陣列基板、反射式顯示裝置及陣列基板的制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種陣列基板、反射式顯示裝置及陣列基板的制造方法，以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，并簡化其生產工藝。陣列基板包括陣列排布的多個像素單元，每個像素單元包括具有開關元件的基底、位于基底前側并與開關元件電連接的MEMS，以及位于MEMS前側的全反射透鏡，其中：全反射透鏡的全反射面朝向MEMS設置；MEMS具有第一工作狀態和第二工作狀態，包括吸光柔性層，當MEMS在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，當MEMS在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔。
【專利說明】
陣列基板、反射式顯示裝置及陣列基板的制造方法
技術領域
[0001]本發明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種陣列基板、反射式顯示裝置及陣列基板的制造方法。
【背景技術】
[0002]顯示裝置根據采用的光源不同，可分為透射式、反射式和半透半反式。其中，反射式顯示裝置以前置光源或者環境光源作為光源，不但功耗比較低，而且較為護眼。
[0003]如圖1a所示，現有一種反射式顯示裝置的陣列基板包括:背板1、位于背板I前側的全反射透鏡薄膜2以及位于背板I和全反射透鏡薄膜2之間的墨水粒子層3，其中，全反射透鏡薄膜2包括陣列排布的多個半球形全反射透鏡4，每個半球形全反射透鏡4對應一個像素單元，其半球面為全反射面并且朝向背板I設置。
[0004]根據光學原理，當光線從光密介質射入光疏介質時，如果入射角大于全反射角，則光線會在臨界面發生全反射。如圖1a所示，當背板I和全反射透鏡薄膜2之間無電場時，墨水粒子處于自然鋪平狀態，半球形全反射透鏡4的半球面被光疏介質包圍，射入半球形全反射透鏡4的光線可以按照圖示光路反射出，從而使像素單元顯示為亮態。如圖1b所示，當對背板I和全反射透鏡薄膜2施加電場時，半球形全反射透鏡4的半球面被墨水粒子包圍，全反射條件被破壞，光線可以射出半球形全反射透鏡4被墨水粒子吸收，從而使像素單元顯示為暗態。通過控制不同像素單元的電場情況，可以使顯示裝置顯示出畫面內容。
[0005]上述現有技術存在的缺陷在于，墨水粒子易團聚的特性決定其響應速度較慢，因此，反射式顯示裝置在切換頁面時刷新率比較低，顯示品質不佳。此外，現有反射式顯示裝置的制作工藝也比較復雜。
【發明內容】
[0006]本發明實施例的目的是提供一種陣列基板、反射式顯示裝置及陣列基板的制造方法，以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，并簡化其生產工藝。
[0007]本發明實施例提供了一種陣列基板，包括陣列排布的多個像素單元，每個像素單元包括具有開關元件的基底、位于基底前側并與開關元件電連接的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System，簡稱MEMS)，以及位于微機電系統前側的全反射透鏡，其中:
[0008]全反射透鏡的全反射面朝向微機電系統設置；
[0009]微機電系統具有第一工作狀態和第二工作狀態，包括吸光柔性層，當微機電系統在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，當微機電系統在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔。
[0010]采用本發明實施例技術方案，可以通過開關元件控制所述微機電系統的工作狀態。當所述微機電系統在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，由于吸光柔性層的吸光作用，像素單元顯示為暗態；當所述微機電系統在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔，從而使全反射透鏡滿足全反射條件，光線可以從全反射透鏡的前側表面射出，像素單元顯示為亮態。通過控制不同像素單元的所述微機電系統的工作狀態，可以使顯示裝置顯示出畫面內容，這相比現有反射式顯示裝置采用的墨水粒子技術，可以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，并簡化其生產工
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[0011]可選的，所述全反射透鏡包括半球體形全反射透鏡、球冠體形全反射透鏡、棱錐體形全反射透鏡或圓錐體形全反射透鏡。
[0012]可選的，所述全反射透鏡為柱狀體形全反射透鏡，所述柱狀體形全反射透鏡的橫截面形狀包括半圓形、弓形或三角形。
[0013]優選的，所述開關元件為薄膜晶體管開關元件。
[0014]具體的，像素單元還包括位于基底和吸光柔性層之間并從后至前依次設置的第一電極和絕緣層;吸光柔性層為用作第二電極的導電吸光柔性層，包括固定部和形變部，固定部通過粘接層固定于絕緣層前側。
[0015]當所述微機電系統在第一工作狀態時，第一電極和第二電極之間形成相斥電場，導電吸光柔性層的形變部包裹于全反射透鏡的全反射面，由于導電吸光柔性層的吸光作用，像素單元顯示為暗態。當所述微機電系統在第二工作狀態時，第一電極和第二電極之間無電場，導電吸光柔性層的形變部展開平貼在絕緣層表面，導電吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔，從而使全反射透鏡滿足全反射條件，光線可以從全反射透鏡的前側表面射出，像素單元顯示為亮態。
[0016]具體的，吸光柔性層具有至少兩個驅動端，所述微機電系統還包括針對每個驅動端設置的驅動機構，驅動機構包括:用作第一電極的驅動梁、與驅動梁間隔設置并用作第二電極的負載梁，以及與吸光柔性層的驅動端和負載梁分別連接的懸梁臂，驅動梁和負載梁分別通過錨固件固定于基底；當所述微機電系統在第一工作狀態時，負載梁產生形變并驅動懸梁臂向遠離驅動梁的方向移動。
[0017]當所述微機電系統在第一工作狀態時，驅動梁和負載梁之間形成相斥電場，負載梁產生形變并驅動懸梁臂向遠離驅動梁的方向移動，吸光柔性層在各個驅動機構的驅動下拱起并繼續形變直至包裹于全反射透鏡的全反射面；由于吸光柔性層的吸光作用，像素單元顯示為暗態。當所述微機電系統在第二工作狀態時，驅動梁和負載梁之間無電場作用，負載梁復位，進而通過懸梁臂拉動吸光柔性層復位，使吸光柔性層展開平貼在基底表面，與全反射透鏡的全反射面相間隔；全反射透鏡滿足全反射條件，光線可以從全反射透鏡的前側表面射出，像素單元顯示為亮態。
[0018]優選的，所述吸光柔性層材質包括黑色聚酰亞胺。
[0019]本發明實施例還提供一種反射式顯示裝置，包括根據前述任一技術方案所述的陣列基板。該反射式顯示裝置的顯示響應速度較快，顯示品質較高，并且生產工藝較為簡化。
[0020]本發明實施例還提供一種制作前述陣列基板的方法，包括以下步驟:
[0021 ]形成具有開關元件陣列的基底；
[0022]在具有開關元件陣列的基底前側形成對應開關元件陣列設置并對應電連接的微機電系統陣列；
[0023]在微機電系統陣列前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括與微機電系統陣列對應設置的全反射透鏡陣列，每個全反射透鏡的全反射面朝向對應的微機電系統設置；
[0024]其中，所述微機電系統具有第一工作狀態和第二工作狀態，所述微機電系統包括吸光柔性層，當所述微機電系統在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，當所述微機電系統在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔。
[0025]在一種可能的實現方式中，陣列基板的像素單元還包括位于基底和吸光柔性層之間并從后至前依次設置的第一電極和絕緣層;吸光柔性層為用作第二電極的導電吸光柔性層，包括固定部和形變部，固定部通過粘接層固定于絕緣層前側;所述制作方法具體包括:
[0026]在具有開關元件陣列的基底前側形成第一電極；
[0027]在第一電極前側形成絕緣層；
[0028]在絕緣層前側形成粘接層陣列；
[0029]在粘接層陣列前側形成導電吸光柔性層陣列，每個導電吸光柔性層的固定部通過粘接層與絕緣層連接；
[0030]在導電吸光柔性層陣列前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括與導電吸光柔性層陣列對應設置的全反射透鏡陣列，每個全反射透鏡的全反射面朝向導電吸光柔性層。
[0031]在另一種可能的實現方式中，吸光柔性層具有至少兩個驅動端，所述微機電系統還包括針對每個驅動端設置的驅動機構，驅動機構包括:用作第一電極的驅動梁、與驅動梁間隔設置并用作第二電極的負載梁，以及與吸光柔性層的驅動端和負載梁分別連接的懸梁臂，驅動梁和負載梁分別通過錨固件固定于基底；當所述微機電系統在第一工作狀態時，負載梁產生形變并驅動懸梁臂向遠離驅動梁的方向移動;所述制作方法具體包括:
[0032]在具有開關元件陣列的基底前側形成第一犧牲層，第一犧牲層在錨固件設置位置具有第一孔洞；
[0033]在第一犧牲層前側形成第二犧牲層，第二犧牲層具有與第一孔洞疊置的第二孔洞和對應驅動機構設置的通孔槽，通孔槽包括第一側壁和與第一側壁相間隔的第二側壁；
[0034]在第一側壁內側形成驅動梁，在第二側壁內側形成負載梁，以及在第二犧牲層前側形成與負載梁連接的懸梁臂和通過第一孔洞和第二孔洞與基底連接的錨固件，驅動梁和負載梁分別通過錨固件固定于基底；
[0035]在第二犧牲層前側形成與懸梁臂連接的吸光柔性層；
[0036]移除第一犧牲層和第二犧牲層；
[0037]在吸光柔性層的前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括對應吸光柔性層設置并且全反射面朝向吸光柔性層的全反射透鏡。
[0038]采用上述方法制作的陣列基板應用于反射式顯示裝置，可以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，陣列基板的制作由于不涉及墨水粒子技術，因此工藝較為簡化。
【附圖說明】
[0039]圖1a為現有反射式顯示裝置的陣列基板截面示意圖(亮態)；
[0040]圖1b為現有反射式顯示裝置的陣列基板截面示意圖(暗態)；
[0041]圖2a為本發明一實施例反射式顯示裝置的陣列基板截面示意圖(暗態)；
[0042]圖2b為本發明一實施例反射式顯示裝置的陣列基板截面示意圖(亮態)；
[0043]圖3a為本發明另一實施例反射式顯示裝置的陣列基板截面示意圖(亮態)；
[0044]圖3b為本發明另一實施例反射式顯示裝置的吸光柔性層變形中示意圖；
[0045]圖3c為本發明另一實施例反射式顯示裝置的陣列基板截面示意圖(暗態)；
[0046]圖4為本發明另一實施例反射式顯示裝置的MEMS結構俯視圖；
[0047]圖5為圖2b所示陣列基板的制作方法流程圖；
[0048]圖6為圖3a所示陣列基板的制作方法流程圖；
[0049]圖7a為圖6中完成步驟201后不意圖；
[0050]圖7b為圖6中完成步驟202后不意圖；
[0051]圖7c為圖6中完成步驟203后不意圖；
[0052]圖7d為圖6中完成步驟204后不意圖；
[0053]圖7e為圖6中完成步驟206后不意圖。
[0054]附圖標記:
[0055]現有技術部分:
[0056]1-背板;2-全反射透鏡薄膜;3-墨水粒子層;4-半球形全反射透鏡。
[0057]本發明實施例部分:
[0058]11-基底；12-MEMS; 13-全反射透鏡；14-吸光柔性層；15-第一電極；
[0059]16-絕緣層;17-固定部;18-形變部;19-粘接層;20-驅動梁;21-負載梁；
[0060]22-懸梁臂;23-錨固件;24-第一犧牲層;25-第一孔洞;26-第二犧牲層；
[0061 ]27-第二孔洞;28-通孔槽;29-第一側壁;30-第二側壁。
【具體實施方式】
[0062]為提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，并簡化其生產工藝，本發明實施例提供了一種陣列基板、反射式顯示裝置及陣列基板的制造方法。為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，以下舉實施例對本發明作進一步詳細說明。
[0063]如圖2a和圖2b所示，本發明一實施例提供的陣列基板，包括陣列排布的多個像素單元，每個像素單元包括具有開關元件(圖中未示出)的基底11、位于基底11前側并與開關元件電連接的MEMS 12，以及位于MEMS 12前側的全反射透鏡13，其中:全反射透鏡13的全反射面朝向MEMS 12設置;MEMS12具有第一工作狀態和第二工作狀態，包括吸光柔性層14，當MEMS 12在第一工作狀態時，吸光柔性層14包裹于全反射透鏡13的全反射面，當MEMS 12在第二工作狀態時，吸光柔性層14與全反射透鏡13的全反射面相間隔。
[0064]上述陣列基板應用于反射式顯示裝置。其中，“前”指反射式顯示裝置在通常使用時，部件靠近觀看者的一側，“后”則指反射式顯示裝置在通常使用時，部件遠離觀看者的一側。
[0065]采用上述實施例技術方案，可以通過開關元件控制MEMS12的工作狀態，從而控制像素單元的顯示狀態。具體如下:
[0066]當MEMS12在第一工作狀態時，吸光柔性層14包裹于全反射透鏡13的全反射面，由于吸光柔性層14的吸光作用，像素單元顯示為暗態，如圖2a所示；
[0067]當MEMS12在第二工作狀態時，吸光柔性層14與全反射透鏡13的全反射面相間隔，從而使全反射透鏡13滿足全反射條件，光線可以從全反射透鏡13的前側表面射出，像素單元顯示為亮態，如圖2b所示。
[0068]通過控制不同像素單元的MEMS12的工作狀態，可以使顯示裝置顯示出所需要的畫面內容，這相比現有反射式顯示裝置采用的墨水粒子技術，可以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，并簡化其生產工藝。
[0069]值得一提的是，在本發明實施例中，MEMS的具體結構形式不限，全反射透鏡的具體類型也不限，例如，可以為半球體形全反射透鏡、球冠體形全反射透鏡、棱錐體形全反射透鏡或圓錐體形全反射透鏡;此外，全反射透鏡也可以為柱狀體形全反射透鏡，柱狀體形全反射透鏡的橫截面形狀可以為半圓形、弓形或三角形等等。無論采用何種形狀的全反射透鏡，其朝向MEMS的一側表面應為全反射面，當光線從光密介質(全反射透鏡)射入光疏介質(空氣或真空)時，如果入射角大于全反射角，則光線會在臨界面發生全反射。
[0070]在本發明實施例中，開關元件的具體類型不限，優選采用薄膜晶體管開關元件。
[0071]如圖2a和圖2b所示，在本發明的該具體實施例中，像素單元還包括位于基底11和吸光柔性層14之間并從后至前依次設置的第一電極15和絕緣層16;吸光柔性層14為用作第二電極的導電吸光柔性層，包括固定部17和形變部18，固定部17通過粘接層19固定于絕緣層16前側。
[0072]該實施例中，全反射透鏡13為柱狀體形全反射透鏡，橫截面為弓形。如圖2a所示，當MEMS 12在第一工作狀態時，第一電極15和第二電極(吸光柔性層14)之間形成相斥電場，導電吸光柔性層的形變部18包裹于全反射透鏡13的全反射面，由于導電吸光柔性層的吸光作用，像素單元顯示為暗態。如圖2b所示，當MEMS 12在第二工作狀態時，第一電極15和第二電極(吸光柔性層14)之間無電場，導電吸光柔性層的形變部18展開平貼在絕緣層16表面，導電吸光柔性層與全反射透鏡13的全反射面相間隔，從而使全反射透鏡13滿足全反射條件，光線可以從全反射透鏡13的前側表面射出，像素單元顯示為亮態。
[0073]如圖3a、圖3b、圖3c和圖4所示，在本發明另一個具體實施例中，吸光柔性層14具有至少兩個驅動端，MEMS 12還包括針對每個驅動端設置的驅動機構，驅動機構包括:用作第一電極的驅動梁20、與驅動梁20間隔設置并用作第二電極的負載梁21，以及與吸光柔性層14的驅動端和負載梁21分別連接的懸梁臂22，驅動梁20和負載梁21分別通過錨固件23固定于基底11;當MEMS 12在第一工作狀態時，負載梁21產生形變并驅動懸梁臂22向遠離驅動梁20的方向移動。
[0074]該實施例中，全反射透鏡13為柱狀體形全反射透鏡，橫截面為弓形，吸光柔性層14具有兩個相對的驅動端。當MEMS 12在第一工作狀態時，驅動梁20和負載梁21之間形成相斥電場，負載梁21產生形變并驅動懸梁臂22向遠離驅動梁20的方向移動，吸光柔性層14在各個驅動機構的驅動下拱起(如圖3b所示)，并繼續形變直至包裹于全反射透鏡13的全反射面(如圖3c所示)；由于吸光柔性層14的吸光作用，像素單元顯示為暗態。當MEMS 12在第二工作狀態時，驅動梁20和負載梁21之間無電場作用，負載梁21復位，進而通過懸梁臂22拉動吸光柔性層14復位，使吸光柔性層14展開平貼在基底11表面，與全反射透鏡13的全反射面相間隔;全反射透鏡13滿足全反射條件，光線可以從全反射透鏡13的前側表面射出，像素單元顯不為殼態(如圖3a所不)。
[0075]吸光柔性層14的具體材質不限，優選采用黑色聚酰亞胺，這種材質具有優越的機械性能、電絕緣性能和熱塑性。
[0076]本發明實施例還提供一種反射式顯示裝置，包括根據前述任一實施例的陣列基板。與現有技術相比，該反射式顯示裝置的顯示響應速度較快，顯示品質較高，并且生產工藝較為簡化。
[0077]本發明實施例還提供一種陣列基板的制作方法，包括以下步驟:
[0078]形成具有開關元件陣列的基底；
[0079]在具有開關元件陣列的基底前側形成對應開關元件陣列設置并對應電連接的微機電系統陣列；
[0080]在微機電系統陣列前側形成間隔設置的全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括與微機電系統陣列對應設置的全反射透鏡陣列，每個全反射透鏡的全反射面朝向對應的微機電系統設置；
[0081]其中，微機電系統具有第一工作狀態和第二工作狀態，微機電系統包括吸光柔性層，當微機電系統在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，當微機電系統在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔。
[0082]如圖5所示，當陣列基板采用圖2b所示的結構形式時，其制作方法具體可包括以下步驟:
[0083]步驟101、在具有開關元件陣列的基底前側形成第一電極；
[0084]步驟102、在第一電極前側形成絕緣層；
[0085]步驟103、在絕緣層前側形成粘接層陣列；
[0086]步驟104、在粘接層陣列前側形成導電吸光柔性層陣列，每個導電吸光柔性層的固定部通過粘接層與絕緣層連接；
[0087]步驟105、在導電吸光柔性層陣列前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括與導電吸光柔性層陣列對應設置的全反射透鏡陣列，每個全反射透鏡的全反射面朝向導電吸光柔性層。
[0088]采用上述方法制作的陣列基板應用于反射式顯示裝置，可以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，陣列基板的制作由于不涉及墨水粒子技術，因此工藝較為簡化。
[0089]如圖6所示，當陣列基板采用圖3a所示的結構形式時，其制作方法具體可包括以下步驟:
[0090]步驟201、在具有開關元件陣列的基底11前側形成第一犧牲層24，第一犧牲層24在錨固件設置位置具有第一孔洞25，如圖7a所示；
[0091 ]步驟202、在第一犧牲層24前側形成第二犧牲層26，第二犧牲層26具有與第一孔洞疊置的第二孔洞27和對應驅動機構設置的通孔槽28，通孔槽28包括第一側壁29和與第一側壁29相間隔的第二側壁30，如圖7b所示；
[0092]步驟203、在第一側壁內側形成驅動梁20，在第二側壁內側形成負載梁21，以及在第二犧牲層26前側形成與負載梁21連接的懸梁臂22和通過第一孔洞和第二孔洞與基底11連接的錨固件23，驅動梁20和負載梁21分別通過錨固件23固定于基底11，如圖7c所示；
[0093]步驟204、在第二犧牲層26前側形成與懸梁臂22連接的吸光柔性層14，如圖7d所示；
[0094]步驟205、移除第一犧牲層和第二犧牲層，完成MEMS制作，如圖7e所示；
[0095]步驟206、在吸光柔性層14的前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括對應吸光柔性層14設置并且全反射面朝向吸光柔性層14的全反射透鏡13，如圖3a所示。
[0096]采用上述方法制作的陣列基板應用于反射式顯示裝置，可以提高反射式顯示裝置的顯示響應速度，提升顯示品質，陣列基板的制作由于不涉及墨水粒子技術，因此工藝較為簡化。
[0097]顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種陣列基板，其特征在于，包括陣列排布的多個像素單元，每個像素單元包括具有開關元件的基底、位于基底前側并與開關元件電連接的微機電系統，以及位于所述微機電系統前側的全反射透鏡，其中: 所述全反射透鏡的全反射面朝向所述微機電系統設置； 所述微機電系統具有第一工作狀態和第二工作狀態，所述微機電系統包括吸光柔性層，當所述微機電系統在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，當所述微機電系統在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔。2.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述全反射透鏡包括半球體形全反射透鏡、球冠體形全反射透鏡、棱錐體形全反射透鏡或圓錐體形全反射透鏡。3.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述全反射透鏡為柱狀體形全反射透鏡，所述柱狀體形全反射透鏡的橫截面形狀包括半圓形、弓形或三角形。4.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述開關元件為薄膜晶體管開關元件。5.如權利要求1?4任一項所述的陣列基板，其特征在于， 像素單元還包括位于基底和吸光柔性層之間并從后至前依次設置的第一電極和絕緣層； 吸光柔性層為用作第二電極的導電吸光柔性層，包括固定部和形變部，固定部通過粘接層固定于絕緣層前側。6.如權利要求1?4任一項所述的陣列基板，其特征在于，吸光柔性層具有至少兩個驅動端，所述微機電系統還包括針對每個驅動端設置的驅動機構，驅動機構包括: 用作第一電極的驅動梁、與驅動梁間隔設置并用作第二電極的負載梁，以及與吸光柔性層的驅動端和負載梁分別連接的懸梁臂，驅動梁和負載梁分別通過錨固件固定于基底；當所述微機電系統在第一工作狀態時，負載梁產生形變并驅動懸梁臂向遠離驅動梁的方向移動。7.如權利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述吸光柔性層材質包括黑色聚酰亞胺。8.—種反射式顯示裝置，其特征在于，包括根據權利要求1?7任一項所述的陣列基板。9.一種如權利要求1所述陣列基板的制作方法，其特征在于，包括以下步驟: 形成具有開關元件陣列的基底； 在具有開關元件陣列的基底前側形成對應開關元件陣列設置并對應電連接的微機電系統陣列； 在微機電系統陣列前側形成間隔設置的全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括與微機電系統陣列對應設置的全反射透鏡陣列，每個全反射透鏡的全反射面朝向對應的微機電系統設置； 其中，所述微機電系統具有第一工作狀態和第二工作狀態，所述微機電系統包括吸光柔性層，當所述微機電系統在第一工作狀態時，吸光柔性層包裹于全反射透鏡的全反射面，當所述微機電系統在第二工作狀態時，吸光柔性層與全反射透鏡的全反射面相間隔。10.如權利要求9所述的制作方法，其特征在于，陣列基板的像素單元還包括位于基底和吸光柔性層之間并從后至前依次設置的第一電極和絕緣層;吸光柔性層為用作第二電極的導電吸光柔性層，包括固定部和形變部，固定部通過粘接層固定于絕緣層前側;所述制作方法具體包括: 在具有開關元件陣列的基底前側形成第一電極； 在第一電極前側形成絕緣層； 在絕緣層前側形成粘接層陣列； 在粘接層陣列前側形成導電吸光柔性層陣列，每個導電吸光柔性層的固定部通過粘接層與絕緣層連接； 在導電吸光柔性層陣列前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括與導電吸光柔性層陣列對應設置的全反射透鏡陣列，每個全反射透鏡的全反射面朝向導電吸光柔性層。11.如權利要求9所述的制作方法，其特征在于，吸光柔性層具有至少兩個驅動端，所述微機電系統還包括針對每個驅動端設置的驅動機構，驅動機構包括:用作第一電極的驅動梁、與驅動梁間隔設置并用作第二電極的負載梁，以及與吸光柔性層的驅動端和負載梁分別連接的懸梁臂，驅動梁和負載梁分別通過錨固件固定于基底；當所述微機電系統在第一工作狀態時，負載梁產生形變并驅動懸梁臂向遠離驅動梁的方向移動;所述制作方法具體包括: 在具有開關元件陣列的基底前側形成第一犧牲層，第一犧牲層在錨固件設置位置具有第一孔洞； 在第一犧牲層前側形成第二犧牲層，第二犧牲層具有與第一孔洞疊置的第二孔洞和對應驅動機構設置的通孔槽，通孔槽包括第一側壁和與第一側壁相間隔的第二側壁； 在第一側壁內側形成驅動梁，在第二側壁內側形成負載梁，以及在第二犧牲層前側形成與負載梁連接的懸梁臂和通過第一孔洞和第二孔洞與基底連接的錨固件，驅動梁和負載梁分別通過錨固件固定于基底； 在第二犧牲層前側形成與懸梁臂連接的吸光柔性層； 移除第一犧牲層和第二犧牲層； 在吸光柔性層的前側間隔設置全反射透鏡薄膜，全反射透鏡薄膜包括對應吸光柔性層設置并且全反射面朝向吸光柔性層的全反射透鏡。
【文檔編號】G02B26/08GK105911691SQ201610509601
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年6月30日
【發明人】王志東
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司