光照射裝置以及光照射方法
【專利摘要】提供一種光照射裝置以及光照射方法，在雙工作臺方式中使工作臺彼此不會干涉而能夠高效地進行光照射處理。光照射裝置具備：載置第一工件，且能夠在第一待機位置與照射區域之間進行往復移動的第一工作臺；載置第二工件，且能夠在第二待機位置與照射區域之間進行往復移動的第二工作臺；以及對第一工作臺以及第二工作臺的移動獨立地進行控制以便第一工件和第二工件交替地通過照射區域的控制部。此處，控制部以下述方式進行控制：各工作臺在照射區域內以比最大移動速度慢的移動速度移動，在照射區域外的歸路以最大移動速度移動，在照射區域外的去路以使得工作臺間距離不會低于預先設定的最接近距離的移動速度移動。
【專利說明】
光照射裝置以及光照射方法
技術領域
[0001]本發明涉及光照射裝置以及光照射方法，尤其涉及具備能夠在相同軸上往復移動的兩個工件工作臺，并對該工件工作臺上的工件交替地照射光的光照射裝置以及光照射方法。
【背景技術】
[0002]近年來，關于以液晶面板為首的液晶顯示元件的取向膜、視場角補償薄膜的取向層等的取向處理，采用通過照射規定的波長的偏振光來進行取向的、被稱為光取向的技術。
[0003]在光取向中使用的光照射裝置具備:具有與光照射區域的寬度相當的長度的棒狀的光源；以及使來自該光源的光偏振的偏振元件，對沿與光源的長邊方向正交的方向被搬運的工件照射偏振光。
[0004]作為這樣的光照射裝置，例如存在專利文獻I所記載的技術。該技術采用雙工作臺方式，具備:能夠在設定于照射區域的一側的第一工件搭載位置與照射區域之間往復移動的第一工作臺；以及能夠在設定于照射區域的另一側的第二工件搭載位置與照射區域之間往復移動的第二工作臺。而且，通過使第一工作臺和第二工作臺交替地朝照射區域移動，并對工作臺上的工件照射光，由此，與僅具備一方的工作臺的情況相比較生產間隔時間減少。
[0005]專利文獻1:日本特開2014 - 174352號公報
[0006]在上述專利文獻I所記載的技術中，為了實現進一步的生產間隔時間的縮短的目的，也可以形成為:與一方的工作臺的歸路移動(從照射區域朝工件搭載位置返回的移動)相連續，開始另一方的工作臺的去路移動(從工件搭載位置朝向照射區域的移動)。
[0007]然而，各工作臺在照射區域內移動的期間(照射偏振光的期間)、和在照射區域外移動的期間工作臺的移動速度不同。具體而言，各工作臺當在照射區域外移動而僅進行工件的搬運的情況下，能夠高速移動，但當在照射區域內移動的期間，存在為了獲得規定的曝光量而低速移動的情況。
[0008]因此，僅僅使一方的工作臺的歸路移動開始的定時與另一方的工作臺的去路移動開始的定時同步的話，存在因上述的移動速度差而在工作臺之間產生干涉的顧慮。
【發明內容】
[0009]因此，本發明的課題在于，在雙工作臺方式中，提供一種工作臺彼此不會干涉而能夠高效地進行光照射處理的光照射裝置以及光照射方法。
[0010]為了解決上述課題，本發明所涉及的光照射裝置的一個方式為一種光照射裝置，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的一側的第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；第二工作臺，載置第二工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；以及控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區域，上述控制部以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以第一移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以比上述第一移動速度高速的第二移動速度移動，在上述照射區域外的去路，當工作臺間距離比預先設定的最接近距離長時以上述第二移動速度移動、當上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時以上述第一移動速度移動，并且以下述方式進行控制:在上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的、處于歸路移動中的一方的工作臺至少處于上述照射區域的期間之前，另一方的工作臺開始進行去路移動。
[0011]這樣，采用具備載置工件的兩個工作臺，且對各工件交替地照射光的所謂雙工作臺方式。由此，在朝一方的工作臺照射光的期間，能夠進行另一方的工作臺的工件更換作業等。因此，與工作臺僅為一個的情況相比較能夠減少生產間隔時間，能夠提高生產率。并且，由于使在照射區域外進行去路移動的工作臺以使得工作臺間距離不會低于最接近距離的移動速度移動，因此，即便當在第一工作臺與第二工作臺之間存在移動速度差的情況下，也能夠以不會發生工作臺之間的干涉且能夠高效地進行光照射處理的方式使工作臺移動。
[0012]并且，由于直至不發生工作臺之間的干涉的位置為止以較高的速度進行去路移動，之后使其追隨先行移動的工作臺，因此能夠避免工作臺之間的干涉并且能夠使其盡早到達照射區域。因此，能夠在對一方的工件進行光照射處理后立刻對另一方的工件進行光照射處理，能夠實現生產間隔時間的進一步縮短。
[0013]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，上述控制部使上述一方的工作臺追隨上述另一方的工作臺而移動。
[0014]這樣，由于使在照射區域外進行去路移動的工作臺以與另一方的工作臺相同的移動速度移動，因此，即便當在第一工作臺與第二工作臺之間存在移動速度差的情況下，也能夠可靠地防止工作臺之間的干涉。
[0015]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述控制部以下述方式進行控制:當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，當上述另一方的工作臺的歸路移動方向上的后端部位置相比上述照射區域的靠上述一方的工作臺的待機位置側的端部位置而位于上述另一方的工作臺的待機位置側時，使上述一方的工作臺以上述第二移動速度移動直至到上述端部位置為止。
[0016]由此，若先行移動的工作臺完全進入照射區域內，則在照射區域外進行去路移動的工作臺與工作臺間距離無關而直至照射區域的入口為止都能夠以較高的速度移動。因此，也能夠形成為對兩個工件中的至少一方的工件始終進行光照射處理的狀態，能夠實現進一步的生產間隔時間的縮短。
[0017]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺的去路移動。
[0018]由此，能夠在一方的工作臺開始進行歸路移動后再開始另一方的工作臺的去路移動，能夠避免兩個工作臺均進行去路移動的狀況。因此，能夠可靠地避免工作臺彼此的干涉。
[0019]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置，當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，使上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。
[0020]這樣，當一方的工作臺正進行去路移動時，開始另一方的工作臺的去路移動，因此能夠更高效地進行針對兩個工件的光照射處理。
[0021]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，還具備旋轉控制部，該旋轉控制部獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉，使該工作臺的姿態成為光照射時的姿態，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區域前的旋轉允許位置為止的區間正進行去路移動的期間，上述旋轉控制部對上述旋轉進行控制。
[0022]通過像這樣具備旋轉控制部，例如在對工件照射偏振光的情況下，能夠將工件的方向相對于偏振光的偏振光軸設置成規定的方向而進行光照射處理。并且，通過在去路移動中進行工作臺的旋轉控制，能夠抑制生產間隔時間變長。
[0023]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當由上述旋轉控制部控制的非旋轉控制對象的工作臺正進行去路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置，當上述非旋轉控制對象的工作臺正進行歸路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺的位置靠上述旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置。
[0024]由此，能夠在避免工作臺間的干涉的同時進行去路移動中的旋轉控制。
[0025]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述工作臺間距離是上述第一工作臺的去路移動方向上的前端位置與上述第二工作臺的去路移動方向上的前端位置之間的沿上述搬運軸方向的距離。
[0026]這樣，由于各工作臺的去路移動方向上的前端位置彼此的距離設為工作臺間距離，因此，即便當各工作臺的形狀或繞與工作臺面正交的軸的旋轉角度等產生差異的情況下，也能夠進行避免了工作臺間的干涉的工作臺移動控制。
[0027]此外，在上述的光照射裝置中，上述光可以是偏振光。這樣，也能夠應用于對工件照射偏振光而進行光取向處理的偏振光照射裝置。
[0028]并且，在上述的光照射裝置中，可以對上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動和歸路移動這雙方照射上述光。由此，能夠不浪費能量地進行光照射處理。
[0029]此外，本發明所涉及的光照射裝置的另一個方式為一種光照射裝置，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；第二工作臺，載置第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；以及控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區域；以及旋轉控制部，獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉，使該工作臺的姿態成為光照射時的姿態，上述控制部以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以比預先設定的最大移動速度慢的移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以上述最大移動速度移動，在上述照射區域外的去路，以工作臺間距離不低于預先設定的最接近距離的移動速度移動，上述旋轉控制部將上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區域前的旋轉允許位置為止的區間進行去路移動的區間設為能夠進行上述旋轉的旋轉動作可能區間。
[0030]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當由上述旋轉控制部控制的非旋轉控制對象的工作臺正進行去路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置，當上述非旋轉控制對象的工作臺正進行歸路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺的位置靠上述旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置。
[0031]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，當上述工作臺間距離比上述最接近距離長時，上述控制部使上述一方的工作臺以上述最大移動速度移動，當上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時，上述控制部使上述一方的工作臺以上述另一方的工作臺的移動速度移動。
[0032]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，上述控制部使上述一方的工作臺追隨上述另一方的工作臺而移動。
[0033]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，當上述另一方的工作臺的歸路移動方向上的后端部位置相比上述照射區域的靠上述一方的工作臺的待機位置側的端部位置而位于上述另一方的工作臺的待機位置側時，上述控制部使上述一方的工作臺以上述最大移動速度移動直至到上述端部位置為止。
[0034]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺的去路移動。
[0035]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置，當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述控制部使上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。
[0036]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述工作臺間距離是上述第一工作臺的去路移動方向上的前端位置與上述第二工作臺的去路移動方向上的前端位置之間的沿上述搬運軸方向的距離。
[0037]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述光是偏振光。
[0038]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，對上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動和歸路移動這雙方照射上述光。
[0039]此外，本發明所涉及的光照射裝置的再一個方式為一種光照射裝置，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；第二工作臺，載置第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；以及控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區域，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置，當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述控制部使上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。
[0040]此外，本發明所涉及的光照射方法的一個方式涉及對通過預先設定的照射區域的工件照射光的光照射方法，其中，對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的一側的第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，此時，以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以第一移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以比上述第一移動速度高速的第二移動速度移動，在上述照射區域外的去路，當工作臺間距離比預先設定的最接近距離長時以上述第二移動速度移動、當上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時以上述第一移動速度移動，并且以下述方式進行控制:在上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的、處于歸路移動中的一方的工作臺至少處于上述照射區域的期間之前，另一方的工作臺開始進行去路移動。
[0041]這樣，采用具備載置工件的兩個工作臺，且對各工件交替地照射光的所謂雙工作臺方式。由此，在朝一方的工作臺照射光的期間，能夠進行另一方的工作臺的工件更換作業等。因此，與工作臺僅為一個的情況相比較能夠減少生產間隔時間，能夠提高生產率。并且，由于使在照射區域外進行去路移動的工作臺以使得工作臺間距離不會低于最接近距離的移動速度移動，因此，即便當在第一工作臺與第二工作臺之間存在移動速度差的情況下，也能夠以不會發生工作臺間的干涉且能夠高效地進行光照射處理的方式使工作臺移動。
[0042]此外，本發明所涉及的光照射方法的另一個方式涉及一種光照射方法，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其中，對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，此時，以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以比預先設定的最大移動速度慢的移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以上述最大移動速度移動，在上述照射區域外的去路，以工作臺間距離不低于預先設定的最接近距離的移動速度移動，將上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區域前的旋轉允許位置為止的區間進行去路移動的區間作為能夠進行上述旋轉的旋轉動作可能區間，獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉，使該工作臺的姿態成為光照射時的姿
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[0043]此外，本發明所涉及的光照射方法的再一個方式涉及一種光照射方法，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其中，對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，此時，以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以比預先設定的最大移動速度慢的移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以上述最大移動速度移動，在上述照射區域外的去路，以工作臺間距離不低于預先設定的最接近距離的移動速度移動，當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置，當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。
[0044]發明效果
[0045]在本發明的光照射裝置中，在雙工作臺方式中，能夠使進行去路移動的工作臺以使得與另一方的工作臺之間的工作臺間距離不會低于最接近距離的移動速度移動。因此，即便當在第一工作臺與第二工作臺之間存在移動速度差的情況下，工作臺彼此也不會干涉，能夠高效地進行光照射處理。
【附圖說明】
[0046]圖1是示出本實施方式的偏振光照射裝置的概略結構圖。
[0047]圖2是對各工作臺的移動區間進行說明的圖。
[0048]圖3是對工作臺間距離進行說明的圖。
[0049]圖4是對工作臺間距離進行說明的圖。
[0050]圖5是示出第一實施方式的工作臺速度控制處理順序的流程圖。
[0051]圖6是對第一實施方式的動作進行說明的圖。
[0052]圖7是對第一實施方式的動作進行說明的圖。
[0053]圖8是對第一實施方式的動作進行說明的圖。
[0054]圖9是對第一實施方式的動作進行說明的圖。
[0055]圖10是對第一實施方式的動作進行說明的圖。
[0056]圖11是示出第二實施方式的工作臺速度控制處理順序的流程圖。
[0057]圖12是對第二實施方式的動作進行說明的圖。
[0058]圖13是對第二實施方式的動作進行說明的圖。
[0059]圖14是對第二實施方式的動作進行說明的圖。
[0060]圖15是對第三實施方式的動作進行說明的圖。
[0061]圖16是對第三實施方式的動作進行說明的圖。
[0062]標號說明
[0063]10A、10B…光照射部;11…放電燈;12…反射鏡;13…偏振單兀;14…燈罩;15…照射區域;20…搬運部;21A…第一工作臺;21B…第二工作臺;22…引導件;23A、23B…電磁鐵；24A、24B…Θ移動機構；30...控制部；31…線位移傳感器；100…偏振光照射裝置。
【具體實施方式】
[0064]以下，基于附圖對本發明的實施方式進行說明。
[0065](第一實施方式)
[0066]圖1是示出本實施方式的偏振光照射裝置的概略結構圖。
[0067]偏振光照射裝置100具備光照射部1A以及1B和搬運工件W的搬運部20。這里，工件W是形成有光取向膜的、例如整形為液晶面板的大小的矩形狀的基板。
[0068]偏振光照射裝置100 —邊從光照射部1A以及1B照射規定的波長的偏振光(偏振的光)一邊利用搬運部20使工件W直線移動，對工件W的光取向膜照射上述偏振光而進行光取向處理。
[0069]光照射部1A以及1B分別具備:線狀的光源即燈11 ;以及對燈11的光進行反射的反射鏡12。并且，光照射部1A以及1B分別具備配置在其光射出側的偏振單元13。此夕卜，光射出部1A以及1B分別具備收納燈11、反射鏡12以及偏振單元13的燈罩14。
[0070]光照射部1A以及光照射部1B以使燈11的長邊方向與正交于工件W的搬運方向(X方向)的方向(Y方向)一致的狀態沿著工件W的搬運方向(X方向)并排設置。
[0071]以下，對光照射部1A以及1B的具體結構進行說明。
[0072]燈11是長條狀的燈，其發光部具有與工件W的正交于搬運方向的方向的寬度對應的長度。該燈11例如為高壓水銀燈或對水銀添加了其他金屬的金屬鹵化物燈等，放射波長200nm?400nm的紫外光。
[0073]作為光取向膜的材料，公知有借助波長254nm的光取向的材料，借助波長313nm的光取向的材料，借助波長365nm的光取向的材料等，光源的種類根據所需要的波長適當選擇。
[0074]此外，作為光源，還能夠使用將放射紫外光的LED或LD呈直線狀地排列配置而成的線狀光源。在該情況下，將LED或LD排列配置的方向相當于燈的長邊方向。
[0075]反射鏡12將來自燈11的放射光朝規定的方向反射，是其剖面呈橢圓形或者拋物線狀的檐溝狀聚光鏡。反射鏡12以其長邊方向與燈11的長邊方向一致的方式配置。
[0076]燈罩14在其底面具有供來自燈11的放射光以及由反射鏡12反射的反射光通過的光射出口。偏振單元13安裝于燈罩14的光射出口，使通過該光射出口的光偏振。
[0077]偏振單元13具有將多個偏振器沿燈11的長邊方向排列配置而成的結構。上述多個偏振器例如由框架等支承。
[0078]偏振器例如是線柵型偏振元件，偏振器的個數根據要照射偏振光的區域的大小適當選擇。此外，各偏振器分別以透射軸朝向同一方向的方式配置。
[0079]搬運部20具備分別保持工件W的第一工作臺2IA以及第二工作臺21B。上述兩個工作臺21A、21B是借助真空吸附等的方法對工件W進行吸附保持的平板狀的工作臺。此夕卜，在本實施方式中，將各工作臺21A、21B以及工件W形成為矩形狀，但并不限定于此，能夠形成為任意的形狀。并且，并不限于利用平板狀的工作臺吸附保持工件W的結構，也可以是利用多個銷來吸附保持工件W的結構。
[0080]并且，搬運部20具備:沿著工作臺2IA以及2IB的移動方向延伸的兩條引導件22 ;以及作為一個例子而構成工作臺21A以及21B的移動機構的電磁鐵23A以及23B。此處，作為上述移動機構，例如采用線性馬達工作臺。線性馬達工作臺是如下的機構:在呈棋盤網格狀地設置有強磁性體的凸極的平面狀的臺板上使移動體(工作臺21A、21B)借助氣體浮起，對該移動體施加磁力，并使移動體與臺板的凸極之間的磁力變化，由此使該移動體移動。此夕卜，作為上述移動機構，例如也能夠采用使用了滾珠絲杠的機構。
[0081]這樣，工作臺21A以及21B構成為能夠沿著共用的搬運軸即引導件22往復移動。
[0082]此外，搬運部20具備使工作臺2IA以及2IB分別能夠沿Θ方向(繞Z軸)旋轉的Θ移動機構24A以及24B。S卩，工作臺21A以及21B分別以能夠沿Θ方向旋轉的方式安裝在固定基座25A以及25B上，且其旋轉角度由Θ移動機構24A以及24B調整。
[0083]工作臺2IA以及2IB的移動路徑設計成通過光照射部1A以及1B的正下方。搬運部20構成為將工件W朝由光照射部1A以及1B照射偏振光的照射區域搬運，并使其通過該照射區域。此外，搬運部20構成為在工件W完全通過照射區域后使該工件W折返并使其再次通過該照射區域。在該去路移動和歸路移動這雙方，工件W的光取向膜被實施光取向處理。
[0084]圖2是對工作臺2IA以及2IB的移動區間進行說明的圖。
[0085]第一工作臺21A能夠在從設定于偏振光的照射區域15的一側的工件搭載位置即基板搭載位置(第一待機位置)Pll直至設定于照射區域15的另一側的折返位置P12為止的區間往復移動。并且，第二工作臺21B能夠在從夾著照射區域15設定于基板搭載位置Pll的相反側的工件搭載位置即基板搭載位置(第二待機位置)P21直至夾著照射區域15設定于折返位置P12的相反側的折返位置P22為止的區間往復移動。
[0086]這里，對于第一工作臺21A，將從基板搭載位置Pll朝向折返位置P12的移動稱為去路移動。同樣，對于第二工作臺，也將從基板搭載位置P21朝向折返位置P22的移動稱為去路移動。并且，基板搭載位置是進行載置于工作臺上的基板(工件W)的更換作業以及對準作業的位置，折返位置是設定于照射區域15與另一方的工作臺的基板搭載位置之間的、工作臺從去路移動切換至歸路移動的切換位置。
[0087]例如，第一工作臺21A的移動區間(Pll?P12)的X方向距離LI與第二工作臺21B的移動區間(P21?P22)的X方向距離L2設定為大致相等。并且，在第一工作臺21A的基板搭載位置與照射區域15之間確保有即便第二工作臺21B因Θ方向的旋轉移動而成為任意姿態也能夠通過照射區域15的量以上的空間。同樣，在第二工作臺21B的基板搭載位置與照射區域15之間確保有即便第一工作臺21A因Θ方向的旋轉移動而成為任意姿態也能夠通過照射區域15的量以上的空間。
[0088]各工作臺21A以及21B的基本動作如下。
[0089]第一工作臺21A在基板搭載位置Pll進行工件W的更換作業以及對準作業，在對準結束后，借助Θ移動機構24A進行旋轉移動。由此，使工件W的方向相對于偏振光的偏振光軸成為規定的方向。
[0090]隨后，第一工作臺21A開始朝向照射區域15進行去路移動。而且，若通過照射區域15而到達折返位置P12，則開始進行歸路移動，返回至基板搭載位置PU。在該基板搭載位置PU，再次進行工件W的更換作業以及對準作業，在對準結束后，第一工作臺21A再次開始朝向照射區域15進行去路移動。反復進行該動作。
[0091]第二工作臺2IB也同樣，在基板搭載位置P21進行工件W的更換作業以及對準作業，在對準結束后，借助Θ移動機構24B進行旋轉移動而后開始朝向照射區域15進行去路移動。此時的第二工作臺21B的旋轉角度有時與第一工作臺21A的旋轉角度不同。而且，第二工作臺21B若通過照射區域15而到達折返位置P22則開始進行歸路移動，返回至基板搭載位置P21。反復進行該動作。
[0092]并且，對于各工作臺21A以及21B，作為通常動作，從基板搭載位置朝向照射區域15的去路移動中、以及從照射區域15朝基板搭載位置返回的歸路移動中的移動速度被設定為速度較高的第一移動速度(最大移動速度)VI，除此以外的區域(照射區域15內以及照射區域15與折返位置之間)的移動速度被設定為比第一移動速度Vl低速的第二移動速度V2。
[0093]控制部30對工作臺的移動機構即搬運部20(參照圖1)的各部分進行控制以便實現上述的工作臺動作。此時，控制部30從與搬運軸平行配置的線位移傳感器31取得各工作臺21A以及21B的位置信息，根據所取得的位置信息計算各工作臺21A以及21B的速度信息。而且，控制部30基于所取得的位置信息以及計算出的速度信息，計算各工作臺21A以及21B的目標移動位置以及目標移動速度，并將其朝搬運部20的各部分輸出。
[0094]并且，控制部30對各工作臺21A以及21B的移動速度進行控制，以便當第一工作臺21A和第二工作臺21B如上述那樣在共用的搬運軸上反復往復移動的期間二者不會干涉。
[0095]具體而言，在一方的工作臺進行去路移動的期間，僅允許另一方的工作臺的歸路移動而禁止去路移動。并且，對進行去路移動的工作臺的移動速度進行控制，以便在一方的工作臺進行歸路移動、另一方的工作臺在照射區域外進行去路移動的期間，X方向上的工作臺間距離(后述的La)不會相比預先設定的最接近距離(后述的L0)而更接近。
[0096]這里，最接近距離LO是如下程度的富余距離:即便假設先行移動的工作臺緊急停止的情況下，也能夠在工作臺間不發生干涉地使后續的工作臺停止。該最接近距離LO例如能夠基于最大移動速度即第一移動速度Vl設定。
[0097]各工作臺21A以及21B如上所述構成為能夠沿Θ方向旋轉。因此，上述工作臺間距離La如圖3所示設為第一工作臺21A的去路方向(圖3的右方向)上的最前端位置P13與第二工作臺21B的去路方向(圖3的左方向)上的最前端位置P23之間的沿X方向的距離。
[0098]并且，各工作臺21A以及21B能夠獨立地控制Θ方向的旋轉角度，如圖4所示，存在第一工作臺21A與第二工作臺21B的旋轉方向不同的情況。即便在這種情況下，也將第一工作臺21A的去路方向的最前端位置P14與第二工作臺21B的去路方向的最前端位置P24之間的距離設為上述工作臺間距離La。
[0099]圖5是示出由控制部30執行的工作臺速度控制處理順序的流程圖。該圖5所示的處理是控制部30在對第一工作臺21A的移動速度進行控制的情況下執行的處理。此外，關于對第二工作臺21B的移動速度進行控制的處理，只要將以下說明中的“第一工作臺”替換為“第二工作臺”、將“第二工作臺”替換為“第一工作臺”即可，因此在此省略說明。
[0100]首先，在步驟SI中，控制部30判定第一工作臺21A是否處于歸路移動中。這里，控制部30根據第一工作臺21A的位置信息判定第一工作臺21A的位置以及移動方向，判定第一工作臺21A是否處于歸路移動中。
[0101]而且，當在該步驟SI中判定為第一工作臺21A處于歸路移動中的情況下，過渡至步驟S2。另一方面，當判定為第一工作臺21A并不處于歸路移動中，即處于去路移動中、或者處于在基板搭載位置停止的期間中的情況下，過渡至步驟S3。
[0102]在步驟S2中，控制部30以使得第一工作臺21A進行通常動作的方式設定目標移動速度，并將其朝第一工作臺21A的移動機構輸出。S卩，在第一工作臺21A處于朝向照射區域15的去路移動中、或者從照射區域15朝基板搭載位置返回的歸路移動中的情況下，將目標移動速度設定為第一移動速度VI，當處于除此以外的區域的情況下，將目標移動速度設定為第二移動速度V2。而且，將所設定的目標移動速度朝第一工作臺2IA的移動機構輸出。
[0103]在步驟S3中，控制部30判定第二工作臺21B是否處于去路移動中。這里，控制部30根據第二工作臺21B的位置信息判定第二工作臺21B的移動方向，判定第二工作臺21B是否正進行去路移動。而且，當判定為第二工作臺21B正進行去路移動的情況下，過渡至步驟S4，當判定為第二工作臺21B正進行歸路移動的情況下，過渡至步驟S5。
[0104]在步驟S4中，控制部30使第一工作臺2IA在基板搭載位置待機。S卩，控制部30將第一工作臺21的目標移動速度設定為O以便使第一工作臺21A停止，并將其朝第一工作臺21A的移動機構輸出，而后過渡至后述的步驟S9。
[0105]在步驟S5中，控制部30判定第一工作臺21A的至少一部分是否存在于照射區域15內。而且，當第一工作臺21A存在于照射區域15內的情況下過渡至步驟S2，當存在于照射區域15外的情況下過渡至步驟S6。
[0106]在步驟S6中，控制部30判定第一工作臺21A與第二工作臺21B之間的工作臺間距離La是否比最接近距離LO長。這里，工作臺間距離La如上所述是第一工作臺21A的去路方向上的最前端位置與第二工作臺21B的去路方向上的最前端位置之間的沿X方向的距離。各工作臺的去路方向上的最前端位置通過基于工作臺的位置、工作臺尺寸、以及工作臺的旋轉角度進行計算而求出。
[0107]而且，在工作臺間距離La比最接近距離LO長的情況下，判斷為使第一工作臺21A進行通常動作而過渡至步驟S2，當工作臺間距離La達到最近接距離LO的情況下過渡至步驟S7。
[0108]在步驟S7中，控制部30計算直至第一工作臺21A到達照射區域15為止的距離(照射區域到達距離Lb)，并對該照射區域到達距離Lb與最接近距離LO進行比較。這里，照射區域到達距離Lb如圖6所示是從第一工作臺21A的去路方向上的最前端位置到照射區域15的靠第一工作臺21A的基板搭載位置側的端部位置為止的距離。對于該照射區域到達距離Lb，當第一工作臺21A的最前端位置位于相比照射區域15的入口(圖6的左端部位置)靠后退側(圖6的左側)的位置時，設為Lb > 0，當第一工作臺21A的最前端位置位于相比照射區域15的入口靠前進側(圖6的右側)的位置時，設為Lb = O0
[0109]而且，當照射區域到達距離Lb為最接近距離LO以上時過渡至步驟S8，當照射區域到達距離Lb比最接近距離LO短時過渡至步驟S2。
[0110]在步驟S8中，控制部30將第一工作臺2IA的目標移動速度設定為第二工作臺2IB的移動速度，以便使第一工作臺21A追隨第二工作臺21B，并將其朝第一工作臺21A的移動機構輸出。
[0111]在步驟S9中，控制部30判定是否結束第一工作臺21A的驅動控制，在判定為繼續進行控制的情況下返回步驟SI，在判定為結束控制的情況下結束工作臺速度控制處理。
[0112]以下，參照圖6?圖10對本實施方式的動作詳細地進行說明。
[0113]在偏振光照射裝置100中，如圖6所示，在使第一工作臺21A在基板搭載位置Pll停止的狀態下，進行第一工作臺21A上的基板的更換作業以及該基板的對準作業。而且，當對準作業結束時，成為開始第一工作臺21A的去路移動的準備完成的狀態(圖5的步驟SI中為否)。
[0114]此時，如圖6所示，當第二工作臺21B正進行去路移動的情況下(步驟S3中為是)，第一工作臺21A并不開始去路移動，而是在基板搭載位置待機(步驟S4)。之后，若第二工作臺21B到達折返位置而開始歸路移動，則第一工作臺21A開始進行去路移動。S卩，第一工作臺21A與第二工作臺21B開始進行歸路移動的定時同步而開始進行去路移動。
[0115]另一方面，當成為開始第一工作臺21A的去路移動的準備完成的狀態時，當第二工作臺21B開始進行歸路移動的情況下(步驟S3中為否)，第一工作臺21A保持原樣地開始進行去路移動。
[0116]開始進行該去路移動時的第一工作臺21A的移動速度基于工作臺間距離La以及照射區域到達距離Lb決定。例如，如圖7所示，當工作臺間距離La比預先設定的最接近距離LO長的情況下(步驟S6中為是)，第一工作臺21A進行通常動作(步驟S2)。S卩，第一工作臺21A以比較高速的第一移動速度Vl開始進行去路移動。
[0117]第二工作臺21B在歸路中直至完全通過照射區域15為止，以比較低速的第二移動速度V2移動。因此，若第一工作臺21A以第一移動速度Vl開始進行去路移動，則第一工作臺2IA逐漸追上第二工作臺21B。
[0118]而且，如圖8所示，若在第二工作臺21B的后端部(去路方向的最前端位置)進入照射區域15內之前，工作臺間距離La達到最接近距離LO (步驟S6中為否，步驟S7中為是)，則第一工作臺21A的移動速度減速至第二移動速度V2(步驟S8)。由此，第一工作臺21A在將工作臺間距離La保持為最接近距離LO的狀態下追隨第二工作臺21B。
[0119]之后，如圖9所示，若第二工作臺21B的后端部(去路方向的最前端位置)進入照射區域15內，照射區域到達距離Lb變得比最接近距離LO短(步驟S7中為否)，則第一工作臺21A的動作從第二工作臺2IB的追隨動作切換至通常動作(步驟S2)。S卩，第一工作臺2IA的移動速度加速以便成為第一移動速度VI。
[0120]此時，由于第二工作臺21B正在照射區域15內以速度較低的第二移動速度V2移動，因此通過第一工作臺21A切換至通常動作而兩者接近，工作臺間距離La如圖10所示變得比最接近距離LO短。
[0121]然而，第一工作臺21A若到達照射區域15 (步驟S5中為是)，則使移動速度減速至第二移動速度V2(步驟S2)。因此，第一工作臺21A與第二工作臺21B均以第二移動速度V2移動，不會發生兩者的干涉。
[0122]之后，第二工作臺21B若完全通過照射區域15則加速至第一移動速度Vl而朝基板搭載位置返回。此時，第一工作臺21A繼續以第二移動速度V2在照射區域15內移動。第一工作臺21A之后若到達折返位置則過渡至歸路移動，在歸路中，直至返回基板搭載位置為止，與第二工作臺21B的位置無關而進行通常動作。
[0123]這樣，本實施方式的偏振光照射裝置采用如下的所謂雙工作臺方式:具備能夠在相同軸上往復移動的兩個工件工作臺(第一工作臺21A以及第二工作臺21B)，并對該工件工作臺上的基板(工件W)交替地照射偏振光。由此，在朝一方的工作臺的偏振光的照射中，能夠進行另一方的工作臺的基板更換作業。因此，與工件工作臺僅為一個的情況相比較，能夠減少生廣間隔時間，能夠提尚生廣率。
[0124]并且，當一方的工作臺正進行去路移動的期間，禁止另一方的工作臺開始去路移動，與一方的工作臺到達折返位置而開始進行歸路移動的定時同步地開始另一方的工作臺的去路移動，因此，能夠避免兩個工作臺均進行去路移動的狀況，能夠可靠地避免工作臺彼此的干涉。并且，由于能夠以與一方的工作臺的歸路移動相連續的方式開始另一方的工作臺的去路移動，因此能夠進一步縮短生產間隔時間。
[0125]而且，此時，考慮到會在第一工作臺21A與第二工作臺21B之間存在移動速度差，根據正進行歸路移動的工作臺的位置、移動速度而對正在照射區域15外進行去路移動的工作臺的移動速度進行控制。即，當工作臺間距離La比預先設定的最接近距離LO長時，以使得正進行去路移動的工作臺以第一移動速度(最大移動速度)V1移動的方式進行控制，當工作臺間距離La為最接近距離LO以下時，以使得正進行去路移動的工作臺與正進行歸路移動的工作臺以相同的移動速度移動的方式進行控制。
[0126]由此，開始進行去路移動的工作臺直至工作臺間距離La達到最接近距離LO為止以比較高的速度的第一移動速度Vl移動，若追上正在照射區域15內以比較低的速度的第二移動速度V2進行歸路移動的工作臺而工作臺間距離La變為最接近距離L0，則將移動速度切換至第二移動速度V2并進行移動。而且，之后，正進行去路移動的工作臺將工作臺間距離La維持在最接近距離LO而追隨正進行歸路移動的工作臺。這樣，開始進行去路移動的工作臺能夠以使得工作臺間距離La不會低于最接近距離LO的方式高速地追隨正進行歸路移動的工作臺。因此，在正進行歸路移動的工作臺剛剛通過照射區域之后(根據最接近距離L0，正進行歸路移動的工作臺正通過照射區域的時候)，能夠使正進行去路移動的工作臺進入照射區域。因此，工作臺彼此不會干涉，能夠高效地進行光取向處理。
[0127]并且，由于將第一工作臺21A的去路移動方向上的前端位置與第二工作臺21B的去路移動方向上的前端位置之間的距離設為工作臺間距離La，因此，即便在各工作臺如圖3或圖4所示那樣分別在Θ方向進行旋轉移動的情況下，也能夠適當地避免工作臺彼此的干涉。而且，此時，由于基于工作臺的位置、大小、Θ方向的旋轉角度計算該工作臺的去路移動方向上的前端位置，因此能夠適當地計算出工作臺間距離La。
[0128](第二實施方式)
[0129]接下來，對本發明的第二實施方式進行說明。
[0130]在上述的第一實施方式中，在一方的工作臺正進行去路移動的期間，禁止開始進行另一方的工作臺的去路移動，與此相對，在該第二實施方式中，允許開始進行該另一方的工作臺的去路移動。
[0131]圖11是示出第二實施方式的控制部30所執行的工作臺速度控制處理順序的流程圖。該圖11所示的處理除了將上述的圖5的步驟S4替換為步驟Sll之外都進行與圖5同樣的處理。因此，對進行與圖5同樣的處理的部分標注相同的步驟編號，在此以處理的不同部分為中心進行說明。
[0132]在步驟Sll中，控制部30首先設定第一工作臺21A的目標停止位置。目標停止位置是從第二工作臺21B的折返位置P22朝第一工作臺21A的基板搭載位置側離開規定距離(例如最接近距離L0)的位置。
[0133]接下來，控制部30判定第一工作臺21A的位置是否相比目標停止位置靠該第一工作臺21A的基板搭載位置側。而且，當判定為相比目標停止位置靠基板搭載位置側的情況下，使第一工作臺21A朝向目標停止位置移動。此時的移動速度設為第一移動速度VI。另一方面，當第一工作臺21A到達目標停止位置的情況下，使第一工作臺21A在目標停止位置停止。
[0134]S卩，在本實施方式中，如圖12所示，即便當第二工作臺21B正進行去路移動的情況下，若第一工作臺21A已在基板搭載位置完成對準處理，則能夠以第一移動速度Vl開始進行去路移動。但是，此時的第一工作臺21A的去路移動的許可區間設為直至從第二工作臺21B的折返位置P22離開最接近距離LO的目標停止位置P15為止的區間。
[0135]而且，在第一工作臺21A到達目標停止位置P15前，若第二工作臺21B開始進行歸路移動，則進行與上述的第一實施方式同樣的動作。另一方面，如圖13所示，當即便第一工作臺21A到達目標停止位置P15第二工作臺21B仍正進行去路移動的情況下，第一工作臺21A在目標停止位置P15停止，并待機直至第二工作臺21B開始進行歸路移動。
[0136]之后，如圖14所示，若第二工作臺2IB到達折返位置P22而開始進行歸路移動(步驟S3中為否)，則第一工作臺2IA開始追隨第二工作臺2IB (步驟S6中為否，步驟S8中為是)。即，第一工作臺2IA以與第二工作臺2IB相同的移動速度(第二移動速度V2)開始移動。以下的動作與上述的第一實施方式相同。
[0137]這樣，在本實施方式中，即便當一方的工作臺正進行去路移動的情況下，也能夠開始進行另一方的工作臺的去路移動。因此，能夠更高效地進行針對兩個工件W的光取向處理。特別是在第一移動速度Vl與第二移動速度V2之間的速度差比較小的情況下、基板搭載位置相對于照射區域設定在比較遠的位置的情況下等，在一方的工作臺的光照射中另一方的工作臺開始去路移動的做法，在該光照射中另一方的工作臺難以追上一方的工作臺的情況下是有效的。
[0138]并且，當一方的工作臺正進行去路移動的情況下，將另一方的工作臺的去路移動許可區間設為直至從另一方的工作臺的折返位置朝上述一方的工作臺的基板搭載位置側離開規定距離的位置為止。因此，能夠可靠地防止與正進行去路移動的另一方的工作臺之間的干涉。
[0139](第三實施方式)
[0140]接下來，對本發明的第三實施方式進行說明。
[0141]在上述的第一以及第二實施方式中，在基板搭載位置進行工作臺的Θ方向的旋轉動作，在該旋轉動作結束后開始進行去路移動，與此相對，該第三實施方式形成為一邊進行Θ旋轉動作一邊進行去路移動。
[0142]在本實施方式中，第一工作臺2IA以及第二工作臺2IB的Θ旋轉動作在進入照射區域15前的去路移動中、且在能夠確保最接近距離LO以上的工作臺間距離La的位置實施。此外，Θ旋轉動作所需要的時間比工作臺從基板搭載位置移動至照射區域15所需的時間短。
[0143]例如，若在基板搭載位置結束了朝第一工作臺21A的基板搭載，則該第一工作臺21A —邊進行Θ旋轉動作一邊開始進行去路移動。此時，如圖15所示，當第二工作臺21B處于去路移動中的情況下，從基板搭載位置至目標停止位置P15為止的區間成為Θ旋轉動作可能區間。這里，目標停止位置P15是從第二工作臺21B的折返位置P22朝第一工作臺21A的基板搭載位置側離開規定距離(例如，最接近距離L0)的位置。
[0144]當在第二工作臺21B到達折返位置P22前第一工作臺21A到達目標停止位置P15的情況下，第一工作臺21A在目標停止位置P15停止而進行Θ旋轉動作。
[0145]這里，第一工作臺21A是否到達目標停止位置P15根據第一工作臺21A的頂點通過Θ旋轉而最接近第二工作臺21B的位置是否到達目標停止位置P15來判斷。S卩，當圖15的雙點劃線所示的圓的去路方向前端部到達目標停止位置P15時，判斷為第一工作臺21A到達目標停止位置P15。
[0146]另一方面，當第一工作臺21A的基板搭載結束而開始進行去路移動時，當第二工作臺21B處于歸路移動中的情況下，如圖16所示，直至從第二工作臺21B的后端位置(去路方向的最前端位置)朝第一工作臺21A的基板搭載位置側離開最接近距離LO的位置為止的區間成為第一工作臺21A的Θ旋轉動作可能區間。
[0147]在該情況下，第一工作臺21A直至工作臺間距離La變為最接近距離LO為止一邊以通常的移動速度即第一移動速度Vl進行去路移動一邊進行θ旋轉動作。而且，若工作臺間距離La變為最接近距離L0，則一邊以與第二工作臺21B相同的第二移動速度V2在保持最接近距離LO的狀態下進行去路移動一邊進行Θ旋轉動作。此處，工作臺間距離La的計算起點與上述同樣是第一工作臺21A的頂點通過Θ旋轉而最接近第二工作臺21B的位置。
[0148]第一工作臺21A的Θ旋轉動作結束后的動作與上述的第一以及第二實施形態同樣。
[0149]這樣，在本實施方式中，由于一邊進行去路移動一邊進行Θ旋轉動作，因此能夠進一步縮短生產間隔時間。并且，能夠在兩個工作臺不會接近至低于最接近距離LO的位置進行Θ旋轉動作，因此能夠可靠地防止在工作臺間發生干涉。
[0150](變形例)
[0151]在上述各實施方式中，對如下情況進行了說明:當一方的工作臺正進行去路移動、另一方的工作臺正進行歸路移動時，在一方的工作臺追上另一方的工作臺而工作臺間距離La達到最接近距離LO后，使一方的工作臺追隨另一方的工作臺(使其以與另一方的工作臺相同的速度移動)，但是，并不限定于此。例如，也可以在剛剛開始進行一方的工作臺的去路移動之后就使其追隨另一方的工作臺。由此，根據先行的另一方的工作臺的移動速度而對一方的工作臺的移動速度進行控制，即便當上述另一方的工作臺的移動速度根據移動區間的不同而不同的情況下，也能夠可靠地防止在工作臺間發生干涉。但是，在以生產間隔時間的進一步縮短為目的的情況下，優選像上述的各實施方式那樣，直至工作臺間距離La變為最接近距離LO為止，使后續的工作臺以最大移動速度(第一移動速度VI)移動。
[0152]并且，在上述各實施方式中，對將工作臺間距離La設為一方的工作臺的去路方向上的最前端位置與另一方的工作臺的去路方向上的最前端位置之間的距離的情況進行了說明，但在工作臺上的工件W(基板)的尺寸比工作臺尺寸大的情況下，工作臺間距離La成為工件間距離。在這種情況下，將工件W的去路方向上的最前端位置作為工件間距離的計算基點。
[0153]此外，在上述各實施方式中，也可以將工作臺間距離La設為一方的工作臺的去路方向上的邊與另一方的工作臺的去路方向上的邊之間的沿X方向的距離(在X方向上最接近的部分的距離)。
[0154]并且，在上述各實施方式中，對使用由線位移傳感器計測到的計測結果而取得各工作臺的位置以及移動速度的情況進行了說明，但是，也可以使用線位移傳感器以外的構件取得各工作臺的位置以及移動速度。
[0155]此外，在上述各實施方式中，對將本發明應用于偏振光照射裝置的情況進行了說明，但是并不限定于此。例如，只要是具有如下結構的光照射裝置，就能夠通過應用本發明而得到與上述各實施方式同樣的效果:兩個工作臺具有能夠沿著相同軸往復移動的結構，并將兩個工作臺分別從夾著光照射區域設定在相同軸上的待機位置交替地朝光照射區域搬運。作為這樣的光照射裝置，例如存在DI (直接像:直接描畫)曝光裝置、利用紫外線進行熱固化處理的紫外線照射裝置等。
【主權項】
1.一種光照射裝置，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其特征在于，具備: 第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的一側的第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動； 第二工作臺，載置第二工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；以及 控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區域， 上述控制部以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以第一移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以比上述第一移動速度高速的第二移動速度移動，在上述照射區域外的去路，當工作臺間距離比預先設定的最接近距離長時以上述第二移動速度移動、當上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時以上述第一移動速度移動， 并且以下述方式進行控制:在上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的、處于歸路移動中的一方的工作臺至少處于上述照射區域的期間之前，另一方的工作臺開始進行去路移動。2.根據權利要求1所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，上述控制部使上述一方的工作臺追隨上述另一方的工作臺而移動。3.根據權利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于， 上述控制部以下述方式進行控制: 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時， 當上述另一方的工作臺的歸路移動方向上的后端部位置相比上述照射區域的靠上述一方的工作臺的待機位置側的端部位置而位于上述另一方的工作臺的待機位置側時，使上述一方的工作臺以上述第二移動速度移動直至到上述端部位置為止。4.根據權利要求1?3中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺的去路移動。5.根據權利要求1?3中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置， 當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述控制部使上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。6.根據權利要求1?5中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 還具備旋轉控制部，該旋轉控制部獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉，使該工作臺的姿態成為光照射時的姿態， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區域前的旋轉允許位置為止的區間正進行去路移動的期間，上述旋轉控制部對上述旋轉進行控制。7.根據權利要求6所述的光照射裝置，其特征在于， 當由上述旋轉控制部控制的非旋轉控制對象的工作臺正進行去路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置， 當上述非旋轉控制對象的工作臺正進行歸路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺的位置靠上述旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置。8.根據權利要求1?7中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 上述工作臺間距離是上述第一工作臺的去路移動方向上的前端位置與上述第二工作臺的去路移動方向上的前端位置之間的沿上述搬運軸方向的距離。9.根據權利要求1?8中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 上述光是偏振光。10.根據權利要求1?9中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 對上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動和歸路移動這雙方照射上述光。11.一種光照射裝置，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其特征在于，具備: 第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動； 第二工作臺，載置第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；以及 控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區域；以及 旋轉控制部，獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉，使該工作臺的姿態成為光照射時的姿態， 上述控制部以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以比預先設定的最大移動速度慢的移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以上述最大移動速度移動，在上述照射區域外的去路，以工作臺間距離不低于預先設定的最接近距離的移動速度移動， 上述旋轉控制部將上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區域前的旋轉允許位置為止的區間進行去路移動的區間設為能夠進行上述旋轉的旋轉動作可能區間。12.根據權利要求11所述的光照射裝置，其特征在于， 當由上述旋轉控制部控制的非旋轉控制對象的工作臺正進行去路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置， 當上述非旋轉控制對象的工作臺正進行歸路移動時，上述旋轉允許位置設定于相比該非旋轉控制對象的工作臺的位置靠上述旋轉控制對象的待機位置側上述最接近距離的位置。13.根據權利要求11或12所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時， 當上述工作臺間距離比上述最接近距離長時，上述控制部使上述一方的工作臺以上述最大移動速度移動，當上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時，上述控制部使上述一方的工作臺以上述另一方的工作臺的移動速度移動。14.根據權利要求11或12所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時，上述控制部使上述一方的工作臺追隨上述另一方的工作臺而移動。15.根據權利要求11?14中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺在上述照射區域外正進行去路移動、且另一方的工作臺正進行歸路移動時， 當上述另一方的工作臺的歸路移動方向上的后端部位置相比上述照射區域的靠上述一方的工作臺的待機位置側的端部位置而位于上述另一方的工作臺的待機位置側時，上述控制部使上述一方的工作臺以上述最大移動速度移動直至到上述端部位置為止。16.根據權利要求11?15中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺的去路移動。17.根據權利要求11?15中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置， 當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述控制部使上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。18.根據權利要求11?17中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 上述工作臺間距離是上述第一工作臺的去路移動方向上的前端位置與上述第二工作臺的去路移動方向上的前端位置之間的沿上述搬運軸方向的距離。19.根據權利要求11?18中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 上述光是偏振光。20.根據權利要求11?19中任一項所述的光照射裝置，其特征在于， 對上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動和歸路移動這雙方照射上述光。21.—種光照射裝置，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其特征在于，具備: 第一工作臺，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動； 第二工作臺，載置第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動；以及 控制部，對上述第一工作臺以及上述第二工作臺的移動獨立地進行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區域， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置， 當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述控制部使上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。22.—種光照射方法，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其特征在于， 對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的一側的第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上將從設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動， 此時， 以下述方式進行控制:上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以第一移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以比上述第一移動速度高速的第二移動速度移動，在上述照射區域外的去路，當工作臺間距離比預先設定的最接近距離長時以上述第二移動速度移動、當上述工作臺間距離為上述最接近距離以下時以上述第一移動速度移動，并且以下述方式進行控制:在上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的、處于歸路移動中的一方的工作臺至少處于上述照射區域的期間之前，另一方的工作臺開始進行去路移動。23.—種光照射方法，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其特征在于， 對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動， 此時， 以下述方式進行控制: 上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以比預先設定的最大移動速度慢的移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以上述最大移動速度移動，在上述照射區域外的去路，以工作臺間距離不低于預先設定的最接近距離的移動速度移動， 將上述第一工作臺以及上述第二工作臺在從各自的待機位置直至到達上述照射區域前的旋轉允許位置為止的區間進行去路移動的區間作為能夠進行上述旋轉的旋轉動作可能區間，獨立地控制上述第一工作臺以及上述第二工作臺繞相對于工作臺面正交的軸的旋轉，使該工作臺的姿態成為光照射時的姿態。24.—種光照射方法，對通過預先設定的照射區域的工件照射光，其特征在于， 對第一工作臺和第二工作臺獨立地進行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區域，其中，上述第一工作臺載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區域的搬運軸上，將在設定于上述照射區域的一側的第一待機位置與上述照射區域之間從上述第一待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動，上述第二工作臺載置上述第二工件，且能夠在上述搬運軸上，將在設定于上述照射區域的另一側的第二待機位置與上述照射區域之間從上述第二待機位置朝向上述照射區域的移動作為去路移動而進行往復移動， 此時， 以下述方式進行控制: 上述第一工作臺以及上述第二工作臺在上述照射區域內以比預先設定的最大移動速度慢的移動速度移動，在上述照射區域外的歸路以上述最大移動速度移動，在上述照射區域外的去路，以工作臺間距離不低于預先設定的最接近距離的移動速度移動， 當上述第一工作臺以及上述第二工作臺中的一方的工作臺正進行去路移動的期間，上述另一方的工作臺開始朝向目標停止位置進行去路移動，其中，上述目標停止位置設定于相對于上述一方的工作臺的從去路移動朝歸路移動切換的折返位置而靠另一方的工作臺的待機位置側上述最接近距離的位置， 當上述另一方的工作臺到達上述目標停止位置時，當上述一方的工作臺正進行去路移動時，直至上述一方的工作臺開始進行歸路移動為止，上述另一方的工作臺在上述目標停止位置停止。
【文檔編號】G02F1/13GK105867029SQ201510958689
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2015年12月18日
【發明人】木村淳治, 石井正, 石井一正
【申請人】優志旺電機株式會社