一種線寬測量的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種線寬測量機(jī)，包括：光柵、測試鏡頭；其特征在于，所述線寬測量機(jī)還包括：照度感應(yīng)裝置、控制單元以及光柵驅(qū)動(dòng)單元；其中，所述控制單元與所述照度感應(yīng)裝置相連，所述照度感應(yīng)裝置，用于接收光信號并將不同強(qiáng)度的光信號轉(zhuǎn)換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據(jù)所述電信號控制所述光柵驅(qū)動(dòng)單元。本實(shí)用新型可避免因線寬測量機(jī)中光源隨時(shí)間的衰減而導(dǎo)致測量結(jié)果準(zhǔn)確性變差的問題，可控性高，且實(shí)現(xiàn)方法簡單。
【專利說明】一種線寬測量機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及液晶顯示【技術(shù)領(lǐng)域】中的線寬測量技術(shù)，尤其涉及一種線寬測量 機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的TFT液晶顯示器的制備過程中所使用的線寬測量機(jī)的結(jié)構(gòu)如圖1所示，包 括:測試鏡頭固定梁11、測試鏡頭12、光纖13、光柵14和光源15組成的燈箱16、信息處理 器17、測試機(jī)臺(tái)18。其中，所述測試鏡頭12設(shè)置于所述測試鏡頭固定梁11下部、所述測試 鏡頭12可沿平行于所述測試鏡頭固定梁11的方向在所述測試鏡頭固定梁11水平移動(dòng)，所 述測試鏡頭固定梁11可在垂直于自身的水平方向上移動(dòng)；所述測試鏡頭12通過光纖13與 所述燈箱16相連,光纖13將燈箱16發(fā)出的測試光傳輸?shù)綔y試鏡頭12,所述燈箱16中的 光柵14用于控制光源15發(fā)出的光線通過量，并與濾光片共同作用提供單色光；所述信息處 理器17與所述燈箱16以及所述測試鏡頭12電連接；如圖2 (a)所示，所述燈箱16中還包 括濾光片110。實(shí)際應(yīng)用過程中，待測試基板19至于所述測試機(jī)臺(tái)18上。目前，所述光源 15通常為鹵素?zé)簦捎谄涫褂脡勖邢蓿以谑褂眠^程中照度會(huì)持續(xù)衰減，進(jìn)而導(dǎo)致到達(dá) 測試鏡頭12的光量變?nèi)醵罱K導(dǎo)致測試準(zhǔn)確性變差。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)通過定期的手動(dòng)校正來實(shí)現(xiàn)消除因光源衰減造成的測量誤差。其做法是 定期在線寬測量機(jī)上通過手動(dòng)模式對各個(gè)薄膜晶體管液晶顯示器的掃描式電子顯微鏡標(biāo) 準(zhǔn)片或標(biāo)準(zhǔn)掩膜版進(jìn)行測量，通過調(diào)節(jié)測量時(shí)使用的光柵光量通過條件，使之與掃描式電 子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)片或標(biāo)準(zhǔn)掩膜版上的線寬相吻合，然后通過信息處理器修改測試程式中光柵 光量通過條件，即光柵位置。這種方法的不足之處在于:
[0004]I)由于每種型號的TFT液晶顯示器均需要單獨(dú)制備特殊的SEM標(biāo)準(zhǔn)片或者標(biāo)準(zhǔn)掩 膜版，因此，程序繁瑣且實(shí)現(xiàn)較困難；
[0005]2)線寬測量機(jī)的光源使用壽命一般在2000小時(shí)左右，由于其衰減并非是等量衰 減，故在2000小時(shí)內(nèi)需多次校準(zhǔn)，不但費(fèi)時(shí)費(fèi)力，測量結(jié)果可控性也較差；
[0006]3)校準(zhǔn)工作為全手動(dòng)方法進(jìn)行,無法避免人為的誤差。
[0007]綜上所述，有待提出一種可控性較高的避免因線寬測量機(jī)中光源隨時(shí)間的衰減而 導(dǎo)致測量結(jié)果準(zhǔn)確性變差的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種線寬測量機(jī)，可避免因線寬測量 機(jī)中光源隨時(shí)間的衰減而導(dǎo)致測量結(jié)果準(zhǔn)確性變差的問題，可控性高。
[0009]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0010]本實(shí)用新型提供了一種線寬測量機(jī)，包括光柵、測試鏡頭；所述線寬測量機(jī)還包 括:照度感應(yīng)裝置、控制單元以及光柵驅(qū)動(dòng)單元；其中，所述控制單元與所述照度感應(yīng)裝置 相連，[0011]所述照度感應(yīng)裝置，用于接收光信號并將不同強(qiáng)度的光信號轉(zhuǎn)換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據(jù)所述電信號控制所述光柵驅(qū)動(dòng)單元。
[0012]其中，所述光柵驅(qū)動(dòng)單元為電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)所述光柵進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0013]其中，所述照度感應(yīng)裝置與所述控制單元電連接。
[0014]上述方案中，所述照度感應(yīng)裝置設(shè)置于所述測試機(jī)臺(tái)上表面任一一角的位置。
[0015]上述方案中，所述照度感應(yīng)裝置的感應(yīng)面與所述測試鏡頭所在平面平行。
[0016]本實(shí)用新型提供的線寬測量機(jī)包括:照度感應(yīng)裝置、控制單元以及光柵驅(qū)動(dòng)單元；其中，所述控制單元與所述照度感應(yīng)裝置相連，所述照度感應(yīng)裝置，用于接收光信號并將不同強(qiáng)度的光信號轉(zhuǎn)換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據(jù)所述電信號控制所述光柵驅(qū)動(dòng)單元。在實(shí)際進(jìn)行線寬測量時(shí)，控制模塊通過照度測試時(shí)記錄的照度值與光柵旋轉(zhuǎn)位置的對應(yīng)關(guān)系找到測試程式中設(shè)定的照度值，并通過所述光柵驅(qū)動(dòng)單元將所述光柵旋轉(zhuǎn)到與所述測試程式中設(shè)定的照度值對應(yīng)的位置處，因此，可實(shí)現(xiàn)測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設(shè)定的照度值不變，進(jìn)而保證線寬測量結(jié)果的穩(wěn)定性，消除由于光源衰減造成的測量準(zhǔn)確性變差的問題。
[0017]此外，由于本實(shí)用新型只需在所述測試機(jī)臺(tái)上設(shè)置一個(gè)照度感應(yīng)裝置，并設(shè)置所述控制單元和光柵驅(qū)動(dòng)單元，由于光源光量的衰減可以通過照度感應(yīng)裝置測試后不斷補(bǔ)正，保證測試鏡頭端的測試光量不變，因此光源的使用壽命得到延長，直至達(dá)到其使用的安全電壓范圍。
[0018]另外，由于本實(shí)用新型的光柵旋轉(zhuǎn)位置的調(diào)整均通過所述控制單元和光柵驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)合自動(dòng)調(diào)節(jié)，相對于現(xiàn)有的手動(dòng)調(diào)節(jié)，大大降低了設(shè)備校準(zhǔn)所用時(shí)間和工作量；本實(shí)用新型在照度測試后即可及時(shí)進(jìn)行光柵位置的調(diào)節(jié)，不需人為參與，因此測量結(jié)果的可控性高。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有線寬測量機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2 Ca)為現(xiàn)有線寬測量機(jī)中燈箱的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2 (b)為所述燈箱中光柵的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2 (C)為所述燈箱中濾光片的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為現(xiàn)有燈箱中光柵開口率與光柵閉合位置的關(guān)系；
[0024]圖4為現(xiàn)有光源的光強(qiáng)隨時(shí)間增加而衰減的曲線圖；
[0025]圖5為現(xiàn)有光源光量衰減前后固定光柵位置與光強(qiáng)對應(yīng)關(guān)系圖；
[0026]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例所述線寬測量機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例所述光柵的不同旋轉(zhuǎn)位置與照度間的對應(yīng)關(guān)系；
[0028]圖8為利用本實(shí)用新型所述線寬測量機(jī)進(jìn)行線寬測量實(shí)施例一的流程示意圖；
[0029]圖9為利用本實(shí)用新型所述線寬測量機(jī)進(jìn)行線寬測量實(shí)施例二的流程示意圖。
[0030]附圖標(biāo)記說明:
[0031]11測試鏡頭固定梁；12、22測試鏡頭；13光纖；14、24光柵；15光源；16、26燈箱；17、27信息處理器；18、28測試機(jī)臺(tái)；19待測試基板；110濾光片；211照度感應(yīng)裝置；212控制單元；213光柵驅(qū)動(dòng)單元。
【具體實(shí)施方式】
[0032]本實(shí)用新型的基本思想是:在所述測試機(jī)臺(tái)上設(shè)置照度感應(yīng)裝置，并在所述信息處理器內(nèi)設(shè)置與所述照度感應(yīng)裝置相連控制模塊，以及設(shè)置與所述光柵相連的光柵驅(qū)動(dòng)單元，所述照度感應(yīng)裝置，用于接收光信號并將不同強(qiáng)度的光信號轉(zhuǎn)換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據(jù)所述電信號控制所述光柵驅(qū)動(dòng)單
J Li ο
[0033]進(jìn)行線寬測量時(shí)，控制模塊通過照度測試時(shí)記錄的照度值與光柵旋轉(zhuǎn)位置的對應(yīng)關(guān)系找到測試程式中設(shè)定的照度值，并通過所述光柵驅(qū)動(dòng)單元將所述光柵旋轉(zhuǎn)到與所述測試程式中設(shè)定的照度值對應(yīng)的位置處，從而實(shí)現(xiàn)測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設(shè)定的照度值不變，進(jìn)而保證線寬測量結(jié)果的穩(wěn)定性，消除由于光源衰減造成的測量準(zhǔn)確性變差的問題。
[0034]下面對圖1所示現(xiàn)有的線寬測量機(jī)的應(yīng)用方法進(jìn)行簡單描述，如下:
[0035]使用過程中，由光源15發(fā)出測試光經(jīng)由光柵14旋轉(zhuǎn)到測試程式中定義的位置來控制所需的光量，再經(jīng)由光纖15傳輸?shù)綔y試鏡頭12，然后再經(jīng)由測試鏡頭12照射到測試機(jī)臺(tái)18上的待測試基板19上。傳輸?shù)綔y試鏡頭12的光量由信息處理器17對燈箱16進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)和控制。
[0036]對待測試基板19進(jìn)行測量時(shí)，信息處理器17讀取自身內(nèi)部存儲(chǔ)的測試程式，之后通過控制燈箱中的光柵14的位置，使得最終發(fā)出的光線達(dá)到測試程式中所需的光量條件后，即可開始測量，直至測量結(jié)束。光柵14通過旋轉(zhuǎn)閉合的不同位置來達(dá)到測試程式中限定的條件，在光源照度穩(wěn)定的條件下光柵閉合與光線通過量的比例如圖3所示，光柵14全閉合狀態(tài)，即:開口率為O時(shí)，光線通過量(光強(qiáng))為O ;光柵14全打開狀態(tài)，即:開口率為100時(shí)，光線通過量為100，開口率在O?100之間對應(yīng)測試程式中定義的具體光柵14的旋轉(zhuǎn)位置。
[0037]普通線寬測量機(jī)測試程式中定義的線寬測量條件為:編輯測試程式時(shí)，光量條件(光強(qiáng))與光柵14打開位置相對應(yīng)，在測試程式編輯完成后進(jìn)行光量測試時(shí)，系統(tǒng)通過讀取測試程式中已經(jīng)設(shè)定的光量條件即其對應(yīng)的光柵位置，并驅(qū)動(dòng)光柵達(dá)到該位置實(shí)現(xiàn)所需的光量條件。但是隨著光源15的衰減會(huì)造成在固定的光柵位置所通過的光的光強(qiáng)隨使用時(shí)間的增加而顯著降低，如圖4所示，進(jìn)而導(dǎo)致測試時(shí)其光量條件與測試程式編輯時(shí)不一致，且使用時(shí)間越長則這種差異就越大，如圖5所示，在光源15的初始條件下，光柵開口率在50數(shù)值時(shí)對應(yīng)的光強(qiáng)是50，而經(jīng)過2000小時(shí)的衰減后光柵開口率在數(shù)值50時(shí)對應(yīng)的光強(qiáng)則是35，已經(jīng)不能達(dá)到50光強(qiáng)所需的條件。
[0038]由上可知，由于燈箱16所發(fā)的光線光強(qiáng)降低，傳輸?shù)綔y試鏡頭12的光量條件降低，則會(huì)使得測量時(shí)判定的線寬邊界遷移而導(dǎo)致測量結(jié)果出現(xiàn)偏差。
[0039]下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0040]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例所述線寬測量機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖6所示,在所述測試機(jī)臺(tái)28上設(shè)置有測量測試鏡頭22所接收的燈箱26所發(fā)出光線的照度值的照度感應(yīng)裝置211，還設(shè)置有與所述照度感應(yīng)裝置211電連接的控制單元212，所述控制單元212可設(shè)置于所述信息處理器27內(nèi)(圖6所示)，還設(shè)置有與所述光柵24相連的光柵驅(qū)動(dòng)單元213。其中，所述照度感應(yīng)裝置211，用于接收光信號并將不同強(qiáng)度的光信號轉(zhuǎn)換為不同的電信號， 并將所述電信號傳送給所述控制單元212 ;所述控制單元212用于根據(jù)所述電信號控制所述光柵驅(qū)動(dòng)單元213。
[0041]其中，所述光柵驅(qū)動(dòng)單元213可為電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)所述光柵24進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0042]其中，所述照度感應(yīng)裝置211設(shè)置于所述測試機(jī)臺(tái)28上表面任一一角的位置，例如圖6中所示的測試機(jī)臺(tái)28的左上角的位置，以便在線寬測量前對測試鏡頭22所接收的燈箱26所發(fā)出光線的照度值進(jìn)行測試。
[0043]優(yōu)選實(shí)施例中所述照度感應(yīng)裝置211的感應(yīng)面與測試鏡頭22的鏡頭所在平面平行。
[0044]下面舉例說明所述控制模塊在照度測試時(shí)記錄各個(gè)照度值與光柵的不同旋轉(zhuǎn)位置的對應(yīng)關(guān)系的方法，如圖7所示，將燈箱26中光柵24的不同旋轉(zhuǎn)位置與照度值一一對應(yīng)。
[0045]將燈箱中光柵不同旋轉(zhuǎn)位置與照度一一對應(yīng)，由于光強(qiáng)與照度之間存在對應(yīng)關(guān)系，且從現(xiàn)有技術(shù)可知，光柵的旋轉(zhuǎn)位置與光強(qiáng)之間存在對應(yīng)關(guān)系，因此可得光柵不同旋轉(zhuǎn)位置與照度的對應(yīng)關(guān)系。如圖7所示，光源的光量衰減前，進(jìn)行照度測試時(shí)，光柵旋轉(zhuǎn)位置 0對應(yīng)的照度值為0，旋轉(zhuǎn)位置10對應(yīng)照度值為a，…，旋轉(zhuǎn)位置50對應(yīng)照度值為e，…， 旋轉(zhuǎn)位置100對應(yīng)的照度值為i ;光源的光量衰減后，經(jīng)過再次照度測試時(shí)，重新將照度值與光柵的旋轉(zhuǎn)位置進(jìn)行一一對應(yīng)，光柵旋轉(zhuǎn)位置0對應(yīng)的照度值為0，旋轉(zhuǎn)位置10對應(yīng)照度值為b，…，旋轉(zhuǎn)位置50對應(yīng)的照度值為d，…，旋轉(zhuǎn)位置100對應(yīng)照度值為h。這樣，即使光源光量衰減后，只要經(jīng)過一次照度測試就可重新對應(yīng)照度與光柵旋轉(zhuǎn)位置的對應(yīng)關(guān)系， 確保進(jìn)行線寬測量時(shí)測試鏡頭22處的照度值保持不變，進(jìn)而保證測試結(jié)果的穩(wěn)定性，消除由于光源衰減造成的測量誤差。
[0046]下面舉例對本實(shí)用新型所述線寬測量機(jī)的應(yīng)用方法進(jìn)行描述。
[0047]圖8為利用本實(shí)用新型所述線寬測量機(jī)進(jìn)行線寬測量實(shí)施例一的流程示意圖，現(xiàn)有技術(shù)中進(jìn)行線寬測量時(shí)，待測試基板19至于所述測試機(jī)臺(tái)18后，信息處理器17讀取 存儲(chǔ)的測試程式后直接控制光柵旋轉(zhuǎn)到測試程式中設(shè)置的光強(qiáng)對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)位置即開始測量， 不論光源光量是否衰減，其光柵旋轉(zhuǎn)位置始終是測試程式中定義的固定位置；而在本實(shí)用新型實(shí)施例一中，如圖8所示，在光柵旋轉(zhuǎn)之前添加了照度測試的過程，照度測試完成后， 光柵旋轉(zhuǎn)到測試程式中定義的與照度值對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)位置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，現(xiàn)有技術(shù)中測試程式定義的是線寬測量時(shí)光柵的旋轉(zhuǎn)位置固定，不會(huì)隨著光源的衰減而變化，而本實(shí)施例中測試程式定義的則是線寬測量時(shí)的照度值，通過旋轉(zhuǎn)光柵找到對應(yīng)的照度值后才開始進(jìn)行線寬測量，雖然光源隨使用時(shí)間增加光量會(huì)衰減，但照度固定則可通過增大光柵的開口而實(shí)現(xiàn)照度不變。
[0048]圖9為利用本實(shí)用新型所述線寬測量機(jī)進(jìn)行線寬測量實(shí)施例二的流程示意圖，與實(shí)施例一不同的是，本實(shí)施例中將照度測試過程由實(shí)施例一中的每次線寬測量前的測試改為定期測試。雖然光源，如鹵素?zé)羲p較快，但在短時(shí)間內(nèi)變化較小，即可將照度測試設(shè)定為每24小時(shí)測試一次、或每12小時(shí)測試一次，則可在提高測試準(zhǔn)確度的同時(shí)降低測試所需時(shí)間。[0049]在實(shí)際進(jìn)行線寬測量時(shí)，控制模塊通過照度測試時(shí)記錄的照度值與光柵旋轉(zhuǎn)位置的對應(yīng)關(guān)系找到測試程式中設(shè)定的照度值，并通過所述光柵驅(qū)動(dòng)單元將所述光柵旋轉(zhuǎn)到與所述測試程式中設(shè)定的照度值對應(yīng)的位置處，因此，可實(shí)現(xiàn)測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設(shè)定的照度值不變，進(jìn)而保證線寬測量結(jié)果的穩(wěn)定性，消除由于光源衰減造成的測量準(zhǔn)確性變差的問題。
[0050]此外，由于本實(shí)用新型只需在所述測試機(jī)臺(tái)上設(shè)置一個(gè)照度感應(yīng)裝置，并設(shè)置所述控制單元和光柵驅(qū)動(dòng)單元，由于光源光量的衰減可以通過照度感應(yīng)裝置測試后不斷補(bǔ)正，保證測試鏡頭端的測試光量不變，因此光源的使用壽命得到延長，直至達(dá)到其使用的安全電壓范圍。
[0051]另外，由于本實(shí)用新型的光柵旋轉(zhuǎn)位置的調(diào)整均通過所述控制單元和光柵驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)合自動(dòng)調(diào)節(jié)，相對于現(xiàn)有的手動(dòng)調(diào)節(jié)，大大降低了設(shè)備校準(zhǔn)所用時(shí)間和工作量；本實(shí)用新型在照度測試后即可及時(shí)進(jìn)行光柵位置的調(diào)節(jié)，不需人為參與，因此測量結(jié)果的可控性高。
[0052]以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種線寬測量機(jī)，包括光柵、測試鏡頭；其特征在于，所述線寬測量機(jī)還包括:照度感應(yīng)裝置、控制單元以及光柵驅(qū)動(dòng)單元；其中，所述控制單元與所述照度感應(yīng)裝置相連， 所述照度感應(yīng)裝置，用于接收光信號并將不同強(qiáng)度的光信號轉(zhuǎn)換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據(jù)所述電信號控制所述光柵驅(qū)動(dòng)單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線寬測量機(jī)，其特征在于，所述光柵驅(qū)動(dòng)單元為電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)所述光柵進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線寬測量機(jī)，其特征在于，所述照度感應(yīng)裝置與所述控制單元電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的線寬測量機(jī)，其特征在于，所述照度感應(yīng)裝置設(shè)置于所述測試機(jī)臺(tái)上表面任一一角的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的線寬測量機(jī)，其特征在于，所述照度感應(yīng)裝置的感應(yīng)面與所述測試鏡頭所在平面平行。
【文檔編號】G02F1/13GK203454970SQ201320229568
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年4月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月27日
【發(fā)明者】龔長勇, 孫林, 汪雄, 魯成祝, 黃炳相 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司