具有正交底層虛擬填充的疊蓋目標(biāo)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明針對(duì)于設(shè)計(jì)及使用具有正交底層虛擬填充的疊蓋目標(biāo)。根據(jù)各種實(shí)施例，疊蓋目標(biāo)可包含形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素。所述疊蓋目標(biāo)可進(jìn)一步包含形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素。所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者可包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充。在一些實(shí)施例中，所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)或?qū)又械拿恳徽呖捎蛇B續(xù)安置于例如硅晶片的襯底上的單獨(dú)工藝層形成。在一些實(shí)施例中，所述疊蓋及虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)可為兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的以允許特定制造或計(jì)量?jī)?yōu)點(diǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】具有正交底層虛擬填充的疊蓋目標(biāo)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明一般來(lái)說(shuō)涉及用于疊蓋計(jì)量的疊蓋目標(biāo)的領(lǐng)域且更特定來(lái)說(shuō)，涉及設(shè)計(jì)及使用具有正交底層虛擬填充的疊蓋目標(biāo)。
【背景技術(shù)】
[0002]通常通過(guò)產(chǎn)生安置于襯底(例如硅晶片)上的多個(gè)層來(lái)制造半導(dǎo)體裝置。各種工藝層之間的對(duì)準(zhǔn)通常經(jīng)控制以確保所得裝置的適當(dāng)功能性及性能。形成于兩個(gè)或兩個(gè)以上連續(xù)層內(nèi)的裝置特征或結(jié)構(gòu)之間的不對(duì)準(zhǔn)通常稱(chēng)為疊蓋誤差。檢測(cè)及校正晶片上的經(jīng)圖案化層之間的疊蓋誤差的能力對(duì)于制造集成電路及其它半導(dǎo)體裝置是關(guān)鍵的。
[0003]疊蓋計(jì)量是用于通常通過(guò)分析接近于所關(guān)注的一個(gè)或一個(gè)以上裝置層安置的疊蓋“目標(biāo)”或“標(biāo)記”來(lái)確定經(jīng)圖案化裝置層之間的不對(duì)準(zhǔn)或疊蓋誤差的已知技術(shù)。舉例來(lái)說(shuō)，可經(jīng)由與各種經(jīng)圖案化裝置層一起印刷于晶片上的測(cè)試圖案(即，一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu))來(lái)執(zhí)行疊蓋測(cè)量。疊蓋計(jì)量系統(tǒng)可包含成像工具，所述成像工具經(jīng)配置以收集圖像幀，所述圖像幀由處理單元分析以確定構(gòu)成裝置及目標(biāo)層的圖案元素的相對(duì)位移或不對(duì)準(zhǔn)。
[0004]當(dāng)前應(yīng)用數(shù)項(xiàng)技術(shù)來(lái)維持或改善支撐疊蓋目標(biāo)的襯底的工藝兼容性。舉例來(lái)說(shuō)，可在襯底上安置一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)圖案化虛擬填充層(即，非功能性結(jié)構(gòu)或特征)以實(shí)現(xiàn)在設(shè)計(jì)規(guī)則下特定半導(dǎo)體制造或測(cè)試設(shè)備所需的空間屬性或物理特性。此外，形成計(jì)量目標(biāo)的目標(biāo)結(jié)構(gòu)或?qū)拥膱D案元素可由標(biāo)稱(chēng)地小于選定分段或子圖案的特征構(gòu)造以改善工藝
兼容性。
[0005]盡管存在現(xiàn)有解決方案，但此項(xiàng)技術(shù)內(nèi)的缺點(diǎn)繼續(xù)導(dǎo)致對(duì)疊蓋計(jì)量目標(biāo)的工藝損壞或與半導(dǎo)體制造設(shè)計(jì)規(guī)則的目標(biāo)兼容性的不足。當(dāng)前技術(shù)水平中的一些缺陷包含:由于化學(xué)機(jī)械拋光所致的目標(biāo)內(nèi)或附近的凹陷；由于不兼容圖案密度所致的目標(biāo)附近的蝕刻偏差；由于目標(biāo)中的設(shè)計(jì)規(guī)則違反所致的所制造裝置中的后續(xù)寄生電容；導(dǎo)致疊蓋測(cè)量中的計(jì)量偏差的目標(biāo)的光刻不兼容性；以及光罩及晶片上的計(jì)量占用面積增加到過(guò)大目標(biāo)大小。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明針對(duì)于用以糾正當(dāng)前技術(shù)水平中的一個(gè)或一個(gè)以上缺陷的包含正交底層虛擬填充的疊蓋目標(biāo)設(shè)計(jì)。在一個(gè)方面中，本發(fā)明針對(duì)于包含形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素的疊蓋目標(biāo)。所述疊蓋目標(biāo)進(jìn)一步包含形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素。所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者可包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充。根據(jù)各種實(shí)施例，所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)或?qū)又械拿恳徽呖捎蛇B續(xù)安置于例如硅晶片的襯底上的單獨(dú)工藝層形成。
[0007]在另一方面中，本發(fā)明針對(duì)于用于對(duì)襯底執(zhí)行疊蓋測(cè)量的疊蓋計(jì)量系統(tǒng)。所述系統(tǒng)可包含樣本載臺(tái)，所述樣本載臺(tái)經(jīng)配置以支撐襯底，其中疊蓋目標(biāo)安置于所述襯底上，所述疊蓋目標(biāo)包含形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素，所述疊蓋目標(biāo)進(jìn)一步包含形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素，所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充。所述系統(tǒng)可進(jìn)一步包含:至少一個(gè)照明源，其經(jīng)配置以照明所述疊蓋目標(biāo)；及至少一個(gè)檢測(cè)器，其經(jīng)配置以接收從所述疊蓋目標(biāo)反射、散射或輻射的照明。通信地耦合到所述檢測(cè)器的至少一個(gè)計(jì)算系統(tǒng)可經(jīng)配置以利用與從所述疊蓋目標(biāo)反射、散射或輻射的照明相關(guān)聯(lián)的信息(例如，一個(gè)或一個(gè)以上圖像幀或?qū)Ρ葦?shù)據(jù))來(lái)確定安置于所述襯底上的至少兩個(gè)層之間的不對(duì)準(zhǔn)。在一些實(shí)施例中，所述疊蓋及虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)為兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的以允許特定制造或計(jì)量?jī)?yōu)點(diǎn)。然而，并非所有應(yīng)用均需要兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)，例如采用散射測(cè)量疊蓋(SCOL)或基于衍射的疊蓋(DBO)計(jì)量目標(biāo)的應(yīng)用。
[0008]在又一方面中，本發(fā)明針對(duì)于一種對(duì)襯底執(zhí)行疊蓋計(jì)量的方法，所述方法包含至少以下步驟:照明安置于所述襯底上的疊蓋目標(biāo)，所述疊蓋目標(biāo)包含形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素，所述疊蓋目標(biāo)進(jìn)一步包含形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素，所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充；檢測(cè)從所述疊蓋目標(biāo)反射、散射或輻射的照明；及利用與所述所檢測(cè)照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定安置于所述襯底上的至少兩個(gè)層之間的不對(duì)準(zhǔn)。
[0009]應(yīng)理解，前述大體描述及以下詳細(xì)描述兩者均僅為示范性及闡釋性且未必限制本發(fā)明。并入說(shuō)明書(shū)中且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分的附圖圖解說(shuō)明本發(fā)明的標(biāo)的物。所述描述及圖式一起用于闡釋本發(fā)明的原理。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0010]所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可通過(guò)參考附圖來(lái)更好地理解本發(fā)明的眾多優(yōu)點(diǎn)，在附圖中:
[0011]圖1A圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的疊蓋目標(biāo)；
[0012]圖1B圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的疊蓋目標(biāo)的一部分，其中虛擬填充圖案元素的分段軸正交于疊蓋圖案元素的分段軸；
[0013]圖2A圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)；
[0014]圖2B圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)的虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)及疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)；
[0015]圖3A圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)；
[0016]圖3B圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)的虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)及疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)；
[0017]圖4A圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)；
[0018]圖4B圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)的虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)及疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)，其中所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)中的每一者均包含多個(gè)圖案元素；
[0019]圖5A圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)，其中疊蓋圖案元素的第一部分根據(jù)第一暴露而印刷于虛擬填充上方；
[0020]圖5B圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的兩重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)，其中疊蓋圖案元素的第二部分根據(jù)第二暴露而印刷于虛擬填充上方；
[0021]圖6圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的疊蓋目標(biāo)；
[0022]圖7是圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的疊蓋計(jì)量系統(tǒng)的框圖；且
[0023]圖8是圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的執(zhí)行疊蓋計(jì)量的方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]現(xiàn)在將詳細(xì)參考附圖中所圖解說(shuō)明的所揭示的標(biāo)的物。
[0025]圖1A到8大體圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的各種實(shí)施例的具有正交底層虛擬填充的疊蓋的設(shè)計(jì)及使用。第13 / 186，144號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案至少部分地描述虛擬填充的正交對(duì)準(zhǔn)，其中疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)安置于所述虛擬填充下方或上方。另外，第12 / 455，640號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案描述至少部分地包含虛擬填充(其中稱(chēng)為“冗余場(chǎng)”)的計(jì)量目標(biāo)。第13 / 186，144號(hào)及第12 / 455，640號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案以引用的方式并入，猶如完全陳述于本文中一般。出于說(shuō)明性目的而提供以下實(shí)施例，且應(yīng)理解，下文所描述的特征及布置可經(jīng)組合以產(chǎn)生額外實(shí)施例。舉例來(lái)說(shuō)，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，以下實(shí)施例的部分可經(jīng)組合以實(shí)現(xiàn)符合一組制造設(shè)計(jì)規(guī)則或滿(mǎn)足選定水平的工藝兼容性的疊蓋目標(biāo)或疊蓋計(jì)量系統(tǒng)。
[0026]圖1A圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的疊蓋計(jì)量目標(biāo)100。疊蓋目標(biāo)100可包含多個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，所述目標(biāo)結(jié)構(gòu)由單獨(dú)工藝層制造且連續(xù)安置于襯底(例如硅晶片)上。目標(biāo)100可包含基本上由經(jīng)分段虛擬填充組成的非作用圖案元素102a到102d中的一者或一者以上。非作用圖案元素102a到102d可形成至少第一 “虛擬填充”目標(biāo)結(jié)構(gòu)。目標(biāo)100可進(jìn)一步包含由此項(xiàng)技術(shù)已知的疊蓋特征(例如第13 / 186，144號(hào)及/或第12 / 455，640號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案中所描述或所提及的那些疊蓋特征)形成的一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素104a到104d。
[0027]疊蓋圖案元素104a到104d可形成接近于虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)安置的至少第二“疊蓋”目標(biāo)結(jié)構(gòu)。舉例來(lái)說(shuō)，所述疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)可隨后安置于襯底上在虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)上方。因此，虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)可稱(chēng)為“虛擬填充底層”?？筛鶕?jù)制造/測(cè)試設(shè)計(jì)規(guī)則或根據(jù)來(lái)自設(shè)計(jì)規(guī)則的選定范圍或選定偏差而對(duì)虛擬填充102a到102d及/或疊蓋圖案元素104a到104d進(jìn)行分段。如由圖1B所圖解說(shuō)明，每一虛擬填充圖案元素102可沿第一“虛擬填充”分段軸106而分段，所述第一“虛擬填充”分段軸正交于對(duì)應(yīng)于安置于虛擬填充圖案元素102上方或下方的至少一個(gè)經(jīng)分段疊蓋圖案元素104的第二“疊蓋”分段軸108。此外，在一些實(shí)施例中，至少第一組的一個(gè)或一個(gè)以上虛擬填充圖案元素102a、102c沿正交于第二組的一個(gè)或一個(gè)以上虛擬填充圖案元素102b、102d的分段方向的方向而分段。
[0028]經(jīng)分段虛擬填充圖案元素102可包含安置于經(jīng)保留用于隨后根據(jù)襯底的一個(gè)或一個(gè)以上連續(xù)工藝層而安置的圖案元素(例如裝置或疊蓋圖案元素)的空區(qū)域上的虛擬填充。虛擬填充圖案元素102可進(jìn)一步包含實(shí)現(xiàn)對(duì)構(gòu)成疊蓋目標(biāo)100的一部分的至少一個(gè)疊蓋或虛擬填充圖案元素的位置估計(jì)的內(nèi)邊緣(例如，一個(gè)或一個(gè)以上矩形孔口)。圖2A及2B圖解說(shuō)明兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)200，所述兩重/四重對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)包含由多個(gè)虛擬填充圖案元素202a到202d形成的虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)201，虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)201接近于由多個(gè)疊蓋圖案元素204a到204d形成的疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)203安置。在一些實(shí)施例中，每一目標(biāo)結(jié)構(gòu)201及203為兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的以使得由將疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)203安置于虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)201上方形成的所得目標(biāo)結(jié)構(gòu)200為對(duì)應(yīng)地兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的。在一些實(shí)施例中，舉例來(lái)說(shuō)，目標(biāo)200為四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的。此外，虛擬填充圖案元素202a到202d中的每一者可包含形成兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)子圖案的單軸分段虛擬填充。
[0029]在一些實(shí)施例中，虛擬填充子圖案202a到202d沿選定軸分段，其中根據(jù)印刷于虛擬填充圖案元素202a到202d上方的疊蓋圖案元素204a到204d的空間或物理特性而選擇沿分段軸的虛擬填充分段的大小及間隔。舉例來(lái)說(shuō)，可根據(jù)隨后印刷的疊蓋圖案元素204a到204d的特征大小、間隔及/或分段而選擇虛擬填充分段以避免與安置于襯底上的正交于虛擬填充分段的疊蓋特征相關(guān)聯(lián)的計(jì)量信號(hào)的污染。在一些實(shí)施例中，虛擬填充分段的間距及/或特征大小實(shí)質(zhì)上大于將在其上暴露(即，印刷或安置于襯底的表面上)虛擬填充子圖案的暴露工具(例如光刻暴露工具)的最小設(shè)計(jì)規(guī)則。超大分段可有利地減小線(xiàn)端的回拉(例如，非對(duì)稱(chēng)回拉)。
[0030]如圖3A中所圖解說(shuō)明，疊蓋計(jì)量目標(biāo)300可包含具有接近安置的疊蓋圖案元素304a到304d的單軸經(jīng)分段虛擬填充圖案元素302a到302d，借此隨后所疊蓋子圖案的邊界完全在由虛擬填充子圖案形成的邊界內(nèi)。圖3B進(jìn)一步圖解說(shuō)明由虛擬填充圖案元素302a到302d形成的虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)301及由疊蓋圖案元素304a到304d形成的疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)303。在一些實(shí)施例中，虛擬填充子圖案與所疊蓋子圖案的邊界之間的選定距離大于預(yù)定光學(xué)禁區(qū)。邊界之間的距離可大于僅沿平行于虛擬填充分段軸的軸或垂直于虛擬填充分段軸的軸或者沿平行方向及垂直方向兩者的預(yù)定光學(xué)禁區(qū)。
[0031]如圖4A及4B中所展示，兩重/四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)400可在每一象限中包含多個(gè)疊蓋及虛擬填充子圖案。舉例來(lái)說(shuō)，疊蓋目標(biāo)400的每一象限可包含形成虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)401的六個(gè)虛擬填充圖案元素402a到402d。每一象限可進(jìn)一步包含形成安置于虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)401的頂部上的疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)403的五個(gè)疊蓋圖案元素404a到404d?？深?lèi)似地設(shè)計(jì)在頂部及底部或左半部及右半部中的每一者中具有多個(gè)疊蓋及虛擬填充子圖案的兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)。
[0032]在一些實(shí)施例中，在兩個(gè)或兩個(gè)以上并排暴露中將虛擬填充或疊蓋子圖案的部分單獨(dú)地印刷于襯底上。舉例來(lái)說(shuō)，在圖5A及5B中所圖解說(shuō)明的疊蓋目標(biāo)500的實(shí)施例中，疊蓋圖案元素504a及504b根據(jù)第一暴露(見(jiàn)圖5A)及第二暴露(見(jiàn)圖5B)而印刷于虛擬填充底層502a及502b上方?？稍趩为?dú)暴露中印刷經(jīng)分段虛擬填充子圖案，其中在疊蓋子圖案之間不存在禁區(qū)。此外，虛擬填充分段對(duì)于虛擬填充子圖案中的每一者可為相同的且根據(jù)光刻疊蓋公差而對(duì)準(zhǔn)。在一些實(shí)施例中，疊蓋目標(biāo)可進(jìn)一步包含具有相同分段且在光刻疊蓋公差內(nèi)對(duì)準(zhǔn)的隨后所疊蓋經(jīng)分段虛擬填充子圖案。
[0033]在一些實(shí)施例(例如在圖2A及2B中所圖解說(shuō)明的示范性實(shí)施例)中，疊蓋目標(biāo)200可進(jìn)一步包含具有內(nèi)部邊緣(即，包含矩形開(kāi)口或“窗”)的疊蓋子圖案204a到204d及/或虛擬填充子圖案202a到202d，所述內(nèi)部邊緣可經(jīng)測(cè)量以估計(jì)界定疊蓋或虛擬填充子圖案的至少一個(gè)圖案元素的位置。因此，疊蓋目標(biāo)200可包含實(shí)現(xiàn)沿平行及/或垂直于每一疊蓋或虛擬填充圖案元素的分段軸的方向的子圖案位置估計(jì)的布置。在一些實(shí)施例中，可僅沿垂直于虛擬填充分段線(xiàn)的方向執(zhí)行子圖案位置估計(jì)以避免在邊緣位置處特別隨掃描儀焦點(diǎn)而變的增強(qiáng)的掃描儀像差敏感度?；蛘?，可僅沿平行于虛擬填充分段線(xiàn)的方向執(zhí)行子圖案位置估計(jì)以避免設(shè)計(jì)規(guī)則違反。
[0034]疊蓋目標(biāo)的特定實(shí)施例對(duì)于特定計(jì)量或工藝兼容性要求可為有利的。在一個(gè)實(shí)施例中，舉例來(lái)說(shuō)，四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)可包含多個(gè)層(例如，四個(gè)層)。疊蓋目標(biāo)的每一象限可包含實(shí)現(xiàn)沿正交于虛擬填充分段的第一軸對(duì)疊蓋的測(cè)量的兩個(gè)經(jīng)分段虛擬填充子圖案。每一象限可進(jìn)一步包含隨后安置于虛擬填充圖案元素上方的兩個(gè)經(jīng)分段疊蓋子圖案。所疊蓋子圖案可經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿正交于第一軸(即，用于虛擬填充子圖案的測(cè)量軸)的第二軸對(duì)疊蓋的測(cè)量?；蛘撸B蓋子圖案可經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿平行于第一軸的第二軸的疊蓋測(cè)量。
[0035]在另一示范性實(shí)施例中，(兩層)四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)的每一象限可包含實(shí)質(zhì)上填充相應(yīng)象限(具有內(nèi)部邊緣的開(kāi)口(或窗)除外)的單軸經(jīng)分段虛擬填充子圖案。可測(cè)量開(kāi)口的內(nèi)邊緣以用于沿平行于虛擬填充分段的方向的子圖案位置估計(jì)。所述目標(biāo)可進(jìn)一步包含隨后安置于虛擬填充子圖案上方的經(jīng)分段疊蓋子圖案?？筛鶕?jù)制造設(shè)計(jì)規(guī)則而對(duì)所述疊蓋子圖案進(jìn)行分段。另外，可測(cè)量疊蓋子圖案的邊緣以用于沿平行于虛擬填充分段軸的方向的子圖案位置估計(jì)。
[0036]在另一示范性實(shí)施例中，兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)(四層)疊蓋目標(biāo)可包含四個(gè)經(jīng)分段虛擬填充子圖案(兩個(gè)子圖案沿X方向及兩個(gè)子圖案沿Y方向)。虛擬填充子圖案中的每一者可經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿相應(yīng)測(cè)量軸對(duì)疊蓋的測(cè)量。疊蓋目標(biāo)可進(jìn)一步包含十二個(gè)經(jīng)分段疊蓋子圖案(六個(gè)子圖案沿X方向及六個(gè)子圖案沿Y方向)。隨后印刷于虛擬填充子圖案上方的疊蓋子圖案中的每一者可經(jīng)布置以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)沿相應(yīng)測(cè)量軸對(duì)疊蓋的測(cè)量。
[0037]所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解前述實(shí)施例的示范性性質(zhì)，且如此，本文中所描述的實(shí)施例應(yīng)理解為說(shuō)明性且決不打算限制本發(fā)明。在一些實(shí)施例中，分段是基于超過(guò)最小設(shè)計(jì)規(guī)則的裝置或疊蓋層的特征大小，借此將子圖案的工藝窗增加到大于所得裝置的工藝窗。此外，與子圖案本身的幾何形狀相比，分段可相對(duì)小。根據(jù)各種實(shí)施例，經(jīng)分段單軸虛擬填充底層可覆蓋工藝層的至少50%以改善計(jì)量性能及工藝兼容性。
[0038]預(yù)期對(duì)分段間隔/間距、工藝層的數(shù)目、對(duì)稱(chēng)性及計(jì)量目標(biāo)的其它屬性的各種修改。上文所描述的實(shí)施例圖解說(shuō)明各種特征但決不打算限制本發(fā)明。舉例來(lái)說(shuō)，本文中的各種實(shí)施例描述兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋計(jì)量目標(biāo)，但并非在所有應(yīng)用中均需要兩重/四重對(duì)稱(chēng)性。在圖6所圖解說(shuō)明的一些實(shí)施例中，疊蓋計(jì)量目標(biāo)600整體來(lái)說(shuō)既非兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)也非四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)。然而，疊蓋目標(biāo)600的各種部分(例如個(gè)別子圖案或兩個(gè)或兩個(gè)以上子圖案的群組)可為至少兩重對(duì)稱(chēng)的。
[0039]例如SCOL或DBO計(jì)量的一些應(yīng)用并不需要兩重/四重對(duì)稱(chēng)目標(biāo)。舉例來(lái)說(shuō)，疊蓋目標(biāo)600可包含形成第一疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的第一多個(gè)疊蓋圖案元素602a到602d及形成第二疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的第二多個(gè)疊蓋圖案元素604a到604d，兩個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)連續(xù)形成于包含正交地對(duì)準(zhǔn)的非作用圖案元素606a到606d的虛擬填充底層上方。如圖6中進(jìn)一步所展示，沿第一(X)方向的虛擬填充分段(即，間隔及間距)可不同于沿第二(Y)方向的虛擬填充分段。
[0040]在一些實(shí)施例中，目標(biāo)600允許根據(jù)由第一多個(gè)疊蓋圖案元素602a到602d界定的第一目標(biāo)結(jié)構(gòu)或?qū)友氐谝环较虻寞B蓋測(cè)量。此外，可根據(jù)由第二多個(gè)疊蓋圖案元素604a到604d界定的第二目標(biāo)結(jié)構(gòu)或?qū)友刂辽俚诙较驕y(cè)量疊蓋。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，層的數(shù)目及類(lèi)型(例如，裝置、虛擬填充或疊蓋層)可在不背離本發(fā)明的范圍的情況下變化。
[0041]圖7是圖解說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的疊蓋計(jì)量系統(tǒng)700的框圖。疊蓋計(jì)量系統(tǒng)700可包含光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)，例如第13 / 186，144號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案中所描述或所提及的系統(tǒng)。系統(tǒng)700可包含經(jīng)配置以照明安置于襯底706上的疊蓋計(jì)量目標(biāo)704的至少一個(gè)照明源702，其中疊蓋目標(biāo)704包含根據(jù)前述實(shí)施例的目標(biāo)。襯底706可由樣本載臺(tái)708支撐，所述樣本載臺(tái)可包含用于將襯底平移或旋轉(zhuǎn)到選定位置的至少一個(gè)線(xiàn)性或旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器。
[0042]所述系統(tǒng)可包含至少一個(gè)分束器712，所述至少一個(gè)分束器經(jīng)配置以沿到疊蓋目標(biāo)704的至少第一(物體)路徑及由參考光學(xué)器件716 (例如參考鏡)描畫(huà)的第二(參考)路徑來(lái)引導(dǎo)從照明源702發(fā)出的照明。從襯底706的包含疊蓋目標(biāo)704的表面反射、散射或輻射的照明可經(jīng)由物鏡714收集且沿收集路徑引導(dǎo)到至少一個(gè)檢測(cè)器710。與檢測(cè)器710通信的至少一個(gè)計(jì)算系統(tǒng)718可經(jīng)配置以收集與從襯底706的表面接收的照明相關(guān)聯(lián)的成像數(shù)據(jù)。計(jì)算系統(tǒng)710可經(jīng)配置以利用與針對(duì)疊蓋目標(biāo)704而收集的成像數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的信息(例如，圖像幀或?qū)Ρ葦?shù)據(jù))來(lái)確定形成于襯底706上的至少兩個(gè)層之間的疊蓋誤差或空間不對(duì)準(zhǔn)。
[0043]應(yīng)認(rèn)識(shí)到，可通過(guò)單個(gè)計(jì)算系統(tǒng)或通過(guò)多個(gè)計(jì)算系統(tǒng)來(lái)執(zhí)行本發(fā)明通篇中所描述的各種步驟及功能。舉例來(lái)說(shuō)，計(jì)算系統(tǒng)718可包含但不限于個(gè)人計(jì)算系統(tǒng)、大型計(jì)算系統(tǒng)、工作站、圖像計(jì)算機(jī)、并行處理器或此項(xiàng)技術(shù)中已知的任何其它裝置。一般來(lái)說(shuō)，計(jì)算系統(tǒng)718可包含經(jīng)配置以執(zhí)行來(lái)自至少一個(gè)載體媒體720的程序指令722的至少一個(gè)單核心或多核心處理器。
[0044]圖8大體圖解說(shuō)明根據(jù)疊蓋計(jì)量系統(tǒng)700執(zhí)行疊蓋計(jì)量的方法800。然而，認(rèn)識(shí)至IJ，可在不背離本發(fā)明的本質(zhì)的情況下經(jīng)由從系統(tǒng)700的前述實(shí)施例變化的系統(tǒng)或裝置來(lái)執(zhí)行方法800的一個(gè)或一個(gè)以上步驟。在實(shí)施例中，方法800可包含至少以下步驟。在步驟802處，照明安置于襯底706上的疊蓋計(jì)量目標(biāo)704。在步驟804處，經(jīng)由收集光學(xué)器件(例如物鏡714)來(lái)收集由目標(biāo)反射、散射或輻射的照明并將所述照明引導(dǎo)到至少一個(gè)成像檢測(cè)器710 (例如TDI相機(jī))。在步驟806處，處理成像數(shù)據(jù)以確定安置于襯底上的至少兩個(gè)層之間的不對(duì)準(zhǔn)。本文中注意到，可根據(jù)此項(xiàng)技術(shù)已知的任何疊蓋計(jì)量算法來(lái)處理所述成像數(shù)據(jù)。舉例來(lái)說(shuō)，可執(zhí)行形成目標(biāo)結(jié)構(gòu)的圖案元素及/或由裝置特征形成的圖案之間的空間比較以確定相對(duì)位移(即，疊蓋誤差)。
[0045]在一些實(shí)施例中，僅測(cè)量虛擬填充圖案元素的內(nèi)邊緣以避免拋光損壞。在一些實(shí)施例中，經(jīng)由沿第一方向的測(cè)量來(lái)確定至少一個(gè)虛擬填充圖案元素的位置且經(jīng)由沿第二方向(例如，沿正交于所述第一方向的軸)的測(cè)量來(lái)確定隨后安置于襯底706上的至少一個(gè)疊蓋圖案元素的位置。此外，可測(cè)量平行及垂直于測(cè)量的方向而分段的疊蓋或虛擬填充子圖案的邊緣位置以確定由分段的方向而產(chǎn)生的測(cè)量偏差。
[0046]所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解，存在通過(guò)其可實(shí)現(xiàn)本文中所描述的工藝及/或系統(tǒng)及/或其它技術(shù)的各種媒介(例如，硬件、軟件及/或固件)，且優(yōu)選媒介將隨其中部署工藝及/或系統(tǒng)及/或其它技術(shù)的情景而變化。實(shí)施例如本文中所描述的那些方法的方法的程序指令可在載體媒體上傳輸或存儲(chǔ)于載體媒體上。載體媒體可包含傳輸媒體，例如導(dǎo)線(xiàn)、電纜或無(wú)線(xiàn)傳輸鏈路。所述載體媒體還可包含存儲(chǔ)媒體，例如只讀存儲(chǔ)器、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、磁盤(pán)或光盤(pán)或者磁帶。
[0047]本文中所描述的所有方法可包含將方法實(shí)施例的一個(gè)或一個(gè)以上步驟的結(jié)果存儲(chǔ)于存儲(chǔ)媒體中。所述結(jié)果可包含本文中所描述的結(jié)果中的任一者且可以此項(xiàng)技術(shù)中已知的任何方式存儲(chǔ)。所述存儲(chǔ)媒體可包含本文中所描述的任何存儲(chǔ)媒體或此項(xiàng)技術(shù)中已知的任何其它適合存儲(chǔ)媒體。在已存儲(chǔ)所述結(jié)果之后，所述結(jié)果可在所述存儲(chǔ)媒體中存取且由本文中所描述的方法或系統(tǒng)實(shí)施例中的任一者使用，經(jīng)格式化以用于顯示給用戶(hù)，由另一軟件模塊、方法或系統(tǒng)等使用。此外，可將所述結(jié)果“永久地”、“半永久地”、臨時(shí)地存儲(chǔ)或存儲(chǔ)達(dá)某一時(shí)間段。舉例來(lái)說(shuō)，所述存儲(chǔ)媒體可為隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)，且所述結(jié)果可未必?zé)o限期地存留于所述存儲(chǔ)媒體中。
[0048]盡管已圖解說(shuō)明本發(fā)明的特定實(shí)施例，但應(yīng)明了，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可在不背離前述揭示內(nèi)容的范圍及精神的情況下做出本發(fā)明的各種修改及實(shí)施例。因此，本發(fā)明的范圍應(yīng)僅受所附權(quán)利要求書(shū)限制。
【權(quán)利要求】
1.一種疊蓋目標(biāo)，其包括: 一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素，其形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)；及 一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素，其形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)，所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素形成至少一個(gè)兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)，且其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素形成至少一個(gè)兩重或四重對(duì)稱(chēng)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含安置于經(jīng)保留用于至少一個(gè)后續(xù)工藝層的疊蓋圖案元素的一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)域上的虛擬填充分段。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含接近于所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素的邊緣區(qū)域安置以實(shí)現(xiàn)對(duì)至少一個(gè)圖案元素的位置估計(jì)的虛擬填充分段。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者為兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素形成于所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素是根據(jù)選定間距或特征大小而分段，所述選定間距或特征大小實(shí)質(zhì)上大于針對(duì)經(jīng)配置以暴露所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素的暴露工具規(guī)定的最小設(shè)計(jì)規(guī)則。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素形成于所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素上方的后續(xù)工藝層上在由所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素界定的邊界內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述邊界與所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素之間的距離大于沿平行于虛擬填充分段軸的軸的預(yù)定光學(xué)禁區(qū)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述邊界與所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素之間的距離大于沿垂直于虛擬填充分段軸的軸的預(yù)定光學(xué)禁區(qū)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述邊界與所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素之間的選定距離大于沿平行于虛擬填充分段軸的軸及沿垂直于所述虛擬填充分段軸的軸的預(yù)定光學(xué)禁區(qū)。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素是經(jīng)由兩個(gè)或兩個(gè)以上并排暴露而印刷。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素包含具有實(shí)現(xiàn)對(duì)至少一個(gè)圖案元素的位置估計(jì)的內(nèi)部邊緣的孔口。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含經(jīng)由單獨(dú)暴露而印刷且根據(jù)光刻疊蓋公差而對(duì)準(zhǔn)的均勻間隔開(kāi)的虛擬填充分段。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含形成于后續(xù)工藝層上的均勻間隔開(kāi)的虛擬填充分段，其中所述虛擬填充分段經(jīng)由單獨(dú)暴露而印刷且根據(jù)光刻疊蓋公差而對(duì)準(zhǔn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述圖案元素中的一者或一者以上是根據(jù)特征大小而分段。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述經(jīng)分段虛擬填充覆蓋安置于襯底上的至少一個(gè)層的大部分。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素及所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素形成疊蓋于第二目標(biāo)結(jié)構(gòu)上的至少第一目標(biāo)結(jié)構(gòu)，所述所疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的每一象限包含: 兩個(gè)非作用圖案元素，其由經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿正交于虛擬填充分段軸的第一軸的疊蓋測(cè)量的經(jīng)分段虛擬填充形成；及 兩個(gè)經(jīng)分段疊蓋圖案元素，其隨后接近于所述至少兩個(gè)非作用圖案元素而安置。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述第一目標(biāo)結(jié)構(gòu)及所述第二目標(biāo)結(jié)構(gòu)為四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述兩個(gè)疊蓋圖案元素經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿正交于所述第一軸的第二軸的疊蓋測(cè)量。
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述兩個(gè)疊蓋圖案元素經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿平行于所述第一軸的第二軸的疊蓋測(cè)量。
22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素及所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素形成疊蓋于第二四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)目標(biāo)結(jié)構(gòu)上的至少第一四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)目標(biāo)結(jié)構(gòu)，所述所疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的每一象限包含: 非作用圖案元素，其由經(jīng)分段虛擬填充形成，所述非作用圖案元素實(shí)質(zhì)上填充所述相應(yīng)象限，所述相應(yīng)象限的包含具有實(shí)現(xiàn)沿平行于虛擬填充分段軸的至少一個(gè)方向?qū)χ辽僖粋€(gè)圖案元素的位置估計(jì)的內(nèi)部邊緣的孔口的一部分除外；及 經(jīng)分段疊蓋圖案元素，其隨后接近于所述非作用圖案元素而安置，所述疊蓋圖案元素包含實(shí)現(xiàn)沿平行于所述虛擬填充分段軸的所述至少一個(gè)方向?qū)χ辽僖粋€(gè)圖案元素的位置估計(jì)的一個(gè)或一個(gè)以上邊緣。
23.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊蓋目標(biāo)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素及所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素形成疊蓋于第二兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)目標(biāo)結(jié)構(gòu)上的至少第一兩重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)目標(biāo)結(jié)構(gòu)，所述疊蓋目標(biāo)包含: 四個(gè)非作用圖案元素，其由經(jīng)分段虛擬填充形成，所述四個(gè)非作用圖案元素中的每一者經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿相應(yīng)軸的疊蓋測(cè)量；及 十二個(gè)經(jīng)分段疊蓋圖案元素，其隨后接近于所述四個(gè)非作用圖案元素而安置，所述十二個(gè)疊蓋圖案元素中的每一者經(jīng)布置以實(shí)現(xiàn)沿相應(yīng)軸的疊蓋測(cè)量。
24.一種用于執(zhí)行疊蓋測(cè)量的系統(tǒng)，其包括: 樣本載臺(tái)，其經(jīng)配置以支撐襯底，其中疊蓋目標(biāo)安置于所述襯底上，所述疊蓋目標(biāo)包含形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素，所述疊蓋目標(biāo)進(jìn)一步包含形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素，所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充；至少一個(gè)照明源，其經(jīng)配置以照明所述疊蓋目標(biāo)； 至少一個(gè)檢測(cè)器，其經(jīng)配置以接收從所述疊蓋目標(biāo)反射、散射或輻射的照明 '及 至少一個(gè)計(jì)算系統(tǒng)，其通信地耦合到所述檢測(cè)器且經(jīng)配置以利用與從所述疊蓋目標(biāo)反射、散射或輻射的所述照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定安置于所述襯底上的至少兩個(gè)層之間的不對(duì)準(zhǔn)。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素形成至少一個(gè)兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)，且其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素形成至少一個(gè)兩重或四重對(duì)稱(chēng)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含安置于經(jīng)保留用于至少一個(gè)后續(xù)工藝層的疊蓋圖案元素的一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)域上的虛擬填充分段。
27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含接近于所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素的邊緣區(qū)域安置以實(shí)現(xiàn)對(duì)至少一個(gè)圖案元素的位置估計(jì)的虛擬填充分段。
28.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以基于沿垂直或平行于所述虛擬填充分段的方向收集的信息來(lái)確定至少一個(gè)圖案元素的位置。
29.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以基于沿垂直于所述虛擬填充分段的方向收集的信息及沿平行于所述虛擬填充分段的方向收集的信息來(lái)確定至少一個(gè)圖案元素的位置。
30.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以基于沿第一方向收集的信息來(lái)確定至少一個(gè)非作用圖案元素的位置且進(jìn)一步經(jīng)配置以基于沿第二方向收集的信息來(lái)確定至少一個(gè)疊蓋圖案元素的位置。
31.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以基于至少一個(gè)圖案元素的沿平行于測(cè)量軸的第一方向定位的邊緣及所述至少一個(gè)圖案元素的沿垂直于所述測(cè)量軸的第二方向定位的邊緣來(lái)確定由于分段的方向所致的測(cè)量偏差。
32.根據(jù)權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)經(jīng)配置以沿第一方向測(cè)量疊蓋對(duì)準(zhǔn)。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以沿第二方向測(cè)量疊蓋對(duì)準(zhǔn)，其中所述第一方向與安置于所述襯底上的第一疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)，且其中所述第二方向與隨后安置于所述襯底上的第二疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)。
34.根據(jù)權(quán)利要求32所述的系統(tǒng)，其中所述計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以沿第二方向測(cè)量疊蓋對(duì)準(zhǔn)，其中所述第一方向與安置于所述襯底上在虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)上方的疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)，且其中所述第二方向與所述虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)。
35.一種執(zhí)行疊蓋測(cè)量的方法，其包括: 照明安置于襯底上的疊蓋目標(biāo)，所述疊蓋目標(biāo)包含形成至少一個(gè)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素，所述疊蓋目標(biāo)進(jìn)一步包含形成至少一個(gè)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素，所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素中的每一者包含沿正交于至少一個(gè)接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充； 檢測(cè)從所述疊蓋目標(biāo)反射、散射或輻射的照明 '及利用與所述所檢測(cè)照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定安置于所述襯底上的至少兩個(gè)層之間的不對(duì)準(zhǔn)。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素形成至少一個(gè)兩重或四重旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)，且其中所述一個(gè)或一個(gè)以上疊蓋圖案元素形成至少一個(gè)兩重或四重對(duì)稱(chēng)虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)。
37.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含安置于經(jīng)保留用于至少一個(gè)后續(xù)工藝層的疊蓋圖案元素的一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)域上的虛擬填充分段。
38.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其中所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素包含接近于所述一個(gè)或一個(gè)以上非作用圖案元素的邊緣區(qū)域安置以實(shí)現(xiàn)對(duì)至少一個(gè)圖案元素的位置估計(jì)的虛擬填充分段。
39.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其進(jìn)一步包括: 基于與沿垂直或平行于所述虛擬填充分段的方向所檢測(cè)的照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定至少一個(gè)圖案元素的位置。
40.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其進(jìn)一步包括: 基于與沿垂直于所述虛擬填充分段的方向所檢測(cè)的照明相關(guān)聯(lián)的信息及與沿平行于所述虛擬填充分段的方向所檢測(cè)的照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定至少一個(gè)圖案元素的位置。
41.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其進(jìn)一步包括: 基于與沿第一測(cè)量軸所檢測(cè)的照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定至少一個(gè)非作用圖案元素的位置；及 基于與沿第二測(cè)量軸所檢測(cè)的照明相關(guān)聯(lián)的信息來(lái)確定至少一個(gè)疊蓋圖案元素的位置。
42.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其進(jìn)一步包括: 基于至少一個(gè)圖案元素的沿平行于測(cè)量軸的第一方向定位的邊緣及所述至少一個(gè)圖案元素的沿垂直于所述測(cè)量軸的第二方向定位的邊緣來(lái)確定由于分段的方向所致的測(cè)量偏差。
43.根據(jù)權(quán)利要求35所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括: 沿第一方向測(cè)量疊蓋對(duì)準(zhǔn)。
44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括: 沿第二方向測(cè)量疊蓋對(duì)準(zhǔn)，其中所述第一方向與安置于所述襯底上的第一疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)，且其中所述第二方向與隨后安置于所述襯底上的第二疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)。
45.根據(jù)權(quán)利要求43所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括: 沿第二方向測(cè)量疊蓋對(duì)準(zhǔn)，其中所述第一方向與安置于所述襯底上在虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)上方的疊蓋目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)，且其中所述第二方向與所述虛擬填充目標(biāo)結(jié)構(gòu)相關(guān)聯(lián)。
【文檔編號(hào)】G03F1/42GK103814429SQ201380003145
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月22日
【發(fā)明者】努里爾·阿米爾, 蓋伊·科恩, 弗拉基米爾·萊溫斯基, 邁克爾·阿德?tīng)? 申請(qǐng)人:科磊股份有限公司