改良的光阻預烤爐加熱裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明有關于一種改良的光阻預烤爐加熱裝置，其是利用于腔體外環邊設置一內環邊加熱器，以改善熱板端邊不足的熱度，使熱板的溫度達到均溫。
【背景技術】
[0002]按，玻璃基板是液晶顯示裝置(TFT-1XD)的主要制程原料，就是俗稱的母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示裝置(TFT-LCD)產業中扮演的角色好比是半導體產業中的晶圓，因此液晶顯示裝置(TFT-LCD)產業對玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶顯示裝置(TFT-1XD)的制程是分別利用兩塊無堿玻璃基板，于無堿玻璃基板表面構裝彩色濾色片與IC電路，并將玻璃基板表面經過干式蝕刻，將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置于玻璃表面，成為彩色濾色片，IC驅動電路則利用半導體制程，再將CMOS電路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是作為彩色濾色片與IC驅動電路的承載材料，而液晶顯示裝置(TFT-1XD)制程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強酸強堿的腐蝕、高溫的制程環境，并且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在制造過程中的每個流程都非常精細，其中，當涂抹光阻液后，需經過烘烤將感光劑及光阻液等化學物質揮發，此時，請配合參閱圖1所示，該基板I進行烘烤時，是將基板I放在熱板11上，再藉由熱板11的熱度使基板I表面的化學物質揮發，在此過程中，其溫度高達約70?150°C，且熱板11的熱源來自于底部的加熱器12，而該加熱器12則以I?15個區域設置在熱板11下方，使熱板11中央、環邊或端邊能盡量保持均衡的溫度，然而，盡管熱板11已經設置I?15個區域來控制溫度，卻還是無法在烘烤過程中保持均溫，加上每一相鄰區域的溫度會互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響液晶顯示裝置的生廣品質。
[0005]有鑒于此，發明人特別針對熱板端邊受熱不足的缺失進行改良，而研發一種內環邊加熱器，使熱源除了底部的加熱器外，更于腔體側邊進行加熱，能將熱板內的溫度達到均勻一致，藉以將進行烘烤的玻璃基板達到均衡的受熱，有效降低生產的不合格率，而為一理想的光阻預烤爐腔體內均勻加熱的結構。
【發明內容】
[0006]本發明有關于一種改良的光阻預烤爐內環邊加熱器，特別是指一種運用在液晶顯示裝置(IXD)制程上的光阻預烤爐內環邊加熱器，藉由腔體內側邊的加熱裝置，使加熱區域能達到均勻的受熱，有效提升產品品質及生產合格率。其主要是由腔體、加熱器、熱板、溫度感應器及內環邊加熱器所組成，該腔體為一容槽狀，底部為支撐底板，并能于頂面蓋合一上蓋板而形成一封閉的加熱空間，位于該腔體一側設有入口，供置入玻璃基板，而于任一側邊開設有排風口，且于該支撐底板上方設有該加熱器，能對該加熱器上的熱板進行加熱，并于該熱板上分成有多個小分區，該小分區是由多個獨立設置的加熱器分別投影至熱板上所產生，位于該小分區內或該加熱器內設有該溫度感應器，使得該每一小分區具有獨立的溫度控制，而該腔體內側裝設有該內環邊加熱器，其是利用電熱絲產生熱源，確實加強熱板端邊的受熱，將熱板內全區域的溫度調整至均衡一致，以提升加熱玻璃基板的效能。
[0007]當光阻預烤爐腔體內進行烘烤作業時，是先將玻璃基板由入口置入腔體內，然后將入口封閉，使腔體形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口，以便于空氣流通，而位于腔體內的熱板，受加熱器的加溫，使其達到約70?150°C的溫度，藉以將揮發玻璃基板表面的光阻溶劑及固化光阻，當烘烤一段時間后，該熱板的每一小分區的溫度會有些微的變化，一般來說，位于熱板中央的溫度通常高于端邊，而容易導致玻璃基板的受熱不均，此時維持熱板的均溫相當重要，雖然將熱板分成多區加熱可達到小分區的溫度改善，但熱板端邊的溫度卻不易掌握，主要因為腔體內為密閉空間，所以溫度還是容易集中在中央及環邊，所以四周端邊的溫度偏低，而影響整體溫度的一致性，因此，位于腔體側邊設置有內環邊加熱器，其為電熱絲，藉由在腔體側邊產生熱源，以平衡熱板端邊較差的受熱，并達到熱板內的均勻受熱，而此些微的溫度調整，就能大為降低玻璃基板的不合格率，同時提升生產效能，實為一突破性的改良。
【附圖說明】
[0008]圖1為現有烘烤玻璃基板的示意圖；
[0009]圖2為本發明的立體圖；
[0010]圖3為本發明的立體分解圖；
[0011]圖4為本發明另一實施例的示意圖；
[0012]圖5為本發明烘烤玻璃基板的示意圖；
[0013]圖6為本發明調整小分區的示意圖。
[0014]附圖標記說明:1基板；11熱板；12加熱器；2腔體；20上蓋板；201支撐底板；202排風口；203入口；21加熱器；22熱板；221小分區；23溫度感應器；25內環邊加熱器；3玻璃基板。
【具體實施方式】
[0015]以下是實施例，但本發明的內容并不局限于這些實施例的范圍。
[0016]本發明一種改良的光阻預烤爐內環邊加熱器，首先，請參閱圖2并配合圖3所示，其主要是由腔體2、加熱器21、熱板22、溫度感應器23及內環邊加熱器25所組成，該腔體2為一容槽狀，底部為支撐底板201，并能于頂面蓋合一上蓋板20而形成一封閉的加熱空間，位于腔體2 —側設有入口 203，供置入玻璃基板3，并于任一側邊開設有排風口 202，且于支撐底板201上方設有加熱器21，能對加熱器21上的熱板22進行加熱，而該熱板22上分成多個小分區221，其是由下方多個獨立的加熱器21投影至熱板22所產生的加熱區域，且該熱板22內或加熱器21內皆可設置有溫度感應器23 (請配合圖4所示)，其是能配合加熱器21來進行加熱區域的獨立溫度控制，并于腔體2內側裝設有內環邊加熱器25，其是利用電熱絲產生熱源，以加強熱板22端邊的受熱，使熱板22內全區域的溫度調整達到均勻一致，可全面性的烘烤玻璃基板3，進而提升玻璃基板3的生產合格率。
[0017]當腔體2內進行烘烤作業時，請仍然參閱圖4并配合圖5所示，先將玻璃基板3由入口 203置入腔體2內，然后將入口 203封閉，使腔體2形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口 202，以便于空氣進行流通，而位于腔體2加熱器21則持續對熱板22加溫，使腔體2內的溫度達到約攝氏70?150°C，并藉由該熱度將放置在熱板22上的玻璃基板3表面的光阻溶劑揮發，當烘烤一段時間后，請再配合參閱圖6所示，該熱板22的每一小分區221的溫度會有些微的變化，即每一小分區221的溫度不一致，這樣的差異會嚴重影響玻璃基板3的品質，尤其位于熱板22中央及環邊的溫度會高于端邊，使得玻璃基板3的受熱不均，而為了改善熱板22端邊的偏低溫度，當溫度感應器23顯示熱板22端邊溫度較低時，可啟動腔體2內側的內環邊加熱器25，其能對腔體2的內環邊提供熱源，以彌補熱板2端邊的溫度上的差異，并將熱板22的每一小分區221的溫度調整成一致，使熱板22能對玻璃基板3進行均勻的加熱，完全不會有受熱不均的問題，而為一極佳的溫度控制裝置。
[0018]綜上所述，本發明是于腔體內側設置有內環邊加熱器，并藉由提供的熱源改善熱板端邊偏低的溫度，能使熱板達到全區域的均溫，使位于熱板上的玻璃基板的烘烤溫度相當一致，不會過高或過低，確實達到最佳的效能，本發明極具進步性及實用性，理已符合發明的專利要件，爰依法提出專利申請。
[0019]以上所述的實施例僅僅是對本發明的優選實施方式進行描述，并非對本發明的范圍進行限定，在不脫離本發明設計精神的前提下，本領域普通技術人員對本發明的技術方案作出的各種變形和改進，均應落入本發明權利要求書確定的保護范圍內。
【主權項】
1.一種改良的光阻預烤爐加熱裝置，其主要由腔體、加熱器、熱板和溫度感應器所組成，該腔體為一容槽狀，底部為支撐底板，并能于頂面蓋合一上蓋板而形成一封閉的加熱空間，位于該支撐底板上方設有該加熱器，能對該加熱器上的熱板進行加熱，而該熱板配合下方獨立的該加熱器產生有小分區，且該小分區內或該加熱器內設有該溫度感應器，以進行該小分區的獨立溫度控制，其特征在于:該腔體內側裝設有內環邊加熱器，其利用電熱絲產生熱源，以加強該熱板端邊的受熱，使該熱板內全區域的溫度調整達到均勻一致，而能全面性的烘烤放置于該熱板上的玻璃基板。
【專利摘要】本發明有關于一種改良的光阻預烤爐加熱裝置，特別是指一種運用在液晶顯示裝置(LCD)制程上的光阻預烤爐內環邊加熱器，藉由腔體內側邊的加熱裝置，使加熱區域能達到均勻的受熱，有效提升產品品質及生產合格率。其主要是由腔體、加熱器、熱板、溫度感應器及內環邊加熱器所組成，該腔體為一容槽狀，底部為支撐底板，位于該支撐底板上方設有該加熱器，能對該加熱器上的熱板進行加熱，而該熱板內或該加熱器內設置有該溫度感應器，藉以偵測熱板各區域的溫度，且該腔體內側裝設有該內環邊加熱器，能加強該熱板端邊的受熱，達到該熱板的全區域的均勻溫度，使放置在熱板上的玻璃基板達到均勻的烘烤。
【IPC分類】G03F7/16, G02F1/13
【公開號】CN105629666
【申請號】CN201410594376
【發明人】李東明
【申請人】李東明
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2014年10月29日