一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，它包括真空氣壓監控裝置、曝光箱（2）和裝載箱（3），上層裝載框架（1）和下層裝載框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）上設置有上透光板（8），下框架（18）上設置有下透光板（10），下框架（18）內部設置有抽真空通道、抽真空氣孔（11）和抽真空接頭（12），真空氣壓監控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器。本實用新型的有益效果是：提高了曝光效率，裝載工作方便、容易進行，上層裝載框架和下層裝載框架能夠交替進行曝光，同樣提高了效率，能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數據，確保真空氣壓數值，從而保證曝光質量。
【專利說明】
一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置。
【背景技術】
[0002]在FPC板制造工藝中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光顯影、圖像電鍍極大工序。其中，在曝光顯影工序中有一道外層曝光的工序，該工序使用一種手動曝光機。該手動曝光機包括一個玻璃臺面，用以放置待曝光的FPC板，以及一個貼膜層，用以貼敷定位所述FPC板。玻璃臺面與貼敷膜層之間，還設有抽氣口，工作時，先將FPC板放置于所述玻璃臺面上，再將貼敷膜層貼敷在所述FPC板的表面，然后通過所述抽氣口抽氣，開啟光源，對待曝光的FPC板的下表面進行曝光。此裝置僅能完成FPC板的單面曝光，對于需要雙面曝光的FPC板需要進行兩次曝光操作，效率低，耗時長。
[0003]并且，目前使用的曝光機一般通過目測憑經驗估計腔體內的的真空度，誤差大，且無法控制腔體內的真空度，可能會引起真空度抽氣過度而導致玻璃蓋板爆裂，或者由于真空度太低，空氣殘留過多，造成曝光不良。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在于克服現有技術的缺點，提供一種方便裝載、提高曝光效率的具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置。
[0005]本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，它包括真空氣壓監控裝置、上層裝載框架、下層裝載框架、以及依次連接為一體的曝光箱和裝載箱，曝光箱和裝載箱上均設置有用于安裝上層裝載框架的上層水平導軌，曝光箱和裝載箱上均設置有用于安裝下層裝載框架的下層水平導軌，曝光箱位于上層水平導軌的上側和下層水平導軌的下側均設置有曝光光源，所述的上層裝載框架和下層裝載框架結構相同，上層裝載框架和下層裝載框架均包括上框架和下框架，上框架和下框架通過設置于后側面上的合頁連接為一體，上框架的底面上設置有上透光板，下框架的頂面上設置有容置上框架的凹槽，該凹槽的底面上設置有下透光板，下框架內部設置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之間的部分上設置有抽真空氣孔，下框架上還設置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭，抽真空接頭通過抽真空通道與抽真空氣孔連通，所述的下框架的左右兩側均設置有水平凸棱，上層裝載框架的水平凸棱滑動安裝于曝光箱和裝載箱的上層水平導軌內，下層裝載框架的水平凸棱滑動安裝于曝光箱和裝載箱的上層水平導軌內，所述的真空氣壓監控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架的抽真空通道內，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
[0006]所述的上層裝載框架和下層裝載框架的上框架的前端面上均安裝有把手。
[0007]所述的上層裝載框架和下層裝載框架的上框架的前端面設置有凸塊，下框架上設置有與凸塊相配合的缺口，凸塊的前端面與下框架的前端面相平齊，把手安裝于凸塊的前端面上。
[0008]本實用新型具有以下優點:本實用新型可以對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結構設計使得裝載裝置與曝光光源安裝結構為分體結構，裝載工作方便、容易進行。兩個平行設置的上層裝載框架和下層裝載框架能夠交替進行曝光，從而節省了取、裝料操作對曝光效率的影響，同樣提高了效率。通過設置真空氣壓監控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板和上透光板之間的真空氣壓數據，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量；當抽真空達到要求的真空氣壓數值時，控制器會控制電磁閥關閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖
[0010]圖2為本實用新型的裝載框架的俯視結構示意圖
[0011]圖3為圖2沿A-A截面的剖視圖
[0012]圖4為本實用新型的下框架的剖視結構示意圖
[0013]圖5為本實用新型另一種工作狀態的結構示意圖
[0014]圖6為本實用新型真空氣壓監控裝置的框圖
[0015]圖中，1-上層裝載框架，2-曝光箱，3-裝載箱，4-上層水平導軌A，5_上層水平導軌B，6-曝光光源，7-合頁，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空氣孔，12-抽真空接頭，13-水平凸棱，14-把手，15-凸塊，16-缺口，17-上框架，18-下框架，19-下層裝載框架，20-下層水平導軌A，21-下層水平導軌B。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖對本實用新型做進一步的描述，本實用新型的保護范圍不局限于以下所述:
[0017]如圖1所示，一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，它包括真空氣壓監控裝置、上層裝載框架1、下層裝載框架19、以及依次連接為一體的曝光箱2和裝載箱3，曝光箱2和裝載箱3上均設置有用于安裝上層裝載框架I的上層水平導軌，曝光箱2和裝載箱3上均設置有用于安裝下層裝載框架19的下層水平導軌，下層水平導軌位于上層水平導軌的正下方，曝光箱2內的上層水平導軌A4與裝載箱3的上層水平導軌B5連接為連續的上層水平導軌，曝光箱2內的下層水平導軌A20與裝載箱3的下層水平導軌B21連接為連續的下層水平導軌，曝光箱2位于上層水平導軌的上側和下層水平導軌的下側均設置有曝光光源6，所述的上層裝載框架I和下層裝載框架19結構相同，如圖2、圖3、圖4所示，上層裝載框架I和下層裝載框架19均包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通過設置于后側面上的合頁7連接為一體，上框架17的底面上設置有上透光板8，下框架18的頂面上設置有容置上框架17的凹槽9,該凹槽9的底面上設置有下透光板10,上框架17和下框架18均為由四個邊框圍成的矩形框架，透光板的四個邊緣均與對應側的邊框緊密固定連接，下框架18內部設置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之間的部分上設置有抽真空氣孔11，下框架18上還設置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭12，抽真空接頭12通過抽真空通道與抽真空氣孔11連通，所述的下框架18的左右兩側均設置有水平凸棱13，上層裝載框架I的水平凸棱13滑動安裝于曝光箱2和裝載箱3的上層水平導軌內，下層裝載框架19的水平凸棱13滑動安裝于曝光箱2和裝載箱3的上層水平導軌內，
[0018]如圖6所示，所述的真空氣壓監控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭12通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架18的抽真空通道內，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
[0019]所述的凹槽9僅設置于非安裝合頁7的邊框上，為了提高氣密性，上框架17在安裝合頁7的邊框的下表面設置有密封條，上框架17在非安裝合頁7的邊框的凹槽9的側面設置有密封條；為了進一步提高氣密性，下框架18在安裝合頁7的邊框的上表面設置有密封條，下框架18在非安裝合頁7的邊框的側面設置有密封條，所述的抽真氣孔設置于下框架18非安裝合頁7的邊框上。
[0020]所述的上層裝載框架I和下層裝載框架19的上框架17的前端面上均安裝有把手14。
[0021]所述的上層裝載框架I和下層裝載框架19的上框架17的前端面設置有凸塊15，下框架18上設置有與凸塊15相配合的缺口 16，凸塊15的前端面與下框架18的前端面相平齊，把手14安裝于凸塊15的前端面上。
[0022]本實用新型的工作過程如下:上層裝載框架I和下層裝載框架19輪流交替進行上下料和曝光操作，當其中一個裝載框架進行曝光時，另一個裝載框架進行上下料操作。
[0023]所述的裝載框架的上料操作為:通過把手14翻開上框架17，上框架17繞合頁7旋轉打開，將待曝光的貼有感光膜的薄板放置于下框架18的下透光板10上部，然后蓋合上框架17，由真空泵通過抽真空氣孔11對下透光板10和上透光板8之間進行抽真空，由上透光板8和下透光板10壓緊薄板，此時，操作者可使用滾筒、壓板等裝置在上透光板8上滾壓或推壓，以將下透光板10、薄板、上透光板8之間的空氣完全抽出，氣壓傳感器實時監測抽真空通道內的氣壓變化，并將感應信號傳輸至控制器，當抽真空通道內的氣壓達到設定值時，控制器控制關閉電磁閥、真空泵停止工作。
[0024]所述的裝載框架的曝光操作為:推動完成上料的裝載框架的下框架18沿導軌滑動，整個裝載框架進入曝光箱2，同時反向拉出另一個完成曝光的裝載框架，進入曝光箱2的裝載框架由分別位于裝載框架上部和下部的光源對裝載于上透光板8和下透光板10之間的薄板的兩個表面同時進行曝光，如圖5所示，在此過程中，若氣壓傳感器監測到抽真空通道內的氣壓變化至未達到設定值時，控制器控制真空泵開始工作、打開電磁閥，對下透光板10和上透光板8之間進行抽真空，保證下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量。
[0025]完成曝光的裝載框架，解除真空狀態，翻開上框架17即可取出完成曝光的薄板，然后再重新裝載一個待曝光的薄片。
[0026]本實用新型可以對薄板兩個表面貼附的感光膜同時進行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結構設計使得裝載裝置與曝光光源6安裝結構為分體結構，裝載工作方便、容易進行，同時能夠滿足真空條件的工況需求。兩個平行設置的上層裝載框架I和下層裝載框架19能夠交替進行曝光，從而節省了取、裝料操作對曝光效率的影響，同樣提高了效率。本實用新型通過設置真空氣壓監控裝置，從而能夠準確的檢測下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數據，確保曝光過程中下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數值，從而保證曝光質量；當抽真空達到要求的真空氣壓數值時，控制器會控制電磁閥關閉、控制真空泵停止工作，從而延長真空泵的使用壽命。
【權利要求】
1.一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，其特征在于:它包括真空氣壓監控裝置、上層裝載框架(I)、下層裝載框架(19)、以及依次連接為一體的曝光箱(2)和裝載箱(3),曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設置有用于安裝上層裝載框架(I)的上層水平導軌，曝光箱(2)和裝載箱(3)上均設置有用于安裝下層裝載框架(19)的下層水平導軌，曝光箱(2)位于上層水平導軌的上側和下層水平導軌的下側均設置有曝光光源(6)，所述的上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19 )結構相同，上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19 )均包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通過設置于后側面上的合頁(7)連接為一體，上框架(17)的底面上設置有上透光板(8)，下框架(18)的頂面上設置有容置上框架(17)的凹槽(9)，該凹槽(9)的底面上設置有下透光板(10)，下框架(18)內部設置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之間的部分上設置有抽真空氣孔(11)，下框架(18)上還設置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭(12)，抽真空接頭(12)通過抽真空通道與抽真空氣孔(11)連通，所述的下框架(18)的左右兩側均設置有水平凸棱(13)，上層裝載框架(I)的水平凸棱(13)滑動安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的上層水平導軌內，下層裝載框架(19)的水平凸棱(13)滑動安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的上層水平導軌內，所述的真空氣壓監控裝置包括真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭(12)通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架(18)的抽真空通道內，氣壓傳感器與控制器的輸入端連接，真空泵和電磁閥分別與控制器的輸出端連接。
2.根據權利要求1所述的一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，其特征在于:所述的上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19)的上框架(17)的前端面上均安裝有把手(14)。
3.根據權利要求1所述的一種具有真空氣壓監控功能的雙面曝光裝置，其特征在于:所述的上層裝載框架(I)和下層裝載框架(19)的上框架(17)的前端面設置有凸塊(15)，下框架(18)上設置有與凸塊(15)相配合的缺口(16)，凸塊(15)的前端面與下框架(18)的前端面相平齊，把手(14)安裝于凸塊(15)的前端面上。
【文檔編號】G03F7/20GK203930328SQ201420218798
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年4月30日 優先權日:2014年4月30日
【發明者】劉維軍, 郭寶貴 申請人:遂寧市維海電子科技有限公司