曝光裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種曝光裝置，所述曝光裝置包括：分光裝置，所述分光裝置具有一個或者多個入射口以及多個出射口；及一盞曝光燈，所述曝光燈位于所述分光裝置的入射口一側。在本申請提供的曝光裝置中僅采用一盞曝光燈，由此便可避免照度不均的問題，從而也就能避免邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題，即能夠提高曝光效果。同時，在本申請提供的曝光裝置中，通過分光裝置能夠將一個入射光分成多個出射光，由此，同樣能夠實現通過一次曝光工藝，便使得一整個條形區域的邊緣光刻膠進行曝光。同時，本申請提供的曝光裝置還能節約曝光燈的更換時間，降低生產成本。
【專利說明】
曝光裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及光刻技術領域，特別涉及一種曝光裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體光刻工藝中，涂有光刻膠的硅片由于傳輸等原因，常常導致硅片邊緣的光刻膠有脫落、污染等現象，這些現象會對后續工藝帶來各種影響，導致芯片的缺陷。因此，需要對硅片邊緣光刻膠進行去除。
[0003]在集成電路后封裝中，電鍍工藝是重要的工藝步驟之一，其利用硅片的邊緣做陽極，硅片中間的電鍍窗口做陰極，然后在陰陽兩極之間加一定的直流工作電壓，通過控制電流大小及電鍍槽中電鍍液的濃度來控制金屬凸塊的高度。由于光刻膠不導電，因此在電鍍工藝之前也需將硅片邊緣的光刻膠去掉。
[0004]硅片邊緣曝光是常用的一種去除硅片邊緣光刻膠的方法，具有精度高，可控性好等優點，能夠實現硅片邊緣曝光的曝光裝置通常作為子系統集成于光刻設備中或者作為單獨邊緣曝光設備提供給集成電路生產者。
[0005]采用現有的曝光裝置實現硅片邊緣曝光時，經常出現邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的目的在于提供一種曝光裝置，以解決現有的曝光裝置實現硅片邊緣曝光時，經常出現邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題。
[0007]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種曝光裝置，所述曝光裝置包括:
[0008]分光裝置，所述分光裝置具有一個或者多個入射口以及多個出射口；及
[0009]—盞曝光燈，所述曝光燈位于所述分光裝置的入射口一側。
[0010]可選的，在所述的曝光裝置中，所述分光裝置為分光光纖。
[0011]可選的，在所述的曝光裝置中，所述曝光裝置還包括:勻光裝置，所述勻光裝置位于所述分光裝置的出射口一側。
[0012]可選的，在所述的曝光裝置中，所述勻光裝置為蠅眼。
[0013]可選的，在所述的曝光裝置中，所述蠅眼的數量為多個。
[0014]可選的，在所述的曝光裝置中，所述蠅眼的數量與所述出射口的數量相同，并且所述蠅眼與所述出射口一一對應設置。
[0015]可選的，在所述的曝光裝置中，所述曝光燈的功率為2kw?4kw。
[0016]可選的，在所述的曝光裝置中，所述曝光裝置還包括:固定支架，所述分光裝置、曝光燈及勻光裝置均固定于所述固定支架上。
[0017]可選的，在所述的曝光裝置中，所述分光裝置、曝光燈及勻光裝置之間的距離能夠調節。
[0018]可選的，在所述的曝光裝置中，所述固定支架為帶有固定孔的導軌。
[0019]發明人對現有的能夠實現硅片邊緣曝光的曝光裝置進行了深入的研究后發現，采用現有的曝光裝置實現硅片邊緣曝光時，經常出現邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題的原因在于:在現有技術中，為了能夠通過一次曝光工藝，便實現對于一整個條形區域的邊緣光刻膠進行曝光，常采用三盞曝光燈作為光源，由于每盞曝光燈的照度存在差異，因此曝光燈之間的照度均一性也較差，從而導致曝光后經常出現邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題。
[0020]基此，發明人提出了本申請，提供一種曝光裝置，所述曝光裝置包括:分光裝置，所述分光裝置具有一個或者多個入射口以及多個出射口；及一盞曝光燈，所述一盞曝光燈位于所述分光裝置的入射口一側。在本申請提供的曝光裝置中僅采用一盞曝光燈，由此便可避免照度不均的問題，從而也就能避免邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題，即能夠提高曝光效果。同時，在本申請提供的曝光裝置中，通過分光裝置能夠將一個入射光分成多個出射光，由此，同樣能夠實現通過一次曝光工藝，便使得一整個條形區域的邊緣光刻膠進行曝光。
[0021]此外，本申請提出的曝光裝置還具有如下有益效果:曝光燈使用了一定時間后需要更換，在現有技術中，由于一次需要更換的曝光燈比較多，因此每次更換曝光燈往往都需要兩個小時以上的時間；而本申請提出的曝光裝置中，每次僅需要更換一個曝光燈，因而大大節約了曝光燈的更換時間，此外還節省了相應費用，即降低了生產成本。
【附圖說明】
[0022]圖1是本實用新型實施例的曝光裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的曝光裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0024]請參考圖1，其為本實用新型實施例的曝光裝置的結構示意圖。如圖1所示，所述曝光裝置I包括:分光裝置10，所述分光裝置10具有一個或者多個入射口 100以及多個出射口101;及一盞曝光燈11，所述曝光燈11位于所述分光裝置10的入射口 100—側。
[0025]發明人對現有的能夠實現硅片邊緣曝光的曝光裝置進行了深入的研究后發現，采用現有的曝光裝置實現硅片邊緣曝光時，經常出現邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題的原因在于:在現有技術中，為了能夠通過一次曝光工藝，便實現對于一整個條形區域的邊緣光刻膠進行曝光，常采用三盞曝光燈作為光源，由于每盞曝光燈的照度存在差異，因此曝光燈之間的照度均一性也較差，從而導致曝光后經常出現邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題。
[0026]基此，發明人提出了上述曝光裝置I，所述曝光裝置I中僅采用一盞曝光燈11，由此便可避免照度不均的問題，從而也就能避免邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題，即能夠提高曝光效果。同時，在所述曝光裝置I中，通過分光裝置10能夠將一個入射光分成多個出射光，由此，同樣能夠實現通過一次曝光工藝，便使得一整個條形區域的邊緣光刻膠進行曝光。
[0027]所述曝光裝置I還具有如下有益效果:曝光燈使用了一定時間后需要更換，在現有技術中，由于一次需要更換的曝光燈比較多，因此每次更換曝光燈往往都需要兩個小時以上的時間；而所述曝光裝置I中，每次僅需要更換一個曝光燈11，因而大大節約了曝光燈11的更換時間，此外還節省了相應費用，即降低了生產成本。
[0028]在本申請實施例中，所述分光裝置10采用分光光纖。在本申請的其他實施例中，所述分光裝置10也可以采用其他器件，其只要能夠將一束光線分成多束光線即可。此外，若所述分光裝置1具有多個入射口 100亦可，例如，可以具體使用時僅使用其中一個入射口 100。當然，其需要有多個出射口 101，以便經過所述分光裝置10后能夠發出多束光線。
[0029]進一步的，所述曝光裝置I還包括勻光裝置12，所述勻光裝置12位于所述分光裝置10的出射口 101—側。通過所述勻光裝置12能夠將所述分光裝置10發出的光線均勻化，從而在對邊緣光刻膠曝光時，可以提高曝光效果。
[0030]在本申請實施例中，所述勻光裝置12采用蠅眼。進一步的，所述蠅眼的數量為多個。優選的，所述蠅眼的數量與所述出射口 101的數量相同，并且所述蠅眼與所述出射口 101一一對應設置。即，在每個出射口 101的一側均設置有一個蠅眼，從而可以保證每個出射口101所發出的光線都能夠最好的被均勻化。進一步的，每個蠅眼距出射口 101的距離都相等，從而使得每個蠅眼所起到的均勻化效果相當，進而可以進一步提高曝光效果。
[0031]優選的，所述曝光燈11的功率為2kw?4kw。例如，所述曝光燈11的功率為2kw、2.21^、2.51^￥、310￥、3.31^、3.81^或者410￥。通常的，所述曝光燈11所選用的功率較目前所用的曝光燈的功率大，以便能夠更好的提供曝光光源。
[0032]進一步的，所述曝光裝置I還可包括:固定支架(圖1中未示出)，所述分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12均可固定于所述固定支架上。其中，所述分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12之間的距離能夠調節，由此，可以根據不同的曝光需要實時調整所述分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12之間的距離，從而滿足不同的曝光需求。
[0033]優選的，所述固定支架為帶有固定孔的導軌。由此，當需要調整所述分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12之間的距離時，可以使得所述分光裝置10、曝光燈11或者勻光裝置12沿著所述導軌運動，從而改變所述分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12之間的距離；當所述分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12之間的距離確定后，便可使用一固定裝置將相應的分光裝置10、曝光燈11或者勻光裝置12固定于固定孔上，由此，方便的便可實現將分光裝置10、曝光燈11及勻光裝置12固定于固定支架上。
[0034]進一步的，所述曝光裝置I還可包括常規的晶圓承載臺等部件，對此本申請實施例不再贅述。
[0035]綜上可見，本申請提出的曝光裝置能夠避免照度不均的問題，從而也就能避免邊緣光刻膠的曝光程度不同的問題，即能夠提高曝光效果；同時，其還能節約曝光燈的更換時間，降低生產成本。
[0036]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保護范圍。
【主權項】
1.一種曝光裝置，其特征在于，所述曝光裝置包括: 分光裝置，所述分光裝置具有一個或者多個入射口以及多個出射口；及 一盞曝光燈，所述曝光燈位于所述分光裝置的入射口 一側。2.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述分光裝置為分光光纖。3.如權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，所述曝光裝置還包括:勻光裝置，所述勻光裝置位于所述分光裝置的出射口 一側。4.如權利要求3所述的曝光裝置，其特征在于，所述勻光裝置為蠅眼。5.如權利要求4所述的曝光裝置，其特征在于，所述蠅眼的數量為多個。6.如權利要求5所述的曝光裝置，其特征在于，所述蠅眼的數量與所述出射口的數量相同，并且所述蠅眼與所述出射口 一一對應設置。7.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述曝光燈的功率為2kw?4kw。8.如權利要求4?7中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，所述曝光裝置還包括:固定支架，所述分光裝置、曝光燈及勻光裝置均固定于所述固定支架上。9.如權利要求8所述的曝光裝置，其特征在于，所述分光裝置、曝光燈及勻光裝置之間的距離能夠調節。10.如權利要求8所述的曝光裝置，其特征在于，所述固定支架為帶有固定孔的導軌。
【文檔編號】G03F7/20GK205721073SQ201620608378
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月20日
【發明人】寧鵬飛
【申請人】昆山國顯光電有限公司