專利名稱：平面顯示屏的排氣裝置及其工藝的制作方法
技術領域：
本發明平面顯示屏的排氣裝置，特別是在于上板下板構成的盤(板)之間存在不純氣體的排氣；盤間的間隔擴大，設定盤的外部壓力與盤的內部壓力不同，大大地確保了氣體的電導排氣，盤內部的不純氣體可容易地排氣，有關平板顯示屏用的氣體排氣裝置及其方法如下一般來說，顯示裝置是為人類與電子裝置信息交換的重要的接口，隨著信息化社會的發展，可接觸人類信息量的不斷擴大，要求利用它信息化機器的多樣化，有關這樣地信息化機器的顯示裝置的特性，就顯得尤為重要。
因此，比現存的CRT(OATHOBA-RAYTUBE)，薄型化成為可能，且輕、畫面優、多種附加功能、可行的環保型PDP、LCD、FED、有機EL等對于平板排出的研究，不斷地深入，它是迄今為止，作為能代表顯示裝置主流CRT的下世紀的排出裝置登上舞臺。
如前所述，平板排出是由層疊組成的各機構膜的上板和下板，雙方互相對前接合的，在它們之間具有一定間隔，在制造工藝中，必須經過除去存在于內部的不純氣體的階段。
例如等離子體顯示屏(以下稱PDP)的制造工藝大致區別為前工藝和后工氣，前工藝為在上部玻璃和下部玻璃備有所定的電極及電介質膜、隔壁等工藝；后工藝為完成前工藝的上部玻璃與下部玻璃使之附著、排出及使之注入所定的氣體，形成一張盤(板)。
圖1是普通PDP的上部玻璃和下部玻璃前工藝過程的說明。
圖1所示，上部玻璃10，一面組成了透明電極11及脈沖電極12，在該透明電極11及脈沖電極12上面，限制放電時放電電流，以均等的厚度形成容易生成壁電荷的介子層13，在該介子層13上在，由發電時生成的陰極真空噴鍍，形成了保護前述的透明電極11和脈沖電極12以及介子層13那樣地氧化鎂(MGO)保護膜14。
另外，圖1所示，下部玻璃20如前述形成在上部玻璃10的透明電極11及脈沖電極12，隔有所定距離，正交地形成接地電極21，如前述，在上部玻璃10和下部玻璃之前，如前述用復數的放電格柵分離接地電極21，防止格柵間混色，可確保放電空間那樣，排列形成隔壁22，在前述的接地電極21上，噴涂形成熒光體23。
即如圖所示的那樣，上部玻璃10和下部玻璃20各自形成，所以等離子體顯示屏的前工藝完成。
接著參照圖2說明PDP的后工藝。
首先，在后工藝中，在如圖1所示的下部玻璃20的上部邊緣部噴涂所定的玻璃料30，附著在如圖1那樣上部玻璃10上。
這時，由形成在下部玻璃20上的隔壁，形成了所定的格柵(也可說放電格柵)，下部玻璃20與上部玻璃10的距離H1約為120-140μm，下部玻璃20的熒光體23與上部玻璃10的距離約為100μm左右。
另一方面，上部玻璃10和下部玻璃20的附著工藝如果完了的話，介于連結在排氣孔31的末端管32，存于形成在隔壁22間的放電格柵33的不純氣體成份要排氣，以后介于排氣孔31，要給真空狀態的放電格柵31，注入所定的放電氣體。然后，通過密封處理為氣體的排氣及注入的排氣孔31，后工藝就已完了。
在這里，前述的氣體排氣工藝要設定真空狀態，要把形成在隔壁22之間的放電格柵33的不純氣體排出，通過放電格柵33的排氣線路，如圖3所示那樣形成。
但是，按照圖2所示，上部玻璃10與下部玻璃20之間的距離H2約為100μm，由于是非常微細的空間，所以通過象圖3那樣形成的排氣線路的不純氣體，其排氣處理引起延長其工藝時間的問題。
另外，需要過程，大氣壓的熱水循環型的爐內，假如用爐做的話，溫度的上升與冷卻都需長時間，尤其是通過盤(板)內部固有的非常低的電導排氣，不純氣體的排氣需要很長時間，使生產率低下，能源消耗多這一問題。
因此，上述問題不限于PDP，處理由上板和下板構成的盤內部的不純氣體的平板顯示屏也是共通的問題。
上述問題引起了包括PDP在內的平板顯示屏的生產時間使之延長，生產競爭力低下這樣的問題。
另外，前述的排氣工藝，介于細微的空間，進行不純氣體的排氣處理，將會產生不能正確處理不純氣體的排氣的場合，這是作為使平板顯示屏的圖象質量劣化的原因，問題的關鍵所在。
因此，本發明是考慮了上述的情況后創造出的，其目的是設定平板顯示屏的外部壓力與內部壓力的不同，盤的排氣空間，即電導排氣，通過壓力差，在極大地確保的狀態下，通過進行排氣工藝，縮短了不純氣體垢排氣時間，同時，提高了不純氣體的排氣效率，下面提供平板顯示屏用的氣體排氣裝置及其方法。
為達到前述的目的，本發明的第一觀點即平板顯示屏用的氣體排氣方法，為除去平板顯示屏內部的不純氣體，進行排氣工藝的平板顯示屏用的排氣裝置，利用本裝置的排氣方法是設定位于該容器(腔)內部的平板顯示屏內部壓力，要比容器內部的壓力高，在此狀態下，進行平板顯示屏內部的不純氣體的排氣工藝是其特點。
此時，前述的平板顯示屏用的氣體排氣方法，是把所定的氣體注入位于容器內部的平板排出內部，要高設定平板顯示屏內部的壓力，返復進行不純氣體的排氣工藝是其特點。
另外，如前所述，平板顯示屏用的排氣方法是把所定的氣體注入到位于容器內部的平板顯示屏內部，把盤內的壓力設定一定水平高于容器內部的壓力，在此狀態下，以一定的速度，持續地把所定氣體注入到平板顯示屏內部，以一定的速度使盤內部的不純氣體排氣，容器內部的壓力與盤內部的壓力差，要做到保持一事實上時間之內、一定水平，進行排氣工藝，是其特點。
另外，基于為完成前述的目的本發明的第二觀點即平板顯示屏用的氣體排氣裝置，備有為進行排氣工藝的平板顯示屏安抵的支承架，同時，在一側面還備有與第一貫通孔及前述的平板顯示屏的末端管相連結的第二貫通孔而構成的容器；如前述連結容器的第一貫通孔，通過氣體的注入及氣體排氣，調節容器內部的壓力作為第一壓力調節手段；前述的連結容器的第二貫通孔，通過氣體的注入及氣體排氣，調節平板顯示屏內部壓力的第二壓力調節手段；以及通過前述的第一及第二壓力調節手段，平板顯示屏內部的壓力設定的要比容器內部的壓力高，在此狀態下，控制平板顯示屏內部的不純氣體的排氣動作的控制手段在內而構成，是其特點。
此時，前述的平板顯示屏用的氣體排氣裝置，為設定容器內部所定的排氣溫度，備有紅外線鹵素加熱裝置而構成，是其一大特點。
另外，基于本發明的第三觀點的平板顯示屏用的排氣裝置，在下部玻璃組成了第一及第二排氣孔的平板顯示屏，同時還備有為進行排氣工藝的平板顯示屏為其安抵的支承架，在一側第一貫通孔及前述的平板顯示屏的第一及第二排氣孔，與第一及第二末端管相連結的第二及第三貫通孔而構成的容器；如前述，連結容器的第一貫通孔，通過氣體排氣動作，調節容器內部的壓力為第一壓力調節手段；如前述連結容器的第二貫通孔，通過氣體排氣動作，調節平板顯示屏內部的壓力為第二壓力調節手段；如前述連結容器的第三貫通孔，通過氣體的注入動作，調節平板顯示屏內部的壓力，作為第三壓力調節手段；以及前述的通過第一乃至第三壓力調節手段，把平板顯示屏內部壓力的設定高于容器內部的壓力，在此狀態下，控制進行平板顯示屏內部不純氣體的排氣動作，包括此控制手段在內所構成本排氣裝置，是其特點。
即根據本發明，平板顯示屏內部的壓力設定，要高于容器內部的壓力，在大大地確保平板顯示屏的電導排氣的狀態下，使之進行不純氣體的排氣工藝，此工藝的排氣時間比原來的排氣時間縮短，不言而喻，排氣工藝之后，殘存在內部的不純氣體的概率使之減少，我們就可得到光學性及電性特性良好的平板顯示屏。
以下，根據附上的繪圖說明本發明的實施例。以下在本發明的平板顯示屏之內，就PDP的場合記載了，本發明的平板顯示屏用的氣體排氣裝置及其方法沒有記載，但是，由上板和下板構成的平板顯示屏，例如LCD、FED、有機EL等可適用并可實施。
圖4是表示本發明的第一實施例的平板顯示屏，特別是用于PDP的氣體排氣裝置的構成示意圖。
按圖4所示，系本發明的氣體排氣裝置備有為安抵氣體排氣工藝階段PDP50的支承架101，用真空氣發熱時，不純氣體不放出，從盤內部的構造物材料散發放也不純物所要求的所定熱，為此在其內部備有紅外線(IR)鹵素加熱器102而構成，同時，包括在一面形成第一及第二貫通孔103、104所構成容器100；該容器100的第一貫通孔103與以整體相連結的第一管105相連結，為調節容器100內部的壓力的第一調節手段110；介于容器100的第二貫通孔104，與等離子體顯示屏50末端管(圖2的33)相連結，為調節等離子體顯示屏50內部的壓力的第二壓力調節手段120而構成。
在這里，前述的紅外線鹵素加熱器102如圖4所示的那樣，在盤50安抵了上部，排列形成多個1021-102K而構成，該紅外紅鹵素加熱器102根據附加設定電源部的電壓水平，調節發熱溫度而構成。
另外，按圖4所示的那樣，本發明系氣體排氣裝置，操縱前述第一壓力調節手段110和第二壓力調節手段，使容器100和盤50內部排氣，同時，控制進行所定的氣體注入動作，通過容器100和盤50內部之間的壓力差，極大地確保盤內部的排氣空間，即電導排氣，含這種控制的控制裝置130而構成。
此時，前述的控制裝置130由以下構成，為保存所定信息，例如根據運用者所設定的容器及盤內部的基準壓力和排氣壓力比率信息的所定存儲器，含為顯示容器內部及盤內部的壓力所定的顯示手段。根據運用者所定的基準壓力信息，就可以通過第一及第二壓力調節手段110、120，控制氣體排氣及氣體注入動作。
圖5是把圖4所示的壓力調節手段110、120的內部構成，機能性地分開表示的機能部件圖。
按圖5所示的那樣，第一及第二壓力調節手段110、120，按照適應氣體排氣動作所定的控制信號，執行開/關的第一閥門111；與這個第一閥門111相連結，通過第一或第二貫通孔103、104進行氣體排氣動作，按照適應為此目的排氣泵112、氣體注入動作所定的控制信號，執行開/關的第二閥門113；與這個第二閥門113相連結，通過第一或第二貫通孔103、104，進行氣體注入動作，通過為此目的氣缸，以及第一或第二貫通孔103、104就是本裝置，即含為測定容器100或盤50內部壓力的壓力測定器115，而構成。
此時，在前述的氣缸14儲存所定的洗凈氣體，例如He，Ar，Ne，Xe，N2等惰性氣體。
繼續說明前述的構成裝置的動作。
首先，前工藝處理完了，把在上部玻璃51和下部玻璃52之間，形成了所定的玻料玻璃51和下部玻璃52之間，形成了所定的玻料玻璃的盤50，使其位于容器100內部的支承架101的狀態下，操縱備在容器100內部的紅外線鹵素加熱器，使容器100內部的溫度達到盤50附著所要求的溫度，例如約300-400℃左右。即將容器100的內部處于真空狀態后，設定前述的要求附著的溫度，短時間使上部玻璃51和下部玻璃52附著。
然后，操縱紅外紅鹵素加熱器102，將容器100的內部溫度冷卻到所定的排氣溫度。
接著，在容器100內部溫度冷卻到排氣溫度的狀態下，控制裝置130操縱第一及第二壓力調節手段110、120，進行所定的排氣動作。
即控制手段130通過第一壓力調節手段，使容器110內部的壓力，維持在初期設定的真空的壓力，同時，通過第二壓力調節手段120，在盤50的內部注入洗凈氣體，如He，Ar，Ne，Xe，N2這樣的惰性氣體。
此時，控制手段130控制第二壓力調節手段120的氣缸114及第二閥門113，就可注入氣體，但是在往盤內部注入氣體時，要控制用比容器100內部壓力高的壓力，注入所定的洗凈氣體。
接著，洗凈氣體注入時，通過設定盤內部壓力要比容器100的壓力高，按照圖4虛線所示，盤50-1其本身膨脹到所定水平。即比盤50其本身的排氣空間(KM單位)，形成了更大的排氣空間(MM)單位。
按照圖4虛線表示的那樣，在極大地確保盤50-1的排氣空間的狀態下，控制裝置130根據運用者事先設定的壓力變化比率信息，通過第一壓力調節手段110和第二壓力調節手段120，進行氣體排氣動作。
這時，通過第一及第二壓力調節手段110、120的氣體排氣動作如圖6所示，操縱第一及第二壓力調節手段110、120的第一閥門111及排氣泵112，容器100和盤50內部的氣體排氣；周期性地控制第二壓力調節手段120的第二閥門113及氣缸114，用高壓力注入所定的洗凈氣體，使容器100和盤50的內部間，設定所定水平的壓力差(AP)后，操縱第二壓力調節手段120進行排氣動作。即最大地確保盤排氣空間的狀態下，實施進行排氣動作。
另外，如圖7所示，如前所述的排氣動作，通過第一及第二壓力調節手段110、120，容器100和盤50的內部間的壓力差為一定水平設定之后，維持所定時間內的其狀態后，通過第二壓力調節手段120，可實施不純氣體的排氣。即如圖4虛線所示的那樣，設定盤50-1所導排氣大的狀態下，一定時間之內，維持容器100和盤50的內部間的壓力差狀態，把盤50的隔壁間的不純氣體，誘導到盤50寬擴的排氣領域后，通過第二壓力調節手段120，就可進行不純氣體的排氣動作。
另一方面，控制裝置130進行前述的排氣動作的同時，要周期性地確認第二壓力調節手段120壓力測定器115，所定水平，假如10-5-10-7TORR的場合，結束通過第一壓力調節手段的排氣動作，通過控制第一壓力調節手段110的第二閥門113及氣缸116，給容器110注入所定氣體，把容器100設定為大氣壓狀態。
接著，容器100的內部壓力在大氣壓的狀態下，控制裝置130一邊繼續進行通過第二壓力調節手段120的排氣動作，一邊調節設計在容器100內部的紅外線鹵素加熱器，將容器100的內部設定為常溫。
之后，控制裝置130控制第二壓力調節手段120的第二閥門113及氣缸114，注入盤50的內部放電所要求的所定的放電氣體，例如Xe，Ar，Ne，He等混合氣體，通過封止末端管33，完成了氣體的排氣及注入工藝。
另一方面，前述的平板排出氣體排氣裝置及其方法，如圖8及圖9所示那樣，可適用于批量生產方式，可以實施。
即如圖8所示的那樣，備齊放置多個象圖4那樣的容器210(210/210)，與多數的容器210各節一貫通孔相連結的第一壓力調節手段220；與多的容器210的各第二貫通孔相連結的第二壓力調節手段230；通過第一及第二壓力調節手段220、230，控制進行如圖6及圖7那樣的排氣動作的控制手段200，備有以上這些而構成。即通過備有平板顯示屏多數容器，可容易地進行批量的平板顯示屏的不純氣體的排氣工藝。
另外，如圖9所示那樣，在一個容器310，事先備有多數個平板顯示屏50；與容器310的第一貫通孔相連結的第一壓力調節手段320和為調節平板顯示屏50內部壓力的第二壓力調節手段330；與多數的平板顯示屏50的第一貫通孔及前述的第二壓力調節手段330相連結，把第二壓力調節手段330附加的氣體，一同注入到盤50，同時，根據由第二壓力調節手段330的控制，通過多數的盤50內部不純氣體排氣的岐管340，前述的第一及第二壓力調節手段320、330，同圖6及圖7一樣，控制進行排氣動作的控制裝置300，由這些可以構成。即在一個容器上可設置多數的平板顯示屏，能容易地進行批量平板顯示屏不純氣體的排氣工藝。
另一方面，圖10是伴隨本發明的第二實施例的平板的顯示屏的氣體排氣裝置的構成示意圖1，對于同圖4表示的裝置同一部分，附有一樣的參照號碼，其詳細說明省略。
即按圖11所示的那樣，本發明系平板的顯示屏用的氣體排氣裝置，在下部玻璃形成第二排氣孔610，進而構成盤600，與位于支承架101的盤600的第二排氣孔610相連結，為使其所定管在外部貫通的第三貫通孔510構成的容器500，通過前述的容器500的第三貫通孔與盤的第二排氣孔610相連接，同時，介于所定管522與容器500的第一貫通孔103相連結，用所定壓力水平，給前述的容器500及盤600的內部，進行氣體注入動作，為第三壓力調節手段520，通過它以及前述的第一乃至第三壓力調節手段110、120、520，調節容器500及盤600的壓力，含為此調節的控制裝置530而構成。
在這里，前述的第一乃至第三壓力調節手段110、120、520的內部構成如圖11所示。
即第一及第二壓力調節手段110、120，由第一及第二貫通孔103、104相連結，為進行所定的氣體排氣動作的第一閥門111以及排氣泵112，容器500或盤600的壓力，含為測定這些壓力的壓力測定器115，由以上而構成。
然后，第三壓力調節手段520由保存所定洗凈氣體的氣缸523；容器500的第三貫通孔510相連結，根據適應往盤600的氣體注入動作所定的控制信號執行開關的第二閥門524；以及與容器500的第一貫通孔103相連結，根據適應容器500內部的氣體注入動作所定的控制信號執行開關的第三閥門525由這些而構成。
另一方面，在圖10前述的控制裝置530，象圖6及圖7表示的曲線，進行盤600的不純氣體的排氣動作。
即控制裝置530象圖6表示的那樣，控制第一壓力調節手段110的第一閥門111，一邊維持容器500的內部壓力在一定水平，一邊返復控制通過第二壓力調節手段120的盤內部的不純氣體排氣動作。并且一邊返復控制，通過第三壓力調節手段130的第二閥門524往盤600內部的氣體注入動作。這時，如前述的控制裝置530通過第三壓力調節手段130，控制往盤600內部的氣體注入，盤600的內部壓力要高于容器500內部壓力的一定水平(AP)那樣地控制注入氣體。
另外，控制裝置530如圖7所示的那樣，控制第一壓力調節手段110的第一閥門111，一邊把容器500的內部壓力維持在初期設定的壓力，一邊操縱第三壓力調節手段520的第二閥門524，注入盤600內的所定洗凈氣體，要控制盤600內部壓力，要比容器500的內部壓力高出一定水平之后，控制第三壓力調節手段520的第二閥門524，要維持盤600內部洗凈氣體在一定的壓力水平的注入，但同時，要維持一定的壓力水平，進行排氣動作，使容器500的內部和盤600的內部的一定水平差(AP)，維持在一定時間，進行排氣動作，經過一定時間后，控制第三壓力調節手段520，使其終止洗凈氣體的注入，操縱第2壓力調節手段120，可以進行盤內部的氣體排氣動作。
即同時進行往盤600的內部的氣體注入與排氣維持容器500的內部和盤600內部的壓力差之后，通過返復進行一定時間盤600內部的不純氣體的排氣過程，就可以進行盤內部的氣體排氣動作。
另一方面，前述的如圖10表示的顯示屏用的氣體排氣裝置，從圖12所表示的方式可進行排氣工藝。
即按照圖10的虛線所示的那樣，盤600內部的壓力設定要比容器500的內部壓力高，在此狀態下，控制裝置530通過第二壓力調節手段120，要控制盤600-1內部的不純氣體，在所定壓力水平連續排氣的同時，通過第三壓力調節手段520，控制在所定壓力水平把所定的洗凈氣體，連續地注入到盤600-1的不純氣體的排氣壓力水平和洗凈氣體注入的壓力水平，要同一設定，不斷地維持容器500和盤600-1間的初期壓力差，就能實施連續性的不純氣體的排氣動作。
另外，伴隨著前述的第二實施例的平板顯示屏用的排氣裝置，可以實旋施，適應于象圖8以及圖9所表示的那樣的大型化方式。
即若根據本發明，作為熱源使用紅外線鹵素加熱器，設定容器內部的壓力為真空狀態，維塹低于平板顯示屏內部壓力一定水平，盤的電導排氣就大，在此狀態下，存在于盤內部的不純氣體就進行排氣。
按照以上所述，依靠本發明，平板顯示屏的內部壓力的設定高于容器內部壓力，在大大地確保平板顯示屏的電導排氣的狀態下，使之進行不純氣體的排氣工藝，比原來的排氣時間縮短了排氣時間，不言而喻，排氣工藝后，殘存在內部的不純氣體的概率使之減少，可得到光學理及電恒理良好的平板顯示屏。
另一方面，本發明不限于前述的實施例，在不跳出本發明的技術性思想范圍內，可以進行多種多樣地變形實施。
圖面的簡單說明圖1是說明等離子顯示屏的前工藝過程圖。
圖2是等離子顯示屏的后工藝過程說明圖。
圖3是等離子顯示屏的氣體工藝時的氣體排氣線路圖。
圖4是本發明第一實施例平板顯示屏用的氣體排氣裝置的構成圖。
圖5是圖4所出的第一及和二壓力調節手段110、120的內部構成的機能部件圖。
圖6和圖7是利用本發明氣體排氣裝置的氣體排氣方法說明圖。
圖8和圖9是本發明的第一實施例，平板排氣盤用氣體排氣裝置，適用批量生產方式的例證概略性的示意圖。
圖10是本發明的第二實施例，平板顯示屏用氣體排氣裝置的構成概略性的示意圖。
圖11是圖10所示的第一乃至第三壓力調節手段110、120、520的內部構成，機能方面的機能部件圖。圖12是利用圖10所示的裝置，氣體排氣方法說明圖。符號的說明50等離子顯示屏51 上部玻璃52 下部玻璃53 玻料玻璃100 容器101 支承架102 加熱器103、104 貫通孔105 第一管110 第一壓力調節手段120 第二壓力調節手段130 控制裝置
權利要求
1.一種用于排出平面顯示屏內不純氣體的排氣裝置的排氣工藝，其特征在于設定置于容器內的平面顯示屏內的壓力，高于容器內部的壓力。
2.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征于把所述的容器內部的壓力，設定為初期壓力水平的狀態下，用高于平面顯示屏內部的壓力注入所定的惰性氣體，平面顯示屏內部壓力的設定，要高于容器內部壓力。
3.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于排氣時，注入盤內部所定氣體，提高盤內部壓力的過程和盤內部的不純氣體的排氣過程要反復地進行。
4.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于所述的平面顯示屏內部壓力，比容器內部壓力高的壓力維持在一定水平，一定時間之后，進行前述的不純氣體的排氣動作。
5.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于固定持續地維持容器平板排出盤內部的壓力差，使不純氣體連續地排氣。
6.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于在設定了的盤內部的壓力，高于容器壓力的狀態下，以第1壓力比例注入盤內部所定氣體的同時，盤內部的氣體就以第一壓力比排氣。
7.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于平面顯示屏采用等離子體顯示屏。
8.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于平面顯示屏采用液晶顯示裝置。
9.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于平面顯示屏采用FED。
10.根據權利要求1所述的排氣工藝，其特征在于平面顯示屏采用機電場發光裝置(有機EL)。
11.一種用于排出平面顯示屏內的不純氣體的排氣裝置，其特征在于備有為進行排氣工藝的平板排出盤及安抵的支撐架，同時備有在一側與第一貫通孔及前述平板排出盤的末端管連結在一起的第二貫通孔，所構成的容器；前述被連結在容器的第一貫通孔，調節通過注入氣體及氣體排氣的容器內部壓力，為第一壓力調節器；如前述，被連接容器的第二貫通孔，通過注入氣體及氣體排氣，調節平面顯示屏內部壓力，為第二壓力調節器；如前述，通過第一及第二壓力調節器，在設定了平面顯示屏內部的壓力，高于容器內部壓力的狀態下，包括控制(進行)平面顯示屏內部不純氣體排氣動作的控制器在內所構成。
12.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于控制器如前所述在于進行排氣動作，控制第二壓力調節器，注入平面顯示屏內部所定氣體的過程和平面顯示屏內部的不純氣體的排氣過程，返復進行控制。
13.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于注入到平板排出盤內部的氣體，是惰性氣體，以此為特點的如[申請項目12]所記載的平板排出盤所用氣體排氣裝置。
14.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于在容器內部，作為排氣熱源，備有紅外線鹵素加熱裝置為特點的，如[申請項目11]所記載平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
15.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于第一及第二壓力調節手段，要適應前述附加控制手段所定的控制信號，為氣體排氣的排氣泵；與該排氣泵相連接，適應前述附加控制手段的控制信號，能開/關的第一閥門；適應前述附加控制手段所定控制信號，為注入氣體的氣缸；與該氣缸相連結，適應前述的附加控制手段的控制信號，能開/關的第二閥門；和備有為測定所定壓力的壓力測定器所構成。如前所述，第一閥門和第二閥門以及壓力測定器，與前述的容器的第一或第二貫通孔相連結，以此為特點，如[申請項目11]所記載的平板排出盤所用氣體排氣裝置。
16.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于多個備有平板排出盤可安抵了的容器。如前述，第一壓力調節手段與多數容器的各第一貫通孔相連結。如前述，第二壓力調節手段介于多數容器的各第二貫通孔，與平板排出盤相連結所構成，以此為特點，如[申請項目11]所記載的平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
17.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于在容器內部備有多個平板排出盤。如前述，第一壓力調節手段與容器的第一貫通孔相連結。如前述，第二壓力調節手段介于容器的第二貫通孔與多個平板排出盤一對一地相對應連結構成，以此為特點的如[申請項目11]所記載的平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
18.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是等離子體排出盤(PDP)為特點的，如[申請項目11]所記載的平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
19.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以液晶排出(LO)裝置為特點的，如[申請項目11]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
20.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以電場放出成份(FED)為特點的，如[申請項目11]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
21.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以有機電場發光裝置(有機EL)為特點的，如[申請項目11]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
22.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于在下部玻璃上，組成第一及第二排氣孔。備有為進行排氣工藝的，為安抵平板排出盤的支承架；同時，有在一側第一貫通孔及前述的平板排出盤的第一及第二排氣孔與第一及第二末端管相連結的第二及第三貫通孔所構成的容器。如前述，連結容器的第一貫通孔，通過氣體排氣動作，調節容器內部的壓力，作為第一壓力調節手段。如前述，連結容器的第二貫通孔，通過氣體排氣動作，調節平板排出盤內部的壓力，作為第二壓力調節手段。如前述，連結第三貫通孔，通過注入氣體動作，調節平板排出盤內部壓力，作為第三壓力調節手段。如前述，通過第一乃至第三壓力調節手段，設定平板排出盤內部壓力，高于容器內部壓力的狀態下，控制平板排出盤內部的不純氣體的排氣動作，作為控制手段而構成，以此為特點的平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
23.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于通過第三壓力調節手段，注入到平板排出盤的氣體是惰性氣體為特點的，如[申請項目22]所記的平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
24.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于前述控制手段，控制出了容器與盤內部的壓力水平差之后，通過所定時間第三壓力調節手段，不斷控制注入盤內部氣體第一壓力比例，通過第二壓力調節手段，盤內部的氣體用第一壓力比例排氣，這樣控制之后，通過所定時間第三壓力調節手段，控制中止往盤內部的空氣注入動作，反復進行，構成以此為特點的[申請項22]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
25.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于設定控制手段，要通過第三壓力調節手段往平板排出盤的氣體注入控制，控制平板排出盤的壓力水平保持一定時間，以此為特點，如[申請項24]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
26.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于控制手段通過第一乃至第三壓力調節手段，設定平板排出盤內部壓力比容器內部壓力高出一定水平之后，通過第二壓力手段，用第一壓力水平使平板排出盤內部的不純氣體持續排氣，通過第三壓力手段，用第一壓力水平，控制注入平板排出盤內所定氣體，以此為特點構成[申請項22]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
27.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以等離子體排出盤(PDP)為特點的，如[申請項22]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
28.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以液晶排出裝置(LOD)為特點的，如[申請項22]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
29.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以電場放出成份(FED)為特點的，如[申請項22]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
30.根據權利要求11所述的排氣裝置，其特征在于平板排出盤是以有機電場發光裝置(有機EL)為特點的，如[申請項22]所記平板排出盤所用的氣體排氣裝置。
全文摘要
本發明提供一種平面顯示屏氣體排氣裝置及其工藝方法,它是利用平面顯示屏的內部和外部的壓差,使得存在于顯示屏的氣體成份很容易得到排氣;若顯示屏內部的壓力比箱體壓力設定得高出一個水平,那么顯示屏的上板與下板之間的間隔將擴張開來,此時對顯示屏內部的不純氣體進行排氣操作。從而跟傳統的平面顯示屏的排氣工藝相比,不但可以縮短排氣時間,還要減小在顯示屏內殘存不純氣體的機率,可將獲得光學性能和電氣性能均良好的平面顯示屏。
文檔編號H01J11/54GK1363945SQ0110296
公開日2002年8月14日 申請日期2001年2月9日 優先權日2001年1月12日
發明者樸善宇, 權英國 申請人:Upd株式會社