一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及激光直寫曝光機技術領域，具體來說是一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體光刻機領域中，PCB板除塵是光刻設備曝光前的重要工序，設備曝光工序前，需要將PCB板表面除塵。如果PCB板表面吸附有灰塵、金屬肩、人體皮肩等顆粒物，曝光時會出現曝光不清晰甚至斷點現象，因此PCB板除塵是光刻過程的技術難題。傳統的PCB板除塵是人工用粘塵滾在PCB板上來回滾筒，達到除塵目的，此過程大概需要10~20秒，且此過程不可提前于曝光前太久，否則PCB板曝光前可能再次吸附灰塵，因此會大大影響工作效率，不利于PCB板曝光產能的提高。同時在曝光過程中，PCB板吸附在曝光平臺上在X、Y兩個方向前后左右移動，此過程中也有再次吸附灰塵顆粒的可能，同樣會增加產品不良率。如何開發出一種能夠在曝光過程中依然可以對PCB板進行吸附除塵的裝置已經成為急需解決的技術問題。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的是為了解決現有技術中無法在曝光過程中對PCB板進行除塵的缺陷，提供一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置來解決上述問題。
[0004]為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0005]—種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，包括機臺，機臺上安裝有支撐平臺，支撐平臺上安裝有曝光機頭組，還包括自吸塵組件，自吸塵組件包括固定安裝在支撐平臺側部的上固定塊，上固定塊位于曝光機頭組前部面板的下方，上固定塊兩端下部分別垂直安裝有豎板，豎板的數量為2個，2個豎板的下部均垂直安裝在下固定塊上，上固定塊內橫向設有集塵管，吸塵管貫穿下固定塊安裝在上固定塊上且與集塵管相通，集塵管的一端為封閉結構，集塵管的另一端貫穿上固定塊且接有真空管，真空管的另一端接在工業吸塵器上。
[0006]所述的吸塵管的數量為7個，7個吸塵管均勻間隔布置。
[0007]還包括吸塵頭，吸塵頭安裝在吸塵管的下方。
[0008]所述的吸塵頭為硅膠材質。
[0009]所述的機臺上安裝有XY軸移動平臺，XY軸移動平臺上放置有PCB板，吸塵頭位于PCB板上方2cm_15cm處。
[0010]有益效果
[0011]本實用新型的一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，與現有技術相比不僅使得除塵工作實現非人工化處理，并且在曝光過程中依然可以對PCB板進行除塵作業。其結構簡單、成本低廉，有效的解決了 PCB板曝光前的除塵問題，提高了產能、降低了不良率，并且除塵作業無耗材損耗，降低了生產成本。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結構立體圖；
[0013]圖2為本實用新型中自吸塵組件的結構立體圖；
[0014]圖3為本實用新型中自吸塵組件的正面剖視圖；
[0015]其中，1-自吸塵組件、2- XY軸移動平臺、3-PCB板、4-曝光機頭組、5-機臺、6-真空管、7-工業吸塵器、8-支撐平臺、9-吸塵管、11-上固定塊、12-豎板、13-下固定塊、14-集塵管、15-吸塵頭。
【具體實施方式】
[0016]為使對本實用新型的結構特征及所達成的功效有更進一步的了解與認識，用以較佳的實施例及附圖配合詳細的說明，說明如下:
[0017]如圖1所示，本實用新型所述的一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，包括機臺5，機臺5上安裝有支撐平臺8和XY軸移動平臺2，支撐平臺8用于支撐安裝曝光機頭組4，XY軸移動平臺2用于移動PCB板3。XY軸移動平臺2上放置有PCB板3，PCB板3在XY軸移動平臺2的作用下進行移動，曝光機頭組4安裝在支撐平臺8上，曝光機頭組4的曝光鏡頭穿過支撐平臺8朝下，在PCB板3的移動軌跡上方，PCB板3在XY軸移動平臺2的運動下完成曝光作業。
[0018]如圖2和圖3所示，還包括自吸塵組件I，自吸塵組件I用于在PCB板3上進行吸塵作業。自吸塵組件I包括固定安裝在支撐平臺8側部的上固定塊11，上固定塊11上可以設計多個螺孔，通過螺釘固定在支撐平臺8的側部。為了保證PCB板3能夠在除塵后即刻進入曝光區域，防止PCB板3的二次污染，上固定塊11位于曝光機頭組4前部面板的下方，即自吸塵組件I位于曝光機頭組4前部伸出支撐平臺8部分的下方，與曝光機頭組4前部面板保持同一垂直面，這樣可以盡可能的接近曝光區域。
[0019]上固定塊11兩端下部分別垂直安裝有豎板12，豎板12的數量為2個，2個豎板12的下部均垂直安裝在下固定塊13上，即上固定塊11、兩個豎板12和下固定塊13在一起形成一個矩形結構。上固定塊11內橫向設有集塵管14，集塵管14位于上固定塊11內且與上固定塊11同向。吸塵管9貫穿下固定塊13安裝在上固定塊11上且與集塵管14相通，下固定塊13上設有孔用于吸塵管9的穿過。吸塵管9與上固定塊11的安裝可有使用現有技術的多種方式，例如將上固定塊11與吸塵管9的接口處設為內螺紋結構，并且內螺紋結構直接穿透上固定塊11的下部至集塵管14，吸塵管9設計為外螺紋結構，將吸塵管9穿過下固定塊13直接螺紋安裝在上固定塊11上。集塵管14的一端為封閉結構，集塵管14的另一端貫穿上固定塊11，并且接有真空管6，真空管6的另一端接在外面放置的工業吸塵器7上。
[0020]為了保證更好的吸塵效果，吸塵管9的數量可以為7個，7個吸塵管9均勻間隔布置，從而可以覆蓋PCB板3。還可以在吸塵管9上安裝吸塵頭15，吸塵頭15為喇叭結構，可以采用娃膠材質O吸塵頭15位于PCB板3上方2cm-15cm處，可以更好的保證吸塵效果。
[0021]在實際使用時，PCB板3放置于XY軸移動平臺2上，曝光開始時工業吸塵器7啟動。XY軸移動平臺2帶動PCB板3向前(曝光機頭組4方向)運動，PCB板3經過自吸塵組件I時進行吸塵作業，吸塵頭15將PCB板3上的灰塵吸入吸塵管9，匯集至集塵管14中，然后輸出至工業吸塵器7。曝光一路結束后，XY軸移動平臺2帶動PCB板3向后運動退回起點，隨后XY軸移動平臺2帶動PCB板3向右運動，開始第二路曝光。第二路曝光開始時，同理，XY軸移動平臺2帶動PCB板3再次向前運動，PCB板3再次通過自吸塵組件I進行吸塵作業，即使第一路曝光后PCB板3再次吸附灰塵顆粒，第二路曝光時自吸塵組件I也可再次除塵，避免曝光過程中灰塵污染。提高了產能、降低了不良率。
[0022]本實用新型工作環境為無塵室，灰塵相對較少。只需定期(3~5月，可選機器維護時間)清理工業吸塵器即可，提高產能、降低不良率同時無耗材。
[0023]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍內。本實用新型要求的保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。
【主權項】
1.一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，包括機臺(5)，機臺(5)上安裝有支撐平臺(8)，支撐平臺(8)上安裝有曝光機頭組(4)，其特征在于:還包括自吸塵組件(1)，自吸塵組件(I)包括固定安裝在支撐平臺(8 )側部的上固定塊(11)，上固定塊(11)位于曝光機頭組(4)前部面板的下方，上固定塊(11)兩端下部分別垂直安裝有豎板(12)，豎板(12)的數量為2個，2個豎板(12)的下部均垂直安裝在下固定塊(13)上，上固定塊(11)內橫向設有集塵管(14)，吸塵管(9)貫穿下固定塊(13)安裝在上固定塊(11)上且與集塵管(14)相通，集塵管(14)的一端為封閉結構，集塵管(14)的另一端貫穿上固定塊(11)且接有真空管(6 )，真空管(6 )的另一端接在工業吸塵器(7 )上。2.根據權利要求1所述的一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，其特征在于:所述的吸塵管(9)的數量為7個，7個吸塵管(9)均勻間隔布置。3.根據權利要求1所述的一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，其特征在于:還包括吸塵頭(15)，吸塵頭(15)安裝在吸塵管(9)的下方。4.根據權利要求3所述的一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，其特征在于:所述的吸塵頭(15)為硅膠材質。5.根據權利要求3所述的一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，其特征在于:所述的機臺(5)上安裝有XY軸移動平臺(2)，XY軸移動平臺(2)上放置有PCB板(3)，吸塵頭(15)位于 PCB 板(3)上方 2cm_15cm 處。
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于激光直寫曝光機的自動吸塵裝置，與現有技術相比解決了無法在曝光過程中對PCB板進行除塵的缺陷。本實用新型包括自吸塵組件，自吸塵組件包括固定安裝在支撐平臺側部的上固定塊，上固定塊位于曝光機頭組前部面板的下方，上固定塊兩端下部分別垂直安裝有豎板，豎板的數量為2個，2個豎板的下部均垂直安裝在下固定塊上，上固定塊內橫向設有集塵管，吸塵管貫穿下固定塊安裝在上固定塊上且與集塵管相通，集塵管的一端為封閉結構，集塵管的另一端貫穿上固定塊且接有真空管，真空管的另一端接在工業吸塵器上。本實用新型不僅使得除塵工作實現非人工化處理，并且在曝光過程中依然可以對PCB板進行除塵作業。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN204945620
【申請號】CN201520693278
【發明人】曹常瑜
【申請人】合肥芯碁微電子裝備有限公司
【公開日】2016年1月6日
【申請日】2015年9月9日