感光性組合物與光刻膠的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種感光性組合物與光刻膠。光刻膠由一感光性組合物經(jīng)配制而形成。感光性組合物包括一粘合劑(binder agent)、一第一光反應(yīng)單體(photomonomer)以及一光引發(fā)劑。粘合劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)具有表示如下的重復(fù)單元(repeating unit)I：其中R1為H或CH3，R2為C2～C4的烷基，n為2～40的整數(shù)，A為H或第一光反應(yīng)單體(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2個(gè)以上的不飽和丙烯酸酯系官能基，以粘合劑的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，第一光反應(yīng)單體約為25～95重量份。光引發(fā)劑以粘合劑的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，光引發(fā)劑約為0.5～15重量份。
【專(zhuān)利說(shuō)明】感光性組合物與光刻膠
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及感光性組合物及光刻膠（photoresist)，特別是有關(guān)于由生質(zhì)材料形 成的感光性組合物及光刻膠。
【背景技術(shù)】
[0002] 電子產(chǎn)業(yè)的光刻（lithogra地y)工藝?yán)缬∷㈦娐钒骞に嚂?huì)使用大量的光刻膠。 一般的光刻膠，比方說(shuō)負(fù)型光刻膠（negative type photoresist),主要全是由石油化學(xué)品 例如丙帰酸醋（壓克力，acrylate)系列原料所形成。當(dāng)光刻膠在光刻程序例如顯影、剝膜 步驟等后，會(huì)成為無(wú)法回收使用的廢棄物。該種廢棄物每年有數(shù)千噸的產(chǎn)生量，且多是W掩 埋或焚化等的方式處理。因此，光刻膠不但非常耗費(fèi)石油材料，并且對(duì)自然環(huán)境有不良的影 響。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003] 本發(fā)明涉及一種感光性組合物。感光性組合物與光刻膠主要是采用具有可生物分 解性的生質(zhì)材料形成，因此可再生使用，且不會(huì)對(duì)自然環(huán)境造成負(fù)荷。
[0004] 根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，提出一種感光性組合物。感光性組合物包括一丙帰酸醋 系粘合劑（ac巧lie binder agent)、一第一光反應(yīng)單體（photomonomer) W及一光引發(fā)劑。 第一光反應(yīng)單體具有至少一乳酸寡聚物及2個(gè)W上的不飽和丙帰酸醋系官能基，W粘合劑 的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，第一光反應(yīng)單體約為25?95重量份。W粘合劑的固含量 為100重量份為基準(zhǔn)，光引發(fā)劑約為0. 5?15重量份
[0005] 根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例，提出一種感光性組合物。感光性組合物包括一粘合劑 化inder agent)、一第一光反應(yīng)單體W及一光引發(fā)劑。粘合劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)具有表示如下的 重復(fù)單元（repeating unit) I :
[0006]
【權(quán)利要求】
1. 一種感光性組合物，包括： 一丙帰酸醋系粘合劑； 一第一光反應(yīng)單體，具有至少一乳酸寡聚物及2個(gè)W上的不飽和丙帰酸醋系官能基， W所述粘合劑的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，所述第一光反應(yīng)單體約為25?95重量份；W 及 一光引發(fā)劑，W所述粘合劑的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，所述光引發(fā)劑約為0. 5?15 重量份。
2. -種感光性組合物，包括： 一粘合劑，所述粘合劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)具有表示如下的重復(fù)單元I :
-C-Rq 其中Ri為H或CH3，R2為C2?C4的焼基，n為2?40的整數(shù)，A為H或 & . 一第一光反應(yīng)單體，具有至少一乳酸寡聚物及2個(gè)W上的不飽和丙帰酸醋系官能基， W所述粘合劑的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，所述第一光反應(yīng)單體約為25?95重量份；W 及 一光引發(fā)劑，W所述粘合劑的固含量為100重量份為基準(zhǔn)，所述光引發(fā)劑約為0. 5?15 重量份。
3. 權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中所述第一光反應(yīng)單體的化學(xué)結(jié)構(gòu)W化學(xué)式表 示女口下：
其中Ri為H或CHs，n為2?40的整數(shù)，m為2?6的整數(shù)，B為多官能基主體。
4. 權(quán)利要求3所述的感光性組合物，其中所述第一光反應(yīng)單體的化學(xué)結(jié)構(gòu)W化學(xué)式表 示如下：
其中n為2?40的整數(shù)。
5. 權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中所述光引發(fā)劑包括2, 2-二甲氧基-2-苯基苯 己麗、2, 4-二己基硫雜意麗、異丙基硫雜意麗、2-甲基-1-[4-(甲基-硫代）苯]-2-嗎晰 基-1-丙麗或二苯甲麗。
6. 權(quán)利要求5所述的感光性組合物，還包括一增感劑，所述增感劑包括苯甲酸-2-二甲 胺己醋、對(duì)二甲胺苯甲酸己醋或4, 4'-雙（二甲氨基）二苯麗，且W所述粘合劑的固含量為 100重量份為基準(zhǔn)，所述增感劑約為0. 1?5重量份。
7. 權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中所述粘合劑由一粘合組合物經(jīng)聚合反應(yīng)而形 成，所述粘合組合物包括一乳酸寡聚物，所述粘合組合物的乳酸寡聚物占所述粘合劑的固 含量約為10?90重量百分比。
8. 權(quán)利要求2所述的感光性組合物，還包括一第二光反應(yīng)單體，其中所述第二光反應(yīng) 單體包括五丙帰酸輕基雙異戊五醋、六丙帰酸雙異戊六醋、六丙帰酸芳氨基甲酸己醋、H丙 帰酸H甲醋丙焼、己氧化H丙帰酸H甲醋丙焼、H甲基丙帰酸H甲醋丙焼、己氧化H甲基丙 帰酸H甲醋丙焼、H丙帰酸輕基異戊H醋、H甲基丙帰酸輕基異戊H醋、四丙帰酸異戊四醋 或四甲基丙帰酸異戊四醋。
9. 權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中所述粘合劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)還具有表示如下的重 復(fù)單元II :
其中Ri為H或細(xì)3。
10. 權(quán)利要求9所述的感光性組合物，其中所述粘合劑的化學(xué)結(jié)構(gòu)還具有表示如下的 重復(fù)單元III ;
其中Ri為H或CHs，R2為。?C4的焼基。
11. 一種光刻膠，其中所述光刻膠由權(quán)利要求1或2所述的感光性組合物配制而形成。
【文檔編號(hào)】G03F7/033GK104423166SQ201310730591
【公開(kāi)日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月23日
【發(fā)明者】林顯光, 陳素梅, 鄭昭德, 劉玉玲, 陳素惠 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院