一種基底交接裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種基底交接裝置，包括直線電機組件、升降板、接板手組件及控制傳感器組件，所述直線電機組件包括底座、外殼體、電機動子及電機定子，所述外殼體位于所述底座上方，所述電機動子與所述電機定子以同心圓方式設置在所述外殼體內，所述升降板安裝在所述電機動子上，所述接板手組件安裝在所述升降板上，所述控制傳感器組件安裝在所述底座上并和所述直線電機組件連接。本實用新型采用了底座與直線電機組件外殼體合并為一體式的結構，能夠有效減小裝置的高度尺寸，節省空間。由電機動子直接帶動接板手組件的真空吸附裝置吸附基底運動，提高了運動效率。
【專利說明】
一種基底交接裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種基底交接裝置，是光刻機中基底工件臺的組成部分，用于基底的傳輸交接，屬于光刻技術領域。
【背景技術】
[0002]微電子技術是在電子電路和系統的超小型化和微型化過程中逐漸形成和發展起來的。微電子技術是高科技和信息產業的核心技術。微電子產業的發展規模和科學技術水平已成為衡量一個國家綜合實力的重要標志。微電子技術的發展一直是光刻設備和技術變革的動力，21世紀光刻機將繼續居于諸多技術之首。目前隨著各種電子設備的發展日趨成熟，平板顯示器的應用更為廣泛，如移動電話、GPS、多媒體車載顯示、電腦及電視的顯示器等。TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)技術在平板顯示產業中處于核心地位，具有資金密集、人才密集、技術密集等特點。光刻機是一種將掩模圖案曝光成像到基底上的工藝技術設備，廣泛應用于微電子技術領域及其他電子領域。TFT光刻機作為制造TFT面板的關鍵設備，其精度要求高，技術難度大，但市場需求也很大。基板工件臺是TFT光刻機的關鍵分系統之一，其運動性能直接影響光刻機的產率和成像質量。基板工件臺具有運動行程大，驅動質量大、電機驅動反力大的特點。基板工件臺的交接裝置是基板工件臺的組成部分，用于基板的傳輸交接。當傳輸機械手將基板輸送到指定工位時，需要一種交接裝置將基板迅速平穩的提升一定距離，以便傳輸機械手與基板脫離并退回，要求該裝置能夠在有限的空間里進行穩定有效的運動。
[0003]現有技術采用普通電機驅動機械傳動機構(凸輪或渦輪等)通過連接板帶動基板上下直線運動，此方法在機械傳動過程中存在摩擦和間隙等因素，影響運動效率和精度，加工和裝配難度也較大，工藝性不好，且占用空間大。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種減小裝置高度尺寸、精確控制運動行程的基底交接裝置。
[0005]為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案予以實現:
[0006]—種基底交接裝置，包括直線電機組件、升降板、接板手組件及控制傳感器組件，所述直線電機組件包括底座、外殼體、電機動子及電機定子，所述外殼體位于所述底座上方，所述電機動子與所述電機定子以同心圓方式設置在所述外殼體內，所述升降板安裝在所述電機動子上，所述接板手組件安裝在所述升降板上，所述控制傳感器組件安裝在所述底座上并和所述直線電機組件連接。
[0007]優選的，所述電機動子包括若干向外延伸的運動桿，所述升降板安裝在所述運動桿上。
[0008]優選的，所述基底交接裝置還包括導軌組件，所述導軌組件穿過所述升降板安裝在所述底座上。
[0009]優選的，所述導軌組件包括支架、導軌、滑塊及連接板，所述支架安裝在所述底座上，所述導軌緊固安裝在所述支架上，所述滑塊沿著所述導軌上下移動，所述升降板通過所述連接板與滑塊固定連接。
[0010]優選的，所述導軌組件中的滑塊和導軌為2組。
[0011 ]優選的，所述支架上設有用于限制所述滑塊的限位塊。
[0012]優選的，所述導軌組件為兩組，兩組所述導軌組件關于所述外殼體對稱分布。
[0013]優選的，所述電機定子包括外磁鐵及內磁鐵，所述外磁鐵同心圍繞所述內磁鐵設置在所述外殼體內，所述電機動子位于所述外磁鐵和所述內磁鐵之間。
[0014]優選的，所述電機動子包括第一繞線柱、第二繞線柱、墊塊及線圈，所述線圈纏繞在所述第一繞線柱和所述第二繞線柱上下疊放形成的柱體上，所述第一繞線柱設有若干向外延伸的第一桿體，所述第二繞線柱設有若干向外延伸的第二桿體，所述第一桿體、所述墊塊及所述第二桿體從上往下依次疊放形成若干運動桿。
[0015]優選的，所述運動桿均勻分布在所述電機動子周圍。
[0016]優選的，所述外殼體上均勻分布有若干開槽，所述運動桿穿出所述開槽后與所述升降板固定連接。
[0017]優選的，所述外磁鐵為分塊式，放置于所述開槽的兩側。
[0018]優選的，所述內磁鐵為由多塊磁鐵組裝成的空心圓柱狀結構。
[0019]優選的，所述升降板環繞在所述外殼體的外圍。
[0020]優選的，所述接板手組件中設置有真空吸附裝置。
[0021 ]優選的，所述外殼體與底座成一體式法蘭盤結構。
[0022]優選的，所述直線電機組件還包括端蓋，所述端蓋緊固于所述外殼體的上端。
[0023]與現有技術相比，本實用新型采用了底座與直線電機組件外殼體合并為一體式的結構，能夠有效減小裝置的高度尺寸，節省空間。由電機動子直接帶動接板手組件的真空吸附裝置吸附基底運動，提高了運動效率，通過傳感器組件控制其運動行程，能夠保證其運動精度。
【附圖說明】
[0024]圖1是本實用新型一【具體實施方式】中基底交接裝置的示意圖；
[0025]圖2是本實用新型一【具體實施方式】中基底交接裝置的示意圖；
[0026]圖3是本實用新型一【具體實施方式】中基底交接裝置中直線電機組件的示意圖；
[0027]圖4是本實用新型一【具體實施方式】中基底交接裝置中直線電機組件的俯視圖；
[0028]圖5是本實用新型一【具體實施方式】中基底交接裝置中導軌組件的示意圖；
[0029]圖6至圖10是本實用新型【具體實施方式】中基底交接裝置中運動桿類型的示意圖。
[0030]圖中所示:A是直線電機組件、B是導軌組件、C是升降板、D是接板手組件、E是控制傳感器組件、10是底座、11是外殼體、2是運動桿、21是第一繞線柱、22是墊塊、23是第二繞線柱、24是線圈、3是端蓋、4是外磁鐵、5是內磁鐵、6是支架、7是導軌、8是滑塊、9是連接板、10是限位塊。
【具體實施方式】
[0031]下面結合附圖對本實用新型作詳細描述:
[0032]圖1至圖5示出了本實用新型的基底交接裝置，包括直線電機組件A、升降板C、接板手組件D及控制傳感器組件E，所述直線電機組件A包括底座10、外殼體11、端蓋3、電機動子及電機定子，所述電機動子與所述電機定子以同心圓方式設置在所述外殼體11內，所述升降板C安裝在直線電機組件A的電機動子上，所述接板手組件D安裝在升降板C上，所述控制傳感器組件E安裝在底座10上并和直線電機組件A連接。所述升降板C環繞于所述外殼體11的外圍。所述接板手組件D中設置有真空吸附裝置。
[0033]本實用新型采用外殼體11與底座10合并為一體式法蘭盤結構，能有效的減小了高度尺寸且便于安裝，節省了占用空間。采用上述結構，由直線電機組件A的電機動子直接帶動接板手組件D吸附基底運動，提高了運動效率。本實用新型通過傳感器組件E控制直線電機組件A的運動行程，能夠保證其運動精度。
[0034]參照圖3至圖5，本實用新型的基底交接裝置還包括導軌組件B，所述導軌組件B安裝在底座10上并與所述升降板C相匹配。具體地，所述導軌組件B包括支架6、導軌7、滑塊8和連接板9，所述支架6安裝在所述底座10上，所述導軌7安裝在支架6上，所述滑塊8沿著導軌7上下移動，所述限位塊10固定在所述支架6上，用于限制所述滑塊8，所述連接板9固定在滑塊8上，所述升降板C與連接板9固定連接。所述導軌組件B中的滑塊8和導軌7為2組，所述導軌7分布在所述支架6兩側，對應地所述限位塊10設置在支架6兩側面，并垂直于導軌7，用于承接并限制滑塊8。所述導軌組件B為2組，所述兩組導軌組件B關于直線電機組件A對稱分布。上述技術可以減小滑塊8與導軌7之間的運動間隙。本裝置采用兩組導軌組件的對稱分布，且每側導軌組件采用雙導軌結構能夠有效的抗扭和防止變形從而保證運動的平穩性。
[0035]由圖3和圖4可知，本實施例中所述電機定子包括外磁鐵4和內磁鐵5，所述外磁鐵4同心圍繞所述內磁鐵5設置在所述外殼體11內，所述電機動子位于外磁鐵4和內磁鐵5之間，所述端蓋3緊固于外殼體11的上端。所述電機動子包括第一繞線柱21、墊塊22、第二繞線柱23和線圈24，所述線圈24纏繞在第一繞線柱21和第二繞線柱23上下疊放形成的柱體上，所述第一繞線柱22上設有若干向外延伸的第一桿體，所述第二繞線柱23上設有若干向外延伸的第二桿體，所述第一桿體、墊塊22及第二桿體從上往下依次疊放形成若干運動桿2。所述外殼體11上均勻分布有若干開槽，所述運動桿2穿出所述開槽后與升降板C固定連接。所述運動桿2均勻分布在柱體周圍，可以使升降板C均勻受力。相應地，所述外磁鐵4為分塊式結構，放置于所述開槽的兩側，以確保運動桿2可在直線電機組件A內部上下運動。所述內磁鐵5為由多塊磁鐵組裝成的空心圓柱狀結構。
[0036]采用上述結構，保證了電機動子的運動空間，同時能夠保證動力的平衡輸出及線圈24熱量的散失，便于安裝及維護。通過真空吸附裝置確保所支撐的基底在運動中被平穩固定。端蓋3與外殼體11用螺釘緊固可以有效防止電機變形的發生。
[0037]繼續參照圖1至圖5，下面詳細說明本實用新型的工作過程:首先，當傳輸機械手將基底運送到指定工位時，控制傳感器組件E控制直線電機組件A通電，使直線電機組件A的電機動子直線上升，同時帶動電機動子的運動桿2作上升運動，從而帶動升降板C及安裝在升降板C上的接板手組件D在導軌組件B的導向下沿導軌7做同步上升運動。當控制傳感器組件E檢測到升降板C運動到指定位置時，接板手組件D的真空吸附裝置吸附基底后繼續上升，當運動到交接位置后控制傳感器組件E給出停止運動指令，控制直線電機組件A的電機動子停止運動，這時收回基底上的傳輸機械手。然后，控制傳感器組件E控制直線電機組件A通電，使電機動子的運動桿2向下運動，從而帶動升降板C及吸附有基底的接板手組件D同步下降。當控制傳感器組件E檢測到基底落在工件臺的指定位置時，接板手組件D與基底分離，然后電機動子的運動桿2繼續下降到初始位置，基底交接過程完成。本實用新型通過傳感器組件E控制直線電機組件A的運動行程，能夠保證其運動精度。
[0038]圖6至圖10所示為本實用新型基底交接裝置中所述運動桿2的幾種實施例類型。本實施例給出的所述運動桿2數量為2?6個，優選為4個。如圖6至圖10所示，所述運動桿2可以為十字形、直線型、三角型、五角型或六角型，采用上述中心對稱分布的運動桿2，能夠保證動力的平衡輸出，確保升降板平穩升降。
[0039]本實用新型所述的基底包括但不限于硅片、玻璃基板。
[0040]顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種基底交接裝置，其特征在于，包括直線電機組件、升降板、接板手組件及控制傳感器組件，所述直線電機組件包括底座、外殼體、電機動子及電機定子，所述外殼體位于所述底座上方，所述電機動子與所述電機定子以同心圓方式設置在所述外殼體內，所述升降板安裝在所述電機動子上，所述接板手組件安裝在所述升降板上，所述控制傳感器組件安裝在所述底座上并和所述直線電機組件連接。2.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述電機動子包括若干向外延伸的運動桿，所述升降板安裝在所述運動桿上。3.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述基底交接裝置還包括導軌組件，所述導軌組件穿過所述升降板安裝在所述底座上。4.根據權利要求3所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述導軌組件包括支架、導軌、滑塊及連接板，所述支架安裝在所述底座上，所述導軌緊固安裝在所述支架上，所述滑塊沿著所述導軌上下移動，所述升降板通過所述連接板與滑塊固定連接。5.根據權利要求4所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述導軌組件中的滑塊和導軌為2組。6.根據權利要求4所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述支架上設有用于限制所述滑塊的限位塊。7.根據權利要求3所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述導軌組件為兩組，兩組所述導軌組件關于所述外殼體對稱分布。8.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述電機定子包括外磁鐵及內磁鐵，所述外磁鐵同心圍繞所述內磁鐵設置在所述外殼體內，所述電機動子位于所述外磁鐵和所述內磁鐵之間。9.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述電機動子包括第一繞線柱、第二繞線柱、墊塊及線圈，所述線圈纏繞在所述第一繞線柱和所述第二繞線柱上下疊放形成的柱體上，所述第一繞線柱設有若干向外延伸的第一桿體，所述第二繞線柱設有若干向外延伸的第二桿體，所述第一桿體、所述墊塊及所述第二桿體從上往下依次疊放形成若干運動桿。10.根據權利要求2或9所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述運動桿均勻分布在所述電機動子周圍。11.根據權利要求2或9所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述外殼體上均勻分布有若干開槽，所述運動桿穿出所述開槽后與所述升降板固定連接。12.根據權利要求8所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述外殼體上均勻分布有若干開槽，所述外磁鐵為分塊式，放置于所述開槽的兩側。13.根據權利要求8所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述內磁鐵為由多塊磁鐵組裝成的空心圓柱狀結構。14.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述升降板環繞在所述外殼體的外圍。15.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述接板手組件中設置有真空吸附裝置。16.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述外殼體與底座成一體式法蘭盤結構。17.根據權利要求1所述的一種基底交接裝置，其特征在于，所述直線電機組件還包括端蓋，所述端蓋緊固于所述外殼體的上端。
【文檔編號】B65G47/91GK205507354SQ201521134417
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2015年12月30日
【發明人】劉偉, 朱岳彬
【申請人】上海微電子裝備有限公司