高硬度納米壓印軟膜復合模板的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種高硬度納米壓印軟膜復合模板，其包括：基板；第一PDMS彈性層，其設置于該基板上；膠黏層，其設置于該第一PDMS彈性層上；第二PDMS彈性層，其設置于該膠黏層上；高硬度PDMS結構層，其上具有壓印結構，該高硬度PDMS結構層設置于該第二PDMS彈性層上。本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板相較于傳統技術結構更為牢固，有效防止坍塌、變形和邊角鈍化等現象的出現，同時還使得其結實耐用，延長模板的使用壽命。
【專利說明】高硬度納米壓印軟膜復合模板
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種納米壓印器件，特別涉及一種高硬度納米壓印軟膜復合模板。
【背景技術】
[0002]聚二甲基娃氧燒(PDMS, polydimethyl si 1xane)是一種簡單方便的納米壓印模板復制材料，通常由本體材料和固化劑按一定比例混合而成，去除氣泡后澆注在母模板表面，通過加熱固化成具有彈性硅橡膠材料工作模板，用于大面積紫外納米壓印具有諸多優點:成本低，可以從母模版反復復制PDMS模板」本身具有彈性，受環境中污染粒子影響小，模板壽命長」固化后表面具有縮水性，用于納米壓印無需抗粘處理」柔性PDMS工作模板可以在大面積納米壓印中緊密結合基底不平整表面。
[0003]然而，目前的PDMS模板在納米壓印應用中也出現了一些問題，主要表現為，彈性模量低，使得其結構容易出現坍塌、變形等情況，而且邊角處也容易出現鈍化現象，無法達到高精度納米壓印的要求，同時其結構單一，不夠結實耐用，影響模板的使用壽命。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的就是針對上述問題，提供一種結構牢固且結實耐用的高硬度納米壓印軟膜復合模板。
[0005]為了實現上述目的，本實用新型提供了以下技術方案:高硬度納米壓印軟膜復合模板，其包括:基板；第一 PDMS彈性層,其設置于該基板上；膠黏層,其設置于該第一 PDMS彈性層上；第二 PDMS彈性層，其設置于該膠黏層上；高硬度PDMS結構層，其上具有壓印結構，該高硬度PDMS結構層設置于該第二 PDMS彈性層上。
[0006]優選地，上述的高硬度PDMS結構層粘合連接于上述第二 PDMS彈性層上。
[0007]優選地，上述的第一 PDMS彈性層固化于上述基板上。
[0008]優選地，上述的基板為PC板。
[0009]優選地，上述的第一和第二 PDMS彈性層的彈性模量為3_4Mpa，上述高硬度PDMS結構層的彈性模量為12-13Mpa。
[0010]采用以上技術方案的有益效果在于:采用基板、第一 PDMS彈性層、膠黏層、第二PDMS彈性層和高硬度PDMS結構層的五層式結構，使得本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板相較于傳統技術結構更為牢固，有效防止坍塌、變形和邊角鈍化等現象的出現，同時還使得其結實耐用，延長模板的使用壽命。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的結構示意圖。
[0012]其中，1.基板2.第一 PDMS彈性層3.膠黏層4.第二 PDMS彈性層5.高硬度PDMS結構層51.壓印結構。【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖詳細說明本實用新型的優選實施方式。
[0014]如圖1所示，本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的第一種實施方式中，其包括:基板I ;第一 PDMS彈性層2，其設置于基板I上；膠黏層3，其設置于第一 PDMS彈性層2上；第二 PDMS彈性層4，其設置于膠黏層3上；高硬度PDMS結構層5，其上具有壓印結構51，該壓印結構為從母模板上復制而得，該高硬度PDMS結構層5設置于第二 PDMS彈性層4上。采用基板1、第一 PDMS彈性層2、膠黏層3、第二 PDMS彈性層4和高硬度PDMS結構層5的五層式結構，使得本高硬度納米壓印軟膜復合模板相較于傳統技術結構更為牢固，有效防止坍塌、變形和邊角鈍化等現象的出現，同時還使得其結實耐用，延長模板的使用壽命。
[0015]本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的第二種實施方式中，上述的高硬度PDMS結構層粘合連接于上述第二 PDMS彈性層上，不僅實施方便，且結構更為牢固。
[0016]本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的第三種實施方式中，上述的第一PDMS彈性層固化于上述基板上，使得結構更為牢固可靠。
[0017]本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的第四種實施方式中，上述的基板為PC板。
[0018]本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的第五種實施方式中，上述的第一和第二 PDMS彈性層的彈性模量為3-4Mpa，上述高硬度PDMS結構層的彈性模量為12_13Mpa。
[0019]本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板的制作過程為:1)將母模板抗粘處理:在母模板表面旋涂Easy-ASL抗粘層；2)在母模板上以旋涂等方式設置高硬度PDMS結構層；3)在高硬度PDMS結構層背面以澆注等方式設置第一 PDMS彈性層，然后固化并在其后脫離母模板，形成雙層模板；4)在處理過的基板上以旋涂等方式設置一層第二 PDMS彈性層，然后固化；5)在已經固化在基板和第二 PDMS彈性層上以旋涂等方式設置一層膠黏層，再將雙層模板粘貼在膠黏層上，然后固化最終形成本實用新型的高硬度納米壓印軟膜復合模板。
[0020]以上所述的僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.高硬度納米壓印軟膜復合模板，其特征在于:包括:基板；第一PDMS彈性層，其設置于所述基板上；膠黏層，其設置于所述第一 PDMS彈性層上；第二 PDMS彈性層，其設置于所述膠黏層上；高硬度PDMS結構層，其上具有壓印結構，所述高硬度PDMS結構層設置于所述第二 PDMS彈性層上。
2.根據權利要求1所述的高硬度納米壓印軟膜復合模板，其特征在于:所述高硬度PDMS結構層粘合連接于所述第二 PDMS彈性層上。
3.根據權利要求1所述的高硬度納米壓印軟膜復合模板，其特征在于:所述第一PDMS彈性層固化于所述基板上。
4.根據權利要求1或3所述的高硬度納米壓印軟膜復合模板，其特征在于:所述基板為PC板。
5.根據權利要求1所述的高硬度納米壓印軟膜復合模板，其特征在于:所述第一和第二 PDMS彈性層的彈性模量為3-4Mpa，所述高硬度PDMS結構層的彈性模量為12_13Mpa。
【文檔編號】G03F7/00GK203630508SQ201320812483
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月12日 優先權日:2013年12月12日
【發明者】史曉華 申請人:蘇州光舵微納科技有限公司