供電控制單元的制作方法

專利名稱：供電控制單元的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于將交流電源提供的功率提供給兩個耗電器件的方法，以及一種用于執行該方法的設備。
背景技術：
在等離子處理中，設計為電極的耗電器件位于等離子腔內。為了激發等離子處理，該電極被連接于電源的交流電壓上。電極與所謂的靶標相接觸。該靶標由例如需要涂層的基底材料構成。在這種等離子涂層過程中，該材料被從靶標上去除。這種結構的靶標通常都是類似的，即它們都由相同的材料構成，具有基本上相同的大小和相同的結構，因此通常被提供基本上相同的功率。在等離子處理中，這些靶標因此以基本上相同的速度被消融。但是，非常小的差異是無法消除的。這些靶標最初可能是不均勻的，或在處理過程中變得不均勻。這些不均勻將引起靶標阻抗和燃燒電壓的差異。這些差異導致了不同的電源電壓和不同的磨損周期。這將導致已經在更大程度上使用過的靶標消耗比其他靶標更多的功率，并因而甚至燃燒得更迅速。最終的結果是一個靶標被完全燒盡而其它靶標仍然具有充足的材料。這種情況是非常不希望出現的。雖然這個問題已經出現了很久，但至今沒有解決。
因此本發明的一個根本的目的就是提供一種為耗電器件分配功率的方法，及相關的設備。

發明內容
本發明實現的一個目標是提供一種從一個交流電源向至少兩個耗電器件分配功率的方法，該方法在第一步驟檢測向該耗電器件提供的實際的電功率，在第二步驟比較檢測到的實際電功率與一個給定的期望電功率，當二者存在差異時調節該電功率供給。
當出現偏差時，所述調節通過從/向該交流電源和至少一個耗電器件提供或去除功率來發生作用。該過程確保了該電功率供給是基于所提供的實際功率的測量。該獨創性的方法可以獨立于等離子處理中的交流電源的類型對提供給電極的功率進行控制，使得其對應于預定的功率供給。也可以通過以實際電功率供給等于期望電功率供給的方式來改變對該交流電源的控制，以進行調節。
在等離子處理中，該交流電壓源的每一連接都可以是連接到至少一個電極。此時，這些電極是被提供了電功率的耗電器件。
該交流電源被認為是一個在其輸出端具有一個交流電壓和一個交流電流的電源。可以是一個具有電流源或電壓源特性或其他特性的電源，且該電壓和電流可以是任意形式的甚至包含一個DC部分。特別地，出于電隔離的緣故該交流電源還可以在其輸出端僅包含AC部分而沒有DC部分。也可以利用對該交流電源的控制來為這樣的沒有DC部分的交流電源將實際提供的電功率調節到期望電功率。
預定的期望電功率供給因此可以是對稱的或不對稱的。根據預先確定的期望電功率是對稱的還是不對稱的，該交流電源提供的電功率根據該獨創性的方法以一種實際提供給消耗器的電功率等于期望電功率的方式來進行控制。為了確保這些靶標具有相同的磨損期，該預定的期望電功率供給最好是對稱的。可以理解對于不對稱的期望電功率供給的處理也是有意義的，如以期望的方式抵消已經產生的無規律的磨損或消融不同材料或結構的靶標。
在本發明的一個特定實施方式中，該實際電功率供給通過確定每一可能以最為不同的方式發生作用的耗電器件的與功率相關的值來檢測。一個與功率相關的值例如可以是電極的溫度或電極處通過等離子體輻射的輻射量。為了確定該與功率相關的值，通常測量耗電器件中的電流和電壓。
在一個包括兩個電極的等離子處理中，其中每一電極都與該交流電源相連，每一電極的平均有效功率基本上等于該電極方向的電流乘以地電位與該電極之間測量到的電壓。
在一個有利的方法變型中，該交流電源的頻率在1kHz到1MHz之間，特別地，位于50kHz到500kHz之間。
本發明實現的另一目標是提供一個供電控制單元，該單元包括一個控制組件和一個調節組件，其中該控制組件根據由一個檢測裝置檢測到的實際電功率供給與一個給定的期望電功率供給之間的比較結果確定一個控制值，并且其中該調節組件可以在該交流電源和至少一個耗電器件之間環接，并根據該控制值調節供電。這里環接意味著該調節組件與該交流電源串聯連接。通過在該交流電源和該耗電器件間的連接導線上插入該調節組件，該設備能提供多種應用，并且還能改進現有的系統。多條連接導線可以合并為一條多導體連接導線。
本發明一個很重要的優點在于對耗電器件的實際電功率供給的檢測使得能夠實現對供電的控制。在等離子處理中每一個耗電器件被設計為至少一個電極。對于一個具有兩個連接的交流電源，一個電極可分別被連接至該交流電源的一個連接端。也可連接多個電極至一個連接端。該供電控制單元因此可以影響連接至該電極的各個靶標的磨損時間。
該調節組件最好包括一個可控DC電壓源。這是能夠以一種特別簡單的方式實現的向電極提供電功率的一種可能的方式。正電壓和負電壓都可設置在直流電壓源處，這取決于哪個耗電器件將被提供電功率。該直流電壓源可以具有任意設計，如甚至以反并聯的方式連接的兩個直流電壓源，并且可以是每個單獨的輸出只有一個正電壓，或者根據電壓極性的需要交替連接。
在另一實施方式中，該調節組件可以包括至少一個可控電阻負載。電功率供給因此受到從至少一個耗電器件去除功率的影響。如果在一個等離子處理中，一個電極被連接至交流電源的每一連接端，則提供給該電極的電功率由該電極方向的電流和電極與地電位之間的電壓所決定，該功率的去除可由一個環接的電阻負載控制，因為該電阻負載被控制，以使得在時間上隨該交流電源的頻率在一個電流方向總是具有一個比其它電流方向上更高的電阻值。這需要對該電阻負載進行復雜和精確的驅動。在一種結構中，該電阻負載的驅動不是那么復雜，其中兩個電阻負載通過以反并聯的方式連接的二極管環接，這樣每個電阻負載與一個電流方向相關。
在另一實施方式中，該電阻負載包括幾個可控的半導體，特別是所謂的絕緣柵雙極性晶體管(IGBT)。通過相應的切換，這些元件能夠以一種非常簡單的方式產生電阻負載，其通過一個驅動電路實施例由該控制值來控制。
在另一實施方式中，該調節組件可以包括兩個阻抗，該阻抗可以是電感可控的且由反并聯的二極管隔開。它們也可以被控制來去除功率，將實際電功率供給調節到期望電功率供給。
在另一實施方式中，該調節組件可以包括一個電壓器，其初級繞組可以環接在交流電源與消耗器間的連接導線上，并且在其次級繞組上提供有一個具有半導體元件的切換裝置，該元件可由該控制值進行調節。這些也都以去除功率將實際電功率供給調節到期望電功率供給的方式被控制。
其它用于提供和去除功率的調節組件的任意實施方式都是可行的，以及上面提到的如提供以及去除功率的實施方式的組合也是可行的。
在本發明的另一實施方式中，檢測裝置被設計成一個與功率相關的值的測量設備，其可以以不同的方式實現。一種可能的測量設備是由用于測量每一耗電器件的電壓特別是耗電器件與地電位之間的電壓的測量裝置、另一個用于測量流入耗電器件中的電流的測量裝置、以及一個用于確定由所測量到電壓和測量到電流得出的每一耗電器件的功率的乘法組件構成的。還有其它可能的方式來確定與功率相關的值，僅示例性地提及其中一種，即每一耗電器件上的溫度測量設備。
本發明另外實現的目標是提供一個電源，該電源包括一個供電控制單元和如上所述的交流電源。當該交流電源和供電控制單元組合在一個單元中時，可利用同樣的電流和電壓測量裝置來控制該交流電源和該供電控制單元。
在一個實施方式中，該交流電源包括一個輸出變壓器，其輸出端有一個交流電壓，其在功率方面與地電隔離，并且只有一個AC部分而沒有DC部分，通過連接導線與耗電器件連接。包括輸出變壓器的這種結構的優點在于該交流電壓可以在電源的輸出端通過改變輸出變壓器的繞組數目根據耗電器件的需要進行調節。除了輸出變壓器之外，相同的電源也可以提供給不同的應用范圍。該輸出變壓器可以具有一種非常簡單的設計。“在功率方面與地電隔離”意味著在流過大量電流的等離子腔外部，交流電源的地電位與交流電壓之間沒有電氣連接。根據本發明規定“在功率方面與地電隔離”，即使電源輸出端的交流電壓與地電位之間提供了一個高阻抗的連接，如為了測量電壓或使電極的電荷放電，或者即使電極和地電位之間在等離子腔內具有電連接。截至目前，對于這樣的結構，還沒有可能分配功率至這些電極上。燃燒電壓及因此自動形成的電極上提供的電功率不可能互相干擾。本發明現在提供了即使對于這樣的電源也能控制耗電器件的供電的可能性。
在另一實施方式中，該電源在輸出變壓器的初級側具有一個振蕩電路，其通常是以近似諧振的方式工作，也即所謂的諧振電路。這種類型的交流電源具有很高的效率。來自輸出變壓器的初級電感可用作該諧振電路的電感。
在一個實施方式中，該電源包括一個電弧管理電路，其產生作用于調節組件的另一控制值。等離子處理不總是完全連續地進行。雜質、暫時及局部有限的充電或腔體中的其它不穩定因素在不規則的時間間隔內產生了等離子中的火花，即所謂的電弧。這些電弧多數情況下造成不希望的后果，如快速電流增長及電壓回落。等離子處理被靶標和等離子處理產生的這些不希望的結果打亂。為此，為等離子處理的電源提供了所述的電弧管理電路。它們在每次這樣的電弧發生時停止不希望的電功率分配。當檢測到這樣的一個電弧時，電源通常盡可能快地或者在一段預定的時間周期后被切斷。因此盡可能快地中斷對等離子處理的電功率供應以保護電源、靶標和被涂層的對象通常是非常重要的。
該電弧管理電路最好與調節組件連接，當發生電弧時如果該管理電路停止為電極供電，功率總是通過該調節組件被去除。由該電弧管理電路產生的控制值比控制組件產生的控制值優先。
本發明實現的目標還包括提供一個電源，該電源包括一個控制組件，用于通過一個由檢測設備檢測到的實際電功率供給和一個給定的期望電功率供給的比較結果來確定一個控制值，以及一個由控制裝置所驅動的交流電源，其中該控制裝置根據該控制組件傳送的控制值來驅動該交流電源，以使得該交流電流的屬性發生變化，從而使得到達耗電器件的實際電功率供給等于期望的電功率供電。
該交流電源可以是如一個具有一個后接諧振電路的橋電路。為該橋電路提供DC電流。橋電路的對稱驅動產生一個對稱的交流電流和一個對稱的AC電壓，其可以通過如一個輸出變壓器被傳送。該輸出變壓器可以是一個諧振電路的一部分。
如果橋電路是被不對稱驅動的，則該橋電路的切換元件通過一個不對稱的占空因子來驅動，其能夠產生如正的半波周期，并擴展該AC電壓的負的半波周期。如果縮短的半波的幅度相應大于擴展的半波的幅度，則能獲得一個沒有DC部分的信號，該信號可通過輸出變壓器被傳送至該交流電源的輸出端。通過對等離子處理的測試，這種類型的不對稱信號對所示的耗電器件(靶標)產生不對稱的負載屬性。負載的不對稱性屬性可以通過交流電源的不對稱控制進行控制。實際電功率供給從而能夠為了對稱和不對稱的期望電功率供給被調節到期望的電功率供給。
這種類型的不對稱驅動在輸出變壓器中產生很大的電流，能夠導致具有鐵芯或鐵磁芯的常規變壓器磁芯材料的飽和，如US 6532161所描述的。空氣變壓器因為沒有鐵芯或鐵磁芯因此不會飽和。因此，推薦使用空氣變壓器。
本發明的其它的特征和優點可以從下面對本發明具體實施方式
、示出細節的附圖的描述中得出，其實質上等同于本發明并來自權利要求書。在本發明的變型中，各個特征可以獨立或者以任意組合方式共同實現。


附圖中示出了將在下面進行詳細描述的本發明的供電控制單元的具體實施方式
。
圖1示出了具有交流電源和等離子腔的一個供電控制單元；圖2示出了組合了交流電源、供電控制單元和一個電弧管理電路及一個等離子腔的電源；圖3示出了一個輸出變壓器和諧振電路的交流電源；圖4示出了一個具有受控直流電壓源的調節組件；圖5示出了一個具有兩個電阻負載最好是IGBT的調節組件；圖6示出了一個具有兩個可控阻抗的調節組件；圖7示出了一個具有可在次級側短路的變壓器的調節組件；圖8示出了一個具有也可在次級側短路的變壓器的調節組件；以及圖9示出了一個具有可驅動的交流電源的電源。
具體實施例方式
圖1示出了一個供電控制單元1和一個交流電源2及一個等離子腔3。該交流電源通過兩條連接導線10a，10b與設計為電極4a，4b且位于等離子腔3中的兩個耗電器件相連接。供電控制單元1包括三個元件調節組件5、控制組件6和測量值檢測組件7。該調節組件5環接在連接導線10b中。其通過連接11從控制組件6接收控制值。連接導線10a，10b上的節點9a，9b處的電壓被測量，并且分別被處理為一個電壓信號。測量裝置8測量連接導線10b中的電流并將其處理為一個電流測量信號。測量值檢測組件7、測量裝置8和節點9a，9b上的電壓測量代表一個用于檢測進入耗電器件的實際電功率供給的檢測設備。測量值檢測組件7檢測分別來自對應于到達電極4a，4b的有效電功率供給的測量信號的一個功率信號。電極4a中的功率主要由電極4a或節點9a上測得的電壓乘以該電極方向的電流得到。電極4b中的功率主要由電極4b或節點9b上測得的電壓乘以該電極方向的電流得到。測量裝置8測得的電流可被分為一個正的和一個負的部分。正的電流部分乘以節點9a上測得的電壓表示到達電極4a的有效功率。負的電流部分乘以節點9b上測量的電壓表示到達電極4b的有效功率。因此一個乘法組件根據電流測量信號部分和電壓測量信號為每一電極計算一個功率信號。實際分配給電極的功率由兩個功率信號確定。其通過連接導線12傳送給控制組件6。該控制組件6比較該實際的電功率供給和一個內部的期望電功率供給。如果是對稱的，該控制組件6就調節控制值以使得為兩個電極提供相同的功率。該調節組件5可以在任意電流方向分配或去除功率。這將參照這里描述的具體實施方式
在圖4到圖8的描述中詳細描述。
圖2示出了一個電源20，其包括根據圖1的交流電源2和供電控制單元1，和一個附加的電弧管理電路23。相同的組件和元件采用與圖1相同的附圖標記。在該實施方式中，電弧管理電路23確定通過測量裝置21的電流和節點22a，22b上的電壓，以允許通過該電弧管理電路進行電弧的檢測。其通過連接25控制交流電源2并通過連接24控制調節組件5。以這種方式，如果該電弧管理電路中斷向設計為電極4a，4b的耗電器件的供電，剩余的功率可通過該調節組件5去除。
圖3示出了圖1和圖2中的交流電源2的特定實施方式。該交流電源包括一個輸出變壓器，該變壓器具有一個初級繞組31a和一個次級繞組31b及一個振蕩電路電容器32。這樣一個交流電源的交流電壓在其輸出端沒有DC部分。電容器32和變壓器(31a，31b)的初級電感共同構成一個以近似于諧振方式工作的振蕩電路。這種類型的交流電源特別有利。輸出電壓和輸出電流可通過改變變壓器的次級繞組31b被理想地調節，以滿足耗電器件的需要。對于不同的耗電器件，只需使用一個不同的變壓器，而不是必須使用一個全新的電流源。諧振電路確保了該電流源的高效率。
圖4至7示出了圖1中的調節組件5的實施例。每個實施例中其都環接在交流電源2和等離子腔間的連接導線10b中。
圖4中該調節組件的附圖標記為40。其在接點47和48處與連接導線10b環接，并通過連接42接收控制值，并在驅動電路41中將其轉換為用于兩個反并聯的可調直流電源45a，45b的一個驅動信號46。開關43由該驅動電路41產生的另一驅動信號44驅動。其連接具有理想的極性的直流電源45a，45b中的一個。這種設置用來分配功率。不是采用兩個可切換的直流電源，也可以采用具有一個能夠改變極性的設備的直流電源或者具有兩個輸出極性的直流電源。
圖5中的調節組件的附圖標記為50。其在接點57和58處與連接導線10b環接，并通過連接52接收控制值，并在驅動電路51中將其轉換為兩個IGBT 56a，56b的驅動信號54a，54b。這兩個IGBT與反并聯的二極管55a，55b以這樣一種方式連接，使得總是有一個IGBT56a，56b在一個方向上承載電流。IGBT 56a，56b以它們在導電方向上表現為電阻負載的方式被驅動，以此實現對每一電流方向的獨立控制。由于分別進入兩個電極中的一個的功率直接取決于該電極方向上的電流，因此對每一電極的獨立的功率控制是可能的。
圖6中調節組件的附圖標記為60。其在接點67和68處與連接導線10b環接。其通過連接62接收控制值，并在驅動電路61中將其轉換為兩個電感可控的阻抗64a，64b的驅動信號65，66。兩個電感可控的阻抗與反并聯的二極管63a，63b相連接使得總是有一個阻抗在一個方向上承載電流，以使得一個高直流部分流過該阻抗。這些阻抗被設計成以這種直流部分工作于飽和狀態，并且對于通過的電流僅表現為一個很小的電阻。阻抗64a，64b可通過電路65和66預磁化，這樣它們就可以通過可控的方式獨立地去飽和，從而對于通過的電流表現為一個更高的電阻，以在每一電流方向上重新分別調節電功率。
圖7中調節組件的附圖標記為70。其在接點77和78處與連接導線10b環接，并通過連接72接收控制值，并在驅動電路71中將其轉換為兩個反并聯的IGBT73，74的驅動信號79a，79b。一個具有初級繞組75a的變壓器連接在接點77和78之間。次級繞組75b在通常情況下由IGBT73，74短路。根據功率被去除的電流方向，或者是IGBT73通過驅動信號79a變為高阻狀態，或者IGBT74通過驅動信號79b變為高阻狀態。這使得可以在每一電流方向上重新分別調節電功率。
圖8中調節組件的附圖標記為80。其在接點87和88處與連接導線10b環接。通過連接82接收控制值，并在驅動電路81中將其轉換為在網絡節點89處連接的兩個IGBT84a，84b的驅動信號86a，86b。一個具有初級繞組85a的變壓器連接在接點87和88之間。次級繞組85b以類似于圖7的方式在通常情況下被短路。此時，電流另外流過二極管83a和83b，該二極管可能是IGBT84a，84b的寄生二極管或外部二極管。IGBT84a，84b可以通過驅動信號86a，86b被分別互相獨立地變為高阻狀態，以使得可以在每一電流方向上分別調節電功率。
圖9示出了一個電源20，該電源包括一個交流電源2，其由直流供電，一個控制組件6和一個測量值檢測組件7。與圖1至3相同的附圖標記被用于表示相同的組件和元件。控制組件6與一個控制裝置90連接。該控制裝置90控制橋電路91一個諧振電路92與橋電路92連接，其中輸出變壓器31作為諧振電路92的一部分。作為檢測設備一部分的測量值檢測組件7檢測到的與功率相關的實際值在控制組件6中與期望值進行比較。控制組件6從中確定一個將被傳送到控制裝置90的控制值。控制裝置90控制開和關的時間，即橋電路91的各次切換的占空因子，以使得所檢測到的實際功率值等于給定的期望值。諧振電路92將橋電路91的輸出電壓形成為一個近似于正弦的波形。該信號可能是不對稱的。沒有DC部分通過變壓器31被傳送。分配給耗電器件4a，4b的功率可能不同，但可通過橋電路91的開關的驅動、以控制裝置預先確定的特定的占空因子進行調節。該占空因子對于每一開關或開關對可以是不同的和不對稱的，即開和關的時間可以具有不同的長度。實際到達耗電器件的電功率供給因此可以被調節到預先期望的電功率供給。
權利要求
1.一種控制由交流電源(2)向至少兩個耗電器件，特別是等離子處理中的耗電器件提供電功率的方法，其中檢測提供給該耗電器件的實際電功率供給，并與一個給定的期望電功率供給進行比較，如果這二者不同的話，則調節每一耗電器件的電功率供給。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于為每一耗電器件調節電功率供給是通過提供和/或去除所述交流電源(2)和至少一個耗電器件之間的功率而實現的。
3.如權利要求1或2所述的方法，其特征在于一個對稱或不對稱的期望電功率供給被預先確定。
4.如前面任一權利要求所述的方法，其特征在于所述實際電功率供給通過確定每一耗電器件的與功率相關的值而被檢測。
5.如權利要求1至4中任一權利要求所述的方法，其特征在于該交流電源產生一個頻帶范圍為1kHz至1MHz之間，特別是50kHz至500kHz之間的交流電流。
6.如前面任一權利要求所述的方法，其特征在于該交流電源(2)由包含在該交流電源(2)中的一個橋電路(91)進行控制。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于該橋電路(91)的開關受一個不對稱的占空因子所控制。
8.一個用于控制由一個交流電源(2)向至少兩個耗電器件(電極4a，4b)，特別是等離子處理中的耗電器件提供電功率的供電控制單元(1)，其包括一個控制組件(6)，用于根據一個檢測設備檢測到的實際電功率供給和一個給定的期望電功率供給之間的比較結果來確定一個控制值，并且包括一個調節組件(5，40，50，60，70，80)，該調節組件環接在所述交流電源(2)和至少一個耗電器件之間，用于根據該控制值調節電功率供電。
9.如權利要求8所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述調節組件(40)包括至少一個可控DC電壓源(45a，45b)。
10.如權利要求8所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述調節組件(50)包括至少一個可控電阻負載。
11.如權利要求10所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述調節組件(50)包括兩個通過反并聯二極管(55a，55b)隔開的可控電阻負載。
12.如權利要求10或11所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述電阻負載包括可控半導體，特別是IGBT(56a，56b)。
13.如權利要求8至12中任一權利要求所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述調節組件(60)包括兩個阻抗(64a，64b)，這兩個阻抗是電感可控的，并且通過反并聯的二極管(63a，63b)隔開。
14.如權利要求8至13中任一權利要求所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述調節組件(70，80)包括一個變壓器，其初級繞組(75a，85a)可環接在交流電源(2)和耗電器件(電極4b)之間的一個連接導線(10b)中，其次級繞組(75b，85b)具有一個受驅動信號(79a，79b，86a，86b)控制的切換設備，這些驅動信號由一個驅動電路(71，81)根據該控制值產生。
15.如權利要求8至14中任一權利要求所述的供電控制單元(1)，其特征在于所述檢測設備被設計為用于測量與功率相關的值的測量設備。
16.電源(20)，包括如權利要求8至15中任一權利要求所述的供電控制單元(1)和一個交流電源(2)。
17.如權利要求14所述的電源(20)，其特征在于所述交流電源(2)包括一個輸出變壓器(31a，31b)，該變壓器的輸出端具有一個在功率方面與地電隔離并且僅包含交流(AC)部分的交流電壓。
18.如權利要求17所述的電源(20)，其特征在于該輸出變壓器(31a，31b)在其初級側具有一個諧振電路(31a，32)。
19.如權利要求16至18中任一權利要求所述的電源(20)，其特征在于該電源包括一個電弧管理電路(23)，其產生作用于所述調節組件(5，40，50，60，70，80)的另一個控制值。
20.用于至少兩個耗電器件的電源(20)，包括一個控制組件(6)，其根據由一個檢測設備檢測到的實際電功率供給與一個耗電器件的預定期望電功率供給之間的比較結果確定一個控制值，以及一個由控制裝置(90)所驅動的交流電源(2)，其中所述控制裝置(90)根據該控制組件(6)所傳送的控制值驅動所述交流電源(2)，以使得交流電流的屬性發生改變，從而使到達耗電器件(4a，4b)的實際電功率供給等于期望電功率供給。
21.如權利要求20所述的電源(20)，其特征在于所述交流電源(2)包括一個橋電路(90)。
22.如權利要求21所述的電源(20)，其特征在于所述交流電源(2)包括一個接在該橋電路(91)之后的諧振電路(92)。
23.如權利要求21或22所述的電源(20)，其特征在于所述交流電源(2)包括一個附加的輸出變壓器(31)。
24.如權利要求23所述的電源(20)，其特征在于所述輸出變壓器(31)是一個空氣變壓器。
全文摘要
一種供電控制單元(1)和用于控制由一個交流電源(2)向至少兩個耗電器件，特別是等離子處理中的耗電器件提供電功率的方法，其中向該耗電器件提供的實際電功率供給被檢測，并與一個給定的期望電功率供給進行比較，當存在差異時，通過提供和/或去除該交流電源(2)和至少一個所述耗電器件之間的功率，調節每一耗電器件的電功率供給。該方法和控制單元(1)能夠獨立于該交流電源的類型控制提供給等離子處理中電極的電功率供給，使其等于給定的電功率供給。
文檔編號H01J37/34GK1751376SQ200480004246
公開日2006年3月22日 申請日期2004年2月12日 優先權日2003年2月15日
發明者彼得·韋德姆斯, 阿爾弗雷德·特拉馳, 迪特爾·米爾, 格爾哈德·策林格 申請人:許廷格電子有限及兩合公司