專利名稱：等離子體顯示屏及其制造方法
技術領域：
本發明涉及等離子體顯示屏及其制造方法。
背景技術：
近年來以高清晰度電視為代表，對于高品位、大畫面顯示的期待正在提高，在CRT、液晶顯示(LCD)和等離子體顯示屏(PDP)各顯示領域中正在不負期待地進行研究開發。
一直以來，作為電視顯示而廣泛普及的CRT在分辨率和畫質上是優良的，但它有厚度和重量隨畫面增大而增加的缺點，對于40英寸以上的大畫面是不適合的。
而LCD功耗小，具有能夠避免厚度和重量問題的優點，但視角受到限制，實際上在大畫面化等方面存在要改善的問題。
與上述CRT和LCD相比，PDP盡管厚度薄，卻較易實現大畫面化，其50英寸級別的產品也正在商品化。
傳統的PDP一般是圖7所示的3電極面放電型PDP。
該圖所示的PDP是將前板101和后板106對置，在前板101的內表面上以2根電極為一對的多對相互平行的顯示電極103分布排列而形成，在顯示電極103上覆蓋由低介質玻璃組成的膜厚為40μm的介質層104。然后，在介質層104的表面上形成厚度800nm的MgO膜，作為保護膜105。MgO膜的形成方法一般采用蒸鍍法、濺鍍法。
而在背板106的內表面上平行地配置多個隔開放電空間的障壁112和地址(數據)電極108，確保相鄰的障壁112和上述保護膜105之間作為放電空間。在相鄰的障壁112之間涂敷對應于RGB中一種顏色的熒光粉111。
前板101和背板106相互對向而重合后，其周圍封接，使放電空間內排氣，然后將混入百分之幾體積氙氣的氖混合氣體作為放電氣體而封入。
這樣構成的3電極面放電型PDP114，通過在地址電極108和顯示電極103上按適當的定時施加電壓，在以障壁112隔開的相當于顯示像素的放電空間115中引起放電，產生由氙氣發出的紫外線。因紫外線而激發的熒光粉發出可見光，從而能顯示圖像。
如上述，面放電型PDP具有兩塊基板重合的簡單結構。
然而在上述傳統的PDP結構中，如圖8的背板透視圖所示，由于以線狀形成多個障壁112，因此在制造時在放電空間內的排氣工序中排氣特性良好，但相反地，被涂敷熒光粉的障壁面積受到限制，在提高亮度中存在不能確保熒光粉的面積足夠大的的缺點。
最近為了對此加以改善，進行著研究障壁形狀的試驗。
例如在圖9的透視圖所示的背板中，為了分別單個地圍住各單元的放電空間而配置線狀障壁112和與之交叉的障壁113。在這里障壁113的高度設定低于與之相鄰的障壁112的高度。通過這樣設置障壁113，進行一邊維持相鄰的兩個障壁112之間的排氣特性、一邊利用障壁113的表面而使熒光粉面積增加的試驗。
而其它的例子有以線狀障壁部和以相鄰的兩個障壁形成蜂窩狀構造的蜂窩部而構成障壁的例子。采用這種結構，與上述圖8的障壁構造同樣，目標是一邊維持排氣特性、一邊通過實際上擴大放電空間使亮度提高(IDW′99 Proceeding of The Sixth InternationalDisplay Workshops第六屆國際顯示器討論會IDW’99會議錄)。
但是，在上例中雖然可基本充分確保亮度，但排氣特性仍有改善的余地。也就是說，盡管如上例那樣設法解決，在排氣工序中仍往往不能迅速、充分地排氣。結果，在排氣工序中應除去的殘留物仍淀積在PDP內，成為畫質閃爍等的原因，對于顯示良好的圖像會成為障礙。
因此，有必要盡快解決該課題。
發明內容
為了解決上述問題，本發明這樣設置在第一基板的表面上將多個單元隔開的第一障壁和第二障壁分別以條狀相互交叉而形成的、第二基板的表面對著該第一障壁的頂部構成的等離子體顯示屏中，存在第一障壁和第二障壁交叉部分的區域中的各障壁的高度低于這以外的第一障壁高度的部分。
這樣，通過在第一障壁和第二障壁的高度上設置高度不同的部分，能在由第一基板和第二基板相夾而成的內部良好地確保通氣孔，所以能夠從沿第一障壁的方向和第一障壁與第二障壁交叉部分的區域這兩處迅速排氣。結果在等離子體顯示屏的制造工序中能夠縮短排氣工序的時間，同時能將屏內的殘留物幾乎不殘留地除去，能夠提供具有優良顯示性能的等離子體顯示屏。
再有，上述第二障壁的頂部可以較低，低到跟上述交叉部分的區域相同的程度，且可以比第一障壁厚。由此，在等離子體顯示屏的制造工序中對于第一障壁和第二障壁的高度方面，能良好地形成高度不同的部分，因此能滿足要求。
并且，在上述等離子體顯示屏的制造工序中沿著對應于1個單元的、在1個單元中相鄰的兩個第一障壁的障壁的厚度方向上的形狀，也可以采用相互對稱的梯形狀。因此，就能確保在以梯形狀擴大的部分面積中的熒光粉的涂敷面積，更有效地提高屏的亮度。
另外，本發明也可以在第二基板的和第一基板對置的表面上、與第一障壁和第二障壁交叉部分的適當區域高度適應地以條狀形成凸部，在該凸部的頂部和與之對置的第一障壁與第二障壁之間設置間隙。這樣通過在第一基板表面上形成凸部，由于可以抑制各單元的交叉干擾，因此能提供具有優良顯示性能和微細單元結構的等離子體顯示屏。
并且，本發明也可以具有這樣的結構在第一基板的表面上形成以各個六邊形蜂窩狀劃分多個單元的障壁，并使第二基板的表面與該障壁的頂部對置而構成的等離子體顯示屏中，為了連通由上述障壁分割的放電空間，由相鄰的3個單元共有的障壁上與第二基板對置的障壁部分開有缺口，由此來設置通氣孔。采用這種結構，也具有和上述結構基本相同的效果。而通過以六邊形蜂窩狀障壁隔開單元，也可以作成高精細的等離子體顯示屏。
另外，如果上述等離子體顯示屏采用如下結構的等離子體顯示屏顯示裝置在第一基板的表面上設多個地址電極和在第二基板的表面上設多個顯示電極，使這些電極相互交叉而對置配置，并設置用于驅動各地址電極的地址電極驅動電路和用于驅動各顯示電極的顯示電極驅動電路，以及用于控制上述兩個電路的控制部分；則本發明能夠提供一種帶有排氣特性和顯示性能比傳統的裝置顯著提高的等離子體顯示屏的顯示裝置。
這里，作為在第一基板的表面上形成障壁、中間隔著該障壁與第一基板對置地配置第二基板來構成等離子體顯示屏的制造方法，可以先在第一基板表面上形成含玻璃的層，并在障壁形成時采用噴砂法，使噴射速率變化來形成其高度部分地不同的障壁來制造上述等離子體顯示屏。
并且，作為在第一基板的表面上形成障壁、中間隔著該障壁與第一基板對置地配置第二基板的等離子體顯示屏的制造方法，可以在上述障壁形成時在第一基板表面上通過光刻法形成含有第一障壁的一部分和第二障壁的障壁，然后在含有該第一障壁的障壁上再次通過光刻法形成高度與上述第二障壁不同的殘存的第一障壁來制造。
另外，作為在第一基板的表面上形成障壁、中間隔著該障壁與第一基板對置地配置第二基板的等離子體顯示屏的制造方法，可以通過在第一基板的表面上涂敷第一障壁材料，同時再與之交叉地涂敷障壁寬度大于上述第一障壁的第二障壁材料，然后進行燒結工序，該燒結工序中在第一障壁材料與第二障壁材料交叉的部分由于第二障壁材料將第一障壁材料拉扯進來，從而在第一障壁材料的高度上形成凹凸。
本發明旨在解決上述傳統的問題點，在利用障壁的厚度方向來提高排氣特性的同時，提高亮度并降低功耗。一直以來，為了使各像素中形成的帶電粒子不移動到相鄰的像素中，通常是使障壁密合在對置的玻璃面上，但也存在障壁之間的連接部分較難受到其影響的部分。并且，由于障壁之間的連接部分通常是粘合兩塊基板時的重要骨架部分，因此過去避免將底部降低。不過，為了與對置的基板連接，障壁的其它部分都具有均勻的高度，通過僅使連接部分降低，可以不必設置用于排氣的通路。結果，能使亮度和排氣特性同時得到改善。
而通過在制造上在障壁形狀上進行研究，目的在于提供一種可以用簡單的方法來形成的方法。
為了實現上述目的，本發明的特征在于設有放電氣體空間、夾著此放電氣體空間的兩塊絕緣基板，以及隔開放電氣體空間而使像素與像素分離的障壁，上述障壁使相鄰的像素單個隔離，各障壁之間連接的部分的障壁高度較低。通過在障壁的連接部分上設置凹部，能夠得到對于相鄰之間的誤放電也使強排氣時的氣導減小的結構。而這種結構不僅對于矩形障壁，而且對于蜂窩狀等多邊形結構的障壁也是非常有效的。這里，相鄰的單元之間的上述障壁連接部分最好至少有2處障壁的高度較低。
并且，本發明的特征在于設有放電氣體空間，夾著此放電氣體空間的兩塊絕緣基板，以及隔開放電氣體空間而使像素與像素分離的障壁；在一塊上述絕緣基板上形成由介質層覆蓋表面的一對X電極、Y電極構成的線狀的面放電電極而組成的面放電型等離子體顯示屏中；上述障壁由與另一塊上述絕緣基板上形成的面放電電極交叉地對置的障壁A和寬度大于與上述面放電電極平行形成的上述障壁A的障壁B構成，且上述障壁A和上述障壁B接合的部分的障壁高度較低。通過加入障壁粗的部分和細的部分，在障壁連接部分中可以較簡單地形成凹部。這里，障壁B的高度最好低于障壁A。
并且，本發明的特征在于設有本發明的第一或的等離子體顯示屏，連接在用于驅動上述等離子體顯示屏的多對上述行電極上的顯示電極驅動電路，連接在用于選擇上述等離子體顯示屏各像素的地址電極上的地址電極驅動電路，以及用于分別控制上述顯示電極驅動電路和上述地址電極驅動電路的控制部分。通過作成采用本發明等離子體顯示屏的顯示裝置，能提供功耗低、亮度高的顯示裝置。
并且，為了實現上述目的，本發明的特征在于在本發明第一～第二等離子體顯示屏制造方法中，在形成障壁圖案時采用噴砂法，利用被噴砂的面積不同且噴射速率不同，形成障壁的高度差。
另外，為了實現上述目的，本發明的特征在于在等離子體顯示屏的障壁的制造方法中，在形成障壁時采用感光漿，該方法由以下工序構成，首先使障壁A和障壁B形成圖案至障壁B高度的工序，然后使障壁A形成圖案至障壁A高度的工序。
另外，圖1～6僅作為例子說明而列舉的，但本發明并不以此為限。
圖1是表示實施例1的PDP的背板結構的透視圖。
圖2是表示實施例1的PDP的障壁形成方法的工序略圖。
圖3是實施例1的PDP的斷面圖(變形例)。
圖4是表示實施例2的PDP的背板結構的透視圖。
圖5是表示實施例2的PDP的背板結構的透視圖(變形例)。
圖6是表示本發明的PDP的背板結構的透視圖(變形例)。
圖7是表示傳統型PDP結構的透視圖。
圖8是表示傳統型PDP障壁的概念圖。
圖9是表示傳統型PDP障壁的概念圖。
具體實施例方式
<實施方式1>
圖1是表示實施方式1的PDP的背板結構的透視圖。本實施方式的主要特征在于該背板的形狀。
以下以PDP各單元尺寸是360μm(x方向寬度)×1080μm(y方向寬度)為例進行說明。這些單元通過RGB三色配列而形成1080μm(x方向寬度)×1080μm(y方向寬度)的像素。
再有，在這里使用的尺寸僅是作為一個例子而列舉的，本發明的PDP并不以此為限。
如此圖所示，在背板106上形成沿y方向上延伸的條狀障壁112，使相鄰的單元在x方向上隔開。另外，在障壁112之間的溝上設置條狀輔助障壁113，使相鄰的單元在y方向上隔開。
在障壁(第一障壁)112中，形成與輔助障壁113交叉部分以外的區域112a較高、而與輔助障壁113交叉的區域112b較低的結構。
其中高度較高的障壁區域112a，其頂部表面作為與前板101側面接觸的區域而設置，該頂部面積大于障壁區域112b，從而充分確保與前板101側面的接觸面積。
另一方面，高度較低的障壁區域112b的配置位置對應于在y方向上相鄰的兩個單元之間。由此對應于障壁區域112b的放電空間在y方向上相鄰的兩個單元之間成為在x方向上連通。
并且，在配置相鄰的兩個障壁區域112b的各自之間配設長方體形第二(輔助)障壁113(高度60μm)。輔助障壁113的高度大致設定為與上述障壁區域112b相同(即以低于障壁區域112a的高度形成)。障壁112和輔助障壁113的各寬度分別是80μm和150μm。
根據以上結構，雖然各單元的放電空間在相鄰的兩個障壁112和相鄰的兩個輔助障壁113的內側中已被其圍住，但障壁112的區域112b和輔助障壁113不與前板101的側面接觸，由于形成通過相鄰的障壁112間隙和y方向上相鄰的單元間隙的通路，因此在整個屏上形成使放電空間在xy方向連通的結構。
所以，如果根據帶有設置有障壁112和輔助障壁113的背板106的PDP，在PDP制造時的排氣工序中由于可從x方向進行排氣(即從障壁區域112b和前板101的間隙排氣)，并加上過去僅在y方向排氣，所以能更好地排氣，能減少PDP內部的殘留物量。結果就能制造在驅動時可顯示優良圖像的PDP。另外，如果將本實施例1中PDP作成在地址電極108上有地址電極驅動電路、在顯示電極103上有顯示電極驅動電路以及有用于控制此兩個電路的控制部分的PDP顯示裝置，則能提供排氣特性和顯示性能均比傳統的裝置顯著提高的PDP顯示裝置。
一直以來，為了在驅動時不使各單元中產生的帶電粒子移動至相鄰的單元中而引起交叉干擾，另外，從維持PDP骨架部分的強度的理由等考慮，障壁112的頂部一般作成與前板101的側面密合的結構。但是如本實施例1那樣，在具有障壁112和輔助障壁113這種障壁圖案的情況下，由于這兩個障壁的接合部分對驅動時的交叉干擾沒有什么影響，因此在這部分中可以適當分別調節障壁112和輔助障壁113的高度。本發明正是著眼于這一點，同時實現了亮度提高和排氣特性改善。
<實施方式1的PDP制造方法>
在這里說明實施方式1的PDP制造方法的一例。
再有，在這里說明的方法只是作為一例而舉出的，本發明的PDP制造方法并不以此為限。
1.前板的制作在由厚度約2.6mm的鈉鈣玻璃組成的前板玻璃102的面上制作顯示電極。即通過在前板玻璃102上將銀漿(作為一例是則武制NP-4028)印刷成膜厚5μm、寬度80μm的線狀，并燒結，形成多個條狀顯示電極103。
然后，為了覆蓋顯示電極103，在前板玻璃102的面上用網板印刷法印刷包含有機粘結劑(含有10％乙基纖維素的α-萜品醇)、由重量比為75％PbO、15％B2O3、10％SiO2組成的鉛系介質層用漿。然后干燥、燒結，得到厚度20μm的介質層104。
在介質層104上采用電子束蒸鍍法形成0.5μm的MgO膜，作為保護膜105。
這樣就制成了前板101。
2.后板的制作在由厚度約2.6mm的鈉鈣玻璃組成的后板玻璃107上制作多個地址電極。
換言之，在背板玻璃107上按照膜厚5μm、寬度80μm的線狀印刷銀漿(作為一例是則武制NP-4028)，并燒結，得到多個條狀地址電極108。在這里為了使作成的PDP為40英寸級別的NTSC或VGA，將相鄰的兩個地址電極的間隔設定在約0.4mm以下。
接著，從多個地址電極108上開始在背板玻璃107面上印刷和燒結銀漿(作為一例是則武制NP-4028)，并燒結，形成厚度為20μm的介質膜109。
然后，在介質膜上形成本實施例1中有特征性的障壁112、113。這里所示的是適用于采用感光性樹脂漿的網板印刷法的例子。
圖2是依次表示此時工藝的工序圖。
首先，在介質膜109上采用感光性的障壁用(感光性樹脂)漿形成圖案。即采用網版印刷感光性樹脂漿，使漿的高度為130μm，并干燥(圖2(b))。此時，相當于障壁112的部分的寬度和相當于輔助障壁113的部分的寬度分別設定為80μm和150μm。
然后，通過篩網狀掩膜一起對與地址電極108相互平行的障壁112a和與地址電極相互垂直的障壁112b曝光和顯影，形成圖案(圖2(c))。使它干燥，形成與輔助障壁113大致相當的部分和該輔助障壁113的高度相同的障壁112b(圖2(d))。
接著，采用網板，將第二層感光性樹脂漿涂在上述作成的障壁上。即進行印刷，使漿的高度合計為100μm(按照圖2(b)的工序疊層漿)(圖2(e))。然后通過不連續的條狀圖案掩膜，僅對與地址電極108平行的障壁112a部分的圖案曝光和顯影(圖2(f))。使它干燥、燒結，形成相當于障壁112a的部分(圖2(g))。此刻就形成相應于障壁112a、112b、113各高度的凹凸。
而且，在燒結時障壁112的較高部分的障壁112a的漿受到從較低部分的障壁112b和障壁113的漿的拉力，障壁112a的端部可平緩地形成連續在障壁112b的形狀，上述凹凸成為稍帶球形的形狀。這種凹凸在障壁113的寬度大于障壁112的寬度的情況下能很好地形成，這已由發明者等人闡明。也就是，在這里燒結時采用的方法是利用寬度小的障壁受到寬度大的障壁拉扯而很好地形成障壁的凹凸。
通過采用以上工藝，如圖1所示，可形成高度110μm的障壁112和高度60μm的輔助障壁113。
另外，在形成障壁112和輔助障壁113時，也可以考慮按照各自的障壁高度一次涂敷漿的方法，但實際上由于對位非常困難，所以是不現實的。
障壁形成后，在障壁的壁面和障壁之間露出的介質膜的表面上涂敷含有紅色(R)熒光粉、綠色(G)熒光粉、藍色(B)熒光粉的任何一種熒光粉的熒光粉漿，將它干燥、燒結后，使最終厚度約15μm，分別形成熒光粉層。
這里給出PDP中一般使用的熒光粉材料的一例紅色熒光粉(YxGd1-x)BO3Eu3+綠色熒光粉Zn2SiO4Mn3+藍色熒光粉BaMgAl10O17Eu3+(或者BaMgAl14O23Eu3+)
各種熒光粉材料，例如可以使用平均粒徑約3μm左右的粉末。熒光粉漿的涂敷方法可考慮幾種方法，但這里使用的方法是眾所周知的、稱作彎液面法的方法，即從極細的噴嘴一邊形成彎液面(由表面張力形成的架橋)，一邊噴出熒光粉漿的方法。這種方法很適合在需要的區域均勻地涂敷熒光粉漿。另外，本發明當然并不限定此種方法，網板印刷法等其他方法也可以使用。
這樣就制成了后板。
另外，前板及后板是由鈉鈣玻璃構成的，但這只是作為材料的一個例子而已，除此以外的材料也可以使用。
3.封接、放電氣體封入工序在完成的背板106和前板101的周圍涂敷封接玻璃，使兩板對置而重合，加熱后，將屏內部封接。
然后，使屏內部(放電空間115)減壓、排氣到1×10-4Pa。
此時，背板106上形成的障壁112，加上相鄰的障壁112的間隙，能利用高度較低的障壁區域112b和前板101之間的間隙，從xy方向上一次排出大量的氣體。這樣在短時間里一邊排氣，一邊將屏內部的殘留物通過其間隙順利除去，因此能使排氣特性比過去顯著提高。結果能很好地進行屏的排氣工序，在屏內部幾乎沒有殘留物殘留。
然后在屏內部封入Ne-Xe系列的放電氣體(95％體積的氖氣和％5體積的氙氣的混合氣體)至66.5kPa，完成PDP 114的制作。
<實施例的實驗>
這里，將上述實施方式1中PDP作為實施例1，對其進行性能實驗。在其性能實驗中制作以下所示的實施例2和比較例1、2，其PDP制造也同樣進行。
(實施例2)為了形成與上述實施方式1相同的PDP，采用噴砂法制作障壁112和輔助障壁113。以此作為實施例2。
(比較例1)
制作具有傳統型障壁的PDP(參照圖7)。障壁的制作方法采用與上述實施方式相同的光刻法。
(比較例2)制作設有障壁112和輔助障壁113的PDP。此時，障壁112和輔助障壁113的高度同樣設為80μm，其它的所有尺寸設定得與實施方式1大致相同。
用相同的驅動裝置驅動上述實施例1、2和比較例1、2的PDP，表示其性能的各測定值如表1所示。表1
※1......屏內達到1×10-4Pa所需的時間從表1所示的實施例1和實施例2的測定值可知，無論采用光刻法還是噴砂法形成障壁112和輔助障壁113，排氣時間、亮度、色溫和畫質閃爍的減少等各種性能都顯示優于比較例的良好結果。由此可知本發明的障壁112和輔助障壁113的制作方法可以是任何一種方法。但是，采用一般使用的光刻法或噴砂法，在便利性上是合適的。
并且，比較例1的排氣雖然比實施例1和2稍快一些，但在亮度和色溫的平衡上仍然是實施例1和2的好。
另外，在比較例2中排氣時間與其它例子相比，需要約3倍時間，這可以認為是由于障壁112和輔助障壁113的高度相同，為了使它們平穩地與前板接觸而未設置間隙，結果放電空間的排氣變得非常困難。
<其它事項>
在上述實施例1中表示與前板101的障壁112、輔助障壁113對置的面為平面的例子，但本發明并不限于此，也可以作成在對應于高度較低的障壁112b輔助障壁113的位置上具有凸部的結構。在這里圖3表示使介質層104的厚度對應于障壁112b輔助障壁113而突出成條狀、形成凸部104a的例子。凸部104a和障壁112b間沒有完全嵌合而可確保間隙，這樣能在排氣工序中迅速排氣。
根據這種結構，加上實施例1的效果，從而可以確保各單元的放電空間的密閉性。所以如果在PDP驅動時進行一次放電，在單元內產生點火粒子等帶電粒子，則上述粒子在放電空間內可以長時間維持，就能在連續于上述放電的放電中有效利用上述粒子，提高發光效率，與以前相比，能節省功耗，降低電壓。
并且，通過使凸部104a形成條狀，則在相鄰的障壁112之間在y方向上相鄰的單元之間能使空間隔開，也能得到抑制單元之間發生交叉干擾的效果。因此如果在高清晰度電視等的高精細單元結構中采用上述條狀凸部104a，就能制成具有良好顯示性能的PDP。
再有，這種條狀凸部104a可以通過例如在以平面結構一次形成的介質層104上采用網板印刷法部分地重復涂敷并燒結介質玻璃漿而得到。
<實施方式2的構成>
圖4是本實施方式2中PDP背板的透視圖。
本實施方式2的特點在于如此圖所示，通過以六邊形蜂窩狀形成障壁112，使與該六邊形角部的與前板101對置的各角成為缺口狀，形成各六邊形內部的放電空間相互連通的結構。此PDP各部尺寸的一例是障壁112的高度為110μm，缺口部的高度為60μm，熒光粉的厚度為15μm。單元尺寸為0.54mm(x方向)×1.44mm(y方向)。
再有，在這里采用的尺寸僅是作為例子說明而已，本發明并不限于此。
根據這種蜂窩狀障壁，與具有圖7所示的傳統條狀障壁的PDP相比，由于障壁面積增大，因此可以在更大的障壁側面上涂敷熒光粉，能使亮度提高。并且，通過以六邊形蜂窩狀障壁隔開單元，可形成高精細的等離子體顯示屏。
并且，加上上述效果，由于被各蜂窩狀障壁所圍住的放電空間之間相互在幾處連通，因此在制造時排氣工序能非常順利進行，在屏內幾乎沒有殘留物殘留，能制成良好的PDP。
<實施方式2的PDP制造方法>
作為整個PDP的制造方法與實施方式1大致相同，在這里說明蜂窩狀障壁112的形成方法(以噴砂法為例)。再有，本發明當然也可以用其它的方法形成障壁112。
首先在背板106的介質膜109上，采用網板反復印刷、干燥含有形成障壁基礎的玻璃漿的材料，涂敷到指定的膜厚形成為止。
接著，在其上疊層薄膜狀的光刻膠膜，采用蜂窩狀障壁的圖案曝光、顯影。此時，設定得使位于蜂窩狀各角缺口以外的光刻膠膜的膜厚變厚。這樣，形成障壁的材料頂部上被用抗蝕膜保護。
然后，在形成上述光刻膠膜之后，采用二氧化硅顆粒進行噴砂處理，形成障壁112的圖案。在位于蜂窩狀各角缺口的部分由于噴射速率相對于其它部分不同而削得深，形成所需的形狀。將它燒結，完成圖4所示的蜂窩狀障壁112。
<實施例的實驗>
在這里以上述實施方式2的PDP作為實施例3，對其進行性能實驗。在其性能實驗中制作以下所示的實施例4，其PDP也同樣進行。
(實施例4)形成與實施方式2相同的蜂窩狀障壁，其各角的缺口數取為上述實施方式2的一半。
使實施例2和實施例4中制作的PDP用相同的工作電路進行顯示，結果如表2。表2
※1......屏內達到1×10-4Pa所需的時間從表2可知，六邊形蜂窩狀障壁112的缺口數無論取為6個或3個，與比較例1相比，排氣特性和亮度都顯示良好的性能。特別與實施例1和2相比，亮度大幅提高，由于采用六邊形蜂窩狀障壁112隔開單元，可實現優良的顯示性能。
<其它事項>
在實施例1和2中表示采用光刻法或噴砂法等形成障壁112和113的例子，但本發明并不限于此，采用印刷法和剝離(lift-off)法等形成障壁112和113也可以得到相同的結果。但是如果靈活運用噴砂法，由于能迅速、簡單地制作障壁，因此是合適的。
再有，實施例1和2中障壁的尺寸當然并不限定于上述尺寸，可以根據屏的規格等適當變更。
另外，本發明并不將障壁的結構限定于實施例1和2，例如也可以如圖6的背板透視圖所示，在相鄰的兩個障壁112中使此兩個障壁112的厚度方向的形狀成為相互對稱的梯形條狀的結構，并且采用在此條狀區域中設置輔助障壁113的結構。在這種情況下，為了相鄰的兩個障壁之間放電空間的溝通實現連通，可以在障壁112的各角上設置缺口。根據這種結構，也可以得到與上述實施例1和2相同的效果。
并且，對于本實施方式2的PDP，如果與具有用于在顯示電極103上維持放電的顯示電極驅動電路、用于在地址電極108上選擇像素的地址電極驅動電路以及控制將圖像信息供給各自像素的控制部分的顯示裝置相連接，作成PDP顯示裝置，則由于采用屏內部殘留物比傳統的PDP顯著減少的PDP，因而能提供無閃爍、穩定的圖像顯示裝置，因此是適合的。
工業上可利用性本申請的發明可以適用于電視，特別是可以適用于能再現高精細圖像的高清晰度電視。
權利要求
1.一種等離子體顯示屏，它是在第一基板的表面上相互交叉地形成用以隔開多個單元的條狀的多個第一障壁和第二障壁，并隔著這些障壁與第二基板相對設置而成的等離子體顯示屏，其特征在于在第一障壁和第二障壁交叉部分的適當區域，各障壁的高度低于第一基板和第二基板相對設置的間隔。
2.如權利要求1所述的等離子體顯示屏，其特征在于所述第二障壁的頂部的降低程度與所述交叉部分的適當區域相同，且比第一障壁厚。
3.如權利要求1所述的等離子體顯示屏，其特征在于位于一個單元的兩側的兩個第一障壁的厚度方向的形狀以相互對稱的梯形狀曲折地形成。
4.如權利要求1所述的等離子體顯示屏，其特征在于在第二基板的和第一基板相對的表面上，與第一障壁和第二障壁交叉部分的適當區域的高度相適應地以條狀形成凸部；在該凸部的頂部和與之相對的第一障壁與第二障壁之間設置間隙。
5.一種等離子體顯示屏，它是在第一基板的表面上形成以六邊形蜂窩狀分別隔開多個單元的障壁、并使第二基板的表面與該障壁的頂部相對設置而構成的等離子體顯示屏，其特征在于為了連通由所述障壁隔開的放電空間，在三個相鄰單元共有的障壁的交叉部分中、對應于各單元的三個或三個以上的交叉部分上的與第二基板相對的區域被開出切口。
6.一種等離子體顯示屏顯示裝置，其特征在于，其中設有第一基板的表面上設置的多個地址電極和第二基板的表面上設置的多個顯示電極相互交叉地相向配置而構成的權利要求1～或5所述的等離子體顯示屏；用以驅動各地址電極的地址電極驅動電路；用以驅動各顯示電極的顯示電極驅動電路；以及用以控制所述兩個電路的控制部分。
7.一種等離子體顯示屏的制造方法，它是在第一基板的表面上形成障壁、隔著該障壁與第一基板相對地配置第二基板而構成的等離子體顯示屏的制造方法，其特征在于在第一基板表面上預先形成含有玻璃的層，在障壁形成時采用噴砂法，通過使噴射速率變化來形成其高度部分地不同的障壁。
8.一種等離子體顯示屏的制造方法，它是在第一基板的表面上形成障壁、隔著該障壁與第一基板相對地配置第二基板而構成等離子體顯示屏的制造方法，其特征在于在所述障壁形成時在第一基板表面上用光刻法形成含有第一障壁的一部分和第二障壁的障壁，然后在含有該第一障壁的障壁上再次通過光刻法形成高度與所述第二障壁不同的殘存的第一障壁。
9.一種等離子體顯示屏的制造方法，它是在第一基板的表面上形成障壁、隔著該障壁與第一基板相對地配置第二基板而構成等離子體顯示屏的制造方法，其特征在于通過在第一基板的表面上涂敷第一障壁材料，同時涂敷與之交叉的、其障壁寬度大于所述第一障壁的障壁寬度的第二障壁材料，然后進行燒結工序；在該燒結工序中，在第一障壁材料與第二障壁材料的交叉部分上由于第二障壁材料將第一障壁材料拉扯進來，從而在第一障壁材料的高度上形成凹凸。
全文摘要
本發明的目的是在確保亮度的同時，改善排氣特性。本發明的特征在于在將多個單元于第一基板(107)的表面上隔開的第一障壁(112)和第二障壁(113)分別以條狀相互交叉而形成、并使第二基板的表面與該第一障壁的頂部相向配置而構成的等離子體顯示屏中，相當于第一障壁和第二障壁的交叉部分的區域(112b)中存在各障壁的高度低于其余的第一障壁(112a)高度的部分。
文檔編號H01J17/16GK1479932SQ01820123
公開日2004年3月3日 申請日期2001年10月9日 優先權日2000年10月10日
發明者高田祐助, 長尾宣明, 安藤亨, 西村征起, 村井隆一, 東野秀隆, 一, 明, 起, 隆, 高田 助 申請人:松下電器產業株式會社