專利名稱：滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器與隔振系統的制作方法
技術領域：
本發明屬于精密隔振技術領域，主要涉及一種滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器與隔振系統。
背景技術：
隨著超精密加工與測量精度的不斷提高，環境振動成為制約超精密加工裝備與測量儀器精度和性能提高的重要因素。尤其是步進掃描光刻機為代表的超大規模集成電路加工裝備，技術密集度與復雜度極高，關鍵技術指標均達到了現有技術的極限，代表了超精密加工裝備的最高水平，超精密隔振成為此類裝備中的核心關鍵技術；步進掃描光刻機的線寬已達到22nm及以下，硅片定位精度與套刻精度均達到幾納米，而工件臺運動速度達到lm/s以上，工件臺加速度達到重力加速度的幾十倍，這對現有的隔振技術提出了新的挑戰。首先，光刻機需要為計量系統與光刻物鏡提供“超靜”的工作環境，同時又需要驅動工件臺以高速度與高加速度運動，這對隔振系統的隔振性能提出了極其苛刻的要求，其三個方向的固有頻率均需要達到IHz以下；其次，光刻機各部件之間的相對位置，例如光刻物鏡與硅片表面的距離，均具有非常嚴格的要求，且處于位置閉環反饋控制系統的控制之下，要求隔振器上、下安裝板之間的相對位置精度達到10 量級，傳統隔振器的定位精度遠遠不能滿足要求。根據隔振理論，被動式隔振器的固有頻率與剛度成正比、與負載質量成反比，因此在負載質量一定的前提下，降低隔振器的剛度是降低固有頻率、提高低頻與超低頻隔振性能的有效途徑。傳統空氣彈簧等形式的隔振器存在靜態承載能力與剛度的固有矛盾，同時受材料特性、結構剛度等因素制約，要進一步降低其剛度、尤其是水平向剛度十分困難。針對這一問題，研究人員將“擺”式結構引入到空氣彈簧隔振器中，達到降低隔振器水平剛度的目的(1. Nikon Corporation. Vibration Isolator With Low Lateral Stiffness.美國專利公開號US20040065517A1 ；2. U. S. Philips Corporation. Positioning Devicewith a Force Actuator Systemfor Compensating Center-of-gravity Displacements，and Lithographic Device Provided with Such APositioning Device.美國專利號US005844664A)。該方法能夠在一定程度上降低空氣彈簧隔振器的水平剛度，提升其低頻隔振性能。該方法存在的問題在于1)受材料特性與結構剛度制約，隔振器垂向與水平向剛度降低的幅度有限；2)空氣彈簧隔振器的垂向與水平向定位精度均很差，無法滿足光刻工藝的要求；3)要達到較低的水平剛度需要較大的擺長，導致隔振器高度過大，容易發生弦膜共振，穩定性差。通過對現有空氣彈簧隔振器技術方案的分析可見，現有空氣彈簧隔振器難以滿足光刻機對超低剛度與高定位精度的要求。德國IDE公司提出了一種摒棄傳統橡膠空氣彈簧的隔振器技術方案(1.1ntegrated Dynamics Engineering GmbH.1solatorgeometrie EinesSchwingungs iso Iat ions system.歐洲專利號EP1803965A2 ；2.1ntegrated DynamicsEngineeringGmbH. Schwingungsisolationssystem Mit Pneumatischem Tiefpassfilter.歐洲專利號EP1803970A2 ；3.1ntegrated Dynamics Engineering GmbH. Air Bearing withConsideration of High-Frequency Resonances.美國專利公開號US20080193061A1)。該方案采用垂向與水平向氣浮面對各方向的振動進行解耦與隔振，可以達到極低的剛度與固有頻率。該方案存在的問題在于1)已公開技術方案中，隔振器無法實現精確定位；2)專利EP1803965A2中，上、下安裝板之間不存在繞水平軸旋轉的角運動自由度，該方向的角剛度與固有頻率都很高；專利EP1803970A2與US20080193061A1采用橡膠塊為上、下安裝板提供繞水平軸旋轉的角運動自由度，但由于橡膠塊角剛度很大，無法有效地進行角運動自由度解耦，角運動自由度解耦機構部件之間存在摩擦力而引入附加剛度，制約隔振性能。荷蘭ASML公司也提出了類似的隔振器技術方案(1. U. S. Philips Corp,ASM LithographyB. V. Pneumatic Support Device with A Controlled Gas Supply,and Lithographic Device Providedwith Such A Support Device.美國專利號US006144442A ;2.Koninklijke Philips ElectronicsN. V. , ASM LithographyB.V.Lithographic Pneumatic Support Device with Controlled Gas Supply.國際專利公開號W099/22272 ;3. ASML Netherlands B. V. Support Device,LithographicApparatus, and Device Manufacturing Method Employing A SupportingDevice, and A PositionControl System Arranged for Use in A Supporting Device.美國專利號USOO7O8^i956B2 ;4. ASML Netherlands B. V. Support Device, LithographicApparatus, and Device ManufacturingMethod Employing A Supporting Device and APosition Control System Arranged for Use in ASupporting Device.歐洲專利號EP1486825A1)。專利US006144442A與W099/22272中對氣源壓力進行閉環反饋控制，達到提高隔振器的穩定性與性能的目的；專利US007084956B2與EP1486825A1中在上安裝板上設有振動傳感器，同時引入參考振動系統，通過控制算法提升隔振器的隔振性能。但所提出技術方案仍然沒有解決隔振器的精確定位與上、下安裝板的角運動自由度解耦問題。
發明內容
本發明的目的是針對超精密測量儀器與加工裝備、尤其是步進掃描光刻機等超大規模集成電路加工裝 備對隔振器低固有頻率、高定位精度的迫切要求，提供一種滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器與隔振系統，隔振器具有三維近似零剛度與極低固有頻率的特性，上、下安裝板之間能夠進行精確定位與角度解耦，從而有效解決超精密測量儀器與加工裝備、尤其是步進掃描光刻機中的精密隔振問題。本發明的目的是這樣實現的一種滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，由上安裝板、下安裝板、潔凈壓縮氣源、氣管和隔振器主體組成，隔振器主體安裝在上安裝板和下安裝板)之間，潔凈壓縮氣源通過氣管與隔振器主體連接，所述隔振器主體的結構是套筒的下表面與下安裝板通過磁浮推力軸承潤滑與支撐，活塞筒倒扣安裝在套筒內，并與套筒通過徑向承載圓柱氣浮面潤滑與支撐，滑動關節軸承安裝在活塞筒和上安裝板之間，Z向音圈電機、Z向位移傳感器與Z向限位開關安裝在活塞筒與套筒之間，X向音圈電機、X向位移傳感器、X向限位開關與Y向音圈電機、Y向位移傳感器、Y向限位開關安裝在套筒與下安裝板之間，Z向音圈電機的驅動力方向為豎直方向，X向音圈電機與Y向音圈電機的驅動力方向在水平面內且相互垂直，X、Y、Z向位移傳感器和X、Y、Z向限位開關的作用線方向與X、Y、Z向音圈電機的驅動力方向一致；x、Y、Z向位移傳感器和X、Y、Z向限位開關分別與控制器的信號輸入端連接，控制器的信號輸出端與驅動器的信號輸入端連接，驅動器的信號輸出端分別與X、Y、Z向音圈電機連接。所述活塞筒內設有氣體壓力傳感器，活塞筒上設有進氣口和電磁閥，氣體壓力傳感器與控制器的信號輸入端連接，驅動器的信號輸出端與電磁閥連接。所述磁浮推力軸承的配置方式是在套筒底面側壁設有永磁體，在下安裝板上表面側壁相對配裝電磁線圈，磁浮間隙厚度為0. Olmm 1_。所述X、Y、Z向音圈電機為圓筒型音圈電機或平板型音圈電機。所述X、Y、Z向位移傳感器為光柵尺、磁柵尺、容柵尺或直線式電位器。所述X、Y、Z向限位開關為機械式限位開關、霍爾式限位開關或光電式限位開關。所述活塞筒內氣體壓力為0.1MPa 0. 8MPa。一種由滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器構成的隔振系統，所述隔振系統包括至少三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，各滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器成多邊形布置。所述隔振系統包括三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器成三角形布置。本發明的技術創新性及產生的良好效果在于(I)本發明摒棄了傳統基于彈性元件/機構的隔振器技術方案，采用磁浮推力軸承、徑向承載圓柱氣浮面分別對水平方向與垂向振動進行解耦與隔振，磁浮推力軸承與氣浮面無摩擦、無磨損，剛度近似為零，可使隔振器獲得近似的零剛度特性和突出的超低頻隔振性能，解決了現有技術受結構剛度、材料特性限制，剛度難以進一步降低，剛度與穩定性不能兼顧的問題。這是本發明區別于現有技術的創新點之一。(2)本發明采用位移傳感器尺、限位開關、控制器、驅動器與音圈電機等構成豎直方向與水平方向的位置閉環反饋控制系統，對上、下安裝板之間的相對位置進行精確控制，定位精度可達到10 Pm及以上，可有效解決現有技術方案定位精度低、定位精度與剛度及隔振性能不能兼顧的問題。這是本發明區別于現有技術的創新點之二。(3)本發明采用滑動關節軸承對上、下安裝板之間的角運動進行解耦，滑動關節軸承在引入摩擦、磨損及附加角剛度較小，同時具有很高的承載能力，可有效解決現有采用彈性體進行角度解耦的方法引入較大附加角剛度、制約固有頻率與低頻隔振性能等問題。這是本發明區別于現有技術的創新點之三。(4)本發明采用氣體壓力傳感器、電磁閥與控制器、驅動器等構成壓力閉環反饋控制系統，精確控制套筒內的氣體壓力使之保持恒定，對隔振器的軸向載荷進行重力平衡與補償，在徑向承載圓柱氣浮面的作用下，承載負載重力的活塞筒可沿套筒以近似零剛度自由上下滑動，從而實現理想的重力平衡與零剛度隔振效果。這是本發明區別于現有技術的創新點之四。(5)本發明采用主動執行器對上、下安裝板之間的相對位置和活塞筒內的氣體壓力進行主動控制，隔振器參數可根據被隔振對象特點與工作環境變化進行實時調節，從而適應不同的工況，具有較好的靈活性、適應性與穩定性。這是本發明區別于現有技術的創新點Z.五。
圖1為滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的結構示意圖；圖2為滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的三維剖面結構示意圖；圖3為滑動關節軸承的結構示意圖；圖4為滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的控制結構框圖；圖5為活塞筒上圓柱氣浮面節流孔的示意圖；圖6為包括三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的隔振系統示意圖；圖7為包括四個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的隔振系統示意圖。圖中件號說明1上安裝板、2下安裝板、3潔凈壓縮氣源、4隔振器主體、5活塞筒、6套筒、7滑動關節軸承、7a軸承體、7b軸承座、8X向音圈電機、9Y向音圈電機、9a Y向電機鐵軛、9b Y向電機磁鋼、9c Y向電機線圈骨架、9d Y向電機線圈、9e Y向電機過渡件、IOZ向音圈電機、IOa Z向電機鐵軛、IOb Z向電機磁鋼、IOc Z向電機線圈骨架、IOd Z向電機線圈、IOe Z向電機過渡件、IIX向位移傳感器、12Y向位移傳感器、12aY向光柵讀數頭過渡件、12b Y向光柵讀數頭、12c Y向玻璃光柵尺、13Z向位移傳感器、13a Z向光柵讀數頭過渡件、13b Z向光柵讀數頭、13c Z向玻璃光柵尺、14X向限位開關、15Y向限位開關、15a Y向限位塊、15b Y向霍爾開關、15c Y向限位開關過渡件、15d Y向限位塊過渡件、16Z向限位開關、16a Z向限位塊、16b Z向霍爾開關、16c Z向限位開關過渡件、17氣體壓力傳感器、18電磁閥、19控制器、20驅動器、21磁浮間隙、22徑向承載圓柱氣浮面、23進氣口、24磁浮推力軸承、24a永磁體、24b電磁線圈、25圓柱氣浮面節流孔、26氣管、27負載、28滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器。
具體實施例方式下面結合附圖給出本發明的具體實施例。一種滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，由上安裝板1、下安裝板2、潔凈壓縮氣源3、氣管26和隔振器主體4組成，隔振器主體4安裝在上安裝板I和下安裝板2之間，潔凈壓縮氣源3通過氣管26與隔振器主體4連接，所述隔振器主體4的結構是套筒6的下表面與下安裝板2通過磁浮推力軸承24潤滑與支撐，活塞筒5倒扣安裝在套筒6內，并與套筒6通過徑向承載圓柱氣浮面22潤滑與支撐，滑動關節軸承7安裝在活塞筒5和上安裝板I之間，Z向音圈電機10、Z向位移傳感器13與Z向限位開關16安裝在活塞筒5與套筒6之間，X向音圈電機8、X向位移傳感器11、X向限位開關14與Y向音圈電機9、Y向位移傳感器12、Y向限位開關15安裝在套筒6與下安裝板2之間，Z向音圈電機10的驅動力方向為豎直方向，X向音圈電機8與Y向音圈電機9的驅動力方向在水平面內且相互垂直，X、Y、Z向位移傳感器11、12、13和X、Y、Z向限位開關14、15、16的作用線方向與X、Y、Z向音圈電機8、9、10的驅動力方向一致；X、Y、Z向位移傳感器11、12、13和X、Y、Z向限位開關14、15、16分別與控制器19的信號輸入端連接,控制器19的信號輸出端與驅動器20的信號輸入端連接，驅動器20的信號輸出端分別與X、Y、Z向音圈電機8、9、10連接。X、Y、Z向位移傳感器11、12、13對X、Y、Z向音圈電機8、9、10輸出的位移進行測量，X、Y、Z向限位開關14、15、16對X、Y、Z向音圈電機8、9、10運動的行程進行限制；控制器19根據X、Y、Z向位移傳感器11、12、13和X、Y、Z向限位開關14、15、16的反饋信號，控制X、Y、Z向音圈電機8、9、10對上、下安裝板1、2之間的相對位置進行精確控制。所述活塞筒5內設有氣體壓力傳感器17，活塞筒5上設有進氣口 23和電磁閥18，氣體壓力傳感器17與控制器19的信號輸入端連接，驅動器20的信號輸出端與電磁閥18連接。所述磁浮推力軸承24的配置方式是在套筒6底面側壁設有永磁體24a，在下安裝板上表面側壁相對配裝電磁線圈24b,磁浮間隙21厚度為0. Olmm 1mm。所述X、Y、Z向音圈電機8、9、10為圓筒型音圈電機或平板型音圈電機。所述X、Y、Z向位移傳感器11、12、13為光柵尺、磁柵尺、容柵尺或直線式電位器。所述X、Y、Z向限位開關14、15、16為機械式限位開關、霍爾式限位開關或光電式限位開關。所述活塞筒5內氣體壓力為0.1MPa 0. 8MPa0一種由滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28構成的隔振系統，所述隔振系統包括至少三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28，各滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28成多邊形布置。所述隔振系統包括三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28，三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28成三角形布置。下面結合圖1 圖2、圖4給出本發明的一個實施例。本實施例中，零剛度隔振器工作時，下安裝板2安裝在地基、儀器的基座或基礎框架上，上安裝板I與被隔振的負載連接。X、Y、Z向音圈電機8、9、10均采用圓筒型音圈電機。以Y向音圈電機9為例，其主要包括Y向電機鐵軛9a、Y向電機磁鋼9b、Y向電機線圈骨架9c、Y向電機線圈9d和Y向電機過渡件9e等部件。Y向電機鐵軛9a和Y向電機線圈骨架9c為圓筒形，Y向電機磁鋼9b為圓柱形，Y向電機線圈9d繞于Y向電機線圈骨架9c上,Y向電機過渡件9e提供Y向電機線圈骨架9c的安裝結構。Y向電機鐵軛9a和Y向電機磁鋼9b構成電機定子，Y向電機線圈骨架9c、Y向電機線圈9d構成電機的動子。電機工作時線圈中通以電流，根據電磁理論，通電線圈在磁場中會受到洛倫茲力作用，通過控制電流的大小和方向可以控制電機輸出驅動力的大小和方向。X、Y、Z向位移傳感器11、12、13采用光柵尺。以Z向位移傳感器13為例，其主要包括Z向光柵讀數頭過渡件13a、Z向光柵讀數頭13b和Z向玻璃光柵尺13c等部件，Z向光柵讀數頭過渡件13a提供Z向光柵讀數頭13b的安裝結構。光柵尺工作時，Z向光柵讀數頭13b能夠將其與Z向玻璃光柵尺13c的相對位移檢測出來，并通過信號導線送給控制器19。X、Y、Z向限位開關14、15、16采用霍爾式限位開關。以Z向限位開關16為例，其主要包括Z向限位塊16a、Z向霍爾開關16b和Z向限位開關過渡件16c等部件。兩個Z向霍爾開關16b背靠背安裝,兩個Z向限位塊16a為金屬材料,與Z向霍爾開關16b的敏感端相對安裝。Z向限位開關過渡件16c提供Z向霍爾開關16b的安裝結構。限位開關工作時，當Z向霍爾開關16b接近Z向限位塊16a時，Z向霍爾開關16b給出限位信號，并通過信號導線送給控制器19。
本實施例中，Z向音圈電機10、Z向位移傳感器13和Z向限位開關16均安裝在活塞筒5和套筒6之間，且安裝在活塞筒5內部。隔振器對負載的承載采用如下方式實現潔凈壓縮氣源3通過氣管26、經電磁閥18、進氣口 23向活塞筒5內輸送潔凈壓縮空氣。控制器19根據氣體壓力傳感器17的反饋信號，控制電磁閥18的開度，調節輸入到活塞筒5內的氣體流量，從而調節活塞筒5內潔凈壓縮空氣的壓力，使潔凈壓縮空氣對活塞筒5向上的作用力與負載、活塞筒5及加載與活塞筒5上的其它零部件的重力相平衡，實現理想的重力補償與零剛度隔振效果。本實施例中，活塞筒5內潔凈壓縮空氣的壓力為0.4Mpa，活塞筒5下表面的有效半徑為100_，則單個隔振器承載的質量為m = pX Jir2/g ^ 1282kg，其中p為氣體壓力，P = O. 4Mpa, r為活塞筒5下表面的有效半徑，r = 100mm, g為重力加速度，g = 9. 8m/m2。圖2給出滑動關節軸承的一種實施方式。滑動關節軸承7主要由軸承體7a和軸承座7b組成，軸承座7b上的凹球面和軸承體7a上的凸球面構成滑動運動副，采用液體或固體潤滑劑進行潤滑，對上、下安裝板1、2之間的角運動自由度進行解耦。圖3給出滑動關節軸承的另一種實施方式。滑動關節軸承7主要由軸承體7a和軸承座7b組成，軸承座7b上具有凸球面,和軸承體7a上的凹球面構成滑動運動副，采用液體或固體潤滑劑進行潤滑，對上、下安裝板1、2之間的角運動自由度進行解耦。圖5給出活塞筒上圓柱氣浮面節流孔的一個實施例。本實施例中，活塞筒5側壁上沿圓周方向均布兩排圓柱氣浮面節流孔25，每排圓柱氣浮面節流孔25的數量為8個，直徑為 4>0. 2_。圖6給出包括三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的隔振系統的一個實施例。本實施例中，負載27為不規則形狀金屬臺體，重量為4噸，采用三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28對其進行隔振。三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28分別支撐負載2 7的一個角，成三角形布置，調節活塞筒5內潔凈壓縮空氣的壓力，使潔凈壓縮空氣對活塞筒5向上的作用力與負載27、活塞筒5及加載于活塞筒5上零部件的總重力相平衡，令活塞筒5可沿套筒6上下自由滑動。圖7給出包括四個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器的隔振系統的一個實施例。本實施例中，負載27為長方體形狀金屬臺體，重量為8噸，采用四個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28對其進行隔振。四個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器28分別支撐負載27的一個角，成長方形布置，調節活塞筒5內潔凈壓縮空氣的壓力，使潔凈壓縮空氣對活塞筒5向上的作用力與負載27、活塞筒5及加載于活塞筒5上零部件的總重力相平衡，令活塞筒5可沿套筒6上下自由滑動。
權利要求
1.一種滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，由上安裝板(I)、下安裝板(2)、潔凈壓縮氣源(3)、氣管(26)和隔振器主體⑷組成，隔振器主體⑷安裝在上安裝板(I)和下安裝板(2)之間，潔凈壓縮氣源(3)通過氣管(26)與隔振器主體(4)連接，其特征在于所述隔振器主體(4)的結構是套筒(6)的下表面與下安裝板(2)通過磁浮推力軸承(24)潤滑與支撐，活塞筒(5)倒扣安裝在套筒(6)內，并與套筒(6)通過徑向承載圓柱氣浮面(22)潤滑與支撐，滑動關節軸承(7)安裝在活塞筒(5)和上安裝板(I)之間，Z向音圈電機(10)、Z向位移傳感器(13)與Z向限位開關(16)安裝在活塞筒(5)與套筒(6)之間，X向音圈電機(8)、X向位移傳感器(11)、X向限位開關(14)與Y向音圈電機(9)、Y向位移傳感器(12)、Y向限位開關(15)安裝在套筒(6)與下安裝板⑵之間，Z向音圈電機(10)的驅動力方向為豎直方向，X向音圈電機⑶與Y向音圈電機(9)的驅動力方向在水平面內且相互垂直，X、Y、Z向位移傳感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位開關(14、15、16)的作用線方向與X、Y、Z向音圈電機(8、9、10)的驅動力方向一致；X、Y、Z向位移傳感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位開關(14、15、16)分別與控制器(19)的信號輸入端連接，控制器(19)的信號輸出端與驅動器(20)的信號輸入端連接,驅動器(20)的信號輸出端分別與X、Y、Z向音圈電機(8、9、10)連接。
2.根據權利要求1所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，其特征在于所述活塞筒(5)內設有氣體壓力傳感器(17)，活塞筒(5)上設有進氣口(23)和電磁閥(18)，氣體壓力傳感器(17)與控制器(19)的信號輸入端連接，驅動器(20)的信號輸出端與電磁閥(18)連接。
3.根據權利要求1所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，其特征在于所述磁浮推力軸承(24)的配置方式是在套筒(6)底面側壁設有永磁體(24a)，在下安裝板上表面側壁相對配裝電磁線圈(24b),磁浮間隙(21)厚度為0.01mm 1mm。
4.根據權利要求1所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，其特征在于所述X、Y、Z向音圈電機(8、9、10)為圓筒型音圈電機或平板型音圈電機。
5.根據權利要求1所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，其特征在于所述X、Y、Z向位移傳感器(11、12、13)為光柵尺、磁柵尺、容柵尺或直線式電位器。
6.根據權利要求1所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，其特征在于所述X、Y、Z向限位開關(14、15、16)為機械式限位開關、霍爾式限位開關或光電式限位開關。
7.根據權利要求1所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器，其特征在于所述活塞筒(5)內氣體壓力為0.1MPa 0. 8MPa。
8.一種由權利要求1至8中任一所述的滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器構成的隔振系統，其特征在于所述隔振系統包括至少三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器(28)，各滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器(28)成多邊形布置。
9.根據權利要求9所述的隔振系統，其特征在于所述隔振系統包括三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器(28)，三個滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器(28)成三角形布置。
全文摘要
滑動關節軸承角度解耦的磁浮零剛度隔振器與隔振系統屬于精密隔振技術領域，隔振器主體的套筒與下安裝板通過磁浮推力軸承進行承載、活塞筒與套筒之間分別通過氣浮面進行潤滑與支撐，上安裝板與下安裝板之間的角運動自由度通過滑動關節軸承進行解耦，音圈電機、位移傳感器、限位開關和控制器、驅動器構成位置閉環反饋控制系統，對上、下安裝板的相對位置進行精確控制；本發明具有垂向和水平方向零剛度、高定位精度及角度解耦特性，可獲得極低的固有頻率和突出的低頻/超低頻隔振性能，從而有效解決超精密測量儀器與加工裝備、尤其是步進掃描光刻機中的高性能隔振問題。
文檔編號G03F7/20GK103062299SQ20121057475
公開日2013年4月24日 申請日期2012年12月19日 優先權日2012年12月19日
發明者譚久彬, 崔俊寧, 王雷 申請人:哈爾濱工業大學