本發明涉及光學元件加工領域,具體指一種在壓差工況下使用的光學窗口的加工方法;該方法模擬壓差工況,使光學窗口變形,在此基礎上對光學窗口進行加工。該方法可避免傳統光學窗口在壓差工況下工作時,光學窗口變形引起像質變差;該方法可用于多種壓差環境,如液壓、氣壓、真空等。
背景技術:
光學窗口在光學系統中有著廣泛的應用,尤其是在水下探測器、高空高速航空相機、空間相機、真空激光等系統中。上述系統往往處于復雜的壓力環境中,光學窗口不但起著保證透光的作用,而且起著減小壓力對光學系統影響的作用,但由于光學窗口處于壓差工況,壓差使得光學窗口變形,最終使像質變差。
針對壓差工況,目前多采用增加光學窗口厚度以提高剛度,減少壓差變形這一技術路線。但該方法一方面會增加系統重量,增加系統尺寸,另一方面光學窗口增厚會降低光的透過率;此外,該方法還會加大經濟成本。
經過對現有技術的文獻檢索發現,中國專利號:201310180114,發明名稱:一種真空高精度窗口的實現方法及其裝置。該專利公布了一種階梯壓差式真空窗口的實現方法。該方法通過采用n塊窗口玻璃連續安裝,并進行抽真空再充惰性氣體的方式保證窗口的面形精度。但該高精度窗口組件多、尺寸大、重量大,造成的累積誤差大;且該方法經濟成本高。
技術實現要素:
本發明要解決的技術問題為:針對傳統方法加工的光學窗口用于壓差工況時,壓差導致光學窗口變形產生像差。本發明的目的是提供一種在壓差工況下使用的光學窗口的加工方法;該方法模擬壓差工況,使光學窗口變形,在此基礎上對光學窗口進行加工。該方法可避免傳統光學窗口在壓差工況下工作時,光學窗口變形引起像質變差;該方法可用于多種壓差環境,如液壓、氣壓、真空等。
本發明采用的技術方案為:本發明公開一種壓差環境光學窗口的加工方法,該加工方法步驟如下:
步驟s1:光學窗口分a、b兩面,先將a面按常規方法加工至所需面形,再將b面進行半精加工;
步驟s2:設計一帶有法蘭的密封腔,其中抽氣法蘭接抽氣泵;接口法蘭接壓力傳感器;
步驟s3:將光學窗口安裝于步驟s2中的密封腔上,使步驟s1中加工好的a面朝內;
步驟s4:密封腔內安裝一高精度標準反射鏡,調整反射鏡位置,使干涉儀能夠檢測到光學窗口的透射面形,并鎖定反射鏡位置;
步驟s5:通過安裝于抽氣法蘭的抽氣泵對密封腔抽氣;
步驟s6:通過監測壓力傳感器的壓力,保證密封腔內外壓差δp與光學窗口實際壓差工況一致;
步驟s7:用干涉儀檢測光學窗口,得到光學窗口的透射面形;
步驟s8:根據步驟s7的檢測結果對b面進行加工;
步驟s9:重復步驟s7和步驟s8,直到光學窗口透射面形滿足指標要求。
其中,步驟s6中所述的密封腔內外壓差具體滿足以下要求:外部氣壓p1,腔內氣壓p2,密封腔內外壓差δp=|p1-p2|。
本發明與現有技術相比的優點在于:本發明加工光學窗口時加工環境與實際使用環境一致,因此該光學窗口用于壓差工況時,由壓差引起的光學窗口變形小,進而引起的像差小;本發明加工的光學窗口厚度薄、質量輕、體積小,結構簡單但面形精度高,可靠性強;本發明的加工方法減小了光學窗口對光束質量的影響,對光學系統的優化設計有實際意義;本發明的加工方法簡便快捷、成本低、加工誤差小、可操作性強,可實現不同壓差光學窗口的加工。
附圖說明
圖1是一種壓差環境光學窗口的加工方法示意圖。
圖中附圖標記含義為:1為密封腔,2為光學窗口,3為干涉儀,4為接口法蘭,5為抽氣法蘭,6為標準反射鏡。
具體實施方式
下面結合附圖以及具體實施方式進一步說明本發明。
如圖1所示,一種壓差環境光學窗口的加工方法,利用的裝置主要由:密封腔1,光學窗口2,干涉儀3,接口法蘭4,抽氣法蘭5,標準反射鏡6組成。
該方法步驟如下:
步驟s1:光學窗口材料為熔石英,口徑200mm,厚度15mm,分a、b兩面,先將a面按常規方法加工至所需面形rms<λ/10,再將b面進行半精加工,面形rms為2.1λ;
步驟s2:設計一帶有法蘭的密封腔,其中抽氣法蘭接抽氣泵(工作壓力范圍:101325pa~1×10-2pa);接口法蘭接壓力傳感器(測量壓力范圍:0~1000pa);
步驟s3:將光學窗口安裝于步驟s2中的密封腔上,使步驟s1中加工好的a面朝內;
步驟s4:密封腔內安裝一高精度標準反射鏡,調整反射鏡位置,使干涉儀能夠檢測到光學窗口的透射面形,并鎖定反射鏡位置;
步驟s5:通過安裝于抽氣法蘭的抽氣泵對密封腔抽氣;
步驟s6:通過監測壓力傳感器的壓力,保證密封腔內外壓差δp與光學窗口實際壓差工況一致(其中外部氣壓p1為大氣壓101325pa,腔內氣壓p2為300pa,密封腔內外壓差δp=|p1-p2|);
步驟s7:用干涉儀檢測光學窗口,得到透射面形rms為4.8λ;
步驟s8:根據步驟s7的檢測結果對b面進行加工;
步驟s9:重復步驟s7和步驟s8,直到光學窗口透射面形滿足rms<λ/10的指標要求。