柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法
【專利摘要】本發明公開了一種柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，該方法包括以下步驟：老化預處理；清洗；涂膠；曝光；顯影和酸刻/脫膜。本發明增設了老化預處理步驟，在ito film投入生產前，必須進行老化處理，也就是通過高溫長時間烘烤，使pet預收縮，從而降低后續加工過程中的變形，另外使氧化銦錫層進行再結晶，從而提高其物理化學性質的穩定性）。本方法的改進，有效避免ito膜在高溫并冷卻后出現劇烈收縮，產生形變等現象，而且ito圖形干凈干燥，表面不會產生嚴重或較嚴重程度褶皺的現象，因此達到底色均勻的效果。
【專利說明】
柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法
技術領域
[0001]本發明涉及一種顯示器技術領域，尤其涉及一種柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法。
【背景技術】
[0002]現有的led工廠生產柔性液晶顯示器產品時，基本是按正常的工藝流程進行，并進行溫度和工藝時間、壓力等方面的微調，現有方法存在的問題是:
I )Fi Im在高溫并冷卻后，如pi高烤后，劇烈收縮，產生形變，為后續工序提高操作難度。
[0003]2)Film在前工序生產過程中，經歷圖形段的前烘和后烘、定向工序的pi主固化、制盒工序的熱壓固化后，表面產生嚴重或較嚴重程度褶皺，影響外觀，形成底色不均。
[0004]綜合上述描述，現有的處理方法已無法滿足市場的需求。
【發明內容】
[0005]針對上述技術中存在的不足之處，本發明提供一種柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，能夠避免fi Im在生產過程中形成永久性表面褶皺的問題。
[0006]為實現上述目的，本發明提供一種柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，包括以下步驟:
步驟1，老化預處理:對Ho膜上的聚對苯二甲酸乙二酯進行高溫長時間烘烤，并對氧化銦錫層進行再結晶，使得Ho膜具有穩定的化學性質和物理性質；
步驟2，清洗:對玻璃表面進行清洗；
步驟3，涂膠:采用同向輥涂法對Ho膜進行加工薄膜；
步驟4，曝光:使用準平行光曝光設備進行掩膜曝光;在曝光過程中，正性光阻劑在接收分布在365納米和420納米附近紫外光時，在空氣中水分子輔助下會發生光化學反應，接收紫外線的光阻膜會分解形成易溶解于常溫弱堿的羧基(cooh)，而被掩膜版藥面圖形遮蓋的部分，則保持光阻膜本身的耐常溫弱堿的物理化學性質；
步驟5，顯影:耐常溫弱堿在曝光過程中與紫外線有接觸的光阻膜溶解，形成與曝光工序掩膜版圖形一致的光阻膜圖形，進行烘烤烤干并增強光阻膜和ito膜的結合力；
步驟6，酸刻/脫膜:將無光阻膜保護的ito層酸蝕掉，將ito圖形上的光阻膜去除，并通將Ho圖形上的鈉離子去除掉，形成干凈干燥的Ho圖形。
[0007]其中，所述步驟2中的清洗步驟具體為:首先通過毛刷、超聲、高壓噴淋的物理方法，或表面活性劑的化學方法，對玻璃表面進行清洗處理;然后通過高速風機驅動風刀吹干或遠紅外電磁輻射加熱方法對玻璃表面進行干燥處理;最后通過高效過濾過的潔凈空氣進行風冷處理。
[0008]其中，所述步驟3中的ito膜的加工薄膜的成膜厚度一般在1.5-2.5微米之間。
[0009]其中，所述步驟4中曝光的精度可以達到10微米或10微米以下。
[0010]其中，所述步驟6中無光阻膜保護的ito層酸蝕掉的方法為:通過高溫強酸中的鹽酸和低比例硝酸的混合液將無光阻膜保護的ito層酸蝕掉。
[0011]其中，所述步驟6中鈉離子去除掉的方式為通過漂洗、風干、烘干工序，將ito圖形上的鈉離子去除掉。
[0012]本發明的有益效果是:與現有技術相比，本發明提供的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，本方法相對現有工藝，增設了老化預處理步驟，該步驟對ito膜上的聚對苯二甲酸乙二酯進行高溫長時間烘烤，并對氧化銦錫層進行再結晶，使得Ho膜具有穩定的化學性質和物理性質；因為苯二甲酸乙二酯pet本身在經過高溫工序后發生收縮，而pet上的ito膜，也就是氧化銦錫層物理化學性質不穩定，需要經過高溫進行結晶，以達到穩定的物理和化學性質，所以在ito film投入生產前，必須進行老化處理，也就是通過高溫長時間烘烤，使pet預收縮，從而降低后續加工過程中的變形，另外使氧化銦錫層進行再結晶，從而提高其物理化學性質的穩定性)。本方法的改進，有效避免Ho膜在高溫并冷卻后出現劇烈收縮，產生形變等現象，而且ito圖形干凈干燥，表面不會產生嚴重或較嚴重程度褶皺的現象，因此達到底色均勻的效果。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發明的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法的步驟流程圖。
【具體實施方式】
[0014]為了更清楚地表述本發明，下面結合附圖對本發明作進一步地描述。
[0015]請進一步參閱圖1，本發明提供一種柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，包括以下步驟:
步驟SI，老化預處理:對ito膜上的聚對苯二甲酸乙二酯進行高溫長時間烘烤，并對氧化銦錫層進行再結晶，使得ito膜具有穩定的化學性質和物理性質；因為pet本身在經過高溫工序后發生收縮，而pet上的ito膜，也就是氧化銦錫層物理化學性質不穩定，需要經過高溫進行結晶，以達到穩定的物理和化學性質，所以在ito film投入生產前，必須進行老化處理，也就是通過高溫長時間烘烤，使pet預收縮，從而降低后續加工過程中的變形，另外使氧化銦錫層進行再結晶，從而提高其物理化學性質的穩定性；
步驟S2，清洗:對玻璃表面進行清洗;步驟S2中的清洗步驟具體為:首先通過毛刷、超聲、高壓噴淋的物理方法，或表面活性劑的化學方法，對玻璃表面進行清洗處理;然后通過高速風機驅動風刀吹干或遠紅外電磁輻射加熱方法對玻璃表面進行干燥處理;最后通過高效過濾過的潔凈空氣進行風冷處理；
步驟S3，涂膠:采用同向輥涂法對ito膜進行加工薄膜;此方法比較適合通過低粘度涂布液加工薄膜;該步驟中的ito膜的加工薄膜的成膜厚度一般在1.5-2.5微米之間；
步驟S4，曝光:使用準平行光曝光設備進行掩膜曝光;在曝光過程中，正性光阻劑在接收分布在365納米和420納米附近紫外光時，在空氣中水分子輔助下會發生光化學反應，接收紫外線的光阻膜會分解形成易溶解于常溫弱堿的羧基(cooh)，而被掩膜版藥面圖形遮蓋的部分，則保持光阻膜本身的耐常溫弱堿的物理化學性質；曝光的精度可以達到10微米或10微米以下;且該工序中空氣需要保持一定的濕度；
步驟S5，顯影:耐常溫弱堿在曝光過程中與紫外線有接觸的光阻膜溶解，形成與曝光工序掩膜版圖形一致的光阻膜圖形，進行烘烤烤干并增強光阻膜和ito膜的結合力；
步驟S6，酸刻/脫膜:將無光阻膜保護的ito層酸蝕掉，將Ho圖形上的光阻膜去除，并通將ito圖形上的鈉離子去除掉，形成干凈干燥的Ho圖形;該步驟中無光阻膜保護的Ho層酸蝕掉的方法為:通過高溫強酸中的鹽酸和低比例硝酸的混合液將無光阻膜保護的ito層酸蝕掉；另外，該步驟中鈉離子去除掉的方式為通過漂洗、風干、烘干工序，將ito圖形上的鈉離子去除掉。
[0016]相較于現有技術的情況，本發明提供的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，本方法相對現有工藝，增設了老化預處理步驟，該步驟對Ho膜上的聚對苯二甲酸乙二酯進行高溫長時間烘烤，并對氧化銦錫層進行再結晶，使得ito膜具有穩定的化學性質和物理性質；因為苯二甲酸乙二酯pet本身在經過高溫工序后發生收縮，而pet上的ito膜，也就是氧化銦錫層物理化學性質不穩定，需要經過高溫進行結晶，以達到穩定的物理和化學性質，所以在ito film投入生產前，必須進行老化處理，也就是通過高溫長時間烘烤，使pet預收縮，從而降低后續加工過程中的變形，另外使氧化銦錫層進行再結晶，從而提高其物理化學性質的穩定性)。本方法的改進，有效避免ito膜在高溫并冷卻后出現劇烈收縮，產生形變等現象，而且ito圖形干凈干燥，表面不會產生嚴重或較嚴重程度褶皺的現象，因此達到底色均勻的效果。
[0017]本發明還具有如下優勢:
I)與現有技術相比，本發明提供的老化預處理技術，可以在LCD的前工程開始前階段使用，在不影響正常工藝流程的情況下，在生產前預先老化ito film，避免未經過老化的itofilm即為導電薄膜在制造的高溫過程中出現劇烈的收縮和褶皺的問題。
[0018]2)本項目具有在生產前實施(不影響前工序生產秩序)、使用方便、簡單通用、節省材料、成本低及適用范圍廣等特點。
[0019]以上公開的僅為本發明的幾個具體實施例，但是本發明并非局限于此，任何本領域的技術人員能思之的變化都應落入本發明的保護范圍。
【主權項】
1.一種柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟I，老化預處理:對ito膜上的聚對苯二甲酸乙二酯進行高溫長時間烘烤，并對氧化銦錫層進行再結晶，使得Ho膜具有穩定的化學性質和物理性質； 步驟2，清洗:對玻璃表面進行清洗； 步驟3，涂膠:采用同向輥涂法對Ho膜進行加工薄膜； 步驟4，曝光:使用準平行光曝光設備進行掩膜曝光;在曝光過程中，正性光阻劑在接收分布在365納米和420納米附近紫外光時，在空氣中水分子輔助下會發生光化學反應，接收紫外線的光阻膜會分解形成易溶解于常溫弱堿的羧基(cooh);而被掩膜版藥面圖形遮蓋的部分，則保持光阻膜本身的耐常溫弱堿的物理化學性質； 步驟5，顯影:耐常溫弱堿在曝光過程中與紫外線有接觸的光阻膜溶解，形成與曝光工序掩膜版圖形一致的光阻膜圖形，進行烘烤烤干并增強光阻膜和Ho膜的結合力； 步驟6，酸刻/脫膜:將無光阻膜保護的ito層酸蝕掉，將ito圖形上的光阻膜去除，并通將Ho圖形上的鈉離子去除掉，形成干凈干燥的Ho圖形。2.根據權利要求1所述的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，其特征在于，所述步驟2中的清洗步驟具體為:首先通過毛刷、超聲、高壓噴淋的物理方法，或表面活性劑的化學方法，對玻璃表面進行清洗處理;然后通過高速風機驅動風刀吹干或遠紅外電磁輻射加熱方法對玻璃表面進行干燥處理;最后通過高效過濾過的潔凈空氣進行風冷處理。3.根據權利要求1所述的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，其特征在于，所述步驟3中的ito膜的加工薄膜的成膜厚度一般在1.5-2.5微米之間。4.根據權利要求1所述的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，其特征在于，所述步驟4中曝光的精度可以達到10微米或10微米以下。5.根據權利要求1所述的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，其特征在于，所述步驟6中無光阻膜保護的i to層酸蝕掉的方法為:通過高溫強酸中的鹽酸和低比例硝酸的混合液將無光阻膜保護的Ho層酸蝕掉。6.根據權利要求1所述的柔性液晶顯示器的底色均勻處理方法，其特征在于，所述步驟6中鈉離子去除掉的方式為通過漂洗、風干、烘干工序，將ito圖形上的鈉離子去除掉。
【文檔編號】G03F7/16GK105892123SQ201610359949
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年5月27日
【發明人】楊錦喜, 曾文波, 楊凌, 鐘建坤
【申請人】龍川耀宇科技有限公司