光刻膠桶輔助裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于光刻膠桶的裝置，具體是一種光刻膠桶輔助裝置，屬于光刻膠桶配件技術領域。
【背景技術】
[0002]眾所周知，導體黃光工藝包含上光阻、曝光以及顯影三道工序。其中，上光阻是指在晶元上涂抹光刻膠，形成光刻膠膜的過程；曝光是利用曝光光束將覆有光刻膠膜的晶元進行照射，形成圖案；而顯影則是最后的操作，具體是將曝光形成的圖案再經顯影工序顯現出來。
[0003]目前，一般使用旋轉式涂布機去完成第一道的上光阻工序，晶元旋轉的同時，一定量的光刻膠噴涂于晶元中心部位，并借助離心力作用，均勻由內向外擴散到晶元邊緣部位，完成整個上光阻工序。操作時，為了防止污染環境，供給旋轉式涂布機的光刻膠A—般裝在光刻膠桶I內，如圖1所示，光刻膠桶I放置在固定支架3內，光刻膠桶I內插有引流導管2，桶內的光刻膠A經引流導管2通過引流抽取的方式供給于旋轉式涂布機；待光刻膠桶I內的光刻膠A使用殆盡，則更換新的光刻膠桶I即可。但在實際操作過程中，光刻膠桶I底部的光刻膠A將有殘余，在光刻膠A無法完全利用的狀態下更換膠桶，造成光刻膠的浪費。而光刻膠屬于高成本物料，無法利用的光刻膠在一定程度上增加了生產成本，降低了光刻膠的利用率。
[0004]此外，因光刻膠A對光照比較敏感，為防止光照進入光刻膠桶I內，光刻膠桶I 一般選用深色系顏色，操作者無法從外部直接觀測光刻膠桶I內光刻膠A的含量。而光刻膠桶I外側也沒有設置可以測量液位的傳感器，故無法獲知光刻膠桶I內光刻膠A的殘余量。
【發明內容】
[0005]針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種光刻膠桶輔助裝置，能夠最大限度地減少光刻膠桶內光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。
[0006]為了實現上述目的，本實用新型采用的一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架，固定支架內側放置有光刻膠桶，光刻膠桶內插有引流導管，還包括驅動結構和控制結構，所述固定支架安裝在驅動結構上方，所述驅動結構安裝在固定支架的下方，用于調整固定支架的傾斜度；所述控制結構與驅動結構連接，用于控制驅動結構工作。
[0007]所述驅動結構包括左側驅動軸和右側驅動軸，所述左、右側驅動軸分別位于固定支架下兩側，通過調節固定支架左右兩側的高度調整固定支架的傾斜度。
[0008]所述控制結構以時間為基準設置固定支架及固定支架內光刻膠桶的傾斜角度，固定支架及固定支架內的光刻膠桶在驅動結構的作用下根據事前設置的幅度傾斜。
[0009]所述控制結構包括馬達和控制器，所述控制器根據內設的時間控制馬達的工作狀況，帶動驅動結構工作調整固定支架及光刻膠桶的傾斜度。
[0010]所述驅動結構上還安裝有停止感應器，當固定支架的底部觸碰到停止感應器時，驅動結構停止工作，固定支架及光刻膠桶將停止傾斜。
[0011]與現有技術相比，本實用新型通過用于調節固定支架傾斜度的驅動結構和用于控制驅動結構工作的控制結構，可將固定支架內的光刻膠桶傾斜放置，充分利用光刻膠桶內的光刻膠，隨著光刻膠桶傾斜的角度越來越大，光刻膠桶內光刻膠的殘余量越來越少，直至耗盡重發被利用，進而最大限度地減少光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。同時，光刻膠的充分利用，減少了排出的光刻膠廢液，從而減輕了對環境的污染。
【附圖說明】
[0012]圖1為現有光刻膠桶使用方式的結構示意圖；
[0013]圖2為本實用新型使用方式的結構示意圖；
[0014]圖3為本實用新型后期使用方式的結構示意圖。
[0015]圖中:1、光刻膠桶，2、引流導管，3、固定支架，4、驅動結構，4A、左側驅動軸，4B、右側驅動軸，5、控制結構，A、光刻膠。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0017]如圖2和圖3所示，一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架3，固定支架3內側放置有光刻膠桶1，光刻膠桶I內插有引流導管2，還包括驅動結構4和控制結構5，所述固定支架3安裝在驅動結構4上方，所述驅動結構4安裝在固定支架3的下方，用于調整固定支架3的傾斜度；所述控制結構5與驅動結構4連接，用于控制驅動結構4工作。
[0018]如圖2所示，啟動控制結構5，控制結構5帶動驅動結構4工作，對固定支架3進行傾斜度調整，固定支架3內的光刻膠桶I會連同固定支架3 —同傾斜。這樣，可以保證光刻膠桶I內光刻膠A的量逐漸減少，通過將光刻膠桶I傾斜放置來增加光刻膠A的使用量，進而最大限度的減少了光刻膠桶I內光刻膠A的殘余量，提高了光刻膠的利用率。其中，控制結構5的設置能夠保證傾斜角度的準確性。
[0019]優選地，所述驅動結構4可包括左側驅動軸4A和右側驅動軸4B，所述左、右側驅動軸4A、4B分別位于固定支架3下兩側，可通過調節固定支架3左右兩側的高度來調整固定支架3及光刻膠桶I的傾斜度，因在控制結構5的控制下，可分別對左、右側驅動軸4A、4B進行高度調節，即左、右側驅動軸4A、4B可完成不同幅度的上下升降工作，故能夠實現固定支架3及光刻膠桶I不同程度的傾斜。
[0020]所述控制結構5可以以時間為基準設置固定支架3及固定支架3內光刻膠桶I的傾斜角度，固定支架3及固定支架3內的光刻膠桶I在驅動結構4的作用下根據事前設置的幅度傾斜。通過時間設定，控制結構5向驅動結構4發送信號，控制驅動結構4進行傾斜度調節工作，即根據時間的設定，光刻膠桶I逐漸發生傾斜；如:可向左、右側驅動軸4A、4B發送信號，控制左、右側驅動軸4A、4B進行不同幅度的上下升降動作；控制結構5內時間的設定可與左、右側驅動軸4A、4B的高度相關，左、右側驅動軸4A、4B根據時間的社東，其高度作出相應的變化，從而實現光刻膠桶I的可控性傾斜。其中，時間設定的最小單位為I小時，最大單位為48小時，光刻膠A使用周期的變化，不會影響本實用新型光刻膠桶輔助裝置的使用。
[0021]所述控制結構5包括馬達和控制器，所述控制器根據內設的時間控制馬達的工作狀況，帶動驅動結構4工作調整固定支架3及光刻膠桶I的傾斜度。馬達在控制器內程序命令指引下，帶動左、右側驅動軸4A、4B完成相應幅度的上下升降動作，進而實現固定支架3及光刻膠桶I傾斜度的調整。
[0022]因光刻膠桶I在驅動機構4工作過程中逐漸發生傾斜，為了防止光刻膠桶I過度傾斜而傾倒，可在所述驅動結構4上安裝停止感應器，當固定支架3的底部觸碰到停止感應器時，驅動結構4停止工作，固定支架3及光刻膠桶I將不再傾斜，能最大限度的減少光刻膠桶I內光刻膠A的殘余量，提高了光刻膠的利用率。
[0023]由上述結構可見，本實用新型通過增設用于調節固定支架傾斜度的驅動結構和用于控制驅動結構工作的控制結構，可將固定支架內的光刻膠桶傾斜放置，充分利用光刻膠桶內的光刻膠，隨著光刻膠桶傾斜的角度越來越大，光刻膠桶內光刻膠的殘余量越來越少，直至耗盡無法被利用，進而最大限度的減少光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。而排出的光刻膠廢液的減少，某種程度上降低了對環境的污染。
【主權項】
1.一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架⑶，固定支架⑶內側放置有光刻膠桶⑴，光刻膠桶(I)內插有引流導管(2)，其特征在于，還包括驅動結構(4)和控制結構(5)，所述固定支架(3)安裝在驅動結構(4)上方，所述驅動結構(4)安裝在固定支架(3)的下方，用于調整固定支架(3)的傾斜度；所述控制結構(5)與驅動結構(4)連接，用于控制驅動結構(4)工作。
2.根據權利要求1所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述驅動結構(4)包括左側驅動軸(4A)和右側驅動軸(4B)，所述左、右側驅動軸(4A、4B)分別位于固定支架(3)下兩側，通過調節固定支架(3)左右兩側的高度調整固定支架(3)的傾斜度。
3.根據權利要求1或2所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述控制結構(5)以時間為基準設置固定支架(3)及固定支架(3)內光刻膠桶(I)的傾斜角度，固定支架(3)及固定支架(3)內的光刻膠桶(I)在驅動結構(4)的作用下根據事前設置的幅度傾斜。
4.根據權利要求3所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述控制結構(5)包括馬達和控制器，所述控制器根據內設的時間控制馬達的工作狀況，帶動驅動結構(4)工作調整固定支架(3)及光刻膠桶(I)的傾斜度。
5.根據權利要求1、2或4所述的一種光刻膠桶輔助裝置，其特征在于，所述驅動結構(4)上還安裝有停止感應器，當固定支架(3)的底部觸碰到停止感應器時，驅動結構(4)停止工作，固定支架(3)及光刻膠桶(I)將停止傾斜。
【專利摘要】本實用新型公開一種光刻膠桶輔助裝置，包括固定支架(3)，固定支架(3)內側放置有光刻膠桶(1)，光刻膠桶內插有引流導管(2)，還包括驅動結構(4)和控制結構(5)，固定支架安裝在驅動結構上方，驅動結構安裝在固定支架的下方，用于調整固定支架的傾斜度；控制結構與驅動結構連接，用于控制驅動結構工作。本實用新型通過增設用于調節固定支架傾斜度的驅動結構和用于控制驅動結構工作的控制結構，可將固定支架內的光刻膠桶傾斜放置，充分利用光刻膠桶內的光刻膠，隨著光刻膠桶傾斜的角度越來越大，光刻膠桶內光刻膠的殘余量越來越少，直至耗盡無法被利用，進而最大限度的減少光刻膠的殘余量，提高光刻膠的利用率。
【IPC分類】G03F7-16
【公開號】CN204331288
【申請號】CN201420797611
【發明人】崔相玉, 魏明德, 金惠東, 金度亨
【申請人】徐州同鑫光電科技有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年12月16日