專利名稱：剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及消泡裝置，特別涉及一種剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，主要針對(duì) KOH和NaOH的溶液作為剝膜液和顯影液生產(chǎn)時(shí)產(chǎn)生的泡沫，或者其他生產(chǎn)過程中一些藥液產(chǎn)生的泡沫，在生產(chǎn)線上進(jìn)行一系列改造，使泡沫通過物理的方法自動(dòng)破裂，以達(dá)到消除泡沫的目的，此裝置可以沿用到很多需要消泡的領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在IXD，TFT和TP加工行業(yè)中，常用到KOH或NaOH溶液作為剝膜液和顯像液，這種無機(jī)堿性藥液在生產(chǎn)線的生產(chǎn)過程中容易產(chǎn)生泡沫，當(dāng)濃度達(dá)到3%-5% (g/L)，溫度為 450C -50°C時(shí)，藥液的反應(yīng)和沖刷造成的泡沫非常多，而且不容易消除，給生產(chǎn)造成了非常大的不便。
常用的消泡方法有使用消泡劑，加大抽氣和將泡沫溢出排走，但是消泡劑容易污染生產(chǎn)中的產(chǎn)品,故不能添加；將抽氣排風(fēng)加大,可以將一部分泡沫抽走,形成負(fù)壓,加速了泡沫的破滅，但是由于生產(chǎn)中要維持在一定的溫度(如50°C)，抽氣加大，同樣也會(huì)將熱量抽走，造成藥液溫度下降，不符合生產(chǎn)工藝的要求，因此使用的抽氣量有限，泡沫又非常多，達(dá)不到所需要的除泡效果；第三種方法是讓泡沫流進(jìn)藥液槽，藥液槽中增加一擋板，泡沫高過擋板上邊緣而溢出，由于泡沫太多，藥液流量比較大，所以流進(jìn)藥液槽的泡沫很有限，很多泡沫還停留在生產(chǎn)線的箱體內(nèi)，因此效果也不明顯，所以急需一種更有效的消泡方案。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種網(wǎng)狀加熱管和網(wǎng)狀消泡棉及冷藥液噴淋裝置，力求保證生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的泡沫絕大部分都被消滅，與生產(chǎn)工藝進(jìn)行配合，且不污染藥液，從而保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
本發(fā)明是通過這樣的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，包括生產(chǎn)線中的基片傳動(dòng)箱和藥液槽，其特征在于，基片傳動(dòng)箱上方安裝有抽風(fēng)管和若干藥液噴淋，藥液噴淋的下方為傳送滾輪，傳送滾輪下方設(shè)有網(wǎng)狀加熱管，網(wǎng)狀加熱管下面為網(wǎng)狀消泡棉，基片傳動(dòng)箱底部設(shè)有藥液排放口，基片傳動(dòng)箱的兩個(gè)側(cè)面有連接前后工序的用于玻璃基片傳送的通道開口，藥液槽上的藥液回流口置于藥液液位之下，藥液槽藥液的上方裝有添加新的冷藥液的噴淋；基片傳動(dòng)箱底部的藥液排放口通過管道連通藥液槽，藥液槽的出液口通過管道與噴淋泵連接，噴淋泵通過供液管道連接生產(chǎn)線機(jī)體的藥液噴淋，形成一個(gè)完整的供液系統(tǒng)；使用剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置對(duì)生產(chǎn)過程中剝膜顯影液KOH/NaOH產(chǎn)生的泡沫進(jìn)行消泡的方法，包括如下步驟a)選用KOH或NaOH為剝膜顯影液，剝膜顯影液通過藥液噴淋沖刷運(yùn)行在滾輪上的玻璃基片;b)玻璃基片上有光刻膠，剝膜顯影液與光刻膠發(fā)生反應(yīng)并從玻璃基片上沖刷流下，產(chǎn)生很多泡沫，參加反應(yīng)后的剝膜顯影液和泡沫流下，落在網(wǎng)狀加熱管上，氣泡瞬間接觸加熱溫度為80 180度的網(wǎng)狀加熱管時(shí)破裂；c)參加反應(yīng)后的剝膜顯影液和剩余的泡沫通過網(wǎng)狀加熱管下方的網(wǎng)狀消泡棉時(shí)，利用網(wǎng)狀消泡棉內(nèi)部彎曲結(jié)構(gòu)，增加藥液和氣泡流下的流動(dòng)路徑、增加氣泡和網(wǎng)狀消泡棉的摩擦，使一部分泡沫破裂，另一部分泡沫被滯留在網(wǎng)狀消泡棉的網(wǎng)內(nèi)，經(jīng)過上面不斷流下的經(jīng)網(wǎng)狀加熱管高溫加熱的剝膜顯影液的沖刷，再使部分泡沫隨之而破裂；d)通過抽風(fēng)管抽走基片傳動(dòng)箱內(nèi)的空氣和水氣,將部分氣泡抽走,造成箱體內(nèi)負(fù)壓,對(duì)泡沫的破裂產(chǎn)生加速作用；e)剝膜顯影液通過管道流回藥液槽，管道中填充了網(wǎng)狀消泡棉，繼續(xù)增加促使泡沫破裂的流動(dòng)路徑，藥液回流管出口置于剝膜顯影液液面以下，減少因下流速度太快而產(chǎn)生新的氣泡；f)在藥液槽的上面，裝有添加新剝膜顯影液的新藥液噴淋，噴出剝膜顯影液的形狀為傘形，以增加藥液噴灑的面積，新的剝膜顯影液的溫度為O 20度，剩余的泡沫會(huì)漂浮在藥液槽上表層，熱的泡沫接觸噴灑出來的冷藥液后因冷熱溫差而破裂，完成了整個(gè)體系中最后的除泡過程。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)通過在剝膜顯影生產(chǎn)基片傳動(dòng)箱和藥液槽上進(jìn)行一系列的物理改造以達(dá)到物理消泡的效果，消泡裝置可以保證生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的泡沫絕大部分都破滅，對(duì)生產(chǎn)工藝進(jìn)行配合，且不污染藥液，從而保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
圖I為剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置應(yīng)用示意圖；圖2為剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置中基片傳動(dòng)箱示意圖。
圖中I.基片傳動(dòng)箱，2.玻璃基片，3.藥液噴淋，4.抽風(fēng)管，5.傳送滾輪，6.通道開口，7.藥液排放口，8.網(wǎng)狀加熱管，9.網(wǎng)狀消泡棉，10.藥液氣泡，11.網(wǎng)狀消泡棉， 12.新藥液噴淋，13.藥液槽，14.供藥管道，15.噴淋泵，16.氣泡。
具體實(shí)施方式
為了更清楚的理解本發(fā)明，結(jié)合附圖和實(shí)施例詳細(xì)描述本發(fā)明如圖1-2所示，剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，包括基片傳動(dòng)箱1，基片傳動(dòng)箱I為正常生產(chǎn)過程中的一段剝膜顯影設(shè)備箱體，基片傳動(dòng)箱I上方安裝有若干藥液噴淋3和抽風(fēng)管4，藥液噴淋3的下方為一組傳送滾輪5，傳送滾輪5下方設(shè)有網(wǎng)狀加熱管8，網(wǎng)狀加熱管8下面為網(wǎng)狀消泡棉9，基片傳動(dòng)箱I底部設(shè)有藥液排放口 7，基片傳動(dòng)箱I的兩個(gè)側(cè)面設(shè)有用于玻璃基片2傳送的通道開口 6;基片傳動(dòng)箱I底部的藥液排放口 7通過管道連通藥液槽13的回流口，藥液槽13的出液口通過管道與噴淋泵15進(jìn)液口連接，噴淋泵15的出液口與供藥管道14連接，從而將藥液從藥液槽輸送進(jìn)入基片傳動(dòng)箱I上方的藥液噴淋，完成生產(chǎn)和消泡的全過程。
使用剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置對(duì)生產(chǎn)過程中剝膜顯影液KOH/NaOH產(chǎn)生的泡沫進(jìn)行消泡的方法，包括如下步驟a)采用的剝膜顯影液為KOH或NaOH，剝膜顯影液通過藥液噴淋3沖刷運(yùn)行在滾輪上的玻璃基片2 ；b)玻璃基片2上有光刻膠，剝膜顯影液與光刻膠發(fā)生反應(yīng)并從玻璃基片2上沖刷流下，產(chǎn)生很多泡沫，剝膜顯影液和泡沫流下，落在網(wǎng)狀加熱管8上，氣泡瞬間接觸加熱溫度為80 180度的網(wǎng)狀加熱管時(shí)破裂；c)剝膜顯影液和剩余的泡沫繼續(xù)通過網(wǎng)狀加熱管8下方的網(wǎng)狀消泡棉9，網(wǎng)狀消泡棉 9內(nèi)部彎曲的結(jié)構(gòu)，增加了剝膜顯影液和氣泡流下的流動(dòng)路徑，增加氣泡和網(wǎng)狀消泡棉9的摩擦，使一部分泡沫破裂；另一部分泡沫被停留在網(wǎng)狀消泡棉9的網(wǎng)內(nèi)，經(jīng)過上面不斷流下的高溫液體的沖刷，部分泡沫隨之而破裂；d)通過抽風(fēng)管4抽走基片傳動(dòng)箱I箱體內(nèi)的空氣和水氣，將部分氣泡抽走，造成箱體內(nèi)負(fù)壓，對(duì)泡沫的破裂產(chǎn)生加速作用；e)藥液通過管道流回藥液槽13，管道中填充了網(wǎng)狀消泡棉9，網(wǎng)狀消泡棉9繼續(xù)增加促使泡沫破裂的流動(dòng)路徑，藥液回流管出口置于剝膜顯影液液面以下，減少因下流速度太快而產(chǎn)生新的氣泡；f)在藥液槽13的上面，裝有添加新剝膜顯影液的新藥液噴淋12，噴出藥液的形狀為傘形，以增加藥液噴灑的面積，新藥液的溫度為O 20度，，剩余的泡沫會(huì)漂浮在藥液槽上表層，熱的泡沫接觸噴灑出來的冷藥液后因冷熱溫差而破裂，完成了整個(gè)體系中最后的除泡過程。
根據(jù)上述說明，結(jié)合公知技術(shù)即可再現(xiàn)本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，包括生產(chǎn)線中的基片傳動(dòng)箱和藥液槽，其特征在于，基片傳動(dòng)箱上方安裝有抽風(fēng)管和若干藥液噴淋，藥液噴淋的下方為傳送滾輪，傳送滾輪下方設(shè)有網(wǎng)狀加熱管，網(wǎng)狀加熱管下面為網(wǎng)狀消泡棉，基片傳動(dòng)箱底部設(shè)有藥液排放口，基片傳動(dòng)箱的兩個(gè)側(cè)面有連接前后工序的用于玻璃基片傳送的通道開口，藥液槽上的藥液回流口置于藥液液位之下，藥液槽藥液的上方裝有添加新的冷藥液的噴淋；基片傳動(dòng)箱底部的藥液排放口通過管道連通藥液槽，藥液槽的出液口通過管道與噴淋泵連接，噴淋泵通過供液管道連接生產(chǎn)線機(jī)體的藥液噴淋，形成一個(gè)完整的供液系使用剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置對(duì)生產(chǎn)過程中剝膜顯影液KOH/NaOH產(chǎn)生的泡沫進(jìn)行消泡的方法，包括如下步驟a )選用KOH或NaOH為剝膜顯影液，剝膜顯影液通過藥液噴淋沖刷運(yùn)行在滾輪上的玻璃基片；b )玻璃基片上有光刻膠，剝膜顯影液與光刻膠發(fā)生反應(yīng)并從玻璃基片上沖刷流下， 產(chǎn)生很多泡沫，參加反應(yīng)后的剝膜顯影液和泡沫流下，落在網(wǎng)狀加熱管上，氣泡瞬間接觸加熱溫度為80 180度的網(wǎng)狀加熱管時(shí)破裂；c )參加反應(yīng)后的剝膜顯影液和剩余的泡沫通過網(wǎng)狀加熱管下方的網(wǎng)狀消泡棉時(shí)，利用網(wǎng)狀消泡棉內(nèi)部彎曲結(jié)構(gòu)，增加藥液和氣泡流下的流動(dòng)路徑、增加氣泡和網(wǎng)狀消泡棉的摩擦，使一部分泡沫破裂，另一部分泡沫被滯留在網(wǎng)狀消泡棉的網(wǎng)內(nèi)，經(jīng)過上面不斷流下的經(jīng)網(wǎng)狀加熱管高溫加熱的剝膜顯影液的沖刷，再使部分泡沫隨之而破裂；d )通過抽風(fēng)管抽走基片傳動(dòng)箱內(nèi)的空氣和水氣,將部分氣泡抽走,造成箱體內(nèi)負(fù)壓, 對(duì)泡沫的破裂產(chǎn)生加速作用；e)剝膜顯影液通過管道流回藥液槽，管道中填充了網(wǎng)狀消泡棉，繼續(xù)增加促使泡沫破裂的流動(dòng)路徑，藥液回流管出口置于剝膜顯影液液面以下，減少因下流速度太快而產(chǎn)生新的氣泡；f)在藥液槽的上面，裝有添加新剝膜顯影液的新藥液噴淋，噴出剝膜顯影液的形狀為傘形，以增加藥液噴灑的面積，新的剝膜顯影液的溫度為O 20度，剩余的泡沫會(huì)漂浮在藥液槽上表層，熱的泡沫接觸噴灑出來的冷藥液后因冷熱溫差而破裂，完成了整個(gè)體系中最后的除泡過程。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種剝膜顯影液KOH/NaOH的消泡裝置，基片傳動(dòng)箱上方安裝有抽風(fēng)管和若干藥液噴淋，下方為傳送滾輪，傳送滾輪下方設(shè)有網(wǎng)狀加熱管，加熱管下面為網(wǎng)狀消泡棉，箱體底部設(shè)有藥液排放口，基片傳動(dòng)箱的兩個(gè)側(cè)面有連接前后工序的用于玻璃基片傳送的通道開口，藥液槽上的藥液回流口置于藥液液位之下，藥液槽藥液的上方裝有新藥液噴淋，藥液排放口通過管道連通藥液槽，藥液槽的出液口通過管道與噴淋泵連接，通過供液管道連接基片傳動(dòng)箱的噴淋，形成一個(gè)完整的供液系統(tǒng)；消泡裝置可以保證生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的泡沫絕大部分都破滅，對(duì)生產(chǎn)工藝進(jìn)行配合，且不污染藥液，從而保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
文檔編號(hào)G03F7/32GK102921198SQ20121046773
公開日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月19日
發(fā)明者胡義杰, 李冬, 柳清 申請(qǐng)人:天津市中環(huán)高科技有限公司