 電極91、 92的材料，可以使用金屬材料。特別地，最好使用化學穩定 的金屬材料，例如鉑。作為成對電極的制造方法，可以使用公知的膜 形成方法，例如濺射方法。
在處理2之前，優選由氧化硅構成的膜被提供在基板1的表面上， 至少在要設置電子發射器件的區域。可以在形成基板1的槽2的整個 表面上形成所述的膜。可以通過濺射方法等形成氧化硅膜。通過形成 氧化硅膜，可以阻止堿金屬例如對形成在成對電極91、 92上的電子發 射器件有害的鈉從基板l擴散。同時，可以省略形成氧化硅膜的處理。
(處理3)
接著，第二區域712 (其中提供從布線的主要部分(布線的第一 部分)延伸的部分(布線的第二部分)5,第二區域是和槽2相鄰的區 域(第一區域711)的一部分)的接觸角，被設置成和與槽2相鄰的 區域的另一部分(其中不提供布線(第一部分4和第二部分5)的區 域)720的夾住第二區域712的接觸角不同。更具體地說，其中提供 笫二部分5的區域712的接觸角被設置成小于部分720的接觸角，部 分720是除去槽2之外的基板1的表面，并且其中不提供布線的第二 部分5 (第二部分5周圍的區域)(圖9C)。優選地，在構成基板l 的表面的第一區域711和第二區域712之間的接觸角被設置得小于其 中不提供布線的第二部分5的區域(第二部分5周圍的區域或第三區 域)720的接觸角。特別優選地，構成基板1的表面的第一區域711 和第二區域712的接觸角被設置得相等。作為一個實際值的例子，在 圖4B所示的例子中，其中形成布線的區域710(第一區域711和第二 區域712)的接觸角被設置為6度，而沒有形成布線的區域(3， 720) 的接觸角被設置為50度。上述的接觸角可被定義為用于形成布線(第 一部分4和第二部分5)的導電骨的溶劑(主要溶劑)相對于基板1 的接觸角。因為第二部分5在所示的例子中需要和電極91相連，所以 第二區域712包括電極91的一部分。這就是說，在和第二部分5相連 的部分(由第二部分5的一部分覆蓋的部分)電極91的接觸角被設置 得小于其中不提供布線的第二部分5的區域(第二部分5周圍的區域 或第三區域)720的接觸角。優選地，和第二部分5相連的電極91(由 第二部分5的一部分覆蓋的部分)的接觸角被設置得基本上等于第一 區域711的接觸角。
區域710是基板1的表面的一部分并配備有布線(第一部分4和
第二部分5),其至少由基本上對應于槽2的內部的第一區域711(提 供有布線的第一部分4的區域)和第二區域(提供有布線的第二部分 5的區域)712 (對應于本發明的通路(passage)部分)構成。雖然第 一區域711最好被設置為等于槽2的內部，但是它們的尺寸可以略有 不同。在下一個處理中，對笫一區域711比對第二區域712供給(灌入) 更多的導電骨。因而，由于其自身的重量，導電骨自然地在槽2內(在 第一區域711上)擴散。為了使在第一區域711上自然擴散的導電骨 選擇性地在基板1的第二區域712上擴散，基板1的第二區域712的 接觸角 一般被設置得小于作為排除基板1的第一區域711和第二區域 的第三區域720的接觸角。雖然圖9C表示的例子是，基板l的表面 只由第一區域711、第二區域712和第三區域720構成，但可以存在 其它區域。笫三區域720的作用是控制導電骨從第一區域711擴散。 因而，第三區域720被這樣提供，使得導電骨被選擇性地從第一區域 711分支到第二區域712 (要規定導電骨的通路)。 一般地，導電貪的 粘度并不是這樣低。實際上，第三區域720被這樣提供，使得沿著與 其中布線的第二部分5從第一部分4分支并延伸的方向(圖9中的Y 方向)相交的方向(一般為垂直方向(圖9中的X方向))夾住第二 區域712。在本發明中，如圖9C所示，優選地，第二區域712被第一 區域711 (或槽2)和第三區域720圍繞，以便嚴格地規定導電骨沿X 方向和Y方向的擴散。換句話說，按照本發明，優選地，第一區域711 被第二區域712和第三區域720圍繞。在本發明中，優選地，第一區 域(構成基板l的表面同時構成槽2的區域(被稱為"槽"))和第 二區域712 (構成基板l的表面同時從槽2延伸的區域)被第三區域 720圍繞。結果，用于導電骨的通路被第三區域720這樣確定，使得 以高精度控制布線(4, 5)的圖案。為了連接被提供在基板1上和槽 2分開的電極91與在本例中所述的布線(4， 5)，優選地，提供笫三 區域720，使得和電極91的一部分重疊。優選地，上述的接觸角的值對應于包含要在下一個處理4中被提
供在槽2內的布線材料的導電骨的主要溶劑(溶劑)被合適地控制。 因為 一般使用有機溶劑作為導電骨的主要溶劑，所以具有低接觸角的 第二區域712可以認為是比周圍的第三區域具有較高的親脂性(較低 的疏油性)的區域。在其中形成布線的區域710 (第一區域和第二區 域)和其中不形成布線的區域720 (第三區域)中，如果相對于導電 骨的主要溶劑的接觸角的差是20度到70度，則可以形成具有良好的 可再現性的布線。這個處理可以采用以下方法進行。即，基板l內具有槽2的整個 表面被涂覆具有疏油性的(非親脂性)硅烷偶聯劑(例如烷基硅烷偶 聯劑)。接著，在低壓汞燈(波長254 nm )和基板1之間提供具有透 光部分和遮光部分的光掩模，并用紫外光照射基板1表面上的預定區 域(第一區域711和第二區域712)。結果，被紫外光照射的區域(第 一區域711和第二區域712)可被調整成為比未用紫外光照射的區域 具有較高親脂性的區域。此外，未被紫外光照射的區域可被調整為具 有比用紫外光照射的區域較高的疏油性的區域3 (720)。同時，用上 述方法形成的區域3可以通過在大氣中進行加熱處理(例如后面說明 的用于導電骨的烘焙處理)而被去除。形成導電骨被從第一區域711分支并流入其內的第二區域712， 該區域是這樣形成的在基板l的表面內形成要被變成用于導電骨的 通路的通路部分(第二區域712)的接觸角，所述接觸角和圍繞該通 路的圍繞部分720 (第三區域)的接觸角不同。此外，優選地，第一 區域711由第三區域720圍繞。 (處理4)含有用于構成布線的材料的導電骨被施加到槽(區域711)上， 并從第一區域711向第二區域712擴散。然后使導電骨干燥并在空氣 中被烘焙以形成第一布線(圖9D)。第一布線含有被設置在槽2中的第一部分4和從槽2分支并從第 一部分4延伸到基板1的表面上的電極91上的第二部分5。在這個處 理中，第一電極91和第一布線相連。 作為上述的導電骨，優選地使用含有構成布線4的材料的大量顆 粒(導電顆粒)的導電骨。 一般地說，使用有機溶劑作為上述顆粒的 溶劑，如上所述。同時，在本發明中使用的導電骨中的溶劑不限于有 機溶劑。可以采用印刷方法把導電骨施加到槽2中。優選地，使用銀顆粒 作為構成布線的材料的顆粒。不過，也可以使用銀之外的其它金屬材 料。當在槽2中施加導電骨時，最好這樣施加導電骨，使得其高出基 板l的表面(基板表面)。此后，使導電骨在常溫下保持一段時間， 以便其從第一區域711充分地擴散到第二區域712。導電骨從槽2(區 域711)向對導電骨的溶劑具有較高親和力的部分(第二區域712 )擴 散。導電骨可被對所述溶劑具有較低親和力的部分(位于第二區域712 周圍的區域(包圍部分720))阻擋。同時，導電骨可以被第三區域 720阻擋，該第三區域720在要用導電骨填充的部分(第一區域711 中不與第二區域712接觸的部分)圍繞第一區域711和第二區域712。(處理5)接著，在作為布線(4, 5)的主體的部分(4)上形成絕緣層7 (圖9E )。絕緣層7被這樣提供，使得在布線(4, 5)和在下一個處理中形 成的布線8之間不會短路。雖然這里示出了絕緣層7被單獨提供在布 線4和布線8的每個相交處的例子，但絕緣層7可被提供使得沿著布 線4 (X方向)覆蓋布線4。絕緣層7可以通過印刷絕緣骨而被形成。可以使用感光的絕緣骨 作為印刷方法中使用的絕緣骨。借助于使用感光的絕緣骨，可以把絕 緣層7形成預定的圖案。作為絕緣層7的材料，可以使用玻璃例如氧化硅作為主體。 (處理6)接著，提供第二布線8 (圖9F)。在這個處理中，第二電極92和笫二布線8可以相連。第二布線8
可以類似于第一布線(4， 5)通過使用在預定位置印刷導電骨并烘焙 的方法而被提供。為了以小的寬度形成笫二布線8，允許采用以下方 法印刷具有感光性的導電骨作為導電骨，在以預定的圖案曝光之后， 進行顯影和烘焙。雖然作為第二布線8的制造方法印刷方法是優選的， 但是不限于這種方法，而可以采用公知的布線制造方法。在上述的處理中，確保了在第一布線U， 5)和第二布線8之間 的相交處的絕緣，可以形成具有低電阻以及在第一電極91與第一布線 (4， 5)之間的穩定連接的矩陣布線。同時，雖然在第一電極和第二 電極2被提供之后形成第一布線(4， 5)，但是第一電極和第二電極 2也可以在第一布線(4, 5)形成之后被形成。此外，可以在進行笫 三到第六處理之后進行第二處理。即，雖然在第三處理之前進行第二 處理比較容易，因而是優選的，但是關于第一布線(4， 5)、絕緣層 7和第二布線8的處理，不限于任何特定的順序。 (處理7)當表面傳導電子發射器件被形成時，隨后，提供導電膜10用于 在第一電極91和第二電極92之間進行連接(圖9G)。雖然可以使用PdO膜或碳膜作為導電膜10，但導電膜10的材料 不限于此。考慮到電阻值，導電膜10的厚度最好在5 nm到100 nm 的范圍內。(處理8)接著，在導電膜10中提供間隙11 (圖9H)。間隙11可以由當在第一布線4和第二布線8之間重復地施加脈 沖電壓時向導電膜IO饋入的電流所產生的焦耳熱來形成。優選地，通過在含碳的環境中在第一布線4和第二布線8之間施 加脈沖電壓來進行活化處理。借助于進行活化處理，可以改善電子發 射特性。在活化處理中，提供具有比上述的間隙11小的間隙的碳膜、其中用上述方式設置矩陣形式的電子發射器件的電子源可以形 成一種優良的電子源，其是高度精細的、特性改變小并且發射的電子 的軌道改變小。作為能夠使這種優良的電子源得以形成的因素，可以 在槽2中提供具有大截面和低電阻的布線4，此外，其可被穩定地連 接到電子發射器件的電極，使得可以減少提供給每個電子發射器件的 電壓的改變。此外，作為另一個因素，因為可以在預先提供在基板1 中的槽2內設置低電阻布線，所以可以容易地生產高精細的布線，此 外，因為從布線的頂端到基板l的表面的距離可被抑制，所以可以抑 制布線對發射的電子的軌道的影響。同時，雖然在此具體示出了用于 形成電子源的處理，但至少執行處理l、處理3和處理4以形成布線 板。可以應用本實施例的電子發射器件包括使用碳纖維例如碳納米 管的場致發射電子發射器件和MIM型電子發射器件。 <圖像顯示設備>圖7表示具有其中以矩陣形式排列電子發射器件的電子源的圖像 顯示設備。X方向布線72相應于上述的第一布線(4， 5) ， Y方向布線73 相應于上述的第二布線8。 一對電極12， 13相應于上述的第一電極91 和第二電極92。附圖標記15相應于具有間隙11的導電膜IO。電子發 射器件由一對電極12， 13和具有間隙的導電膜15構成。后板71相應于前述的基板1。附圖標記86代表面板，其中在玻 璃基板83的表面上提供有發光層84 (相應于發光部件)和陽極電極 85，所述發光部件當被電子束照射時發光。在后板71和面板86之間 提供支撐框架82。保持內部為真空的容器88由后板71、面板86和支 撐框架82構成。端子(Doxl-Doxm)被連接到每個X方向的布線， 端子(Doyl-Doyn )被連接到每個Y方向的布線73。要被連接到高壓 電源上的端子87被連接到陽極電極85。扁平的平板顯示器101由這 種容器和驅動電路(未示出)構成。使用圖7所示的實施例的平板顯示器88可以構成一種圖像再現 設備。更具體地說，在接收單元(即用于選擇被接收的信號和選擇的信 號的調諧器)中包含的信號被輸出到顯示屏88，使得其在屏幕上被顯 示或再現。接收單元可以接收TV廣播等的廣播信號或者通過無線網 絡、電話網絡、數字網絡、模擬網絡或電通信網絡例如按照TCP/IP 協議連接的互聯網發送的信號。在上述選擇的信號中包含的信號指的 是視頻信號、字符信息和音頻信息中至少之一。信息顯示/再現單元例 如TV可以由這種配置構成。當然，如果廣播信號被編碼，則本發明 的圖像再現設備可包括解碼器。音頻信號被輸出到音頻再現裝置例如 被單獨提供的揚聲器，并且和在顯示屏88上顯示的視頻信息或字符信 息同步地被再現。通過向顯示屏88輸出而在屏幕上顯示和/或再現視頻信息或字符 信息的方法可以按照下述方式執行。首先，由接收的視頻信息或字符 信息產生對應于顯示屏88的每個像素的圖像信號。然后把產生的圖像 信號輸入到顯示屏88 (圖8的Cll)的驅動電路(圖8的C12)。根 據對驅動電路輸入的圖像信號控制由驅動電路對顯示屏88內的每個 電子發射器件施加的電壓，從而顯示圖像。<TV單元>圖8是按照圖像再現設備的一個例子的TV單元的方塊圖。接收 電路(C20)由調諧器、解碼器等構成，用于接收衛星廣播、地面波等以 及通過無線網絡、電話線路、數字網絡、模擬網絡、電信線路例如按 照TCP/IP協議連接的互聯網的數據廣播的TV信號，并向I/F (接口 部分)(C30)輸出解碼的視頻數據。I/F部分(C30)把視頻數據轉 換成顯示單元的顯示格式，并把圖像數據輸出到顯示屏(Cll)。圖像顯 示單元(ClO)包括顯示屏(Cll)、驅動電路(C12)和控制電路(C13)。控制并把圖像數據和各種控制信號輸出到驅動電路(C12)。驅動電路(C12) 根據輸入的圖像數據向顯示屏(C11)的每個布線7 (見圖7的 Doxl-Doxm，Doyl-Doyn)輸出驅動信號，從而顯示TV圖像。接收電 路(C20)和I/F部分(C30)可作為機頂盒(STB)被包括在與圖像顯 示單元(C10)分離的單元內，或者與圖像顯示單元(C10)被包含在同一 個殼體內。
接口可被這樣構成，使得能夠和圖像記錄單元或圖像輸出單元，例如打印機、數字攝像機、數字照相機、硬盤驅動器(HDD)以及數字 視頻盤(DVD)相連。這樣，記錄在圖像記錄單元上的圖像可被在顯示 屏(C11)上被顯示。此外，根據需要，可以構成能夠處理在顯示屏(Cll) 上顯示的圖像并輸出到圖像輸出單元的圖像再現設備(例如TV)。這里說明的圖像再現設備的配置是一個例子，可以根據本發明的 技術構思在許多方面進行修改。利用本發明的圖像再現設備，借助于 和TV會議系統或計算機相連，可以構成多種圖^f象再現設備。<例子>下面說明本發明的實施例。已經參照圖9說明了在笫一布線4的 一側上提供電子發射器件的例子。在本實施例中，將說明在第一布線 4的兩側上提供電子發射器件的例子。在說明制造過程時將適當地參 看圖9。同時，使用玻璃基板l作為基板l。<例1>生產了圖l-5所示的基體玻璃基板。圖l是在本例中生產的電 子源玻璃基板的一部分的示意平面圖，圖2是沿圖1的線A-A取的示 意截面圖，圖3是沿圖1的B-B取的示意截面圖。首先制備玻璃基板l。在玻璃基板l上覆蓋干的膜抗蝕劑，只有 其中形成槽2的一部分抗蝕劑被熔化并形成保護模。接著，使用噴砂方法形成具有300微米槽寬和50微米槽深的槽2 (圖9A )。接著，剝除干膜抗蝕劑，然后，在整個玻璃基板表面上形成Si02膜。形成一對鉑電極(91， 92)(圖9B)。所述一對電極(91， 92) 對應于圖1的附圖標記9。使用疏油劑(烷基硅烷偶聯劑)在玻璃基板1的整個表面內形成 槽。借助于這個處理，玻璃基板ll的表面對于丁基醋酸卡必醇(butyl carbitol acetate) (BCA)的接觸角是50度。接著，在玻璃基板1和具有透光部分和遮光部分的光掩模之間進 行定位，并使用低壓汞燈(波長254 nin)投射紫外光。即，對應于槽 2的第一區域711和第二區域712被紫外光照射，從而改變相對于作 為基板l的其它區域的第三區域720的親脂性(其它部分仍然具有疏 油性)(圖4,圖9C)。在未被紫外光照射的區域內形成疏油圖案3。 同時，第二區域712包括電極9的一部分。位于被紫外光照射的區域(第一和第二區域)中的疏油劑被溶解。 由于疏油劑的溶解而形成的親脂區域(711， 721)相對于BCA的接 觸角被變成6度，在疏油區域720和親脂區域(711， 712)之間提供 了大于40度的接觸角差(圖4A，4B )。接著，按照絲網印刷方法印刷導電貪4 (銀骨(其含有0.3 wt% 的玻璃粉成分，以丁基醋酸卡必醇為主要溶劑))，以使其被滴入槽 2內。此時，其被這樣注入，使得其從玻璃基板l的表面膨出70微米。 此后，把該玻璃基板在常溫下保持20分鐘，以使得導電骨4在第一區 域711和第二區域712上充分擴散(圖4B )。因為導電骨在具有高的親脂性的區域(711， 712)上擴散，所以 導電骨便這樣流動，以致其延伸到電極9。當導電骨達到具有低親脂 性的區域720的邊界時，導電骨便被那個部分阻擋，從而電極9的一 部分被導電貪覆蓋。接著，在溶劑被干燥之后，借助于在空氣中烘焙形成和電極9相 連的、相對于玻璃基板表面基本上平的第一布線(4, 5)(對應于掃 描布線)(圖5,圖9D)。圖案3 (疏油劑)可以通過在空氣中烘焙 被去除。其中混合有感光材料的絕緣骨被施加于玻璃基板l的整個表面， 使用光刻方法在第一布線U， 5)上形成絕緣層7 (圖9E)。接著，通過按照印刷方法進行涂覆并烘焙，使用和用于形成第一 布線(4， 5)的導電骨相同的導電骨形成第二布線8 (對應于信號布 線)，從而制成了具有矩陣布線的布線基板(圖9F)。雖然在槽2和第一布線之間產生了 7微米的間隙6，但是在電極 9和布線(4， 5)之間的連接狀態是優異的。
在按照噴墨方法施加含鈀的有機溶液以便連接一對電極9之后， 借助于熱處理形成由氧化鈀(PdO)構成的導電膜IO。此后，借助于在第一布線和第二布線之間重復地施加脈沖電壓， 在導電膜10的一部分中產生間隙11。隨后，通過在含碳的環境中在 第一布線4和第二布線8之間重復地施加脈沖電壓進行活化處理，形 成電子源(圖9H)。作為驅動按照本實施例生產的電子源的結果，可以獲得長期穩定 的并且電子發射特性變化小的電子源。<例2>槽2的形成、電極9的形成以及疏油圖案的形成以和第一例相同 的方式被進行，并且借助于絲網印刷方法印刷導電骨(Ag骨(玻璃粉 成分為1.0 wt%),按照第一例在烘焙時具有小的收縮量)，以使其 滴入槽2中。當對槽2施加導電骨時，導電骨被這樣施加，使得考慮到由烘焙 Ag材料而產生的收縮，在烘焙之后相對玻璃基板1的表面導電貪膨出 20微米或基本上是平的。接著，在溶劑干燥之后，玻璃基板l在空氣中被烘焙，從而制成 相對于玻璃基板1的表面基本上平的第一布線(4， 5)(圖6)。結 果，可以改善在被提供在位于槽附近的玻璃基板表面上的電極和提供 在槽內的布線之間的連接的可靠性。以和第一例相同的方式進行隨后的處理，從而制成和矩陣布線相 連的電子源。雖然由于烘焙Ag材料產生收縮使得在槽2的內壁和第一布線之 間產生2微米的間隙6，但在電極9和第一布線(4, 5)之間的連接 是優異的。提供間隙6可以阻止在玻璃基板1中發生裂縫或裂隙。然后，通過對著用這種方式生產的電子源設置包括熒光膜84和 金屬背85的面板86，制成由圖7所示的顯示屏構成的圖像顯示單元。 通過對每條信號布線(第二布線8 )和每條掃描布線(第一布線4 )合 適地施加預定電壓來顯示圖像，可以獲得長期穩定的圖像，此外，當 在制造或者施加驅動而生熱時，沒有掃描線從玻璃基板l剝離，或者 在玻璃基板1的表面內未產生細的裂縫，因而在每個電子發射器件和 布線之間的連接是穩定的。如上所述，按照本實施例，在提供在基板l的槽2內的第一布線 4和在槽2附近設置的電極9之間的連接可被穩定地形成，按照材料 和處理，可以用低成本制成高精細的矩陣布線結構，并且可以容易地 制成極好的平板顯示器。雖然參照示例的實施例說明了本發明，應當理解，本發明不限于 所披露的示例的實施例。下面的權利要求的范圍應當給予最寬的解釋， 使得包括所有的這種改型、等同結構和功能。本申請要求2006年7月10日申請的，申請號為2006- 189282 的日本專利申請的優先權，該專利申請引用在本說明書中作為參考。
權利要求
1.一種制造布線板的方法，所述布線板包括(A)具有槽和與槽相鄰的相鄰區域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽中的第一區域內，所述第二部分被提供在作為相鄰區域的一部分的第二區域內，所述方法包括以下步驟制備具有槽的基板；使得作為相鄰區域的另一部分的第三區域的圍繞所述第二區域以及所述槽的接觸角不同于第二區域的接觸角；以及至少對槽的內部和相鄰區域的一部分施加導電膏。
2. —種制造布線板的方法，所述布線板包括(A)具有槽和與 槽相鄰的相鄰區域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延 伸的第二部分的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽中的第一區 域內，所述第二部分被提供在作為相鄰區域的一部分的第二區域內，所述方法包括以下步驟 制備具有槽的基板；使得作為相鄰區域的另一部分的第三區域的夾住第二區域的接 觸角不同于第二區域的接觸角；以及至少對槽的內部和相鄰區域的一部分施加導電骨。
3. 如權利要求1或2所述的制造布線板的方法，其中所述相鄰區域相對于槽是平坦的。
4. 如權利要求1或2所述的制造布線板的方法，還包括在對槽的 內部和相鄰區域的一部分施加導電骨之前在相鄰區域中提供電極的步 驟，其中導電骨覆蓋所述電極的至少一部分。
5. 如權利要求1或2所述的制造布線板的方法，其中所述接觸角 相對于導電骨的主要溶劑被限定，并且第二區域的接觸角小于第三區 域的接觸角。
6. 如權利要求1或2所述的制造布線板的方法，其中相對于導電 骨的主要溶劑，第二區域的接觸角和第三區域的接觸角之間的差為20 度到70度。
7. 如權利要求1或2所述的制造布線板的方法，還包括以下步驟 提供位于第一布線上的并和第一布線相交的第二布線；以及 在第一布線和第二布線之間提供絕緣層。
8. —種制造電子源的方法，所述電子源包括具有第一布線和第二 布線的布線板，以及多個電子發射器件，它們被設置在所述布線板上，并具有和第一 布線相連的第一電極以及和第二布線相連的笫二電極，其中所述布線板按照權利要求7所述的制造布線板的方法被制造。
9. 一種圖像顯示設備的制造方法，所述圖像顯示設備包括電子源 和發光部件，當從所述電子源發出的電子被輻射時，所述發光部件發 光，其中所述電子源按照權利要求8所述的制造電子源的方法被制造。
10. —種圖像再現裝置，至少包括接收設備，用于接收廣播信號 和通過電通信網絡的信號中至少之一，以及包括與所述接收設備相連 的圖像顯示設備，其中所述圖像顯示設備按照權利要求9所述的圖像 顯示設備的制造方法被制造。
全文摘要
本發明披露了一種制造布線板的方法，所述布線板包括 (A)具有槽和與槽相鄰的相鄰區域的基板，以及(B)具有第一部分和從第一部分延伸的第二部分的第一布線，所述第一部分被提供在所述槽內的第一區域內，所述第二部分被提供在作為相鄰區域的一部分的第二區域內，所述方法包括以下步驟制備具有槽的基板；使得作為相鄰區域的另一部分的第三區域的圍繞所述第二區域以及所述槽的接觸角不同于第二區域的接觸角；以及至少對槽的內部和相鄰區域的一部分施加導電膏。
文檔編號H01J1/316GK101106051SQ200710112278
公開日2008年1月16日 申請日期2007年6月29日 優先權日2006年7月10日
發明者守屋雅文, 石渡和也, 鈴木義勇 申請人:佳能株式會社