一種電路板曝光機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及曝光機,特別是一種電路板曝光機。
【背景技術】
[0002]曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備,70年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業,是在計算機的控制下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光,它常用于半導體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學,微機電系統,凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制領域。
[0003]在電路板加工過程中,需要對電路板進行曝光,而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機曝光,但是現有的曝光機結構較為復雜、曝光效率不高和曝光質量不高,而且由于曝光室內的溫度在光照的作用下,會持續升溫,曝光燈極易損壞,從而影響電路板的曝光質量,增加設備檢修頻率,影響電路板的曝光效率,從而增加了電路板的制造成本。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于克服現有技術的缺點,提供一種效率高、曝光質量好和使用壽命長的電路板曝光機。
[0005]本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:一種電路板曝光機,它包括放板臺、曝光室、輸送導軌、曝光平臺和曝光燈,所述的放板臺的臺面與曝光室的入口相對應,所述曝光燈安裝在曝光室內的曝光平臺下方,所述的輸送導軌為上下平行的兩個導軌,且每個輸送導軌上滑動安裝有一曝光平臺,所述的曝光平臺包括透光平臺座和翻轉蓋,所述的翻轉蓋可轉動打開或合上的安裝在透光平臺座上,所述的翻轉蓋內設置有一層擋光膜,所述的曝光室內水平設置有一伸縮氣缸,伸縮氣缸的兩組活塞桿分別與曝光平臺連接,所述的曝光室內設置有一頂升氣缸,頂升氣缸上固定安裝有一燈臺座,曝光燈安裝在燈臺座上方,所述的曝光室內安裝有一風機,頂升氣缸安裝在風機上方,所述的風機的上邊緣上連接有一燈光罩,曝光燈位于燈光罩內,燈光罩內設置有一溫度傳感器,溫度傳感器與風機電性連接。
[0006]所述的曝光室上方設置有一控制室,控制室的控制元件控制伸縮氣缸與頂升氣缸運動。
[0007]所述的擋光膜為黑色擋光膜。
[0008]本實用新型具有以下優點:本實用新型的曝光機,通過伸縮氣缸實現曝光平臺的交替曝光,提高了曝光機的工作效率;通過頂升氣缸控制曝光燈的距離,使曝光平臺始終處于最佳曝光位置,提高了電路板的曝光質量;曝光平臺山的翻轉蓋上設置有一黑色擋光膜,避免了漏光現象,進一步地提高了電路板的曝光質量;設置有燈光罩,燈光罩將曝光燈的光源進行反射,放射后的光源形成平行光對電路板的曝光面進行曝光,燈光罩降低了光源的流失,在相同曝光強度下,可以降低曝光燈數量,節約能耗;設置有風機和溫度傳感器,可隨時監測曝光室內溫度,風機工作,可降低曝光室內的溫度,避免曝光燈長期處于高溫狀態下,從而延長了曝光燈的使用壽命。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖;
[0010]圖2為本實用新型的剖視示意圖;
[0011]圖3為曝光平臺張開示意圖;
[0012]圖4為翻轉蓋俯視示意圖;
[0013]圖中,1-放板臺,2-曝光室,3-控制室,4-曝光平臺,5-輸送導軌,6_伸縮氣缸,7-頂升氣缸,8-燈臺座,9-翻轉蓋,10-透光平臺座,11-擋光膜,12-曝光燈,13-風機,14-燈光罩,15-溫度傳感器,16-柵格板。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖對本實用新型做進一步的描述,本實用新型的保護范圍不局限于以下所述:
[0015]如圖1和圖2所示,一種電路板曝光機,它包括放板臺1、曝光室2、輸送導軌5、曝光平臺4和曝光燈12,所述的放板臺I的臺面與曝光室2的入口相對應,所述曝光燈12安裝在曝光室2內的曝光平臺4下方,所述的輸送導軌5為上下平行的兩個導軌,且每個輸送導軌5上滑動安裝有一曝光平臺4,如圖3所示,所述的曝光平臺4包括透光平臺座10和翻轉蓋9,所述的翻轉蓋9可轉動打開或合上的安裝在透光平臺座10上,本實用新型為了保證翻轉蓋9不產生漏光現象,如圖4所示,所述的翻轉蓋9內設置有一層擋光膜11,為進一步地保證翻轉蓋9不漏光,擋光膜11選用黑色擋光膜,所述的曝光室2內水平設置有一伸縮氣缸6,伸縮氣缸6的兩組活塞桿分別與曝光平臺4連接,本實施例中,當伸縮氣缸6的一組活塞桿伸展時,另一組活塞桿就收縮,且同時停止工作。所述的曝光室2內設置有一頂升氣缸7,頂升氣缸7上固定安裝有一燈臺座8,曝光燈12安裝在燈臺座8上方,頂升氣缸7可控制曝光燈到曝光平臺的距離,使電路板處于最佳曝光位置,所述的曝光室2內安裝有一風機13,頂升氣缸7安裝在風機13上方,所述的風機13的上邊緣上連接有一燈光罩14,曝光燈12位于燈光罩14內,燈光罩14內設置有一溫度傳感器15,溫度傳感器15與風機13電性連接,當溫度傳感器15檢測到燈光罩14內的溫度過高時,則將信號傳遞給風機13,風機13工作,加速曝光室2內空氣與外界空氣的交換,從而降低曝光室2的溫度,避免了曝光燈12長期處于高溫狀態下,延長了曝光燈12的使用壽命,所述的曝光室2的側壁上開設有柵格板16,柵格板16上端的水平高度低于燈光罩14上端的水平高度,柵格板16主要用于內外空氣交換的通道,其上端的水平高度低于燈光罩14上端的水平高度,主要是避免漏光,影響曝光效率。
[0016]本實用新型為了提高曝光機的自動化,所述的曝光室2上方設置有一控制室3,控制室3的控制元件控制伸縮氣缸6與頂升氣缸7運動。
[0017]本實用新型的工作過程如下:操作人員手動打開曝光平臺4,將電路板放置在透光平臺座10的固定區域內,然后合上曝光平臺4,點動啟動按鈕,控制器3控制伸縮氣缸6運動,當伸縮氣缸6的一組活塞桿伸展時,另一組活塞桿就收縮,這樣就實現電路板的交替曝光,提高了工作效率。當下層曝光平臺4移動到曝光位置后,控制器3打開曝光燈12,此時曝光平臺4與曝光燈12之間的距離為最佳位置,此距離為人工調節,并將此曝光燈12的位置為原始位置,當上層曝光平臺4位于曝光燈12上方時,控制器3控制頂升氣缸7運動,并使曝光燈12向上,移動的距離為兩個平行導軌之間的中心距離,當曝光好電路板的曝光平臺4移動到放板臺I上時,操作人員打開曝光平臺,取出電路板,并將新的電路板放入曝光平臺內,當溫度傳感器15檢測到燈光罩14內的溫度過高時,則將信號傳遞給風機13,風機13工作,加速曝光室2內空氣與外界空氣的交換,從而降低曝光室2的溫度,避免了曝光燈12長期處于高溫狀態下,延長了曝光燈12的使用壽命。
【主權項】
1.一種電路板曝光機,它包括放板臺(I)、曝光室(2)、輸送導軌(5)、曝光平臺(4)和曝光燈(12),所述的放板臺(I)的臺面與曝光室(2)的入口相對應,所述曝光燈(12)安裝在曝光室(2)內的曝光平臺(4)下方,其特征在于:所述的輸送導軌(5)為上下平行的兩個導軌,且每個輸送導軌(5)上滑動安裝有一曝光平臺(4),所述的曝光平臺(4)包括透光平臺座(10 )和翻轉蓋(9 ),所述的翻轉蓋(9 )可轉動打開或合上的安裝在透光平臺座(10 )上,所述的翻轉蓋(9)內設置有一層擋光膜(11),所述的曝光室(2)內水平設置有一伸縮氣缸(6),伸縮氣缸(6)的兩組活塞桿分別與曝光平臺(4)連接,所述的曝光室(2)內設置有一頂升氣缸(7 ),頂升氣缸(7 )上固定安裝有一燈臺座(8 ),曝光燈(12)安裝在燈臺座(8 )上方,所述的曝光室(2)內安裝有一風機(13),頂升氣缸(7)安裝在風機(13)上方,所述的風機(13)的上邊緣上連接有一燈光罩(14),曝光燈(12)位于燈光罩(14)內,燈光罩(14)內設置有一溫度傳感器(15 ),溫度傳感器(15 )與風機(13 )電性連接。2.根據權利要求1所述的一種電路板曝光機,其特征在于:所述的曝光室(2)上方設置有一控制室(3),控制室(3)的控制元件控制伸縮氣缸(6)與頂升氣缸(7)運動。3.根據權利要求1所述的一種電路板曝光機,其特征在于:所述的擋光膜(11)為黑色擋光膜。4.根據權利要求1所述的一種電路板曝光機,其特征在于:所述的曝光室(2)的側壁上開設有柵格板(16),柵格板(16)上端的水平高度低于燈光罩(14)上端的水平高度。
【專利摘要】本實用新型公開了一種電路板曝光機,它包括放板臺(1)、曝光室(2)、輸送導軌(5)、曝光平臺(4)和曝光燈(12),放板臺(1)的臺面與曝光室(2)的入口相對應,輸送導軌(5)為上下平行的兩個導軌,輸送導軌(5)上滑動安裝曝光平臺(4),曝光平臺(4)包括透光平臺座(10)和翻轉蓋(9),翻轉蓋(9)內設置有擋光膜(11),曝光室(2)內設置有伸縮氣缸(6),伸縮氣缸(6)的兩組活塞桿分別與曝光平臺(4)連接,曝光室(2)內設置有頂升氣缸(7),頂升氣缸(7)上安裝有燈臺座(8),曝光燈(12)安裝在燈臺座(8)上方。本實用新型的有益效果是:它具有結構簡單、曝光效率高和曝光質量好的優點。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN204740422
【申請號】CN201520360226
【發明人】陳勝燕, 莫軍
【申請人】遂寧威士凱科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年5月29日