一種用于鏡體檢測的吸附夾具的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于光學元件檢測技術領域，特別是涉及一種用于鏡體檢測的吸附夾具。
【背景技術】
[0002]鏡體元件的夾持技術多應用在鏡體面形的檢測領域，傳統的鏡體元件夾具一般通過機械方式對鏡體進行固定:通過均布的三點或多點的壓緊實現鏡體的位置約束，或是靠鏡體自身的重力，對鏡體均布的三點或多點進行支撐，這些夾持技術難免會產生應力并作用到鏡體上，而且由于鏡體所受的應力比較集中，對于厚度較小的鏡體，鏡體面形會發生較大變化，檢測的結果不能真實的反映鏡體元件的面形。
【發明內容】
[0003]為了克服上述現有技術的不足，本發明提供了一種用于鏡體檢測的吸附夾具，該吸附夾具解決了通過機械方式約束的被夾鏡體受力不均勻、面形變化大的技術問題，適用于背部為平面的鏡體的夾持。
[0004]為了實現上述目的，本發明所采用的技術方案是:一種用于鏡體檢測的吸附夾具，包括吸附盤、密封板和氣管，在所述的吸附盤上設置有通孔，在吸附盤的上表面設置有導氣槽，在吸附盤的下表面設置有凹槽，凹槽的內部通過通孔與導氣槽相通，所述的密封板固定在凹槽的下部開口處，所述的氣管設置在吸附盤上，氣管的內端與凹槽的內部相通，氣管的外端用于與抽氣裝置連通。
[0005]所述的吸附盤的通孔設置在吸附盤的中心。
[0006]所述的吸附盤的導氣槽由若干條環狀導氣槽和若干條直線導氣槽組成，若干條環狀導氣槽以通孔為圓心、沿吸附盤的徑向分布，且分布區域大于被夾持鏡體的背部區域；每條直線導氣槽均經過通孔與每條環狀導氣槽交叉相通。
[0007]在所述的吸附盤與密封板之間設置有密封圈。
[0008]所述的氣管通過氣管接頭固定在吸附盤的側壁上。
[0009]所述的環狀導氣槽的橫截面為三角形。
[0010]所述的直線導氣槽的橫截面為矩形或三角形。
[0011]本發明的有益效果:
本發明的用于鏡體檢測的吸附夾具，吸附端面刻有多條緊密分布的導氣槽，將鏡體元件牢固的吸附在吸附盤上，鏡體元件所受的吸附力均勻，而且不存在裝配應力，鏡體變形小，檢測設備能夠檢測鏡體元件的真實面形，當被檢測鏡體元件有一定傾斜角度時，這種夾具的優勢更加明顯；本發明夾具結構簡單，鏡體元件取放方便，適用于夾持背部為平面的鏡體元件。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發明的用于鏡體檢測的吸附夾具的結構示意圖； 圖2為圖1的俯視圖；
圖3為圖2的A-A剖視圖；
圖中，1 一吸附盤，11 一通孔，12—環狀導氣槽，13—直線導氣槽，14 一凹槽，141 一第一凹槽，142—第二凹槽，15—螺紋孔，2—氣管接頭，3—氣管，4一密封板，5—螺釘，6—密封圈。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖和具體實施例對本發明做進一步的詳細說明。
[0014]如圖1~圖3所示，一種用于鏡體檢測的吸附夾具，包括吸附盤1、密封板4和氣管3，在所述的吸附盤1的中心設置有通孔11，吸附盤1的上表面分布有多條環狀導氣槽12和一條直線導氣槽13，環狀導氣槽12以通孔為圓心、沿吸附盤1的徑向緊密分布，且分布區域大于被夾持鏡體的背部區域；直線導氣槽13與每個環狀導氣槽12交叉相通；在吸附盤1的下表面設置有凹槽14，凹槽14通過通孔11與直線導氣槽13相通，所述的密封板4通過螺釘5固定在凹槽14的下部開口處，用于密封凹槽14的下部開口，所述的氣管3設置在吸附盤1上，氣管1的內端與凹槽14的內部相通，氣管1的外端用于與抽氣裝置連通。
[0015]所述的凹槽14由相連通的第一凹槽141和第二凹槽142組成，第一凹槽141設置在第二凹槽142的上方，第二凹槽142的直徑大于第一凹槽141的直徑，所述的密封板4固定在第二凹槽142內，用來密封第一凹槽141的下部開口。
[0016]在所述的吸附盤1與密封板4之間設置有密封圈6，密封圈6用于提高密封效果，防止凹槽14內的氣體從密封板4與吸附盤1之間泄露。
[0017]所述的氣管3通過氣管接頭2固定在吸附盤1的側壁上。
[0018]在所述的吸附盤1的側壁上設置有螺紋孔15，螺紋孔15與凹槽4的內部相通，氣管接頭2具有螺紋的一端與吸附盤1的螺紋孔15相配合，氣管接頭2的另一端與氣管3相連。
[0019]所述的環狀導氣槽12的橫截面為三角形。
[0020]所述的直線導氣槽13為矩形或三角形。
[0021]下面結合【附圖說明】本實施例的具體使用過程。
[0022]如圖1~圖3所示，將待夾持的鏡體元件放置在吸附盤1的導氣槽分布區域內，打開與氣管3相連的抽氣裝置，將吸附盤1的凹槽14內的空氣不斷抽出，外部空氣在壓差下通過直線導氣槽13、環狀導氣槽12及通孔11進入凹槽14內，將鏡體元件吸附在吸附盤1上，吸附力的大小與抽氣速度成正比，停止抽氣，可將鏡體元件從吸附盤1上取下。
【主權項】
1.一種用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于，包括吸附盤、密封板和氣管，在所述的吸附盤上設置有通孔，在吸附盤的上表面設置有導氣槽，在吸附盤的下表面設置有凹槽，凹槽的內部通過通孔與導氣槽相通，所述的密封板固定在凹槽的下部開口處，所述的氣管設置在吸附盤上，氣管的內端與凹槽的內部相通，氣管的外端用于與抽氣裝置連通。2.根據權利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的吸附盤的通孔設置在吸附盤的中心。3.根據權利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的吸附盤的導氣槽由若干條環狀導氣槽和若干條直線導氣槽組成，若干條環狀導氣槽以通孔為圓心、沿吸附盤的徑向分布，且分布區域大于被夾持鏡體的背部區域；每條直線導氣槽均經過通孔與每條環狀導氣槽交叉相通。4.根據權利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于在所述的吸附盤與密封板之間設置有密封圈。5.根據權利要求1所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的氣管通過氣管接頭固定在吸附盤的側壁上。6.根據權利要求3所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的環狀導氣槽的橫截面為三角形。7.根據權利要求3所述的用于鏡體檢測的吸附夾具，其特征在于所述的直線導氣槽的橫截面為矩形或三角形。
【專利摘要】一種用于鏡體檢測的吸附夾具，屬于光學元件檢測技術領域，特別是涉及一種用于鏡體檢測的吸附夾具。本發明解決了通過機械方式約束的被夾鏡體受力不均勻、面形變化大的技術問題，適用于背部為平面的鏡體的夾持。本發明所采用的技術方案是：一種用于鏡體檢測的吸附夾具，包括吸附盤、密封板和氣管，在所述的吸附盤上設置有通孔，在吸附盤的上表面設置有導氣槽，在吸附盤的下表面設置有凹槽，凹槽的內部通過通孔與導氣槽相通，所述的密封板固定在凹槽的下部開口處，所述的氣管設置在吸附盤上，氣管的內端與凹槽的內部相通，氣管的外端用于與抽氣裝置連通。
【IPC分類】G02B7/00
【公開號】CN105372777
【申請號】CN201510866061
【發明人】郭本銀, 苗亮, 劉鈺, 王輝, 周烽, 王麗萍, 謝耀, 金春水
【申請人】中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年12月1日