專利名稱：圖形熒光顯示管的制作方法
技術領域：
本發明涉及圖形熒光顯示管。
背景技術：
下面參照
現有技術中的圖形熒光顯示管。
圖5(a)是現有技術中的圖形熒光顯示管的陽極基板的平面圖，圖5(b)是圖5(a)的Z5-Z5局部剖視圖。
在玻璃基板B5上把陽極電極A51～A5m和柵極G51～G55通過絕緣層IN5形成為矩陣狀。柵極G51～G55和絕緣層IN5在陽極電極A51～A5m與柵極G51～G55的交叉部分上形成窗G511～G55m。在該窗G511～G55m的陽極電極上涂布熒光體PH5。陽極電極A51～A5m、柵極G51～G55和絕緣層IN5由厚膜構成(例如參看實開昭63-69354號公報)。
在圖5的圖形熒光顯示管中，為了適應高精細化而必須增加陽極電極A51～A5m和柵極G51～G55的個數，但隨著它們的個數的增加，而使逐線掃描頻率變高，因使占空系數下降又使輝度降低。為了不使輝度降低而必須提高陽極電壓。并且為了增加陽極電極A51～A5m和柵極G51～G55的個數而必須使它們的寬度變窄，但這對厚膜而言是困難的。
發明內容
本發明鑒于上述問題，把不提高逐線掃描頻率但增加陽極電極的個數，從而實現高精化作為目的。
本發明的圖形熒光顯示管具有由n行m列構成的n×m個陽極電極和n/k(k為任意的正整數)個網狀柵極；將各列的n個陽極電極按每組k個分成n/k組，在各列上配置k根陽極配線，將各組的k個陽極電極分別連接在各列的k根不同的陽極配線上；n/k個網狀柵極分別覆蓋全列的一組陽極電極(k行的陽極電極)；陽極電極和陽極配線隔著絕緣膜層疊，通過填充在絕緣膜通孔內的導電材料相連接；陽極電極、陽極配線和絕緣膜由0.01～數μm厚的薄膜組成。
本發明以上述的圖形熒光顯示管為基礎的圖形熒光顯示管，陽極配線在與絕緣膜的通孔對應的位置上具有焊盤。
圖1是表示與本發明的實施方式有關的熒光顯示管的陽極電極和柵極的配置關系的平面圖。
圖2是表示與本發明的實施方式有關的熒光顯示管的陽極電極配線關系的平面圖。
圖3是表示圖2的陽極配線圖形的平面圖。
圖4是圖2的Z1-Z1，Z2-Z2的局部剖視圖。
圖5是現有技術中的熒光顯示管的陽極基板的平面圖。
具體實施例方式
下面參照
本發明的實施方式。
圖1是表示與本發明的實施方式有關的熒光顯示管的陽極電極和柵極的配置關系的平面圖。
B1是玻璃的陽極板，在該陽極基板B1上形成由9行m列組成的9×m個陽極電極A11～Am9。G1～G3是網狀的柵極、這些柵極控制從電子源(圖中未示出)向陽極電極A11～Am9發射的電子。柵極G1、柵極G2和柵極G3分別覆蓋陽極電極A11～Am1、A12～Am2、A13～Am3的三行份，陽極電極A14～Am4、A15～Am5、A16～Am6的三行份，陽極電極A17～Am7、A18～Am8、A19～Am9的三行份。也就是說，一個柵極在覆蓋各列的九個陽極電極內的三個。
而柵極的個數和一個柵極覆蓋的陽極電極的個數不受上述的限制。另外電子源可以是燈絲(熱陰極、場效應發射型電子源(冷陰極))等。
圖2是表示與本發明的實施方式有關的熒光顯示管的陽極電極的配線關系的平面圖，只圖示出圖1的三列份的陽極電極A11～A39。
逐列分別配置三根陽極配線W11～W13、W21～W23、W31～W33，各陽極電極和各陽極配線例如陽極電極A11和陽極配線W11、陽極電極A12和陽極配線W12、陽極電極A13和陽極配線W13分別通過后述的填充在通孔S11、S12、S13中的導電材料電連接。
圖2中把各列的九個陽極電極按每組三個分成三組。在例如第一列的情況下，把陽極電極A11～A19按每組3個分成A11～A13、A14～A16、A17～A19三組，對第2列以下的列也相同。因此一個柵極覆蓋各列的三個陽極電極即三行的陽極電極，所以與一個柵極覆蓋各列的一個陽極電極(或一行的陽極電極)的方式相比，占空系數增加到3倍。因此如按本實施方式，則在陽極電壓相同的情況下與一個柵極覆蓋各列的陽極電極(或一行陽極電極)的方式相比，輝度增加到3倍。
圖3是表示圖2的陽極配線圖形的平面圖。
陽極配線W11～W13、W21～W23、W31～W33在與圖2的通孔對應的位置上形成焊盤。例如陽級配線W11的焊盤L11、L14、L17與通孔S11、S14、S17相對應，陽極配線W12的焊盤L12、L15、L18與通孔S12、S15、S18相對應，陽極配線W13的焊盤L13、L16、L19與通孔S13、S16、S19相對應。陽極配線的焊盤在寬度上比陽極配線的其它部分寬，通孔的導電材料接觸在焊盤上，是使陽極和陽極配線可連接的技巧。
圖4是圖2的Z1-Z1部分、Z2-Z2部分的剖視圖。
在圖4中，B1是玻璃的陽極基板，IN1是絕緣膜、A13～A33(圖4(a))、A11～A19(圖4(b))是陽極電極，PH13～PH33(圖4(a))、PH11～PH19(圖4(b))是熒光體膜，G1、G2、G3是柵極，L13～L33(圖4(a))、L11～L14(圖4(b))是焊盤，S13～S33(圖4(a))、S11～S14(圖4(b))是通孔，W11～W32是陽極配線。
在圖4(b)中，通孔S11形成在與焊盤L11對應的絕緣膜IN1上，被導電材料充填。通過該導電材料，使陽極配線W11的焊盤L11和陽極電極A11電連接起來。其它的通孔也與通孔S11相同。
陽極配線W11等形成在陽極基板B1上，在配線W11上形成絕緣膜IN1，在該絕緣膜上形成陽極電極A11等，由于使陽極配線W11等和陽極電極A11等立體地配置，而可以提高陽極配線和陽極電極的密度。
在圖4中，各陽極配線、陽極電極和絕緣膜分別由薄膜形成(圖1～圖3都是相同的)。
下面說明圖1～圖4的陽極配線、陽極電極、絕緣膜等形成的步驟和熒光顯示管的制造方法。
在厚度1.1mm的玻璃的陽極基本上利用濺射法形成1.5μm的鋁膜，用光刻法形成陽極配線圖形。陽極配線的寬度和線間距都為20μm。陽極配線的膜厚可以在0.1μm～數μm的范圍。陽極配線形成后利用CVD法(ChemicalVapor Deposition)形成膜厚1μm的絕緣膜(SiOx膜)，利用光刻法形成通孔，絕緣膜厚可以在0.01μm～數μm的范圍。絕緣膜形成后利用濺射法形成1μm厚的鋁膜，利用光刻法形成陽極電極圖形。這時鋁充填到絕緣膜的通孔中。陽極電極的膜厚可以在0.01μm～數μm的范圍。陽極電極形成后利用涂粉漿法在陽極電極上形成厚度數μm～120μm的熒光體膜。而陽極電極也可以利用PVD法(Physical Vapor Deposition)形成。
在上述陽極板上中途形成金屬網柵極。利用該陽極基板借助現有技術中的熒光顯示管的制造方法制造本發明的熒光顯示管。
為了提高陽極配線的配線密度，必須使陽極配線間隔變小，因此必須使焊盤直徑變小。可是，焊盤的直徑一變小，通孔的直徑也必須變小，如果使通孔的直徑變小，在絕緣層是厚膜的情況下，則導電材料不能充分地充填到通孔中，會引起陽極配線與陽極電極的接觸不良。
本發明因用薄膜形成陽極配線、陽極電極和絕緣層，所以既可以防止這個接觸不良，又可以提高陽極配線和陽極電極的密度。
雖然在上述的實施方式中，是以具有由9行m列組成的9×m個陽極電極，把一到9個陽極電極按每組3個分成3組，在各列中配置三根陽極配線為例說明的，但本發明不受此限制，也可以具有由n行m列組成的n×m個陽極電極，把一列n個陽極電極按每組k個分成n/k組，在各列中配置k根陽極配線。而網狀柵極可以配置n/k個，一個網狀柵極覆蓋全列(1～m列)的一組陽極電極即k行的陽極電極。在此雖然n/k取整數是基本的，但在不是整數時，k可以取舍去小數以后的余數的整數。另外在縱向的陽極電極排列和橫向的陽極電極的排列中可以把任一個稱為列，把任一個稱為行，本發明不受實施方式的稱呼方式限制。
因本發明是一個柵極覆蓋各列的多個陽極電極(或多行的陽極電極，所以與一個柵極覆蓋各列的一個陽極電極或一行的陽極電極)的方式相比可以增大占空系數。因此如采用本發明的方式，在陽極電壓相同的情況下，與一個柵極覆蓋各列的一個陽極電極(或一行陽極電極)相比，可以提高輝度。
因本發明用薄膜形成陽極配線、陽極電極和絕緣層，所以可以提高陽極配線和陽極電極的密度，可以使熒光顯示管精細化。
因為本發明在陽極板上形成配線，在陽極配線上形成絕緣膜，在該絕緣膜上形成陽極電極，又因為陽極配線與陽極電極立體分離配置，所以可以提高陽極配線和陽極電極密度。并且在這種情況下，因為用薄膜形成絕緣層，即使使陽極配線和陽極電極的通孔的直徑變小，因為導電材料能確實充填入通孔中，所以也不會發生陽極電極配線與陽極電極的接觸不良。
因本發明把一個柵極覆蓋陽極電極的各列的多個陽極電極(或多行陽極電極的方式)和使陽極配線和陽極電極立體配置并用薄膜形成陽極配線、陽極電極和絕緣層的方式結合起來，所以可以使熒光顯示管進一步精細化。
因本發明隔著絕緣膜立體配置陽極配線和陽極電極，與連接兩者的絕緣膜的通孔相對應在陽極配線上形成焊盤，所以可以確實使充填在通孔中的導電材料與陽極配線連接起來。
權利要求
1.一種圖形熒光顯示管，其特征在于具有由n行m列構成的n×m個陽極電極和n/k(k為任意的正整數)個網狀柵極；將各列的n個陽極電極按每組k個分成n/k組，在各列上配置k根陽極配線，將各組的k個陽極電極分別連接在各列的k根不同的陽極配線上；n/k個網狀柵極分別覆蓋全列的一組陽極電極(k行的陽極電極)；陽極電極和陽極配線隔著絕緣膜層疊，通過填充在絕緣膜通孔內的導電材料相連接；陽極電極、陽極配線和絕緣膜由0.01～數μm厚的薄膜組成。
2.如權利要求1所述的圖形熒光顯示管，其特征在于陽極配線在與絕緣膜的通孔相對應的位置上具有焊盤。
全文摘要
為了既不降低圖形熒光顯示管的占空系數,又能實現高精化,而提供一種圖形熒光顯示管,在陽極電極(A11～A19)上形成三根陽極配線(W11～W13),將陽極電極(A11～A19)三個一組分成三組,使陽極電極(A11、A14、A17)連接在陽極配線(W11)上,使陽極電極(A12、A15、A18)連接在陽極配線(W12)上,使陽極電極(A13、A16、A19)連接在陽極配線(W13)上。使陽極電極(A11～A19)與陽極配線(W1～W13)隔著絕緣膜上下配置,并通通充填在絕緣膜的通孔(S11～S19)中的導電材料連接起來。陽極電極(A11～A19)、陽極配線(W11～W13)和絕緣膜由薄膜構成。
文檔編號H01J31/15GK1367522SQ02102360
公開日2002年9月4日 申請日期2002年1月23日 優先權日2001年1月23日
發明者小川行雄, 向后克俊, 石川和良, 川崎博明 申請人:雙葉電子工業株式會社