光刻膠增粘劑涂覆裝置及方法
【專利摘要】本發明涉及一種光刻膠增粘劑涂覆裝置及方法，光刻膠增粘劑涂覆裝置包括：腔體；進料口，設置于所述腔體的一側；出料口，設置于所述腔體的與所述進料口相對的一側；噴嘴，連接于所述出料口，具有呈輻射狀向基板噴涂光刻膠增粘劑的若干個導流孔，所述導流孔分別呈不同角度向基板噴涂光刻膠增粘劑。光刻膠增粘劑通過上述噴嘴的導流孔向基板的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布于上述基板的表面。
【專利說明】
光刻膠増粘劑涂覆裝置及方法
技術領域
[0001]本發明涉及顯示領域，特別是涉及一種光刻膠增粘劑涂覆裝置及方法。
【背景技術】
[0002]在TFT-LCD、0LED、IC等電子制造中光刻工序是其中一道重要的工序。在光刻工藝中通常需要涉及光刻膠的曝光和顯影過程:當光刻膠經過由光罩圖案轉移后，則利用堿性顯影液溶解經曝光的光刻膠，留下未經曝光的光刻膠結構。
[0003]為了使光刻膠更好地固定在基板上，目前一般會在涂布光刻膠之前，在基本上噴涂一層光刻膠增粘劑，例如是六甲基二娃胺燒(Hexamethyldisilazane，HMDS)，但傳統的用于噴涂光刻膠增粘劑的涂布裝置一般采用正對基板的表面，并利用噴涂裝置的氣流將光刻膠增粘劑由正對涂布裝置的出料口的表面向周圍擴散，這種方式會使基板表面噴涂光刻膠的均勻性不理想，使得基板邊緣區域的粘附度達不到工藝需求。
【發明內容】
[0004]基于此，有必要針對傳統用于噴涂光刻膠增粘劑的涂布裝置噴涂效果不均勻，使得基板邊緣區域的粘附度達不到工藝需求的問題，提供一種光刻膠增粘劑涂覆裝置及方法。
[0005]—種光刻膠增粘劑涂覆裝置，包括:腔體;進料口，設置于所述腔體的一側；出料口，設置于所述腔體與所述進料口相對的一側；以及噴嘴，連接于所述出料口，具有呈輻射狀向基板噴涂光刻膠增粘劑的若干個導流孔。
[0006]光刻膠增粘劑通過上述噴嘴的導流孔向基板的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布與上述基板的表面。
[0007]在其中一個實施例中，所述噴嘴還包括:調節件，設置于所述出料口與所述導流孔之間，用于調節所述導流孔的流量。
[0008]在其中一個實施例中，所述調節件通過改變與所述導流孔之間的距離，調節所述導流孔的噴涂光刻膠增粘劑的流量。
[0009]在其中一個實施例中，所述調節件通過差動方式改變對應所述導流孔的流量。
[0010]在其中一個實施例中，所述噴嘴的噴射角度范圍為120°?150°。
[0011]在其中一個實施例中，所述噴嘴的噴射角度為135°。
[0012]在其中一個實施例中，所述光刻膠增粘劑涂覆裝置還包括:用于將所述光刻膠增粘劑作霧化處理的霧化部件。
[0013]在其中一個實施例中，所述霧化部件連接于所述進料口或設置于所述腔體內。
[0014]在其中一個實施例中，所述霧化部件設置于所述出料口與所述噴嘴之間。
[0015]—種光刻膠增粘劑涂覆方法，包括:呈輻射狀向基板噴涂光刻膠增粘劑。
[0016]通過上述光刻膠增粘劑涂覆方法，光刻膠增粘劑向基板的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布于上述基板的表面。
【附圖說明】
[0017]圖1為本發明第一優選實施方式的光刻膠增粘劑涂覆裝置的整體結構示意圖；
[0018]圖2為本發明第一優選實施方式的光刻膠增粘劑涂覆裝置的局部結構示意圖；
[0019]圖3為本發明第二優選實施方式的光刻膠增粘劑涂覆裝置的整體結構示意圖；
[0020]圖4為本發明第二優選實施方式的光刻膠增粘劑涂覆裝置的局部結構示意圖。
【具體實施方式】
[0021]為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。
[0022]除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本發明的技術領域的技術人員通常理解的含義相同。本文中在本發明的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本發明。本文所使用的術語“及/或”包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。
[0023]本發明第一優選實施方式公開了一種光刻膠增粘劑涂覆裝置100，如圖1及圖2所示，該光刻膠增粘劑涂覆裝置100用于在基板10的表面噴涂光刻膠增粘劑，以使下一工序中的光刻膠能夠牢固地固定在基板10上。該光刻膠增粘劑涂覆裝置100包括腔體110、進料口120、出料口 130及噴嘴140，其中該進料口 120設置在上述腔體110的一側，光刻膠增粘劑通過該進料口 120進入上述腔體110內。出料口 130設置在上述腔體110的另一側，光刻膠增粘劑進入上述腔體110后，通過出料口 130向基板10的表面噴涂光刻膠增粘劑。一般地，上述出料口 130正對于基板10的表面，噴嘴140連接于上述出料口 130，用于呈不同角度向基板10的表面噴涂光刻膠增粘劑。
[0024]具體地，該噴嘴140具有一個圓弧形的表面，在該圓弧形的表面上均勻分布有若干個導流孔141，光刻膠增粘劑通過該若干個導流孔141呈扇形以不同的角度向基板10的表面噴涂光刻膠增粘劑，一般地，該上述噴嘴140通過導流孔141噴射的范圍為120°?150°之間，優選地，噴射角度為135°。
[0025]光刻膠增粘劑通過上述噴嘴140的導流孔141向基板10的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布與上述基板10的表面。
[0026]如圖2所示，上述噴嘴140還包括一調節件142，該調節件142通常設置在上述出料口 130與導流孔141之間，操作人員可通過調節該調節件142與上述導流孔141之間的相對位置關系，進而控制上述噴嘴140的表面不同區域的導流孔141的噴涂光刻膠增粘劑的流量。
[0027]詳細地說，上述調節件142可以為一調節片，該調節片的大小遠大于上述每個導流孔141的大小，且小于上述噴嘴140的圓弧形噴射表面，該調節片通過調節與上述導流孔141之間的距離，控制每個導流孔141的噴射流量，例如，該調節片設置在上述噴嘴140的圓弧形噴射表面的內表面中央位置，且距離該噴嘴140的圓弧形的內表面具有一定的距離，當該調節片距離上述噴嘴140的圓弧形噴射表面較遠時，也就離設置在噴射表面的導流孔141較遠，這樣，經過出料口 130的光刻膠增粘劑有相對較大的量經過接近上述噴嘴140的噴射表面的接近中央部位的導流孔141噴射出，噴涂在基板上。相反，當該調節片距離上述噴嘴140的圓弧形噴射表面較近時，也就離設置在噴射表面的導流孔141較近，這樣，經過出料口 130的光刻膠增粘劑有相對較小的量經過接近上述噴嘴140的噴射表面的接近中央部位的導流孔141噴射出，而大部分經過接近邊緣部位的導流孔141噴射出，噴涂在基板上。這樣，操作人員通過上述調節件142調節上述不同部位的導流孔141噴涂光刻膠增粘劑的流量，進而可通過上述調節件142的位置調節，使噴涂在基板上的光刻膠增粘劑更均勻。
[0028]上述光刻膠增粘劑涂覆裝置100還包括霧化部件150，該霧化部件150用于將光刻膠增粘劑作霧化處理，具體地，該霧化部件150連接于上述進料口 120，光刻膠增粘劑在由進料口 120進入上述腔體110，已被上述霧化部件150所霧化，這樣，被霧化的光刻膠增粘劑從上述噴嘴140噴射出后，在基板的表面更容易擴散，易于使光刻膠增粘劑更容易的在基板上均勻分布。
[0029]該霧化部件150也可以連接于設置在上述腔體110內，光刻膠增粘劑在由進料口120進入上述腔體110后，被上述霧化部件150所霧化，這樣，被霧化的光刻膠增粘劑從上述噴嘴140噴射出后，在基板的表面更容易擴散，易于使光刻膠增粘劑更容易的在基板上均勻分布O
[0030]該霧化部件150還可以連接于設置在出料口130及噴嘴140之間，光刻膠增粘劑在由進料口 120進入上述腔體110，并由出料口 130出來后，被上述霧化部件150所霧化，這樣，被霧化的光刻膠增粘劑從上述噴嘴140噴射出后，在基板的表面更容易擴散，易于使光刻膠增粘劑更容易的在基板上均勻分布。
[0031]光刻膠增粘劑通過上述噴嘴140的導流孔141向基板10的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布與上述基板10的表面，并且，上述調節件142可以通過改變與導流孔141之間的距離，控制其對應區域的導流孔進行噴射光刻膠增粘劑的流量，進而調節噴射在基板10上的光刻膠增粘劑的均勻度。
[0032]本發明第二優選實施方式公開了一種光刻膠增粘劑涂覆裝置200，如圖3及圖4所示，該光刻膠增粘劑涂覆裝置200用于在基板20的表面噴涂光刻膠增粘劑，以使下一工序中的光刻膠能夠牢固地固定在基板20上。該光刻將增粘劑涂覆裝置200包括腔體210、進料口220、出料口 230及噴嘴240，其中該進料口 220設置在上述腔體210的一側，光刻膠增粘劑通過該進料口 220進入上述腔體210內。出料口 230設置在上述腔體210的另一側，光刻膠增粘劑進入上述腔體210后，通過出料口 230向基板20的表面噴涂光刻膠增粘劑。一般地，上述出料口 230正對于基板20的表面，噴嘴240連接于上述出料口 230，用于呈不同角度向基板10的表面噴涂光刻膠增粘劑。
[0033]具體地，該噴嘴240具有一個圓弧形的表面，在該圓弧形的表面上均勻分布有若干個導流孔241，光刻膠增粘劑通過該若干個導流孔241呈扇形以不同的角度向基板20的表面噴涂光刻膠增粘劑，一般地，該上述噴嘴240通過導流孔241噴射的范圍為120°?150°之間，優選地，噴射角度為135°。
[0034]光刻膠增粘劑通過上述噴嘴240的導流孔241向基板20的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布與上述基板20的表面。
[0035]上述噴嘴240還包括一調節件242，該調節件242通常設置在上述出料口 230與導流孔241之間，操作人員可通過調節該調節件242與上述導流孔241之間的相對位置關系，進而控制上述噴嘴240的表面不同區域的導流孔241的噴涂光刻膠增粘劑的流量。
[0036]詳細地說，上述調節件242可以為一調節片，該調節片的大小與上述每個導流孔241的大小相當，該調節片貼附在噴嘴240的圓弧形的表面的內表面，且通過差動的方式改變對應導流孔241的大小，進而控制每個導流孔241的噴射流量，例如，如圖4所示，上述通過差動的方式改變對應導流孔241的調節過程為:該調節片設置在上述噴嘴240的圓弧形噴射表面的內表面，且覆蓋在其中一個導流孔241上，當該調節片完全覆蓋在該導流孔241時，經過出料口 230的光刻膠增粘劑便不會經過接近該導流孔241噴射出，噴涂在基板上。相反，當工作人員通過差動的方式將上述調節片移至導流孔241的一側，換言之，上述導流孔241完全不被上述調節片所覆蓋時，經過出料口 130的光刻膠增粘劑有相對較大的量經過接近該導流孔241噴射出，這樣，操作人員通過上述調節件242調節上述不同部位的導流孔241噴涂光刻膠增粘劑的流量，進而可通過上述調節件242的位置調節，使噴涂在基板上的光刻膠增粘劑更均勻。
[0037]上述光刻膠增粘劑涂覆裝置200還包括霧化部件250，該霧化部件250用于將光刻膠增粘劑作霧化處理，具體在本實施例中，該霧化部件250連接于上述進料口 220，光刻膠增粘劑在由進料口 220進入上述腔體210，已被上述霧化部件250所霧化，這樣，被霧化的光刻膠增粘劑從上述噴嘴240噴射出后，在基板的表面更容易擴散，易于使光刻膠增粘劑更容易的在基板上均勻分布。
[0038]當然該霧化部件250也可以連接于設置在上述腔體210內，光刻膠增粘劑在由進料口 220進入上述腔體210后，被上述霧化部件250所霧化，這樣，被霧化的光刻膠增粘劑從上述噴嘴240噴射出后，在基板的表面更容易擴散，易于使光刻膠增粘劑更容易的在基板上均勾分布。
[0039]該霧化部件250還可以連接于設置在出料口 230及噴嘴240之間，光刻膠增粘劑在由進料口 220進入上述腔體210，并由出料口 230出來后，被上述霧化部件250所霧化，這樣，被霧化的光刻膠增粘劑從上述噴嘴240噴射出后，在基板的表面更容易擴散，易于使光刻膠增粘劑更容易的在基板上均勻分布。
[0040]光刻膠增粘劑通過上述噴嘴240的導流孔241向基板20的不同方向進行噴涂，以使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布與上述基板20的表面，并且，上述調節件242可以通過改變與導流孔241之間的距離，控制其對應區域的導流孔進行噴射光刻膠增粘劑的流量，進而調節噴射在基板20上的光刻膠增粘劑的均勻度。
[0041]本發明還提供了一種光刻膠增粘劑涂覆方法，包括:呈輻射狀向基板噴涂光刻膠增粘劑。所述方法可通過上述光刻膠增粘劑涂覆裝置實現。該方法可使光刻膠增粘劑能夠盡可能的覆蓋比較大的區域，進而使光刻膠均勻地分布于上述基板的表面。
[0042]以上所述實施例的各技術特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術特征的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的范圍。
[0043]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，包括: 腔體； 進料口，設置于所述腔體的一側； 出料口，設置于所述腔體與所述進料口相對的一側； 以及噴嘴，連接于所述出料口，具有呈輻射狀向基板噴涂光刻膠增粘劑的若干個導流孔。2.根據權利要求1所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述噴嘴還包括: 調節件，設置于所述出料口與所述導流孔之間，用于調節所述導流孔的流量。3.根據權利要求2所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述調節件通過改變與所述導流孔之間的距離，調節所述導流孔的噴涂光刻膠增粘劑的流量。4.根據權利要求2所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述調節件通過差動方式改變對應所述導流孔的流量。5.根據權利要求1所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述噴嘴的噴射角度范圍為120°?150°。6.根據權利要求5所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述噴嘴的噴射角度為135。。7.根據權利要求1所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述光刻膠增粘劑涂覆裝置還包括: 用于將所述光刻膠增粘劑作霧化處理的霧化部件。8.根據權利要求7所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述霧化部件連接于所述進料口或設置于所述腔體內。9.根據權利要求7所述的光刻膠增粘劑涂覆裝置，其特征在于，所述霧化部件設置于所述出料口與所述噴嘴之間。10.一種光刻膠增粘劑涂覆方法，其特征在于，包括: 呈輻射狀向基板噴涂光刻膠增粘劑。
【文檔編號】G03F7/16GK105892233SQ201610462646
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年6月23日
【發明人】朱琨
【申請人】昆山國顯光電有限公司